JPH078971A - フッ化アンモニウム含有水の処理方法 - Google Patents
フッ化アンモニウム含有水の処理方法Info
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- JPH078971A JPH078971A JP18195593A JP18195593A JPH078971A JP H078971 A JPH078971 A JP H078971A JP 18195593 A JP18195593 A JP 18195593A JP 18195593 A JP18195593 A JP 18195593A JP H078971 A JPH078971 A JP H078971A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】フッ化アンモニウム含有水に酸化剤を添加した
のち、加熱条件下に触媒と接触させるとともに、接触処
理後の処理水のpHが６以上となるように、接触処理前又
は接触処理中にアルカリ剤を添加するフッ化アンモニウ
ム含有水の処理方法である。 【効果】触媒の溶解、崩壊を防止して、触媒活性を長時
間保持し、アンモニウムイオンを効率よく分解、除去す
る。
のち、加熱条件下に触媒と接触させるとともに、接触処
理後の処理水のpHが６以上となるように、接触処理前又
は接触処理中にアルカリ剤を添加するフッ化アンモニウ
ム含有水の処理方法である。 【効果】触媒の溶解、崩壊を防止して、触媒活性を長時
間保持し、アンモニウムイオンを効率よく分解、除去す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はフッ化アンモニウム含有
水の処理方法の改良に関するものである。さらに詳しく
いえば、本発明は、フッ化アンモニウム含有水中のアン
モニウムイオンを触媒を用いて分解、除去するに際し、
該触媒の活性を長時間維持して、アンモニウムイオンを
効率よく分解、除去する方法に関するものである。
水の処理方法の改良に関するものである。さらに詳しく
いえば、本発明は、フッ化アンモニウム含有水中のアン
モニウムイオンを触媒を用いて分解、除去するに際し、
該触媒の活性を長時間維持して、アンモニウムイオンを
効率よく分解、除去する方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体製造分野やその関連分野、
あるいは各種金属材料、単結晶材料、光学系材料などの
表面処理分野などにおいては、多量のエッチング剤が使
用されており、そして、このエッチング剤としては、主
にフッ化水素や、フッ化水素とフッ化アンモニウムを主
成分とするエッチング剤が用いられている。フッ化水素
を主成分とするエッチング剤は、通常フッ素をＨＦとし
て０.９重量％程度を含む薬剤であって大量に用いられ
ており、一方、フッ化水素及びフッ化アンモニウムを主
成分として含むエッチング剤（バッファードフッ酸）
は、その使用量は少ないものの、フッ素をＨＦとして通
常７重量％程度含有していることから、これらのエッチ
ング剤は廃水系統へ移行した際、高濃度フッ素含有廃液
となる。一方、エッチング途中やエッチング終了時に
は、これらのエッチング剤で処理された材料を大量の洗
浄水で洗浄するため、その洗浄工程からは、大量の低濃
度のフッ素含有廃液が排出される。従来、これらの高濃
度フッ素含有廃液及び低濃度フッ素含有廃液は混合され
て一括処理されている。一般にフッ化アンモニウム含有
廃液の処理においては、フッ化物イオン（以下フッ素イ
オンと言う）は、水酸化カルシウムなどのカルシウム化
合物を添加してフッ化カルシウムとして回収除去されて
おり、一方アンモニウムイオンは、生物学的硝化脱窒素
法、アンモニアストリッピング法、塩素酸化法、触媒法
などにより除去されている。アンモニウムイオンの除去
方法の中で、生物学的方法は、硝化細菌によりアンモニ
ウムイオンを亜硝酸又は硝酸性窒素に酸化したのち、脱
窒細菌により窒素ガスに還元する方法である。この方法
は安価であるものの、微生物反応であるため、フッ素イ
