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TECHNISCHES GEBIET
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Die
vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Prüfgerät.
Insbesondere bezieht sich die vorliegende Erfindung auf ein Prüfgerät,
das eine geprüfte Vorrichtung wie eine Halbleiterschaltung
mit unterschiedlichen Prüfperioden prüft.
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STAND DER TECHNIK
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Das
Prüfen einer geprüften Vorrichtung wie einer Halbleiterschaltung
mit unterschiedlichen Prüfperioden enthält die
Eingabe eines vorgeschriebenen Prüfmusters in jeden Stift
der geprüften Vorrichtung und die Beurteilung, ob die geprüfte
Vorrichtung korrekt arbeitet. Das Prüfmuster kann ein Mustersignal
sein, das ein vorgeschriebenes Datenmuster, ein Taktsignal mit einer
vorgeschriebenen Periode oder ein Steuer signal, das die geprüfte
Vorrichtung enthält.
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Jedes
Prüfmuster wird durch ein entsprechendes Prüfmodul
des Prüfgeräts erzeugt. Beispielsweise kann jedes
Prüfmodul ein Prüfmuster mit einem vorbestimmten
Muster erzeugen, indem eine voreingestellte Prüffolge mit
einer Prüfperiode entsprechend dem zu erzeugenden Prüfmuster
durchgeführt wird. Genauer gesagt, jedes Prüfmodul
kann ein Prüfmuster mit einem vorgeschriebenen logischen
Muster erzeugen durch Ausgeben mehrerer zugeführter logischer
Muster in einer durch die Prüffolge bezeichneten Reihenfolge.
Wenn jedes Prüfmuster eine unterschiedliche Periode hat,
kann die Prüfperiode, mit der jedes Prüfmodul
arbeitet, ebenfalls unterschiedlich sein (z. B.
Internationale Veröffentlichung
Nr. 2003/062843 und
Japanische
Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 11-14714 ).
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Es
ist erwünscht, dass die Prüfmuster synchron zu
den Stiften der geprüften Vorrichtung eingegeben werden.
Ein Weg, dies zu erzielen, erfolgt durch Synchronisieren der Takte,
mit denen jedes Prüfmodul beginn, das Prüfmuster
zu der geprüften Vorrichtung zu liefern (z. B.
Internationale Veröffentlichung
Nr. 2003/062843 ).
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Die
Prüfmodule erzeugen aufeinanderfolgend die logischen Muster
gemäß der Prüffolge. Die Prüfmodule übertragen
aufeinanderfolgend diese logischen Muster zu der geprüften
Vorrichtung durch Pipelines, die gemäß der Prüfperiode
arbeiten. Mit anderen Worten, durch Steuern des Takts, mit dem das
Signal beginnt, von der letzten Schaltung jeder Pipeline ausgegeben
zu werden, können die Takte, mit denen jedes Prüfmodul
beginnt, das Prüfmuster zu der geprüften Vorrichtung
zu liefern, synchronisiert werden. Genauer ge sagt, ein logisches
Muster entsprechend der Anzahl von Stufen jeder Pipeline wird erzeugt
und in der entsprechenden Pipeline gespeichert, und ein Prüfmuster
beginnt, zu im Wesentlichen derselben Zeit von der letzten Schaltung
jeder Pipeline ausgegeben zu werden. Indem eine derartige Operation
durchgeführt wird, können mehrere Prüfmodule
mit unterschiedlichen Prüfperioden beginnen, jedes Prüfmuster
synchron zuzuführen.
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Die
genannten Patentdokumente enthalten die
internationale Veröffentlichung
Nr. 2003/062843 und die
Japanische
Patentanmeldungs-Veröffentlichung Nr. 11-14714 .
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OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSENDE PROBLEME
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Die
durch jedes Prüfmodul durchgeführte Prüffolge
kann einen Wiederholungsbefehl enthalten, der eine Schleife während
der Prüfung schafft, bis eine vorgeschriebene Bedingung
erfüllt ist. Beispielsweise kann jedes Prüfmodul
wiederholt ein konstantes logisches Muster erzeugen, bis das Prüfgerät,
die geprüfte Vorrichtung und dergleichen die vorgeschriebene
Bedingung während der Prüfung erfüllt. Wenn
die vorgeschriebene Bedingung erfüllt ist, kann jedes Prüfmodul
das logische Muster entsprechend der nachfolgenden Prüffolge
ausgeben.
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Auch
in diesem Fall ist es wünschenswert, die Zeitpunkte zu
synchronisieren, zu denen jedes Prüfmodul das logische
Muster entsprechend der nachfolgenden Prüffolge zu der
geprüften Vorrichtung liefert. Jedoch kann, selbst wenn
der Takt, mit dem jedes Prüf modul die nachfolgende Prüffolge durchführt,
synchronisiert ist, der Takt, mit dem das nachfolgende logische
Muster von der letzten Stufe jeder Pipeline ausgegeben wird, außer
Synchronisation sein aufgrund einer Differenz in der Anzahl von Stufen
in der Pipeline und der Prüfperiode jedes Prüfmoduls.
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Während
der Wiederholungsbefehl durchgeführt wird, wird das logische
Muster, das zum Schaffen der Schleife verwendet wird, in der Pipeline
gespeichert. Daher kann das logische Muster entsprechend der nachfolgenden
Prüffolge nach dem Verlassen der Schleife nicht vorher
in der Pipeline gespeichert werden, so dass die logischen Muster
nach dem Verlassen der Schleife nicht synchron ausgegeben werden
können, selbst wenn der Zeitpunkt der Ausgabe aus der letzten
Stufe in jeder Pipeline so gesteuert wird, dass die Ausgabe des
Prüfmusters zur selben Zeit erfolgt, wie vorstehend beschrieben
ist.
