JPH08129894A - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents

不揮発性半導体記憶装置

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JPH08129894A
JPH08129894A JP26556394A JP26556394A JPH08129894A JP H08129894 A JPH08129894 A JP H08129894A JP 26556394 A JP26556394 A JP 26556394A JP 26556394 A JP26556394 A JP 26556394A JP H08129894 A JPH08129894 A JP H08129894A
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Masayoshi Hirata
昌義 平田
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    • G11CSTATIC STORES
    • G11C16/00Erasable programmable read-only memories
    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/22Safety or protection circuits preventing unauthorised or accidental access to memory cells
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    • GPHYSICS
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    • G11C16/02Erasable programmable read-only memories electrically programmable
    • G11C16/06Auxiliary circuits, e.g. for writing into memory
    • G11C16/30Power supply circuits

Abstract

(57)【要約】 【目的】書込または消去時間設定回路を内蔵する不揮発
性半導体記憶装置において、製造条件のバラツキ、経時
変化および動作電圧変動に対して、メモリデータの不完
全書込および不完全消去に関係する特性を補強する。 【構成】書込または消去時間設定回路は発振器2および
カウンタ回路4と共に、電源電位判定回路1およびカウ
ンタ設定値変更回路3を備えている。電源電位が一定レ
ベルV1より低下した場合、電源電位判定回路1の出力
信号LVDがロウレベルに変化し、カウンタ設定値変更
回路3の出力を出力をカウンタ回路4の第mビット出力
Qmから第nビット出力Qnに変更し、書込または消去
パルス信号Tのパルス幅を拡げる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、不揮発性半導体記憶装
置に関し、特に書込または消去時間設定回路を内蔵する
不揮発性半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】電気的書込または消去可能な不揮発性半
導体記憶装置(以下、EEPROMという)は、一般
に、製品開発時の設計または試作評価結果のフィードバ
ックにより設定された一定のパルス幅をもつパルス信号
によって、データの書込または消去時間を決定してい
る。このとき、不完全な書込または消去状態を避けるた
め、メモリセルのデータ書込または消去動作に必要な時
間に対し一定の余裕を持たせてパルス信号のパルス幅を
設定する制御方法を一般に採用している。
【0003】この一定の書込時間をあらかじめ設定する
書込制御方法の他に、たとえば、特開昭60−2361
95号公報に示されているように、メモリセル書込の進
行状況をメモリ列線の電位を検出および判定することに
より書込時間を制御する方法がある。図6は、特開昭6
0−236195号公報に示されている不揮発半導体記
憶装置の書込制御方法を示す回路図であり、図7は、そ
の動作タイミング図である。
【0004】図6を参照して、その書込制御方法を簡単
に説明する。この従来例における書込制御方法を示す回
路は、NOR回路61、メモリセル67、負荷トランジ
スタ66、センスアンプ62および電圧検出回路63と
から構成されている。
【0005】NOR回路61は、データ入力およびプロ
グラム入力PGMバーを入力とし書込制御信号64を出
力する。メモリセル67は、ドレイン電極を列線Y1に
接続しソース電極を接地しゲート電極を行線X1に接続
した浮遊ゲート電極を有するNチャネル絶縁ゲート型電
界効果トランジスタからなる。負荷トランジスタ66
は、ドレイン電極を電源Vppに接続しソース電極を列
線Y1に接続しゲート電極を書込制御信号64に接続し
たNチャネル絶縁ゲート型電界効果トランジスタからな
る。センスアンプ62は、メモリ読出し時に列線Y1の
電位をセンスし出力端子OUT1にメモリデータとして
出力する。電圧検出回路63は、書込時に列線Y1の電
位が所定の電位に達した時を検知して検知信号65を出
力端子OUT2に出力する。
【0006】次に、図7に示す動作タイミング図を参照
して説明する。メモリセル67にデータを書込む場合、
事前にアウトプットイネーブル入力OEバーにハイレベ
ルが入力され、データ出力端子OUT1はハイ・インピ
ーダンス状態となっている。データ出力端子OUT1を
介してデータ入力として書込データ“0”すなわちロウ
レベルを入力し、プログラム入力信号PGMバーにロウ
レベルを入力すると、書込制御信号64がハイレベルに
なり、負荷トランジスタ66はオンしてメモリセル67
に書込電流が供給され書込が始まる。
【0007】メモリセル67の書込電流は、メモリセル
内の浮遊ゲート電極に注入蓄積された電子の電荷量Qf
によって決まり、この時の列線Y1の電位は負荷トラン
ジスタ66の負荷特性と書込電流で一義的に決まる。い
ま、書込が充分な注入電子の電荷量がQsとすると、Q
sによって一義的に決まる列線電位Vsまで、列線Y1
の電位が上昇していれば、浮遊ゲート電極には電荷量が
Qsだけの電子が注入蓄積されていると判定することが
できる。従って、書込状態が進行し列線電位が次第に上
昇し、Vsに達した時、電圧検出回路63は、検知信号