オン濃度が５０ppm以上であると活性が低下し、かつそ
の他の変動要因に対しても不安定である上、広い設置面
積が必要であるなどの欠点を有している。また、アンモ
ニアストリッピング法は、アルカリ性下に大量の空気と
接触させて、アンモニアを大気中に放散させる方法であ
る。しかしながら、この方法はアルカリコストが高く、
かつ放散させたアンモニアを再度吸着濃縮する必要があ
り、経済的でない。一方、塩素酸化法は塩素添加によ
り、アンモニウムイオンをクロラミン経由で窒素ガスに
酸化する方法である。この方法は塩素添加量がアンモニ
アの１０倍程度必要であり、高アンモニウムイオン濃度
の処理には不向である。これらに対し、触媒法は、設置
面積が小さい、運転管理が容易である、汚泥や残留塩素
といった後処理を必要とする物質が生成しない、等の優
れた特徴を有する処理方法であり、注目されている。し
かしながら、フッ素共存下に触媒によるアンモニアの分
解処理を行う際、pHが酸性になると、フッ化水素酸が生
成し、その結果触媒担体の溶解、崩壊が発生する。この
ため従来、フッ素共存下のアンモニアの触媒を用いた分
解方法では、先ず被処理水中のフッ素イオンを消石灰な
どのカルシウム塩により難溶化し、固液分離した後に、
アンモニアを触媒分解する方法が検討されていた。しか
し、このカルシウム塩による処理方法では、得られる処
理水中に多量のカルシウムイオンが含まれる結果とな
り、次に触媒法でアンモニア除去しようとしても、運転
時間によってはカルシウム塩がスケール化し、触媒活性
が低下するという問題があった。このためフッ化物イオ
ン共存下でのアンモニアの分解除去方法が望まれてい
た。また、バッファードフッ酸排水を炭酸カルシウムを
用いて脱フッ素した後の排水は、通常pHが酸性であり、
かつ、フッ素イオンが残留しているため、このような排
水中のアンモニアを触媒を用いて分解する場合、触媒の
活性が低下する問題が生じる。さらに、バッファードフ
ッ酸排水とアンモニア、過酸化水素排水との混合排水中
のアンモニアを触媒を用いて分解する場合、下の反応式
に従ってフッ化水素酸が生成し、その分解過程において
pHが酸性となり、触媒の活性が低下する問題が生じる。 ２ＮＨ4＋３Ｈ2Ｏ2→Ｎ2＋２ＨＦ＋６Ｈ2Ｏ さらにまた、バッファードフッ酸排水と硝酸排水の混合
排水を触媒を用いて脱窒処理を行う際、処理過程におい
てpHが酸性になる場合がある。
あるいは各種金属材料、単結晶材料、光学系材料などの
表面処理分野などにおいては、多量のエッチング剤が使
用されており、そして、このエッチング剤としては、主
にフッ化水素や、フッ化水素とフッ化アンモニウムを主
成分とするエッチング剤が用いられている。フッ化水素
を主成分とするエッチング剤は、通常フッ素をＨＦとし
て０.９重量％程度を含む薬剤であって大量に用いられ
ており、一方、フッ化水素及びフッ化アンモニウムを主
成分として含むエッチング剤（バッファードフッ酸）
は、その使用量は少ないものの、フッ素をＨＦとして通
常７重量％程度含有していることから、これらのエッチ
ング剤は廃水系統へ移行した際、高濃度フッ素含有廃液
となる。一方、エッチング途中やエッチング終了時に
は、これらのエッチング剤で処理された材料を大量の洗
浄水で洗浄するため、その洗浄工程からは、大量の低濃
度のフッ素含有廃液が排出される。従来、これらの高濃
度フッ素含有廃液及び低濃度フッ素含有廃液は混合され
て一括処理されている。一般にフッ化アンモニウム含有
廃液の処理においては、フッ化物イオン（以下フッ素イ
オンと言う）は、水酸化カルシウムなどのカルシウム化
合物を添加してフッ化カルシウムとして回収除去されて
おり、一方アンモニウムイオンは、生物学的硝化脱窒素
法、アンモニアストリッピング法、塩素酸化法、触媒法
などにより除去されている。アンモニウムイオンの除去
方法の中で、生物学的方法は、硝化細菌によりアンモニ
ウムイオンを亜硝酸又は硝酸性窒素に酸化したのち、脱
窒細菌により窒素ガスに還元する方法である。この方法
は安価であるものの、微生物反応であるため、フッ素イ
オン濃度が５０ppm以上であると活性が低下し、かつそ