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Es
ist daher eine Aufgabe eines Aspekts der vorliegenden Erfindung,
ein Prüfgerät vorzusehen, das in der Lage ist,
die vorstehenden, den Stand der Technik begleitenden Nachteile zu überwinden.
Die vorgenannte und andere Aufgaben können durch in den
unabhängigen Ansprüchen beschriebene Kombinationen
gelöst werden. Die abhängigen Ansprüche
definieren weitere vorteilhafte und beispielhafte Kombinationen
der vorliegenden Erfindung.
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MITTEL ZUM LÖSEN
DER PROBLEME
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Gemäß einem
ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Prüfgerät
vorgesehen, das eine geprüfte Vorrichtung prüft,
enthaltend eine erste Pipeline, die aufeinanderfolgend Stücke
von Musterdaten, die in ei nem ersten Prüfmuster enthalten
sind, gemäß einer ersten Prüfperiode
weiterleitet, und die weitergeleiteten Daten zu der geprüften
Vorrichtung ausgibt; eine zweite Pipeline, die aufeinanderfolgend Stücke
von Musterdaten, die in einem zweiten Prüfmuster enthalten
sind, gemäß einer zweiten Prüfperiode,
die unterschiedlich gegenüber der ersten Prüfperiode
ist, weiterleitet und die weitergeleiteten Daten zu der geprüften
Vorrichtung ausgibt; eine Taktsteuerschaltung, die zumindest einen
von einem Takt, mit dem die erste Pipeline beginnt, vorbestimmte
erste Musterdaten weiterzuleiten, und einem Takt, mit dem die zweite
Pipeline beginnt, vorbestimmte zweite Musterdaten weiterzuleiten,
steuert auf der Grundlage der ersten Prüfperiode und der
zweiten Prüfperiode; und eine Beurteilungsschaltung, die gut/schlecht
der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage eines durch
die geprüfte Vorrichtung ausgegebenen Signals beurteilt.
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Die
Zusammenfassung beschreibt nicht notwendigerweise alle erforderlichen
Merkmale der Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung.
Die vorliegende Erfindung kann auch eine Unterkombination der vorbeschriebenen
Merkmale sein. Die vorstehenden und andere Merkmale und Vorteile
der vorliegenden Erfindung werden augenscheinlicher anhand der folgenden
Beschreibung der Ausführungsbeispiele, die in Verbindung
mit den begleitenden Zeichnungen gegeben wird.
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KURZBESCHREIBUGN DER ZEICHNUNGEN
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1 zeigt
eine beispielhafte Konfiguration eines Prüfgeräts 200 gemäß einem
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
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2 zeigt
eine beispielhafte Konfiguration von zwei Prüfmodulen 100.
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3 zeigt
ein Beispiel für die von jedem Prüfmodul 100 durchgeführte
Prüffolge.
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4 ist
ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Operation der Taktsteuerschaltung 160 beschreibt.
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BESTE ART ZUR AUSFÜHRUNG
DER ERFINDUNG
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Nachfolgend
werden einige Ausführungsbeispiele der vorliegenden Erfindung
beschrieben. Die Ausführungsbeispiele beschränken
die Erfindung gemäß den Ansprüchen nicht,
und alle Kombinationen der in den Ausführungsbeispielen
beschriebenen Merkmale sind nicht notwendigerweise wesentlich für durch
Aspekte der Erfindung vorgesehene Mittel.
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1 zeigt
eine beispielhafte Konfiguration eines Prüfgeräts 200 gemäß einem
Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung. Das Prüfgerät 200 prüft
geprüfte Vorrichtungen 300 wie Halbleiterschaltungen
und ist mit einer Systemsteuervorrichtung 110, mehreren
Stationssteuervorrichtungen 130, einem Schalterkreis 140 und
mehreren Prüfmodulen 100 versehen.
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Die
Systemsteuervorrichtung 110 empfängt ein Prüfsteuerprogramm,
Prüfprogrammdaten, Prüfmusterdaten und dergleichen,
die von dem Prüfgerät 200 verwendet werden,
um die geprüften Vorrichtungen 300 zu prüfen,
von außerhalb über ein Netzwerk, und speichert
die empfangenen Programme und Daten. Die mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 sind über
ein Kommunikationsnetzwerk mit der Systemsteuervorrichtung 110 verbunden.
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Jede
der Stationssteuervorrichtungen 130a–c steuert
die Prüfung von einer der geprüften Vorrichtung 300.
Beispielsweise können die mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 so
angeordnet sein, dass sie eins zu eins den mehreren geprüften Vorrichtungen 300 entsprechen,
und jede Stationssteuervorrichtung 130 kann mit der entsprechenden geprüften
Vorrichtung 300 verbundene Prüfmodule 100 steuern.
Die Systemsteuervorrichtung 110 und die Stationssteuervorrichtung 130 sind
ein Beispiel für eine integrierte Steuerschaltung.
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In 1 steuert
die Stationssteuervorrichtung 130a die Prüfung
der geprüften Vorrichtung 300a, und die Stationssteuervorrichtung 130b steuert die
Prüfung der geprüften Vorrichtung 300b.
Weiterhin können zusätzliche Stationssteuervorrichtungen 130 die
Prüfung zusätzlicher geprüfter Vorrichtungen 300 in
derselben Weise steuern.
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Genauer
gesagt, jede Stationssteuervorrichtung 130 erwirbt ein
Prüfsteuerprogramm von der Systemsteuervorrichtung 110 und
führt das erworbene Programm aus. Dann erwirbt auf der
Grundlage des Prüfsteuerprogramms die Stationssteuervorrichtung 130 von
der Systemsteuervorrichtung 110 Prüfprogrammdaten,
z. B. eine nachfolgend beschriebene Prüffolge, und Prüfmusterdaten,
z. B. nachfolgend beschriebene Musterdaten, zum Prüfen
der entsprechenden geprüften Vorrichtung 300.