65を出力する。これを受けて外部に接続されたプログ
ラム装置は、プログラム入力PGMバーをハイレベルに
引き上げて書込動作を終了させる。
【0008】以上の方法により、必要な分の電荷をフロ
ーティングゲート電極に効率的に注入することができ、
不完全な書込を防止する。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】しかし、この図6に示
す従来の書込み時間制御方式では、EEPROMの場
合、消去時メモリセルのドレイン電圧が0vになるため
使用できないという問題点の他に、同時に書込むビット
数の電圧検出回路が必要になるので、検出回路が占める
面積が大きくなるという問題がある。さらに、メモリセ
ルに書込を行なった場合、セルのしきい値は、ある値に
収束しメモリセルのドレイン電圧も収束する。このと
き、電圧検出回路の設定電位がより深い書込レベルに設
定されていた場合、もしくは、拡散のバラツキにより電
圧検出回路の設定電位またはメモリセルのドレイン電圧
の収束値がずれた場合、終了信号が出力されなかった
り、または、早く終了したりして不完全な書込をすると
いう危険性がある。
【0010】また、この不完全な書込に関しては、前述
の製品開発時にあらかじめ一定の書込または消去時間を
設定する制御方法においても、同様の問題が発生する。
一般に、不完全な書込または消去状態を避けるため、メ
モリセルのデータ書込または消去動作に必要な時間に対
して一定の余裕を持たせてパルス信号のパルス幅を設定
するが、余裕を取り過ぎると、ユーザの要求仕様を満せ
なくなったり他社製品との競争力がなくなる。したがっ
て、常にユーザ要求仕様を優先して一定の書込または消
去時間を設定することになるが、電源電圧が下った場
合、書込または消去に要する時間は長くなり、あらかじ
め設定したパルス幅を越え、メモリセルのデータは不完
全な書込または消去状態となる場合もでてくる。
【0011】たとえば、電源電圧5.0vで書込に必要
な時間が2msであるときパルス幅Tを4msとすれば
十分な余裕を持っているようにみえるが、電源電圧3.
5vで書込に必要な時間は7msになりパルス幅Tは
4.75msとなり、不完全な書込となる。
【0012】したがって、本発明の目的は、書込または
消去時間設定回路を内蔵する不揮発性半導体記憶装置に
おいて、製造条件のバラツキ、経時変化および動作電圧
変動に対して、メモリデータの不完全書込および不完全
消去に関係する特性を補強することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明による
不揮発性半導体記憶装置は、発振器とこの発振器の出力
信号をカウントするカウンタ回路とを有し一定の書込ま
たは消去時間を設定したパルス幅をもつパルス信号を出
力する書込または消去時間設定回路を内蔵する不揮発性
半導体記憶装置において、前記書込または消去時間設定
回路は、電源電圧をセンスし一定レベルよりの高低を判
定する電源電位の判定回路と、この判定回路の出力によ
り前記パルス信号のパルス幅を変更する変更手段とを備
えている。
【0014】
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
【0015】図1は本発明の不揮発性半導体記憶装置の
第1の実施例における書込または消去時間設定回路部を
示す回路図である。
【0016】図1を参照すると、本実施例の書込または
消去時間設定回路部は、電源電位判定回路1、発振器
2、カウンタ設定値変更回路3およびカウンタ回路4か
ら構成されている。
【0017】電源電位判定回路1は、電源電圧をセンス
し一定レベルよりの高低を判定し出力信号LVDを出力
している。発振器2は、発振器出力φを出力し、バイナ
リカウンタ回路4に接続されている。カウンタ回路4
は、リセット信号Rでオール“0”に初期化されるダウ
ンカウンタであり、リセット信号Rが解除されたときカ
ウントパルスφの第1番目のポジティブエッジでオール
“1”に変化し、以後、順次デクリメントされてゆく。
カウンタ設定値変更回路3は、カウンタ回路4の第mビ
ット出力と第nビット出力を入力信号とし、どちら一方
の入力信号を信号LVDによって選択する回路であり、
その出力はカウンタ回路4の制御に使用されると共に書
込みまたは消去パルス信号Tとして使用される。この実
施例では、カウンタ回路4の第nビット出力は第mビッ
ト出力の1ビット上位の出力としている。
【0018】次に、本実施例の書込または消去時間設定
回路の動作について説明する。
【0019】図2は、本実施例の電源電位判定回路の動
作を示した入出力特性図である。グラフは、横軸に電源
電位をとり縦軸に電源電位判定回路出力LVDの電位を
とっている。電源電位Vccが一定の電位V1(図2で
は4v)以上になると、判定回路出力LVDは、Vcc
レベル(ハイレベル)となることを示している。
【0020】図3は、図1の本実施例の動作を示した波
形図である。まず、デバイスが、書込または消去動作を
開始する場合、カウンタ回路4のリセット信号Rがロウ
レベルとなり、カウントパルスφの第1番目のポジティ
ブエッジでカウンタ回路の出力がオール“1”に変化
し、その後、カウントパルスφのポジティブエッジが入
力される度にカウンタ出力値がデクリメントされる。
【0021】ここで、電源電位が一定レベルV1より高
い場合、メモリセルに対する書込または消去に必要な時
間は短かいため、書込または消去パルス信号Tのパルス
幅も短かくて済む。この時、判定回路出力LVDはハイ
レベルであるので、図1に示されたカウンタ出力設定回
路のトランスファ回路31が導通し、トランスファ回路
32は閉じている。従って、パルス信号Tは、カウンタ
回路4の第mビット出力信号Qmを出力する。図3にお
いて、書込または消去時間は判定回路出力LVDがハイ
レベルのときのTmとなる。カウンタリセット信号R
は、パルス信号Tの立ち下がりで生成され、カウンタ回
路4をリセットし、次の書込またまは消去動作サイクル
の開始信号を待機する。
【0022】次に、電源電位が一定レベルV1より低い
場合、メモリセルに対する書込または消去に必要な時間
は長くなるため、パルス信号Tのパルス幅も長くする必
要がある。もし、パルス幅が短かいままならば、不完全
書込または不完全消去が発生する。判定回路出力LVD
はロウレベルであるので、前述の電源電位が一定レベル
より高い場合とは反対に、トランスファ回路31は閉
じ、トランスファ回路32は導通している。従って、パ
ルス信号Tは、カウンタ回路4の第nビット出力信号Q
