DE112007003424T5 - Prüfgerät - Google Patents

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Abstract

Prüfgerät, das eine geprüfte Vorrichtung prüft, welches aufweist:
eine erste Pipeline, die aufeinanderfolgend Stücke von Musterdaten, die in einem ersten Prüfmuster enthalten sind, gemäß einer ersten Prüfperiode weiterleitet und die weitergeleiteten Daten zu der geprüften Vorrichtung ausgibt; eine zweite Pipeline, die aufeinanderfolgend Stücke von Musterdaten, die in einem zweiten Prüfmuster enthalten sind, gemäß einer zweiten Prüfperiode, die gegenüber der ersten Prüfperiode unterschiedlich ist, weiterleitet und die weitergeleiteten Daten zu der geprüften Vorrichtung ausgibt;
eine Taktsteuerschaltung, die zumindest einen von einem Zeitpunkt, zu welchem die erste Pipeline mit der Weiterleitung vor bestimmter erster Musterdaten beginnt, und einem Zeitpunkt, zu welchem die zweite Pipeline mit der Weiterleitung vorbestimmter zweiter Musterdaten beginnt, auf der Grundlage der ersten Prüfperiode und der zweiten Prüfperiode steuert; und
eine Beurteilungsschaltung, die gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Signals beurteilt.

Description

  • TECHNISCHES GEBIET
  • Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Prüfgerät. Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Prüfgerät, das eine geprüfte Vorrichtung wie eine Halbleiterschaltung mit unterschiedlichen Prüfperioden prüft.
  • STAND DER TECHNIK
  • Das Prüfen einer geprüften Vorrichtung wie einer Halbleiterschaltung mit unterschiedlichen Prüfperioden enthält die Eingabe eines vorgeschriebenen Prüfmusters in jeden Stift der geprüften Vorrichtung und die Beurteilung, ob die geprüfte Vorrichtung korrekt arbeitet. Das Prüfmuster kann ein Mustersignal sein, das ein vorgeschriebenes Datenmuster, ein Taktsignal mit einer vorgeschriebenen Periode oder ein Steuer signal, das die geprüfte Vorrichtung enthält.
  • Jedes Prüfmuster wird durch ein entsprechendes Prüfmodul des Prüfgeräts erzeugt. Beispielsweise kann jedes Prüfmodul ein Prüfmuster mit einem vorbestimmten Muster erzeugen, indem eine voreingestellte Prüffolge mit einer Prüfperiode entsprechend dem zu erzeugenden Prüfmuster durchgeführt wird. Genauer gesagt, jedes Prüfmodul kann ein Prüfmuster mit einem vorgeschriebenen logischen Muster erzeugen durch Ausgeben mehrerer zugeführter logischer Muster in einer durch die Prüffolge bezeichneten Reihenfolge. Wenn jedes Prüfmuster eine unterschiedliche Periode hat, kann die Prüfperiode, mit der jedes Prüfmodul arbeitet, ebenfalls unterschiedlich sein (z. B. Internationale Veröffentlichung Nr. 2003/062843 und Japanische Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 11-14714 ).
  • Es ist erwünscht, dass die Prüfmuster synchron zu den Stiften der geprüften Vorrichtung eingegeben werden. Ein Weg, dies zu erzielen, erfolgt durch Synchronisieren der Takte, mit denen jedes Prüfmodul beginn, das Prüfmuster zu der geprüften Vorrichtung zu liefern (z. B. Internationale Veröffentlichung Nr. 2003/062843 ).
  • Die Prüfmodule erzeugen aufeinanderfolgend die logischen Muster gemäß der Prüffolge. Die Prüfmodule übertragen aufeinanderfolgend diese logischen Muster zu der geprüften Vorrichtung durch Pipelines, die gemäß der Prüfperiode arbeiten. Mit anderen Worten, durch Steuern des Takts, mit dem das Signal beginnt, von der letzten Schaltung jeder Pipeline ausgegeben zu werden, können die Takte, mit denen jedes Prüfmodul beginnt, das Prüfmuster zu der geprüften Vorrichtung zu liefern, synchronisiert werden. Genauer ge sagt, ein logisches Muster entsprechend der Anzahl von Stufen jeder Pipeline wird erzeugt und in der entsprechenden Pipeline gespeichert, und ein Prüfmuster beginnt, zu im Wesentlichen derselben Zeit von der letzten Schaltung jeder Pipeline ausgegeben zu werden. Indem eine derartige Operation durchgeführt wird, können mehrere Prüfmodule mit unterschiedlichen Prüfperioden beginnen, jedes Prüfmuster synchron zuzuführen.
  • Die genannten Patentdokumente enthalten die internationale Veröffentlichung Nr. 2003/062843 und die Japanische Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 11-14714 .
  • OFFENBARUNG DER ERFINDUNG DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
  • Die durch jedes Prüfmodul durchgeführte Prüffolge kann einen Wiederholungsbefehl enthalten, der eine Schleife während der Prüfung schafft, bis eine vorgeschriebene Bedingung erfüllt ist. Beispielsweise kann jedes Prüfmodul wiederholt ein konstantes logisches Muster erzeugen, bis das Prüfgerät, die geprüfte Vorrichtung und dergleichen die vorgeschriebene Bedingung während der Prüfung erfüllt. Wenn die vorgeschriebene Bedingung erfüllt ist, kann jedes Prüfmodul das logische Muster entsprechend der nachfolgenden Prüffolge ausgeben.
  • Auch in diesem Fall ist es wünschenswert, die Zeitpunkte zu synchronisieren, zu denen jedes Prüfmodul das logische Muster entsprechend der nachfolgenden Prüffolge zu der geprüften Vorrichtung liefert. Jedoch kann, selbst wenn der Takt, mit dem jedes Prüf modul die nachfolgende Prüffolge durchführt, synchronisiert ist, der Takt, mit dem das nachfolgende logische Muster von der letzten Stufe jeder Pipeline ausgegeben wird, außer Synchronisation sein aufgrund einer Differenz in der Anzahl von Stufen in der Pipeline und der Prüfperiode jedes Prüfmoduls.
  • Während der Wiederholungsbefehl durchgeführt wird, wird das logische Muster, das zum Schaffen der Schleife verwendet wird, in der Pipeline gespeichert. Daher kann das logische Muster entsprechend der nachfolgenden Prüffolge nach dem Verlassen der Schleife nicht vorher in der Pipeline gespeichert werden, so dass die logischen Muster nach dem Verlassen der Schleife nicht synchron ausgegeben werden können, selbst wenn der Zeitpunkt der Ausgabe aus der letzten Stufe in jeder Pipeline so gesteuert wird, dass die Ausgabe des Prüfmusters zur selben Zeit erfolgt, wie vorstehend beschrieben ist.