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Jede
Stationssteuervorrichtung 130 speichert die Prüfprogrammdaten
und die Prüfmusterdaten in einem oder mehreren Modulen
wie den Prüfmodulen 100, die zum Prüfen
der entsprechenden geprüften Vorrichtung 300 verwendet
werden, über den Schalterkreis 140. Als Nächstes
weist die Stationssteuervorrichtung 130 das eine oder mehrere Prüfmodule 100 über
den Schalterkreis 140 an, mit der Prüfung zu beginnen,
die auf den Prüfprogrammdaten und den Prüfmusterdaten
basiert. Die Stationssteuervorrichtung 130 empfängt
eine Unterbrechung oder dergleichen, die beispielsweise anzeigt,
dass die Prüfung von dem Prüfmodul 100 beendet
ist, und führt eine nachfolgende Prüfung des Prüfmoduls 100 auf
der Grundlage der Ergebnisse der Prüfung durch.
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Der
Schalterkreis 140 verbindet jede der mehreren Stationssteuervorrichtungen 130 mit
dem einen oder den mehreren Prüfmodulen 100, die
hierdurch gesteuert werden, und überträgt Signale
zwischen diesen. Eine vorbestimmte Stationssteuervorrichtung 130 kann
den Schalterkreis 140 einstellen, um jede Stationssteuervorrichtung 130 mit
dem einen oder den mehreren Prüfmodulen 100 zu
verbinden, die zum Prüfen der entsprechenden geprüften Vorrichtung 300 zu
verwenden sind, auf der Grundlage eines Befehls von einem Prüfsteuerprogramm,
einem Benutzer des Prüfgeräts 200 und
dergleichen.
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Beispielsweise
ist in 1 die Stationssteuervorrichtung 130a eingestellt,
um mit mehreren Prüfmodulen 100a verbunden zu
werden und verwendet diese Prüfmodule 100a, um
die geprüfte Vorrichtung 300a zu prüfen.
Hier sind die Konfiguration und die Operation, mit der andere Stationssteuervorrichtungen 10 die
entsprechenden Prüfmodule 100 verwenden, um andere
geprüfte Vorrichtung 300 zu prüfen, veranschaulicht
durch die Konfiguration und die Operation, mit der die Stationssteuervorrichtung 130a die
geprüfte Vorrichtung 300a prüft. Es folgt eine
Beschreibung der Konfiguration und der Operation, mit der Stations steuervorrichtung 130a die
geprüfte Vorrichtung 300a prüft.
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Das
Prüfmodul 100a erzeugt ein Taktsignal, das zum
Erzeugen des Prüfmusters zum Prüfen der geprüften
Vorrichtung 300a verwendet wird, auf der Grundlage eines
Befehls von der Stationssteuervorrichtung 130a. Ein bestimmtes
Prüfmodul 100a kann Prüfergebnisse von
anderen Prüfmodulen 100a empfangen und bewirken,
dass die mehreren Prüfmodule 100a eine Folge gemäß dem
durch das Prüfergebnis angezeigten gut/schlecht durchführen.
Beispielsweise kann ein bestimmtes Prüfmodul 100 bewirken, dass
eines oder mehrere der anderen Prüfmodule 100 eine
vorgeschriebene Operation wiederholen, bis das Messergebnis des
bestimmten Prüfmoduls 100 eine vorgeschriebene
Bedingung erfüllt. Wenn das Prüfergebnis die vorgeschriebene
Bedingung erfüllt, kann das bestimmte Prüfmodul 100 die
nächste Operation durchführen.
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Die
mehreren Prüfmodule 100a sind jeweils mit einem
von mehreren Anschlüssen der geprüften Vorrichtung 300a verbunden,
und jedes Prüfmodul 100a prüft die geprüfte
Vorrichtung 300a auf der Grundlage der Prüffolge
und der Musterdaten, die in der Stationssteuervorrichtung 130a gespeichert
sind. Wenn die geprüfte Vorrichtung 300a geprüft
wird, erzeugt jedes Prüfmodul 100a ein Prüfmuster
auf der Grundlage der Prüffolge und der Musterdaten und
liefert das erzeugte Prüfmuster zu dem entsprechenden Anschluss
der geprüften Vorrichtung 300a.
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Jedes
Prüfmodul 100a kann als eine Beurteilungsschaltung
arbeiten, die ein Ausgangssignal enthaltend ein Ergebnis, das anzeigt,
wie die geprüfte Vorrichtung 300a als Antwort
auf das Prüfmuster arbeitet, er wirbt, den Wert des erworbenen
Signals mit einem erwarteten Wert vergleicht und gut/schlecht der
geprüften Vorrichtung 300 auf der Grundlage des Vergleichsergebnisses
beurteilt.
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Wenn
die Verarbeitung der Prüfprogrammdaten beendet ist, wenn
eine Unregelmäßigkeit während der Verarbeitung
der Prüfprogrammdaten erfolgt, wenn ein nachfolgend beschriebener
Wiederholungsbefehl erfasst wird, oder dergleichen, können die
Prüfmodule 100a die entsprechende Stationssteuervorrichtung 130a unterbrechen.
Die Mitteilung dieser Unterbrechung wird über den Schalterkreis 140 zu
der Stationssteuervorrichtung 130a geliefert, und ein Unterbrechungsprozess
wird durch einen in der Stationssteuervorrichtung 130a enthaltenen
Prozessor durchgeführt.
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Das
vorbeschriebene Prüfgerät 200 kann durch
eine offene Architektur realisiert werden und kann jeden Typ von
Modul verwenden, der die Spezifikationen der offenen Architektur
erfüllt. In dem Prüfgerät 200 können
die Module wie die Prüfmodule 100 verwendet werden,
indem sie in jeden Verbindungsschlitz des Schalterkreises 140 eingesetzt
werden.