nを出力する。図3において、書込または消去時間は、
判定回路出力LVDがロウレベルのときのTnとなり、
この実施例ではn=m+1としているので2倍のパルス
幅となる。
【0023】以上説明したように、電源電位が一定レベ
ルV1以下になると、カウンタ回路4のカウント設定値
を2倍に設定変更し、2倍のパルス幅をもつ書込または
消去パルス信号を出力することにより書込または消去時
間を延長し、EEPROMにおける不完全書込または不
完全消去を防止している。また、カウンタ1つと、トラ
ンスファ回路2つ及びインバータ回路1つだけの小規模
な回路構成で実現できるので回路面積の増加は小さい。
【0024】図4は、本発明の不揮発性半導体記憶装置
の第2の実施例における書込または消去時間設定回路部
を示す回路図である。
【0025】図4を参照すると、本実施例の書込または
消去時間設定回路部は、電源電位判定回路1、発振器
2、および、カウンタ回路4から構成されている。
【0026】電源電位判定回路1は、図1の第1の実施
例と同じであり、判定回路出力LVDを出力している。
さらに、発振回路2では、縦続接続された第1段遅延回
路から第j段遅延回路までの遅延回路と、第i段遅延回
路出力および第j段遅延回路出力を入力信号とし一方の
入力信号を判定回路出力LVDによって選択し出力する
周期変更回路25とから構成されている。選択された遅
延回路出力はインバータ254で反転され、その出力φ
は第1の遅延回路の入力にフィードバックされるため、
遅延時間合計の2倍の周期で発振する。カウンタ回路4
は発振器2の出力φを入力信号としダウンカウント動作
をする。カウンタ回路4の出力Qnが書込または消去パ
ルス信号Tとして使用される。
【0027】次に、本実施例の書込または消去時間設定
回路の動作について説明する。
【0028】図5は、図4の本実施例の動作を示した波
形図である。まず、デバイスが書込または消去動作を開
始する場合、図1の第1の実施例と同様に、カウンタ回
路4のリセット信号Rがロウレベルになり、カウンタ回
路4がダウンカウント動作し、カウンタ回路4の出力Q
nが書込または消去パルス信号Tとなると共に、立下が
り時にリセット信号Rを生成しカウンタ回路4をリセッ
トし、次の書込または消去動作サイクルの開始信号を待
機する。
【0029】電源電位が一定レベルV1より高い場合、
判定回路出力LVDがハイレベルになりトランスファ回
路251が導通し第i段遅延回路出力が選択され、イン
バータ254で反転されて発信器出力φとして出力され
る。一方、電源電位が一定レベルV1より低い場合、判
定回路出力LVDがロウレベルになりトランスファ回路
252が導通し第j遅延回路出力が選択され、インバー
タ254で反転されて発信器出力φとして出力される。
ここで、第1の遅延回路入力から第i段遅延回路出力ま
での遅延時間をDiとし、第1の遅延回路入力から第j
段遅延回路出力までの遅延時間をDjとすると、判定回
路出力LVDがハイレベルからロウレベルに変化した場
合、発振器2の出力信号φの周期は2Diから2Djに
変更される。
【0030】従って、発振器2の出力信号φをカウント
ダウンするカウンタ回路4の出力Qnも判定回路出力L
VDの信号により変化し、書込または消去パルス信号T
は、電源電位が一定レベルより高いとき書込または消去
パルス幅Tiを示し、電源電位が一定レベルより低いと
き書込または消去パルス幅Tjを示す。ここで、遅延時
間DiおよびDjと、書込または消去パルス信号のパル
ス幅TiおよびTjとは比例関係にある。このため、実
施例1に比べると、遅延時間DiとDjとの比を希望値
に設定することにより、書込または消去パルス信号のパ
ルス幅TiとTjとの比をフレキシブルに設定できる。
【0031】なお、この方法は、フラッシュメモリにも
使用することができる。また、本実施例では電源電位を
センスし、書込または消去時間設定を変更する回路につ
いて説明したが、電源電位以外の他の書込または消去特
性条件をセンスしたり、または、その組合せ条件で複数
の書込または消去時間を設定し変更する回路に拡張する
ことも容易である。
【0032】
【発明の効果】以上説明したように、本発明による不揮
発性半導体記憶装置は、電源電位が低下したときに電源
電位判定回路の出力により、書込または消去時間を延長
することができ、書込または消去動作範囲を広くするこ
とができる。このため、製造条件のバラツキ、経時変化
および動作電圧変動に対して、メモリデータの不完全書
込および不完全消去に関係する特性を補強することがで
きる。また、書込または消去時間を延長する回路は、小
規模の回路で実現でき、これによるチップ面積の増加は
小さい等の効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の不揮発性半導体記憶装置の第1の実施
例における書込または消去時間設定回路部を示す回路図
である。
【図2】図1の実施例における電源電位判定回路1の動
作を示す入出力特性図である。
【図3】図1の実施例における動作の1例を示す波形図
である。
【図4】本発明の不揮発性半導体記憶装置の第2の実施
例における書込または消去時間設定回路部を示す回路図
である。
【図5】図4の実施例における動作の1例を示すであ
る。
【図6】従来の不揮発性半導体記憶装置の書込制御方法
の1例を示す回路図である。
【図7】図6の従来の書込制御方法における動作の1例
を示す波形図である。
【符号の説明】
1 電源電位判定回路 11 N型ノンドープMOSトランジスタ 12 P型ノンドープMOSトランジスタ 13,14 抵抗 16 インバータ回路 Vcc 電源 LVD 電源電位判定回路出力 2 発振器 φ 発振器出力 21,22,23,24 遅延回路 211,212 インバータ回路 213 遅延抵抗 214 遅延容量 25 発振周期変更回路 251,252 トランスファ回路 253,254 インバータ回路 3 カウンタ設定値変更回路 31,32 トランスファ回路 33 インバータ回路 T 書込または消去パルス信号 4 カウンタ回路 Q0,Q1,Qm,Qn カウンタ回路出力 R カウンタ回路リセット信号 61 NOR回路 62 センスアンプ 63 電圧検出回路 64 書込制御信号 65 検知信号 66 負荷トランジスタ 67 メモリセル Y1 メモリアレイの列線 X1 メモリアレイの行線 OEバー アウトプットイネーブル入力 PGMバー プログラム入力
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 29/792 H01L 29/78 371