  • Es ist daher eine Aufgabe eines Aspekts der vorliegenden Erfindung, ein Prüfgerät vorzusehen, das in der Lage ist, die vorstehenden, den Stand der Technik begleitenden Nachteile zu überwinden. Die vorgenannte und andere Aufgaben können durch in den unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen gelöst werden. Die abhängigen Ansprüche definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen der vorliegenden Erfindung.
  • MITTEL ZUM LÖSEN DER PROBLEME
  • Gemäß einem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Prüfgerät vorgesehen, das eine geprüfte Vorrichtung prüft, enthaltend eine erste Pipeline, die aufeinanderfolgend Stücke von Musterdaten, die in ei nem ersten Prüfmuster enthalten sind, gemäß einer ersten Prüfperiode weiterleitet, und die weitergeleiteten Daten zu der geprüften Vorrichtung ausgibt; eine zweite Pipeline, die aufeinanderfolgend Stücke von Musterdaten, die in einem zweiten Prüfmuster enthalten sind, gemäß einer zweiten Prüfperiode, die unterschiedlich gegenüber der ersten Prüfperiode ist, weiterleitet und die weitergeleiteten Daten zu der geprüften Vorrichtung ausgibt; eine Taktsteuerschaltung, die zumindest einen von einem Takt, mit dem die erste Pipeline beginnt, vorbestimmte erste Musterdaten weiterzuleiten, und einem Takt, mit dem die zweite Pipeline beginnt, vorbestimmte zweite Musterdaten weiterzuleiten, steuert auf der Grundlage der ersten Prüfperiode und der zweiten Prüfperiode; und eine Beurteilungsschaltung, die gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines durch die geprüfte Vorrichtung ausgegebenen Signals beurteilt.
  • Die Zusammenfassung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen Merkmale der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung. Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen Merkmale sein. Die vorstehenden und andere Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden augenscheinlicher anhand der folgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele, die in Verbindung mit den begleitenden Zeichnungen gegeben wird.
  • KURZBESCHREIBUGN DER ZEICHNUNGEN
  • 1 zeigt eine beispielhafte Konfiguration eines Prüfgeräts 200 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
  • 2 zeigt eine beispielhafte Konfiguration von zwei Prüfmodulen 100.
  • 3 zeigt ein Beispiel für die von jedem Prüfmodul 100 durchgeführte Prüffolge.
  • 4 ist ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Operation der Taktsteuerschaltung 160 beschreibt.
  • BESTE ART ZUR AUSFÜHRUNG DER ERFINDUNG
  • Nachfolgend werden einige Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung beschrieben. Die Ausführungsbeispiele beschränken die Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht, und alle Kombinationen der in den Ausführungsbeispielen beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für durch Aspekte der Erfindung vorgesehene Mittel.
  • 1 zeigt eine beispielhafte Konfiguration eines Prüfgeräts 200 gemäß einem Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Das Prüfgerät 200 prüft geprüfte Vorrichtungen 300 wie Halbleiterschaltungen und ist mit einer Systemsteuervorrichtung 110, mehreren Stationssteuervorrichtungen 130, einem Schalterkreis 140 und mehreren Prüfmodulen 100 versehen.
  • Die Systemsteuervorrichtung 110 empfängt ein Prüfsteuerprogramm, Prüfprogrammdaten, Prüfmusterdaten und dergleichen, die von dem Prüfgerät 200 verwendet werden, um die geprüften Vorrichtungen 300 zu prüfen, von außerhalb über ein Netzwerk, und speichert die empfangenen Programme und Daten. Die mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 sind über ein Kommunikationsnetzwerk mit der Systemsteuervorrichtung 110 verbunden.
  • Jede der Stationssteuervorrichtungen 130a–c steuert die Prüfung von einer der geprüften Vorrichtung 300. Beispielsweise können die mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 so angeordnet sein, dass sie eins zu eins den mehreren geprüften Vorrichtungen 300 entsprechen, und jede Stationssteuervorrichtung 130 kann mit der entsprechenden geprüften Vorrichtung 300 verbundene Prüfmodule 100 steuern. Die Systemsteuervorrichtung 110 und die Stationssteuervorrichtung 130 sind ein Beispiel für eine integrierte Steuerschaltung.
  • In 1 steuert die Stationssteuervorrichtung 130a die Prüfung der geprüften Vorrichtung 300a, und die Stationssteuervorrichtung 130b steuert die Prüfung der geprüften Vorrichtung 300b. Weiterhin können zusätzliche Stationssteuervorrichtungen 130 die Prüfung zusätzlicher geprüfter Vorrichtungen 300 in derselben Weise steuern.
  • Genauer gesagt, jede Stationssteuervorrichtung 130 erwirbt ein Prüfsteuerprogramm von der Systemsteuervorrichtung 110 und führt das erworbene Programm aus. Dann erwirbt auf der Grundlage des Prüfsteuerprogramms die Stationssteuervorrichtung 130 von der Systemsteuervorrichtung 110 Prüfprogrammdaten, z. B. eine nachfolgend beschriebene Prüffolge, und Prüfmusterdaten, z. B. nachfolgend beschriebene Musterdaten, zum Prüfen der entsprechenden geprüften Vorrichtung 300.
  • Jede Stationssteuervorrichtung 130 speichert die Prüfprogrammdaten und die Prüfmusterdaten in einem oder mehreren Modulen wie den Prüfmodulen 100, die zum Prüfen der entsprechenden geprüften Vorrichtung 300 verwendet werden, über den Schalterkreis 140. Als Nächstes weist die Stationssteuervorrichtung 130 das eine oder mehrere Prüfmodule 100 über den Schalterkreis 140 an, mit der Prüfung zu beginnen, die auf den Prüfprogrammdaten und den Prüfmusterdaten basiert. Die Stationssteuervorrichtung 130 empfängt eine Unterbrechung oder dergleichen, die beispielsweise anzeigt, dass die Prüfung von dem Prüfmodul 100 beendet ist, und führt eine nachfolgende Prüfung des Prüfmoduls 100 auf der Grundlage der Ergebnisse der Prüfung durch.