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Ein
Benutzer des Prüfgeräts 200 kann den Verbindungszustand
des Schalterkreises 140 über die Stationssteuervorrichtung 130a beispielsweise
so ändern, dass mehrere Module, die zum Prüfen
der geprüften Vorrichtung 300 verwendet werden,
mit der Stationssteuervorrichtung 130 verbunden werden können,
die die Prüfung der geprüften Vorrichtung 300 steuert.
Hierdurch kann der Benutzer des Prüfgeräts 200 für
die Anzahl der Anschlüsse, die Anordnung der Anschlüsse,
den Typ der Anschlüsse, den Typ der Prüfung und
dergleichen für jede der mehreren geprüften Vorrichtungen 300 geeig nete
Module auswählen. Der Benutzer kann dann die ausgewählten
Module auf dem Prüfgerät 200 implementieren.
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Das
Prüfgerät und die Prüfmodule 100 können
eine Prüfschaltung sein, die zusammen mit der geprüften
Schaltung, die das Prüfziel ist, in derselben elektronischen
Vorrichtung angeordnet ist. Die Prüfschaltung kann eine
BIST-Schaltung einer elektronischen Vorrichtung sein, und eine Prüfung
der elektronischen Vorrichtung kann durch Prüfen der geprüften Schaltung
durchgeführt werden. Hierdurch kann die Prüfschaltung
prüfen, ob die geprüfte Schaltung die normale
Operation, die von der elektronischen Vorrichtung erwünscht
ist, durchführen kann.
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Das
Prüfgerät 200 und die Prüfmodule 100 können
stattdessen eine Prüfschaltung sein, die zusammen mit der
geprüften Schaltung, welche das Prüfziel ist,
in derselben Baugruppe oder in demselben Gerät angeordnet
ist. Diese Prüfschaltung kann auch prüfen, ob
die geprüfte Schaltung die gewünschte normale
Operation durchführen kann, wie vorstehend beschrieben
ist.
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2 zeigt
eine beispielhafte Konfiguration von zwei Prüfmodulen 100.
Das vorliegende Ausführungsbeispiel zeigt ein erstes Prüfmodule 100-1 und ein
zweites Prüfmodul 100-2. 2 zeigt
eine Konfiguration des ersten Prüfmoduls 100-1,
und das zweite Prüfmodul 100-2 kann eine identische
Konfiguration haben.
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Das
erste Prüfmodul 100-1 enthält eine erste Pipeline 150,
eine erste Taktsteuerschaltung 160 und mehrere Flipflops 134, 136, 138.
Das zweite Prüfmodul 100-2 kann eine zweite Pipeline 150,
eine zweite Taktsteuerschaltung 160 und die mehreren Flipflops 134, 136, 138 in
derselben Weise enthalten.
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Die
erste Pipeline 150 leitet aufeinanderfolgend jedes Stück
von Musterdaten, das in der einem ersten Prüfmuster enthalten
ist, gemäß einer ersten Prüfperiode weiter
und liefert die sich ergehenden Daten zu der geprüften
Vorrichtung 300. Die erste Pipeline 150 enthält
mehrere Schaltungen 132, die kaskadenförmig verbunden
sind und die gemäß der ersten Prüfperiode
arbeiten.
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Die
erste Pipeline 150 kann Schaltungen 132 enthalten,
die beispielsweise als Flipflops dienen. In einem derartigen Fall
erwirbt jede Schaltung 132 ein logisches Muster, z. B.
Musterdaten, die von der Schaltung 132 in der vorhergehenden
Stufe ausgegeben wurden, und gibt das erworbene logische Muster
gemäß der ersten Prüfperiode aus.
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Die
erste Pipeline 150 kann eine Schaltung 132 enthalten,
die als eine erste Mustererzeugungsschaltung arbeitet. Die erste
Mustererzeugungsschaltung erzeugt aufeinanderfolgend logische Muster
mit jeder Periode des Prüfmusters, indem eine Prüffolge
durchgeführt wird, die vorher von der Stationssteuervorrichtung 130 geliefert
wurde, beispielsweise mit der ersten Prüfperiode. Die erste
Mustererzeugungsschaltung gibt die erzeugten logischen Muster zu
der Schaltung 132 in der nachfolgenden Stufe aus. Die Schaltung 132 in
der ersten Stufe der ersten Pipeline 150 kann als die erste
Mustererzeugungsschaltung arbeiten. Mehrere Schaltungen 132, die
die Schaltung 132 in der ersten Stufe enthalten, können
als die erste Mustererzeugungsschaltung arbeiten.
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Die
Schaltung 132 in der ersten Stufe kann beispiels weise ein
Sequenzer sein, der aufeinanderfolgend die Prüffolge durchführt,
um aufeinanderfolgend ein Steuersignal und eine Adresse der Schaltung 132 in
der nachfolgenden Stufe erzeugt. Die Schaltung 132 in der
vorgenannten nachfolgenden Stufe kann beispielsweise ein Musterspeicher
sein, der ein logisches Muster an jeder Adresse speichert und aufeinanderfolgend
das durch den Sequenzer bezeichnete logische Muster zu einer Schaltung 132 in
einer nachfolgenden Stufe ausgibt. Der Sequenzer kann eine Konfiguration
haben, die mehrere Stufen von Schaltungen 132 verwendet,
um in der Lage zu sein, komplexe Sequenzersteuerungen durchzuführen,
wie einen Zähler einen Addierer, eine Datenauswahlvorrichtung,
ein Schieberegister, einen Multiplizierer oder dergleichen.