の他の変動要因に対しても不安定である上、広い設置面
積が必要であるなどの欠点を有している。また、アンモ
ニアストリッピング法は、アルカリ性下に大量の空気と
接触させて、アンモニアを大気中に放散させる方法であ
る。しかしながら、この方法はアルカリコストが高く、
かつ放散させたアンモニアを再度吸着濃縮する必要があ
り、経済的でない。一方、塩素酸化法は塩素添加によ
り、アンモニウムイオンをクロラミン経由で窒素ガスに
酸化する方法である。この方法は塩素添加量がアンモニ
アの１０倍程度必要であり、高アンモニウムイオン濃度
の処理には不向である。これらに対し、触媒法は、設置
面積が小さい、運転管理が容易である、汚泥や残留塩素
といった後処理を必要とする物質が生成しない、等の優
れた特徴を有する処理方法であり、注目されている。し
かしながら、フッ素共存下に触媒によるアンモニアの分
解処理を行う際、pHが酸性になると、フッ化水素酸が生
成し、その結果触媒担体の溶解、崩壊が発生する。この
ため従来、フッ素共存下のアンモニアの触媒を用いた分
解方法では、先ず被処理水中のフッ素イオンを消石灰な
どのカルシウム塩により難溶化し、固液分離した後に、
アンモニアを触媒分解する方法が検討されていた。しか
し、このカルシウム塩による処理方法では、得られる処
理水中に多量のカルシウムイオンが含まれる結果とな
り、次に触媒法でアンモニア除去しようとしても、運転
時間によってはカルシウム塩がスケール化し、触媒活性
が低下するという問題があった。このためフッ化物イオ
ン共存下でのアンモニアの分解除去方法が望まれてい
た。また、バッファードフッ酸排水を炭酸カルシウムを
用いて脱フッ素した後の排水は、通常pHが酸性であり、
かつ、フッ素イオンが残留しているため、このような排
水中のアンモニアを触媒を用いて分解する場合、触媒の
活性が低下する問題が生じる。さらに、バッファードフ
ッ酸排水とアンモニア、過酸化水素排水との混合排水中
のアンモニアを触媒を用いて分解する場合、下の反応式
に従ってフッ化水素酸が生成し、その分解過程において
pHが酸性となり、触媒の活性が低下する問題が生じる。 ２ＮＨ4＋３Ｈ2Ｏ2→Ｎ2＋２ＨＦ＋６Ｈ2Ｏ さらにまた、バッファードフッ酸排水と硝酸排水の混合
排水を触媒を用いて脱窒処理を行う際、処理過程におい
てpHが酸性になる場合がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
事情のもとで、フッ化アンモニウム含有水中のアンモニ
ウムイオンを触媒を用いて分解、除去するに際し、フッ
化水素酸や他の酸性イオンに起因する該触媒の溶解、崩
壊を防止して、触媒活性を長時間維持し、効率よくアン
モニウムイオンを分解、除去するフッ化アンモニウム含
有水の処理方法を提供することを目的としてなされたも
のである。
事情のもとで、フッ化アンモニウム含有水中のアンモニ
ウムイオンを触媒を用いて分解、除去するに際し、フッ
化水素酸や他の酸性イオンに起因する該触媒の溶解、崩
壊を防止して、触媒活性を長時間維持し、効率よくアン
モニウムイオンを分解、除去するフッ化アンモニウム含
有水の処理方法を提供することを目的としてなされたも
のである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、フッ化アンモ
ニウム含有水に酸化剤を添加し、加熱条件下に触媒と接
触させてアンモニアを分解、除去させるに際し、接触処
理後の処理水のpHが６以上となるように、接触処理前又
は接触処理中にアルカリ剤を添加することにより、その
目的を達成しうることを見い出し、この知見に基づいて
本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、フッ
化アンモニウム含有水に酸化剤を添加したのち、加熱条
件下に触媒と接触させるとともに、接触処理後の処理水
のpHが６以上となるように、接触処理前又は接触処理中
にアルカリ剤を添加することを特徴とするフッ化アンモ
ニウム含有水の処理方法を提供するものである。
を達成するために鋭意研究を重ねた結果、フッ化アンモ
ニウム含有水に酸化剤を添加し、加熱条件下に触媒と接