  • Der Schalterkreis 140 verbindet jede der mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 mit dem einen oder den mehreren Prüfmodulen 100, die hierdurch gesteuert werden, und überträgt Signale zwischen diesen. Eine vorbestimmte Stationssteuervorrichtung 130 kann den Schalterkreis 140 einstellen, um jede Stationssteuervorrichtung 130 mit dem einen oder den mehreren Prüfmodulen 100 zu verbinden, die zum Prüfen der entsprechenden geprüften Vorrichtung 300 zu verwenden sind, auf der Grundlage eines Befehls von einem Prüfsteuerprogramm, einem Benutzer des Prüfgeräts 200 und dergleichen.
  • Beispielsweise ist in 1 die Stationssteuervorrichtung 130a eingestellt, um mit mehreren Prüfmodulen 100a verbunden zu werden und verwendet diese Prüfmodule 100a, um die geprüfte Vorrichtung 300a zu prüfen. Hier sind die Konfiguration und die Operation, mit der andere Stationssteuervorrichtungen 10 die entsprechenden Prüfmodule 100 verwenden, um andere geprüfte Vorrichtung 300 zu prüfen, veranschaulicht durch die Konfiguration und die Operation, mit der die Stationssteuervorrichtung 130a die geprüfte Vorrichtung 300a prüft. Es folgt eine Beschreibung der Konfiguration und der Operation, mit der Stations steuervorrichtung 130a die geprüfte Vorrichtung 300a prüft.
  • Das Prüfmodul 100a erzeugt ein Taktsignal, das zum Erzeugen des Prüfmusters zum Prüfen der geprüften Vorrichtung 300a verwendet wird, auf der Grundlage eines Befehls von der Stationssteuervorrichtung 130a. Ein bestimmtes Prüfmodul 100a kann Prüfergebnisse von anderen Prüfmodulen 100a empfangen und bewirken, dass die mehreren Prüfmodule 100a eine Folge gemäß dem durch das Prüfergebnis angezeigten gut/schlecht durchführen. Beispielsweise kann ein bestimmtes Prüfmodul 100 bewirken, dass eines oder mehrere der anderen Prüfmodule 100 eine vorgeschriebene Operation wiederholen, bis das Messergebnis des bestimmten Prüfmoduls 100 eine vorgeschriebene Bedingung erfüllt. Wenn das Prüfergebnis die vorgeschriebene Bedingung erfüllt, kann das bestimmte Prüfmodul 100 die nächste Operation durchführen.
  • Die mehreren Prüfmodule 100a sind jeweils mit einem von mehreren Anschlüssen der geprüften Vorrichtung 300a verbunden, und jedes Prüfmodul 100a prüft die geprüfte Vorrichtung 300a auf der Grundlage der Prüffolge und der Musterdaten, die in der Stationssteuervorrichtung 130a gespeichert sind. Wenn die geprüfte Vorrichtung 300a geprüft wird, erzeugt jedes Prüfmodul 100a ein Prüfmuster auf der Grundlage der Prüffolge und der Musterdaten und liefert das erzeugte Prüfmuster zu dem entsprechenden Anschluss der geprüften Vorrichtung 300a.
  • Jedes Prüfmodul 100a kann als eine Beurteilungsschaltung arbeiten, die ein Ausgangssignal enthaltend ein Ergebnis, das anzeigt, wie die geprüfte Vorrichtung 300a als Antwort auf das Prüfmuster arbeitet, er wirbt, den Wert des erworbenen Signals mit einem erwarteten Wert vergleicht und gut/schlecht der geprüften Vorrichtung 300 auf der Grundlage des Vergleichsergebnisses beurteilt.
  • Wenn die Verarbeitung der Prüfprogrammdaten beendet ist, wenn eine Unregelmäßigkeit während der Verarbeitung der Prüfprogrammdaten erfolgt, wenn ein nachfolgend beschriebener Wiederholungsbefehl erfasst wird, oder dergleichen, können die Prüfmodule 100a die entsprechende Stationssteuervorrichtung 130a unterbrechen. Die Mitteilung dieser Unterbrechung wird über den Schalterkreis 140 zu der Stationssteuervorrichtung 130a geliefert, und ein Unterbrechungsprozess wird durch einen in der Stationssteuervorrichtung 130a enthaltenen Prozessor durchgeführt.
  • Das vorbeschriebene Prüfgerät 200 kann durch eine offene Architektur realisiert werden und kann jeden Typ von Modul verwenden, der die Spezifikationen der offenen Architektur erfüllt. In dem Prüfgerät 200 können die Module wie die Prüfmodule 100 verwendet werden, indem sie in jeden Verbindungsschlitz des Schalterkreises 140 eingesetzt werden.
  • Ein Benutzer des Prüfgeräts 200 kann den Verbindungszustand des Schalterkreises 140 über die Stationssteuervorrichtung 130a beispielsweise so ändern, dass mehrere Module, die zum Prüfen der geprüften Vorrichtung 300 verwendet werden, mit der Stationssteuervorrichtung 130 verbunden werden können, die die Prüfung der geprüften Vorrichtung 300 steuert. Hierdurch kann der Benutzer des Prüfgeräts 200 für die Anzahl der Anschlüsse, die Anordnung der Anschlüsse, den Typ der Anschlüsse, den Typ der Prüfung und dergleichen für jede der mehreren geprüften Vorrichtungen 300 geeig nete Module auswählen. Der Benutzer kann dann die ausgewählten Module auf dem Prüfgerät 200 implementieren.
  • Das Prüfgerät und die Prüfmodule 100 können eine Prüfschaltung sein, die zusammen mit der geprüften Schaltung, die das Prüfziel ist, in derselben elektronischen Vorrichtung angeordnet ist. Die Prüfschaltung kann eine BIST-Schaltung einer elektronischen Vorrichtung sein, und eine Prüfung der elektronischen Vorrichtung kann durch Prüfen der geprüften Schaltung durchgeführt werden. Hierdurch kann die Prüfschaltung prüfen, ob die geprüfte Schaltung die normale Operation, die von der elektronischen Vorrichtung erwünscht ist, durchführen kann.
  • Das Prüfgerät 200 und die Prüfmodule 100 können stattdessen eine Prüfschaltung sein, die zusammen mit der geprüften Schaltung, welche das Prüfziel ist, in derselben Baugruppe oder in demselben Gerät angeordnet ist. Diese Prüfschaltung kann auch prüfen, ob die geprüfte Schaltung die gewünschte normale Operation durchführen kann, wie vorstehend beschrieben ist.
  • 2 zeigt eine beispielhafte Konfiguration von zwei Prüfmodulen 100. Das vorliegende Ausführungsbeispiel zeigt ein erstes Prüfmodule 100-1 und ein zweites Prüfmodul 100-2. 2 zeigt eine Konfiguration des ersten Prüfmoduls 100-1, und das zweite Prüfmodul 100-2 kann eine identische Konfiguration haben.