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2 zeigt
die mehreren Schaltungen 132, die kaskadenförmig
in einer einzelnen Linie verbunden sind, aber bei anderen Beispielen
kann die Anzahl von Schaltungen 132 verzweigt sein. Beispielsweise
kann das Prüfmodul 100 weiterhin eine Pipeline
enthalten, die ein verzweigtes Ausgangssignal von einer vorgeschriebenen
Anzahl von Schaltungen 132 aus den in 2 gezeigten
Schaltungen 132 empfängt. Die Pipelines in den
Stufen nach dem Verzweigungspunkt können jeweils das Prüfmuster
mit derselben ersten Prüfperiode erzeugen. Beispielsweise
können die Pipelines in den Stufen nach dem Verzweigungspunkt
jeweils einen Musterspeicher enthalten und das Prüfmuster
entsprechend den aufeinanderfolgend von der Schaltung 132 in
der ersten Stufe erzeugten Adressen erzeugen. In diesem Fall ist
es wünschenswert, dass die Anzahl von Stufen in jeder Pipeline
in einer Stufe nach dem Verzweigungspunkt dieselbe ist, so dass
das erste Prüfmodul 100-1 die mehreren Prüfmuster
synchron ausgeben kann.
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Die
zweite Pipeline 150 in dem zweiten Prüfmodul 100-2 leitet
aufeinanderfolgend jedes Stück von Musterdaten, die in
einem zweiten Prüfmuster enthalten sind, einer zweiten
Prüfperiode, die unterschiedlich gegenüber der
ersten Prüfperiode ist, weiter und liefert die sich ergebenden
Daten zu der geprüften Vorrichtung 300. Die zweite
Pipeline 150 kann dieselbe Konfiguration wie die vorbeschriebene erste
Pipeline 150 haben. Jedoch ist festzustellen, dass die
Anzahl von Stufen von Schaltungen 132, die als Flipflops
arbeiten, beispielsweise zwischen der ersten Pipeline 150 und
der zweiten Pipeline 150 unterschiedlich sein kann.
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Wenn
die Prüfung der geprüften Vorrichtung 300 beginnt,
arbeiten die erste Mustererzeugungsschaltung und die zweite Mustererzeugungsschaltung
vorher während einer Zeitperiode gleich einer Anzahl von
Zyklen entsprechend der Anzahl von Stufen aus Schaltungen 132 in
nachfolgenden Stufen, um aufeinanderfolgend die logischen Muster
zu erzeugen. Die erste Mustererzeugungsschaltung und die zweite
Mustererzeugungsschaltung liefern die Prüfmuster zu den
Schaltungen 132 in nachfolgenden Stufen. Der ersten Mustererzeugungsschaltung und
der zweiten Mustererzeugungsschaltung können Signale von
der Stationssteuervorrichtung 130, die Befehle zum Beginnen
der Prüfung enthalten, zugeführt werden.
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Nachdem
logische Muster in jedem Prüfmodul 100 für
jede Stufe der Pipeline 150 erzeugt wurden, liefert die
Stationssteuervorrichtung 130 ein Startsignal START zu
der Schaltung 132 in der letzten Stufe jeder Pipeline 150.
Die Schaltung 132 in der letzten Stufe beginnt, als Antwort
auf das Startsignal das Prüfmus ter auszugeben. Zu dieser
Zeit kann der ersten Mustererzeugungsschaltung und der zweiten Mustererzeugungsschaltung
auch das Starsignal zugeführt werden. Die erste Mustererzeugungsschaltung
und die zweite Mustererzeugungsschaltung können die Erzeugung
der logischen Muster als Antwort auf das Startsignal wieder starten.
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Die
Stationssteuervorrichtung 130 kann das Startsignal gleichzeitig
zu den Flipflops 134 jedes Prüfmoduls 100 liefern.
Die Flipflops 134 in jedem Prüfmodul 100 erwerben
das Startsignal gemäß einem gemeinsamen Bezugstakt
und liefern das Startsignal zu der Schaltung 132 in der
letzten Stufe der Pipeline 150. Die Anzahl von Stufen der
Flipflops 134 in jedem Prüfmodul 100 kann
dieselbe sein. Durch Verwendung einer derartigen Konfiguration kann
das Startsignal gleichzeitig zu der Schaltung 132 in der letzten
Stufe in jeder Pipeline 150 geliefert werden, so dass die
mehreren Prüfmuster synchron ausgegeben werden können.
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Das
Prüfgerät 200 kann einen Prüfratentakt erzeugen,
der zwei Prüfperioden enthält, die durch Frequenzteilen
jedes erhaltenen Bezugstakts durch unterschiedliche Frequenzteilungsverhältnisse
erhalten wurden. Beispielsweise kann das Prüfgerät 200 einen
ersten Prüfratentakt von 100 MHz, die durch Frequenzteilen
eines 200 MHz-Bezugstakts durch zwei erhalten wurden, und einen
zweiten Prüfratentakt von 66,6 MHz, die durch Teilen des
200 MHz-Bezugstakts durch die erhalten wurden.
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Die
Flipflops 138 jedes Prüfmoduls 100 erwerben
das von der Pipeline 150 ausgegebene Prüfmuster
gemäß dem gemeinsamen Bezugstakt und geben das
erworbene Prüf muster zu der geprüften Vorrichtung 300 aus.
Die Anzahl von Stufen der Flipflops 138 in jedem Prüfmodul 100 kann
dieselbe sein. Durch die vorbeschriebene Operation kann der Ausgangstakt
des Prüfmusters, wenn die Prüfung der geprüften
Vorrichtung 300 beginnt, synchronisiert werden.
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Es
folgt eine Beschreibung einer Operation der Taktsteuerschaltung 160,
nachdem die Prüfung begonnen hat, unter Verwendung der 3 und 4.
Die Taktsteuerschaltung 160 enthält das Flipflop 136,
eine individuelle Steuerschaltung 170 und eine Verzögerungssteuerschaltung 120,
wie in 2 gezeigt ist.