触させてアンモニアを分解、除去させるに際し、接触処
理後の処理水のpHが６以上となるように、接触処理前又
は接触処理中にアルカリ剤を添加することにより、その
目的を達成しうることを見い出し、この知見に基づいて
本発明を完成するに至った。すなわち、本発明は、フッ
化アンモニウム含有水に酸化剤を添加したのち、加熱条
件下に触媒と接触させるとともに、接触処理後の処理水
のpHが６以上となるように、接触処理前又は接触処理中
にアルカリ剤を添加することを特徴とするフッ化アンモ
ニウム含有水の処理方法を提供するものである。
【０００５】以下、本発明を詳細に説明する。本発明方
法においては、フッ化アンモニウム含有水に酸化剤を添
加し、加熱条件下に触媒と接触させて、アンモニアを分
解、除去するが、この際、接触処理後の処理水のpHが６
以上となるように、接触処理前又は接触処理中にアルカ
リ剤を添加することが必要である。被処理水が酸性の場
合は、接触処理後の処理水のpHが６〜１４、好ましくは
７〜１０になるように、アルカリ剤を接触処理前に添加
するのが望ましい。また接触処理過程でpHが酸性になる
場合には、接触処理後の処理水のpHが６〜１４、好まし
くは７〜１０になるように、アルカリ剤を接触処理前及
び接触処理途中に複数回に分けて添加するのが望まし
い。該アルカリ剤としては、例えばアルカリ金属やアル
カリ土類金属の水酸化物、アルカリ金属やアルカリ土類
金属と弱酸との塩、アミン類などが挙げられるが、これ
らの中でアルカリ金属の水酸化物及びアルカリ金属と弱
酸との塩が好適である。本発明方法において用いられる
触媒としては、例えばアルミナ、ジルコニア、チタニ
ア、シリカ、活性炭、ゼオライトなどの担体に、白金、
パラジウム、ルテニウム、ロジウム、銀、銅などを担持
したものが好ましく用いられる。これらの触媒はカラム
に充填し、加熱下にフッ化アンモニウム含有水を、酸化
剤及びアルカリ剤と共に通液して反応を行うのが有利で
ある。この場合、ＳＶは通常１〜２０hr-1、好ましくは
５hr-1前後で、かつ上向流通液が望ましい。また、酸化
剤としては、例えば過酸化水素、次亜塩素酸塩、オゾン
などが好ましく用いられる。処理温度は、通常５０〜３
００℃、好ましくは７０〜２００℃の範囲で選ばれ、一
方、接触時間は３〜６０分間程度、好ましくは１０〜３
０分間程度が望ましい。このようにしてアンモニウムイ
オンが分解、除去された処理水中のフッ素イオンは、従
来公知の方法、例えば水酸化カルシウムによる凝集沈殿
方法、水和酸化セリウムなどのフッ素吸着剤やＯＨ型弱
塩基性アニオン交換樹脂による吸着方法、炭酸カルシウ
ム結晶充填層に通水する方法などによって除去される。
本発明の処理方法は、フッ化アンモニウム含有排水以外
に、フッ化水素とフッ化アンモニウムを含有する排水、
例えばバッファードフッ酸排水や、バッファードフッ酸
排水を炭酸カルシウムを用いて脱フッ素した後の排水、
バッファードフッ酸排水とアンモニア、過酸化水素排水
との混合排水及びバッファードフッ酸排水と硝酸排水の
混合排水などにも適用することができる。
法においては、フッ化アンモニウム含有水に酸化剤を添
加し、加熱条件下に触媒と接触させて、アンモニアを分
解、除去するが、この際、接触処理後の処理水のpHが６
以上となるように、接触処理前又は接触処理中にアルカ
リ剤を添加することが必要である。被処理水が酸性の場
合は、接触処理後の処理水のpHが６〜１４、好ましくは
７〜１０になるように、アルカリ剤を接触処理前に添加
するのが望ましい。また接触処理過程でpHが酸性になる
場合には、接触処理後の処理水のpHが６〜１４、好まし
くは７〜１０になるように、アルカリ剤を接触処理前及
び接触処理途中に複数回に分けて添加するのが望まし
い。該アルカリ剤としては、例えばアルカリ金属やアル
カリ土類金属の水酸化物、アルカリ金属やアルカリ土類
金属と弱酸との塩、アミン類などが挙げられるが、これ
らの中でアルカリ金属の水酸化物及びアルカリ金属と弱
酸との塩が好適である。本発明方法において用いられる
触媒としては、例えばアルミナ、ジルコニア、チタニ