  • Das erste Prüfmodul 100-1 enthält eine erste Pipeline 150, eine erste Taktsteuerschaltung 160 und mehrere Flipflops 134, 136, 138. Das zweite Prüfmodul 100-2 kann eine zweite Pipeline 150, eine zweite Taktsteuerschaltung 160 und die mehreren Flipflops 134, 136, 138 in derselben Weise enthalten.
  • Die erste Pipeline 150 leitet aufeinanderfolgend jedes Stück von Musterdaten, das in der einem ersten Prüfmuster enthalten ist, gemäß einer ersten Prüfperiode weiter und liefert die sich ergehenden Daten zu der geprüften Vorrichtung 300. Die erste Pipeline 150 enthält mehrere Schaltungen 132, die kaskadenförmig verbunden sind und die gemäß der ersten Prüfperiode arbeiten.
  • Die erste Pipeline 150 kann Schaltungen 132 enthalten, die beispielsweise als Flipflops dienen. In einem derartigen Fall erwirbt jede Schaltung 132 ein logisches Muster, z. B. Musterdaten, die von der Schaltung 132 in der vorhergehenden Stufe ausgegeben wurden, und gibt das erworbene logische Muster gemäß der ersten Prüfperiode aus.
  • Die erste Pipeline 150 kann eine Schaltung 132 enthalten, die als eine erste Mustererzeugungsschaltung arbeitet. Die erste Mustererzeugungsschaltung erzeugt aufeinanderfolgend logische Muster mit jeder Periode des Prüfmusters, indem eine Prüffolge durchgeführt wird, die vorher von der Stationssteuervorrichtung 130 geliefert wurde, beispielsweise mit der ersten Prüfperiode. Die erste Mustererzeugungsschaltung gibt die erzeugten logischen Muster zu der Schaltung 132 in der nachfolgenden Stufe aus. Die Schaltung 132 in der ersten Stufe der ersten Pipeline 150 kann als die erste Mustererzeugungsschaltung arbeiten. Mehrere Schaltungen 132, die die Schaltung 132 in der ersten Stufe enthalten, können als die erste Mustererzeugungsschaltung arbeiten.
  • Die Schaltung 132 in der ersten Stufe kann beispiels weise ein Sequenzer sein, der aufeinanderfolgend die Prüffolge durchführt, um aufeinanderfolgend ein Steuersignal und eine Adresse der Schaltung 132 in der nachfolgenden Stufe erzeugt. Die Schaltung 132 in der vorgenannten nachfolgenden Stufe kann beispielsweise ein Musterspeicher sein, der ein logisches Muster an jeder Adresse speichert und aufeinanderfolgend das durch den Sequenzer bezeichnete logische Muster zu einer Schaltung 132 in einer nachfolgenden Stufe ausgibt. Der Sequenzer kann eine Konfiguration haben, die mehrere Stufen von Schaltungen 132 verwendet, um in der Lage zu sein, komplexe Sequenzersteuerungen durchzuführen, wie einen Zähler einen Addierer, eine Datenauswahlvorrichtung, ein Schieberegister, einen Multiplizierer oder dergleichen.
  • 2 zeigt die mehreren Schaltungen 132, die kaskadenförmig in einer einzelnen Linie verbunden sind, aber bei anderen Beispielen kann die Anzahl von Schaltungen 132 verzweigt sein. Beispielsweise kann das Prüfmodul 100 weiterhin eine Pipeline enthalten, die ein verzweigtes Ausgangssignal von einer vorgeschriebenen Anzahl von Schaltungen 132 aus den in 2 gezeigten Schaltungen 132 empfängt. Die Pipelines in den Stufen nach dem Verzweigungspunkt können jeweils das Prüfmuster mit derselben ersten Prüfperiode erzeugen. Beispielsweise können die Pipelines in den Stufen nach dem Verzweigungspunkt jeweils einen Musterspeicher enthalten und das Prüfmuster entsprechend den aufeinanderfolgend von der Schaltung 132 in der ersten Stufe erzeugten Adressen erzeugen. In diesem Fall ist es wünschenswert, dass die Anzahl von Stufen in jeder Pipeline in einer Stufe nach dem Verzweigungspunkt dieselbe ist, so dass das erste Prüfmodul 100-1 die mehreren Prüfmuster synchron ausgeben kann.
  • Die zweite Pipeline 150 in dem zweiten Prüfmodul 100-2 leitet aufeinanderfolgend jedes Stück von Musterdaten, die in einem zweiten Prüfmuster enthalten sind, einer zweiten Prüfperiode, die unterschiedlich gegenüber der ersten Prüfperiode ist, weiter und liefert die sich ergebenden Daten zu der geprüften Vorrichtung 300. Die zweite Pipeline 150 kann dieselbe Konfiguration wie die vorbeschriebene erste Pipeline 150 haben. Jedoch ist festzustellen, dass die Anzahl von Stufen von Schaltungen 132, die als Flipflops arbeiten, beispielsweise zwischen der ersten Pipeline 150 und der zweiten Pipeline 150 unterschiedlich sein kann.
  • Wenn die Prüfung der geprüften Vorrichtung 300 beginnt, arbeiten die erste Mustererzeugungsschaltung und die zweite Mustererzeugungsschaltung vorher während einer Zeitperiode gleich einer Anzahl von Zyklen entsprechend der Anzahl von Stufen aus Schaltungen 132 in nachfolgenden Stufen, um aufeinanderfolgend die logischen Muster zu erzeugen. Die erste Mustererzeugungsschaltung und die zweite Mustererzeugungsschaltung liefern die Prüfmuster zu den Schaltungen 132 in nachfolgenden Stufen. Der ersten Mustererzeugungsschaltung und der zweiten Mustererzeugungsschaltung können Signale von der Stationssteuervorrichtung 130, die Befehle zum Beginnen der Prüfung enthalten, zugeführt werden.
  • Nachdem logische Muster in jedem Prüfmodul 100 für jede Stufe der Pipeline 150 erzeugt wurden, liefert die Stationssteuervorrichtung 130 ein Startsignal START zu der Schaltung 132 in der letzten Stufe jeder Pipeline 150. Die Schaltung 132 in der letzten Stufe beginnt, als Antwort auf das Startsignal das Prüfmus ter auszugeben. Zu dieser Zeit kann der ersten Mustererzeugungsschaltung und der zweiten Mustererzeugungsschaltung auch das Starsignal zugeführt werden. Die erste Mustererzeugungsschaltung und die zweite Mustererzeugungsschaltung können die Erzeugung der logischen Muster als Antwort auf das Startsignal wieder starten.