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3 zeigt
ein Beispiel für die von jedem Prüfmodul 100 durchgeführte
Prüffolge. Wie vorstehend beschrieben ist, führt
das erste Prüfmodul 100-1 die erste Prüffolge
durch, um das Prüfmuster zu erzeugen. Das zweite Prüfmodul 100-2 führt
die zweite Prüffolge durch, um das Prüfmuster
zu erzeugen. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist die
erste Prüfperiode im Wesentlichen die Hälfte der zweiten
Prüfperiode.
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Ein
in 3 gezeigter NOP-Befehl ist ein Befehl zum Ausgeben
der entsprechenden Musterdaten und zum Bewegen zu dem nächsten
Befehl hin. Ein SNDC-Befehl und ein JECH-Befehl sind Wiederholungsbefehle
zum wiederholten Ausgeben von schleifenbildenden Musterdaten als
Antwort auf den NOP-Befehl zwischen dem SNDC und dem JECH, bis ein
Fortsetzungssignal empfangen wird. Wenn beispielsweise die Mustererzeugungsschaltung
den SNDC-Befehl erfasst, teilt die Mustererzeugungsschaltung der
Stationssteuervorrichtung 130 mit, dass der SNDC erfasst
wurde. Nach Empfang der Mitteilung von dem ersten Prüfmodul 100-1 oder
dem zweiten Prüfmodul 100-2 gibt, wenn eine vorgeschriebene
Bedingung er füllt ist, die Stationssteuervorrichtung 130 ein
Fortsetzungssignal aus, das den Beginn der Weiterleitung der ersten
Musterdaten PD1 und der zweiten Musterdaten PD2 zu den Mustererzeugungsschaltungen
des ersten Prüfmoduls 100-1 bzw. des zweiten Prüfmoduls 100-2 anweist.
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Wenn
eine der Mustererzeugungsschaltungen den JECH-Befehl nach Empfang
des Fortsetzungssignals durchführt, tritt die Mustererzeugungsschaltung
aus der Schleife heraus und gibt das nächste Datenmuster
nach dem JECH-Befehl aus. Wenn beispielsweise die erste Pipeline 150-1 den JECH
der Zeile 18 nach Empfang des Fortsetzungssignals durchführt,
kehrt die erste Pipeline 150-1 nicht zu dem SNDC-Befehl
zurück, sondern führt vielmehr als nächstes
den NOP-Befehl durch, der die ersten Musterdaten PD1 in Zeile 19 erzeugt,
wodurch die ersten Musterdaten aufeinanderfolgend weitergeleitet
werden. Wenn die zweite Pipeline 150-2 den JECH-Befehl
in Zeile 9 nach Empfang des Fortsetzungssignals durchführt,
führt die zweite Pipeline 150-2 als Nächstes
den NOP-Befehl durch, der die zweiten Musterdaten PD2 in Zeile 10 erzeugt,
wodurch die zweiten Musterdaten aufeinanderfolgend weitergeleitet
werden.
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Da
die erste Prüfperiode und die zweite Prüfperiode
unterschiedlich sind, ist der Takt des Ausgangssignals der ersten
Pipeline 150-1 und des Ausgangssignals der zweiten Pipeline 150-2 nicht
synchronisiert, selbst wenn das Fortsetzungssignal zu der ersten
Pipeline 150-1 und der zweiten Pipeline 150-2 zur
selben Zeit zugeführt wird und die Weiterleitung der ersten
Musterdaten und der zweiten Musterdaten gleichzeitig beginnt. Daher
steuern die erste und die zweite Taktsteuerschaltung 160 auf
der Grundlage der ersten Prüfperiode und der zweiten Prüfperiode
zumindest einen Takt, mit welchem die Weiterleitung der ersten Musterdaten
beginnt, mit anderen Worten, einen Takt, mit dem das Fortsetzungssignal
zu der ersten Pipeline 150-1 geliefert wird, und einen
Takt, mit dem die Weiterleitung der zweiten Musterdaten beginnt,
mit anderen Worten einen Takt, mit dem das Fortsetzungssignal zu
der zweiten Pipeline 150-2 geliefert wird.
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Weiterhin
ist es wünschenswert, da es Fälle gibt, in denen
die Anzahl von Stufen zwischen der ersten Pipeline 150-1 und
der zweiten Pipeline 150-2 unterschiedlich ist, dass die
erste und die zweite Taktsteuerschaltung 160 den vorstehend
beschriebenen Takt weiterhin auf der Grundlage der jeweiligen Anzahl
von Stufen in der ersten Pipeline 150-1 und der zweiten
Pipeline 150-2 steuern. Genauer gesagt, es ist wünschenswert,
dass die erste und die zweite Taktsteuerschaltung 160 den
vorstehend beschriebenen Takt auf der Grundlage einer Differenz
RATE1 × N1 – RATE2 × N2 zwischen einem
Produkt RATE1 × N1 der ersten Prüfperiode RATE1
und der Anzahl N1 von Stufen in der ersten Pipeline 150-1 und
einem Produkt RATE2 × N2 aus der zweiten Prüfperiode RATE2
und der Anzahl N2 von Stufen in der zweiten Pipeline 150-2 steuern.
Hierdurch können der Takt, mit dem die erste Pipeline 150-1 die
ersten Musterdaten ausgibt und der Takt, mit dem die zweite Pipeline 150-2 die
zweiten Musterdaten ausgibt, so gesteuert werden, dass sie im Wesentlichen
dieselben sind.
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Die
individuelle Steuerschaltung 170 jeder Taktsteuerschaltung 160 empfängt
das Fortsetzungssignal über dieselbe Anzahl von Stufen
aus Flipflops 136. Das Flipflop 136 jedes Prüfmoduls 100 arbeitet
gemäß ei nem gemeinsamen Bezugstakt.
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Jede
individuelle Steuerschaltung 170 kann das Fortsetzungssignal
um einen gesetzten Verzögerungsbetrag verzögern
und das verzögerte Signal zu der entsprechenden Pipeline 150 liefern.