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 発振器とこの発振器の出力信号をカウン
    トするカウンタ回路とを有し一定の書込または消去時間
    を設定したパルス幅をもつパルス信号を出力する書込ま
    たは消去時間設定回路を内蔵する不揮発性半導体記憶装
    置において、 前記書込または消去時間設定回路は、電源電圧をセンス
    し一定レベルよりの高低を判定する電源電位の判定回路
    と、この判定回路の出力により前記パルス信号のパルス
    幅を変更する変更手段とを備えることを特徴とする不揮
    発性半導体記憶装置。
  2. 【請求項2】 前記変更手段は、電源電圧が前記一定レ
    ベルより低いとき前記カウンタ回路のカウントすべき設
    定値を大きな値に変更するカウンタ設定値変更回路であ
    る請求項1記載の不揮発性半導体記憶装置。
  3. 【請求項3】 前記変更手段は、電源電圧が前記一定レ
    ベルより低いとき前記発振器の発振周期を長く変更する
    周期変更回路である請求項1記載の不揮発性半導体記憶
    装置。
JP26556394A 1994-10-28 1994-10-28 不揮発性半導体記憶装置 Pending JPH08129894A (ja)

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US08/550,158 US5592429A (en) 1994-10-28 1995-10-30 Compact semiconductor memory device capable of preventing incomplete writing and erasing

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