  • Die Stationssteuervorrichtung 130 kann das Startsignal gleichzeitig zu den Flipflops 134 jedes Prüfmoduls 100 liefern. Die Flipflops 134 in jedem Prüfmodul 100 erwerben das Startsignal gemäß einem gemeinsamen Bezugstakt und liefern das Startsignal zu der Schaltung 132 in der letzten Stufe der Pipeline 150. Die Anzahl von Stufen der Flipflops 134 in jedem Prüfmodul 100 kann dieselbe sein. Durch Verwendung einer derartigen Konfiguration kann das Startsignal gleichzeitig zu der Schaltung 132 in der letzten Stufe in jeder Pipeline 150 geliefert werden, so dass die mehreren Prüfmuster synchron ausgegeben werden können.
  • Das Prüfgerät 200 kann einen Prüfratentakt erzeugen, der zwei Prüfperioden enthält, die durch Frequenzteilen jedes erhaltenen Bezugstakts durch unterschiedliche Frequenzteilungsverhältnisse erhalten wurden. Beispielsweise kann das Prüfgerät 200 einen ersten Prüfratentakt von 100 MHz, die durch Frequenzteilen eines 200 MHz-Bezugstakts durch zwei erhalten wurden, und einen zweiten Prüfratentakt von 66,6 MHz, die durch Teilen des 200 MHz-Bezugstakts durch die erhalten wurden.
  • Die Flipflops 138 jedes Prüfmoduls 100 erwerben das von der Pipeline 150 ausgegebene Prüfmuster gemäß dem gemeinsamen Bezugstakt und geben das erworbene Prüf muster zu der geprüften Vorrichtung 300 aus. Die Anzahl von Stufen der Flipflops 138 in jedem Prüfmodul 100 kann dieselbe sein. Durch die vorbeschriebene Operation kann der Ausgangstakt des Prüfmusters, wenn die Prüfung der geprüften Vorrichtung 300 beginnt, synchronisiert werden.
  • Es folgt eine Beschreibung einer Operation der Taktsteuerschaltung 160, nachdem die Prüfung begonnen hat, unter Verwendung der 3 und 4. Die Taktsteuerschaltung 160 enthält das Flipflop 136, eine individuelle Steuerschaltung 170 und eine Verzögerungssteuerschaltung 120, wie in 2 gezeigt ist.
  • 3 zeigt ein Beispiel für die von jedem Prüfmodul 100 durchgeführte Prüffolge. Wie vorstehend beschrieben ist, führt das erste Prüfmodul 100-1 die erste Prüffolge durch, um das Prüfmuster zu erzeugen. Das zweite Prüfmodul 100-2 führt die zweite Prüffolge durch, um das Prüfmuster zu erzeugen. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die erste Prüfperiode im Wesentlichen die Hälfte der zweiten Prüfperiode.
  • Ein in 3 gezeigter NOP-Befehl ist ein Befehl zum Ausgeben der entsprechenden Musterdaten und zum Bewegen zu dem nächsten Befehl hin. Ein SNDC-Befehl und ein JECH-Befehl sind Wiederholungsbefehle zum wiederholten Ausgeben von schleifenbildenden Musterdaten als Antwort auf den NOP-Befehl zwischen dem SNDC und dem JECH, bis ein Fortsetzungssignal empfangen wird. Wenn beispielsweise die Mustererzeugungsschaltung den SNDC-Befehl erfasst, teilt die Mustererzeugungsschaltung der Stationssteuervorrichtung 130 mit, dass der SNDC erfasst wurde. Nach Empfang der Mitteilung von dem ersten Prüfmodul 100-1 oder dem zweiten Prüfmodul 100-2 gibt, wenn eine vorgeschriebene Bedingung er füllt ist, die Stationssteuervorrichtung 130 ein Fortsetzungssignal aus, das den Beginn der Weiterleitung der ersten Musterdaten PD1 und der zweiten Musterdaten PD2 zu den Mustererzeugungsschaltungen des ersten Prüfmoduls 100-1 bzw. des zweiten Prüfmoduls 100-2 anweist.
  • Wenn eine der Mustererzeugungsschaltungen den JECH-Befehl nach Empfang des Fortsetzungssignals durchführt, tritt die Mustererzeugungsschaltung aus der Schleife heraus und gibt das nächste Datenmuster nach dem JECH-Befehl aus. Wenn beispielsweise die erste Pipeline 150-1 den JECH der Zeile 18 nach Empfang des Fortsetzungssignals durchführt, kehrt die erste Pipeline 150-1 nicht zu dem SNDC-Befehl zurück, sondern führt vielmehr als nächstes den NOP-Befehl durch, der die ersten Musterdaten PD1 in Zeile 19 erzeugt, wodurch die ersten Musterdaten aufeinanderfolgend weitergeleitet werden. Wenn die zweite Pipeline 150-2 den JECH-Befehl in Zeile 9 nach Empfang des Fortsetzungssignals durchführt, führt die zweite Pipeline 150-2 als Nächstes den NOP-Befehl durch, der die zweiten Musterdaten PD2 in Zeile 10 erzeugt, wodurch die zweiten Musterdaten aufeinanderfolgend weitergeleitet werden.
  • Da die erste Prüfperiode und die zweite Prüfperiode unterschiedlich sind, ist der Takt des Ausgangssignals der ersten Pipeline 150-1 und des Ausgangssignals der zweiten Pipeline 150-2 nicht synchronisiert, selbst wenn das Fortsetzungssignal zu der ersten Pipeline 150-1 und der zweiten Pipeline 150-2 zur selben Zeit zugeführt wird und die Weiterleitung der ersten Musterdaten und der zweiten Musterdaten gleichzeitig beginnt. Daher steuern die erste und die zweite Taktsteuerschaltung 160 auf der Grundlage der ersten Prüfperiode und der zweiten Prüfperiode zumindest einen Takt, mit welchem die Weiterleitung der ersten Musterdaten beginnt, mit anderen Worten, einen Takt, mit dem das Fortsetzungssignal zu der ersten Pipeline 150-1 geliefert wird, und einen Takt, mit dem die Weiterleitung der zweiten Musterdaten beginnt, mit anderen Worten einen Takt, mit dem das Fortsetzungssignal zu der zweiten Pipeline 150-2 geliefert wird.