Die Verzögerungssteuerschaltung 120 setzt den
Verzögerungsbetrag für zumindest eine der individuellen Steuerschaltungen 170 auf
der Grundlage der Differenz zwischen den beiden vorgenannten Produkten und
kann hierdurch den Zeitpunkt einstellen, zu dem die Weiterleitung
der ersten Musterdaten beginnt, sowie den Zeitpunkt, zu dem die
Weiterleitung der zweiten Musterdaten beginnt. Eine einzelne Verzögerungssteuerschaltung 120 kann
gemeinsam für mehrere Prüfmodule 100 vorgesehen
sein.
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Beispielsweise
kann die Verzögerungssteuerschaltung 120 eine
Größenbeziehung zwischen dem ersten Produkt RATE1 × N1
und dem zweiten Produkt RAT2 × N2 vergleichen und dann
das kleinere Produkt von dem größeren Produkt
subtrahieren. Der durch diese Subtraktion erhaltene Wert kann als der
Verzögerungsbetrag der individuellen Steuerschaltung 170 entsprechend
dem kleineren Produkt gesetzt werden. In diesem Fall wird der Verzögerungsbetrag
der individuellen Steuerschaltung 170 entsprechend dem
größeren Produkt im Wesentlichen auf null gesetzt.
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In
einem Fall, in welchem jede individuelle Steuerschaltung 170 einen
Verzögerungsbetrag gleich einem ganzzahligen Mehrfachen
der entsprechenden Prüfperiode erzeugen kann, teilt die
Verzögerungssteuerschaltung 120 den durch die
vorgenannte Subtraktion erhaltenen Wert durch die Prüfperiode
entsprechend dem kleineren Produkt. Die Verzögerungssteuerschaltung 120 kann
dann in der entsprechenden individuellen Steuerschaltung 170 einen
Verzögerungsbetrag erzeugen, der gleich der Prüfperiode
multipliziert mit einer ganzen Zahl entsprechend dem Quotienten,
der durch die vorbeschriebene Teilung erhalten wurde, ist. In derselben Weise
kann in einem Fall, in welchem die individuelle Steuerschaltung 170 einen
Verzögerungsbetrag gleich einem Mehrfachen des Bezugstakts
erzeugen kann, der Verzögerungsbetrag so gesteuert werden, dass
er einem Wert entspricht, der durch Teilen des Wertes, der durch
die vorgenannte Subtraktion erhalten wurde, durch die Periode des
Bezugstakts erhalten wurde.
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Der
Verzögerungssteuerschaltung 120 kann vorher die
Anzahl von Stufen in jeder Pipeline 150 mitgeteilt werden.
Der Verzögerungssteuerschaltung 120 kann auch
vorher jede Prüfperiode mitgeteilt werden. Weiterhin kann
die Verzögerungssteuerschaltung 120 vorher eine
Tabelle speichern, in der ein ID jedes Prüfmoduls 100 mit
der Anzahl von Stufen in dem Pipelines des entsprechenden Prüfmoduls 1 assoziiert
ist. Die Verzögerungssteuerschaltung 120 kann
den ID jedes Prüfmoduls 100 erwerben und den erworbenen
ID mit der Tabelle in Bezug setzen, um die Anzahl von Stufen in
jeder Pipeline 150 zu erhalten. Die Anzahl von Stufen in
jeder Pipeline 150, die IDs und die Tabelle können
vorher in der Verzögerungssteuerschaltung 120 durch
einen Benutzer gespeichert werden. Die Verzögerungssteuerschaltung 120 kann
durch die Stationssteuervorrichtung 130 oder dergleichen
von jeder Prüfperiode benachrichtigt werden.
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Es
ist wünschenswert, dass die Zeit einer einzelnen Schleife
von dem SNDC-Befehl zu dem JECH-Befehl, mit anderen Worten, ein
Produkt aus der Prüfperiode und der Anzahl von in einer
Schleife enthaltenen Befeh len, so eingestellt ist, dass sie für jede
Prüffolge identisch ist. Da die erste Prüfperiode im
Wesentlichen die Hälfte der zweiten Prüfperiode bei
dem vorliegenden Ausführungsbeispiel ist, wird die Anzahl
von Befehlen in einer Wiederholungsbefehlsschleife der ersten Prüffolge
so gesetzt, dass sie ein Mehrfaches der Anzahl von Befehlen in einer Schleife
der ersten Prüffolge ist.
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4 ist
ein Zeitdiagramm, das eine beispielhafte Operation der Taktsteuerschaltung 160 beschreibt.
Die erste Prüfperiode RAT1 nach dem vorliegenden Ausführungsbeispiel
ist die Hälfte der zweiten Prüfperiode RATE2 =
2 × RATE1, wie vorstehend beschrieben ist. Für
eine einfachere Beschreibung werden die erste Pipeline 150-1 und
die zweite Pipeline 150-2 beide als drei Stufen aufweisend
beschrieben.
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Daher
ist das erste Produkt gleich RATE1 × 3 und das zweite Produkt
ist RATE1 × 6.
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Die
erste individuelle Steuerschaltung 170 in dem ersten Prüfmodul 100-1 liefert
ein Fortsetzungssignal CONT1 zu der ersten Pipeline 150-1,
das um drei Zyklen der ersten Prüfperiode RATE1 verzögert ist.
Die zweite individuelle Steuerschaltung 170 liefert ein
Fortsetzungssignal CONT2 zu der zweiten Pipeline 150-2,
das nicht verzögert ist.
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Die
zweite Pipeline 150-2 hält die Erzeugung der zum
Bilden der Schleife verwendeten Musterdaten an und beginnt mit der
Weiterleitung der zweiten Musterdaten PD2 gemäß dem
Fortsetzungssignal CONT2. Die erste Pipeline 150-1 hält
die Erzeugung der zum Bilden der Schleife verwendeten Musterdaten
an und beginnt mit der Weiterleitung der ersten Musterdaten PD1
gemäß dem verzögerten Fortsetzungssignal
CONT1.
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Durch
Verzögern des zumindest zu einer der Pipelines 150 gelieferten
Fortsetzungssignals können die ersten Musterdaten und die
zweiten Musterdaten gleichzeitig von den Pipelines 150 ausgegeben werden.
Daher können die vorgeschriebenen Musterdaten synchron
zu der geprüften Vorrichtung 300 geliefert werden,
selbst in einem Fall, in welchem die Prüffolge einen Wiederholungsbefehl
zum wiederholten Erzeugen von schleifenbildenden Musterdaten und
einen Befehl zum Anhalten der Durchführung des Wiederholungsbefehls
und Erzeugen der vorgeschriebenen Musterdaten gemäß dem
Fortsetzungssignal enthält.
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Die
Stationssteuervorrichtung 130 gibt das Fortsetzungssignal
aus, während die erste Mustererzeugungsschaltung und die
zweite Mustererzeugungsschaltung jeweils den Wiederholungsbefehl ausführen.
Beispielsweise kann die Stationssteuervorrichtung 130 ermöglichen,
dass eine vorgeschriebene Zeit gemäß dem Unterbrechungsprozess
vergeht, nachdem eine Mitteilung von der ersten Mustererzeugungsschaltung
und der zweiten Mustererzeugungsschaltung, dass der Wiederholungsbefehl durchgeführt
wird, erhalten wurde. Nachdem die vorbestimmte Zeit vergangen ist,
kann die Stationssteuervorrichtung 130 das Fortsetzungssignal
ausgeben.
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Die
Stationssteuervorrichtung 130 kann stattdessen das Fortsetzungssignal
unter einer Bedingung ausgeben, dass die geprüfte Vorrichtung 300 in
einem vorgeschriebenen Zustand ist, während die erste Mustererzeugungsschaltung
und die zweite Mustererzeugungsschaltung jeweils den Wiederholungsbefehl
ausführen. Beispielsweise kann die Stationssteuervorrichtung 130 den
Zustand der geprüften Vorrichtung 300 durch Verwendung
eines Prüfmoduls 100 erfassen, das von dem Prüfmodul 100 verschieden
ist, das das Prüfmuster in die geprüfte Vorrichtung
eingibt, um das Ausgangssignal, den Energieverbrauch oder dergleichen
der geprüften Vorrichtung 300 zu messen. Als ein
anderes Beispiel kann die Stationssteuervorrichtung 130 das
Fortsetzungssignal unter einer Bedingung ausgeben, dass ein verschiedenes
Prüfmodul 100 in einem vorgeschriebenen Zustand
ist, während die erste Mustererzeugungsschaltung und die
zweite Mustererzeugungsschaltung jeweils den Wiederholungsbefehl ausführen.
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Während
das Ausführungsbeispiel der vorliegenden Erfindung beschrieben
wurde, ist der technische Bereich der Erfindung nicht auf das vorbeschriebene
Ausführungsbeispiel beschränkt. Es ist für
den Fachmann augenscheinlich, dass verschiedene Änderungen
und Verbesserungen zu dem vorbeschriebenen Ausführungsbeispiel
hinzugefügt werden können. Es ist anhand des Bereichs
der Ansprüche auch ersichtlich, dass die Ausführungsbeispiele,
denen derartige Änderungen oder Verbesserungen hinzugefügt
wurden, in dem technischen Bereich der Erfindung enthalten sein
können.
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GEWERBLICHE ANWENDBARKEIT
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Wie
aus dem Vorstehenden ersichtlich ist, können durch Verwendung
des Ausführungsbeispiels nach der vorliegenden Erfindung
mehrere Prüfmodule mit unterschiedlichen Prüfperioden
verwendet werden, um mehrere Prüfmuster synchron zu der
geprüften Vorrichtung zu liefern. Insbesondere können,
während in einem Bereitschaftszustand, der durch die Leistung
des Wiederholungsbefehls während der Prüfung bewirkt
wird, die nach Beendigung der Bereitschaftsperiode ausgege benen
Prüfmuster synchron zu der geprüften Vorrichtung
geliefert werden.
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Zusammenfassung:
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Es
ist ein Prüfgerät vorgesehen, das eine geprüfte
Vorrichtung prüft, enthaltend eine erste Pipeline, die
aufeinanderfolgend Stücke von Musterdaten, die in einem
ersten Prüfmuster enthalten sind, gemäß einer
ersten Prüfperiode weiterleitet, und die sich ergebenden
Daten zu der geprüften Vorrichtung ausgibt; eine zweite
Pipeline, die aufeinanderfolgend Stücke von Musterdaten,
die in einem zweiten Prüfmuster enthalten sind, gemäß einer
zweiten Prüfperiode, die gegenüber der ersten
Prüfperiode unterschiedlich ist, weiterleitet und die sich
ergebenden Daten zu der geprüften Vorrichtung ausgibt;
eine Taktsteuerschaltung, die zumindest einen von einem Zeitpunkt,
zu welchem die erste Pipeline mit der Weiterleitung vor bestimmter
erster Musterdaten beginnt, und einem Zeitpunkt, zu welchem die
zweite Pipeline mit der Weiterleitung vorbestimmter zweiter Musterdaten
beginnt, steuert auf der Grundlage der ersten Prüfperiode
und der zweiten Prüfperiode; und eine Beurteilungsschaltung,
die gut/schlecht der geprüften Vorrichtung auf der Grundlage
eines von der geprüften Vorrichtung ausgegebenen Signals
beurteilt.
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ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur
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- - WO 2003/062843 [0003, 0004, 0006]
- - JP 11-14714 [0003, 0006]