  • Weiterhin ist es wünschenswert, da es Fälle gibt, in denen die Anzahl von Stufen zwischen der ersten Pipeline 150-1 und der zweiten Pipeline 150-2 unterschiedlich ist, dass die erste und die zweite Taktsteuerschaltung 160 den vorstehend beschriebenen Takt weiterhin auf der Grundlage der jeweiligen Anzahl von Stufen in der ersten Pipeline 150-1 und der zweiten Pipeline 150-2 steuern. Genauer gesagt, es ist wünschenswert, dass die erste und die zweite Taktsteuerschaltung 160 den vorstehend beschriebenen Takt auf der Grundlage einer Differenz RATE1 × N1 – RATE2 × N2 zwischen einem Produkt RATE1 × N1 der ersten Prüfperiode RATE1 und der Anzahl N1 von Stufen in der ersten Pipeline 150-1 und einem Produkt RATE2 × N2 aus der zweiten Prüfperiode RATE2 und der Anzahl N2 von Stufen in der zweiten Pipeline 150-2 steuern. Hierdurch können der Takt, mit dem die erste Pipeline 150-1 die ersten Musterdaten ausgibt und der Takt, mit dem die zweite Pipeline 150-2 die zweiten Musterdaten ausgibt, so gesteuert werden, dass sie im Wesentlichen dieselben sind.
  • Die individuelle Steuerschaltung 170 jeder Taktsteuerschaltung 160 empfängt das Fortsetzungssignal über dieselbe Anzahl von Stufen aus Flipflops 136. Das Flipflop 136 jedes Prüfmoduls 100 arbeitet gemäß ei nem gemeinsamen Bezugstakt.
  • Jede individuelle Steuerschaltung 170 kann das Fortsetzungssignal um einen gesetzten Verzögerungsbetrag verzögern und das verzögerte Signal zu der entsprechenden Pipeline 150 liefern. Die Verzögerungssteuerschaltung 120 setzt den Verzögerungsbetrag für zumindest eine der individuellen Steuerschaltungen 170 auf der Grundlage der Differenz zwischen den beiden vorgenannten Produkten und kann hierdurch den Zeitpunkt einstellen, zu dem die Weiterleitung der ersten Musterdaten beginnt, sowie den Zeitpunkt, zu dem die Weiterleitung der zweiten Musterdaten beginnt. Eine einzelne Verzögerungssteuerschaltung 120 kann gemeinsam für mehrere Prüfmodule 100 vorgesehen sein.
  • Beispielsweise kann die Verzögerungssteuerschaltung 120 eine Größenbeziehung zwischen dem ersten Produkt RATE1 × N1 und dem zweiten Produkt RAT2 × N2 vergleichen und dann das kleinere Produkt von dem größeren Produkt subtrahieren. Der durch diese Subtraktion erhaltene Wert kann als der Verzögerungsbetrag der individuellen Steuerschaltung 170 entsprechend dem kleineren Produkt gesetzt werden. In diesem Fall wird der Verzögerungsbetrag der individuellen Steuerschaltung 170 entsprechend dem größeren Produkt im Wesentlichen auf null gesetzt.
  • In einem Fall, in welchem jede individuelle Steuerschaltung 170 einen Verzögerungsbetrag gleich einem ganzzahligen Mehrfachen der entsprechenden Prüfperiode erzeugen kann, teilt die Verzögerungssteuerschaltung 120 den durch die vorgenannte Subtraktion erhaltenen Wert durch die Prüfperiode entsprechend dem kleineren Produkt. Die Verzögerungssteuerschaltung 120 kann dann in der entsprechenden individuellen Steuerschaltung 170 einen Verzögerungsbetrag erzeugen, der gleich der Prüfperiode multipliziert mit einer ganzen Zahl entsprechend dem Quotienten, der durch die vorbeschriebene Teilung erhalten wurde, ist. In derselben Weise kann in einem Fall, in welchem die individuelle Steuerschaltung 170 einen Verzögerungsbetrag gleich einem Mehrfachen des Bezugstakts erzeugen kann, der Verzögerungsbetrag so gesteuert werden, dass er einem Wert entspricht, der durch Teilen des Wertes, der durch die vorgenannte Subtraktion erhalten wurde, durch die Periode des Bezugstakts erhalten wurde.
  • Der Verzögerungssteuerschaltung 120 kann vorher die Anzahl von Stufen in jeder Pipeline 150 mitgeteilt werden. Der Verzögerungssteuerschaltung 120 kann auch vorher jede Prüfperiode mitgeteilt werden. Weiterhin kann die Verzögerungssteuerschaltung 120 vorher eine Tabelle speichern, in der ein ID jedes Prüfmoduls 100 mit der Anzahl von Stufen in dem Pipelines des entsprechenden Prüfmoduls 1 assoziiert ist. Die Verzögerungssteuerschaltung 120 kann den ID jedes Prüfmoduls 100 erwerben und den erworbenen ID mit der Tabelle in Bezug setzen, um die Anzahl von Stufen in jeder Pipeline 150 zu erhalten. Die Anzahl von Stufen in jeder Pipeline 150, die IDs und die Tabelle können vorher in der Verzögerungssteuerschaltung 120 durch einen Benutzer gespeichert werden. Die Verzögerungssteuerschaltung 120 kann durch die Stationssteuervorrichtung 130 oder dergleichen von jeder Prüfperiode benachrichtigt werden.
  • Es ist wünschenswert, dass die Zeit einer einzelnen Schleife von dem SNDC-Befehl zu dem JECH-Befehl, mit anderen Worten, ein Produkt aus der Prüfperiode und der Anzahl von in einer Schleife enthaltenen Befeh len, so eingestellt ist, dass sie für jede Prüffolge identisch ist. Da die erste Prüfperiode im Wesentlichen die Hälfte der zweiten Prüfperiode bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist, wird die Anzahl von Befehlen in einer Wiederholungsbefehlsschleife der ersten Prüffolge so gesetzt, dass sie ein Mehrfaches der Anzahl von Befehlen in einer Schleife der ersten Prüffolge ist.
  • 4 ist ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Operation der Taktsteuerschaltung 160 beschreibt. Die erste Prüfperiode RAT1 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die Hälfte der zweiten Prüfperiode RATE2 = 2 × RATE1, wie vorstehend beschrieben ist. Für eine einfachere Beschreibung werden die erste Pipeline 150-1 und die zweite Pipeline 150-2 beide als drei Stufen aufweisend beschrieben.
  • Daher ist das erste Produkt gleich RATE1 × 3 und das zweite Produkt ist RATE1 × 6.
  • Die erste individuelle Steuerschaltung 170 in dem ersten Prüfmodul 100-1 liefert ein Fortsetzungssignal CONT1 zu der ersten Pipeline 150-1, das um drei Zyklen der ersten Prüfperiode RATE1 verzögert ist. Die zweite individuelle Steuerschaltung 170 liefert ein Fortsetzungssignal CONT2 zu der zweiten Pipeline 150-2, das nicht verzögert ist.
  • Die zweite Pipeline 150-2 hält die Erzeugung der zum Bilden der Schleife verwendeten Musterdaten an und beginnt mit der Weiterleitung der zweiten Musterdaten PD2 gemäß dem Fortsetzungssignal CONT2. Die erste Pipeline 150-1 hält die Erzeugung der zum Bilden der Schleife verwendeten Musterdaten an und beginnt mit der Weiterleitung der ersten Musterdaten PD1 gemäß dem verzögerten Fortsetzungssignal CONT1.
  • Durch Verzögern des zumindest zu einer der Pipelines 150 gelieferten Fortsetzungssignals können die ersten Musterdaten und die zweiten Musterdaten gleichzeitig von den Pipelines 150 ausgegeben werden. Daher können die vorgeschriebenen Musterdaten synchron zu der geprüften Vorrichtung 300 geliefert werden, selbst in einem Fall, in welchem die Prüffolge einen Wiederholungsbefehl zum wiederholten Erzeugen von schleifenbildenden Musterdaten und einen Befehl zum Anhalten der Durchführung des Wiederholungsbefehls und Erzeugen der vorgeschriebenen Musterdaten gemäß dem Fortsetzungssignal enthält.
  • Die Stationssteuervorrichtung 130 gibt das Fortsetzungssignal aus, während die erste Mustererzeugungsschaltung und die zweite Mustererzeugungsschaltung jeweils den Wiederholungsbefehl ausführen. Beispielsweise kann die Stationssteuervorrichtung 130 ermöglichen, dass eine vorgeschriebene Zeit gemäß dem Unterbrechungsprozess vergeht, nachdem eine Mitteilung von der ersten Mustererzeugungsschaltung und der zweiten Mustererzeugungsschaltung, dass der Wiederholungsbefehl durchgeführt wird, erhalten wurde. Nachdem die vorbestimmte Zeit vergangen ist, kann die Stationssteuervorrichtung 130 das Fortsetzungssignal ausgeben.
  • Die Stationssteuervorrichtung 130 kann stattdessen das Fortsetzungssignal unter einer Bedingung ausgeben, dass die geprüfte Vorrichtung 300 in einem vorgeschriebenen Zustand ist, während die erste Mustererzeugungsschaltung und die zweite Mustererzeugungsschaltung jeweils den Wiederholungsbefehl ausführen. Beispielsweise kann die Stationssteuervorrichtung 130 den Zustand der geprüften Vorrichtung 300 durch Verwendung eines Prüfmoduls 100 erfassen, das von dem Prüfmodul 100 verschieden ist, das das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung eingibt, um das Ausgangssignal, den Energieverbrauch oder dergleichen der geprüften Vorrichtung 300 zu messen. Als ein anderes Beispiel kann die Stationssteuervorrichtung 130 das Fortsetzungssignal unter einer Bedingung ausgeben, dass ein verschiedenes Prüfmodul 100 in einem vorgeschriebenen Zustand ist, während die erste Mustererzeugungsschaltung und die zweite Mustererzeugungsschaltung jeweils den Wiederholungsbefehl ausführen.
  • Während das Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben wurde, ist der technische Bereich der Erfindung nicht auf das vorbeschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt. Es ist für den Fachmann augenscheinlich, dass verschiedene Änderungen und Verbesserungen zu dem vorbeschriebenen Ausführungsbeispiel hinzugefügt werden können. Es ist anhand des Bereichs der Ansprüche auch ersichtlich, dass die Ausführungsbeispiele, denen derartige Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügt wurden, in dem technischen Bereich der Erfindung enthalten sein können.
  • GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
  • Wie aus dem Vorstehenden ersichtlich ist, können durch Verwendung des Ausführungsbeispiels nach der vorliegenden Erfindung mehrere Prüfmodule mit unterschiedlichen Prüfperioden verwendet werden, um mehrere Prüfmuster synchron zu der geprüften Vorrichtung zu liefern. Insbesondere können, während in einem Bereitschaftszustand, der durch die Leistung des Wiederholungsbefehls während der Prüfung bewirkt wird, die nach Beendigung der Bereitschaftsperiode ausgege benen Prüfmuster synchron zu der geprüften Vorrichtung geliefert werden.
  • Zusammenfassung:
  • Es ist ein Prüfgerät vorgesehen, das eine geprüfte Vorrichtung prüft, enthaltend eine erste Pipeline, die aufeinanderfolgend Stücke von Musterdaten, die in einem ersten Prüfmuster enthalten sind, gemäß einer ersten Prüfperiode weiterleitet, und die sich ergebenden Daten zu der geprüften Vorrichtung ausgibt; eine zweite Pipeline, die aufeinanderfolgend Stücke von Musterdaten, die in einem zweiten Prüfmuster enthalten sind, gemäß einer zweiten Prüfperiode, die gegenüber der ersten Prüfperiode unterschiedlich ist, weiterleitet und die sich ergebenden Daten zu der geprüften Vorrichtung ausgibt; eine Taktsteuerschaltung, die zumindest einen von einem Zeitpunkt, zu welchem die erste Pipeline mit der Weiterleitung vor bestimmter erster Musterdaten beginnt, und einem Zeitpunkt, zu welchem die zweite Pipeline mit der Weiterleitung vorbestimmter zweiter Musterdaten beginnt, steuert auf der Grundlage der ersten Prüfperiode und der zweiten Prüfperiode; und eine Beurteilungsschaltung, die gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Signals beurteilt.
  • ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
  • Diese Liste der vom Anmelder aufgeführten Dokumente wurde automatisiert erzeugt und ist ausschließlich zur besseren Information des Lesers aufgenommen. Die Liste ist nicht Bestandteil der deutschen Patent- bzw. Gebrauchsmusteranmeldung. Das DPMA übernimmt keinerlei Haftung für etwaige Fehler oder Auslassungen.
  • Zitierte Patentliteratur
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    • - JP 11-14714 [0003, 0006]

Claims (8)

  1. Prüfgerät, das eine geprüfte Vorrichtung prüft, welches aufweist: eine erste Pipeline, die aufeinanderfolgend Stücke von Musterdaten, die in einem ersten Prüfmuster enthalten sind, gemäß einer ersten Prüfperiode weiterleitet und die weitergeleiteten Daten zu der geprüften Vorrichtung ausgibt; eine zweite Pipeline, die aufeinanderfolgend Stücke von Musterdaten, die in einem zweiten Prüfmuster enthalten sind, gemäß einer zweiten Prüfperiode, die gegenüber der ersten Prüfperiode unterschiedlich ist, weiterleitet und die weitergeleiteten Daten zu der geprüften Vorrichtung ausgibt; eine Taktsteuerschaltung, die zumindest einen von einem Zeitpunkt, zu welchem die erste Pipeline mit der Weiterleitung vor bestimmter erster Musterdaten beginnt, und einem Zeitpunkt, zu welchem die zweite Pipeline mit der Weiterleitung vorbestimmter zweiter Musterdaten beginnt, auf der Grundlage der ersten Prüfperiode und der zweiten Prüfperiode steuert; und eine Beurteilungsschaltung, die gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Signals beurteilt.
  2. Prüfgerät nach Anspruch 1, bei dem die Taktsteuerschaltung zumindest einen von dem Zeitpunkt, zu welchem die erste Pipeline beginnt, die ersten Musterdaten weiterzuleiten, und dem Zeit punkt, zu welchem die zweite Pipeline beginnt, die zweiten Musterdaten weiterzuleiten, weiterhin auf der Grundlage der Anzahl von Stufen in der ersten Pipeline und der Anzahl von Stufen in der zweien Pipeline steuert.
  3. Prüfgerät nach Anspruch 1, bei dem die Taktsteuerschaltung zumindest einen von dem Zeitpunkt, zu welchem die erste Pipeline mit der Weiterleitung der ersten Musterdaten beginnt, und dem Zeitpunkt, zu welchem die zweite Pipeline mit der Weiterleitung der zweiten Musterdaten beginnt, auf der Grundlage einer Differenz zwischen (i) einem Produkt aus der ersten Prüfperiode und einer Anzahl von Stufen in der ersten Pipeline und (ii) einem Produkt aus der zweiten Prüfperiode und einer Anzahl von Stufen in der zweiten Pipeline derart steuert, dass ein Zeitpunkt, zu welchem die erste Pipeline die ersten Musterdaten ausgibt, im Wesentlichen derselbe wie ein Zeitpunkt, zu welchem die zweite Pipeline die zweiten Musterdaten ausgibt, ist.
  4. Prüfgerät nach Anspruch 3, weiterhin aufweisend eine integrierte Steuerschaltung, die ein Fortsetzungssignal ausgibt, das eine Initiierung der Weiterleitung der ersten Musterdaten und der zweiten Musterdaten anweist, wobei die Taktsteuerschaltung enthält: eine erste individuelle Steuerschaltung, die das Fortsetzungssignal um einen bestimmten Verzögerungsbetrag verzögert und das verzögerte Fortsetzungssignal zu der ersten Pipeline liefert; eine zweite individuelle Steuerschaltung, die das Fortsetzungssignal um einen bestimmten Verzögerungsbetrag verzögert und das verzögerte Fortsetzungssignal zu der zweiten Pipeline lie fert; und eine Verzögerungssteuerschaltung, die zumindest einen von den Verzögerungsbeträgen für die erste individuelle Steuerschaltung und die zweite individuelle Steuerschaltung bestimmt auf der Grundlage der Differenz zwischen (i) dem Produkt aus der ersten Prüfperiode und der Anzahl von Stufen in der ersten Pipeline und (ii) dem Produkt der zweiten Prüfperiode und der Anzahl von Stufen in der zweiten Pipeline.
  5. Prüfgerät nach Anspruch 4, bei dem die erste Pipeline wiederholt ein oder mehrere Stücke von vorbestimmten schleifenbildenden Musterdaten erzeugt und die erzeugten Stücke von schleifenbildenden Musterdaten aufeinanderfolgend weiterleitet, und gemäß dem Fortsetzungssignal die Erzeugung der schleifenbildenden Musterdaten anhält und mit der Weiterleitung der ersten Musterdaten beginnt, und die zweite Pipeline wiederholt ein oder mehrere Stücke von vorbestimmten schleifenbildenden Musterdaten erzeugt und aufeinanderfolgend die erzeugten Stücke von schleifenbildenden Musterdaten weiterleitet, und gemäß dem Fortsetzungssignal die Erzeugung der schleifenbildenden Musterdaten anhält und mit der Weiterleitung der zweiten Musterdaten beginnt.
  6. Prüfgerät nach Anspruch 5, bei dem die erste Pipeline eine erste Mustererzeugungsschaltung enthält, die eine erste Prüffolge enthaltend einen Wiederholungsbefehl zum wiederholten Erzeugen der schleifenbildenden Musterdaten und einen Befehl zum Anhalten der Ausführung des Wiederholungsbefehls und zum Erzeugen der ersten Musterdaten gemäß dem Fortsetzungssignal aus führt, die zweite Pipeline eine zweite Mustererzeugungsschaltung, die eine zweite Prüffolge enthaltend einen Wiederholungsbefehl zum wiederholten Erzeugen der schleifenbildenden Musterdaten und einen Befehl zum Anhalten der Durchführung des Wiederholungsbefehls und zum Erzeugen der zweiten Musterdaten gemäß dem Fortsetzungssignal enthält, ausführt, die integrierte Steuerschaltung das Fortsetzungssignal ausgibt, während die erste Mustererzeugungsschaltung und die zweite Mustererzeugungsschaltung jeweils die Wiederholungsbefehle ausführen; die erste individuelle Steuerschaltung das verzögerte Fortsetzungssignal zu der ersten Mustererzeugungsschaltung liefert; und die zweite individuelle Steuerschaltung das verzögerte Fortsetzungssignal zu der zweiten Mustererzeugungsschaltung liefert.
  7. Prüfgerät nach Anspruch 6, bei dem die integrierte Steuerschaltung das Fortsetzungssignal ausgibt, nachdem eine vorbestimmte Zeit vergangen ist, seitdem sowohl die erste Mustererzeugungsschaltung als auch die zweite Mustererzeugungsschaltung mit der Ausführung der Wiederholungsbefehle beginnen.
  8. Prüfgerät nach Anspruch 6, bei dem die integrierte Steuerschaltung das Fortsetzungssignal unter einer Bedingung, dass die geprüfte Vorrichtung in einem vorgeschriebenen Zustand ist, während sowohl die erste Mustererzeugungsschaltung als auch die zweite Mustererzeugungsschaltung die Wiederholungsbefehle ausführen, ausgibt.
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