ア、シリカ、活性炭、ゼオライトなどの担体に、白金、
パラジウム、ルテニウム、ロジウム、銀、銅などを担持
したものが好ましく用いられる。これらの触媒はカラム
に充填し、加熱下にフッ化アンモニウム含有水を、酸化
剤及びアルカリ剤と共に通液して反応を行うのが有利で
ある。この場合、ＳＶは通常１〜２０hr-1、好ましくは
５hr-1前後で、かつ上向流通液が望ましい。また、酸化
剤としては、例えば過酸化水素、次亜塩素酸塩、オゾン
などが好ましく用いられる。処理温度は、通常５０〜３
００℃、好ましくは７０〜２００℃の範囲で選ばれ、一
方、接触時間は３〜６０分間程度、好ましくは１０〜３
０分間程度が望ましい。このようにしてアンモニウムイ
オンが分解、除去された処理水中のフッ素イオンは、従
来公知の方法、例えば水酸化カルシウムによる凝集沈殿
方法、水和酸化セリウムなどのフッ素吸着剤やＯＨ型弱
塩基性アニオン交換樹脂による吸着方法、炭酸カルシウ
ム結晶充填層に通水する方法などによって除去される。
本発明の処理方法は、フッ化アンモニウム含有排水以外
に、フッ化水素とフッ化アンモニウムを含有する排水、
例えばバッファードフッ酸排水や、バッファードフッ酸
排水を炭酸カルシウムを用いて脱フッ素した後の排水、
バッファードフッ酸排水とアンモニア、過酸化水素排水
との混合排水及びバッファードフッ酸排水と硝酸排水の
混合排水などにも適用することができる。
【０００６】
【実施例】次に実施例により本発明をさらに詳細に説明
するが、本発明はこれらの例によってなんら限定される
ものではない。 実施例１ 下記に示す条件にてフッ素共存下でのアンモニアの分解
除去試験を行い、処理水のpH、ＮＨ4 +濃度、ＮＯ2 -濃度
及びＮＯ3 -濃度を測定し、酸性になる条件で処理した場
合（ＮａＯＨを添加しない場合：被処理水１）と、酸性
にならない条件で処理した場合（ＮａＯＨを添加した場
合：被処理水２）の触媒活性の経時変化を比較した。ま
た、試験後、触媒を取出して乾燥重量を測定し、触媒の
溶解が起きたか否かの確認を行った。なお、処理水は、
硫酸を添加してpHを１.５に調整したのち、炭酸カルシ
ウム（フレーク状）を充てんしたカラムにＳＶ０.６hr
-1で通液してフッ素除去処理を行った。 〈条件〉 触媒：０.５wt％Ｐｔ／チタニア球、３５.０ｇ（４０cm
3） 被処理水１：Ｈ2Ｏ2添加１０００ppm（Ｎとして）ＮＨ4
Ｆ水溶液（Ｈ2Ｏ2：３６００ppm） 被処理水２：ＮａＯＨ、Ｈ2Ｏ2添加１０００ppm（Ｎと
して）ＮＨ4Ｆ水溶液（ＮａＯＨ：０.０４モル／リット
ル、Ｈ2Ｏ2：３６００ppm） 流量：３.０ミリリットル／分（ＳＶ４.５hr-1） 温度：１４０℃ 処理水のpHは、ＮａＯＨを添加しない場合は３〜４、添
加した場合は９〜１０であった。触媒の比活性の経時変
化を図１に示す。ここで比活性は次式によって算出され
る。
するが、本発明はこれらの例によってなんら限定される
ものではない。 実施例１ 下記に示す条件にてフッ素共存下でのアンモニアの分解
除去試験を行い、処理水のpH、ＮＨ4 +濃度、ＮＯ2 -濃度
及びＮＯ3 -濃度を測定し、酸性になる条件で処理した場
合（ＮａＯＨを添加しない場合：被処理水１）と、酸性
にならない条件で処理した場合（ＮａＯＨを添加した場
合：被処理水２）の触媒活性の経時変化を比較した。ま
た、試験後、触媒を取出して乾燥重量を測定し、触媒の
溶解が起きたか否かの確認を行った。なお、処理水は、
硫酸を添加してpHを１.５に調整したのち、炭酸カルシ
ウム（フレーク状）を充てんしたカラムにＳＶ０.６hr
-1で通液してフッ素除去処理を行った。 〈条件〉 触媒：０.５wt％Ｐｔ／チタニア球、３５.０ｇ（４０cm
3） 被処理水１：Ｈ2Ｏ2添加１０００ppm（Ｎとして）ＮＨ4
Ｆ水溶液（Ｈ2Ｏ2：３６００ppm） 被処理水２：ＮａＯＨ、Ｈ2Ｏ2添加１０００ppm（Ｎと
して）ＮＨ4Ｆ水溶液（ＮａＯＨ：０.０４モル／リット
ル、Ｈ2Ｏ2：３６００ppm） 流量：３.０ミリリットル／分（ＳＶ４.５hr-1） 温度：１４０℃ 処理水のpHは、ＮａＯＨを添加しない場合は３〜４、添
加した場合は９〜１０であった。触媒の比活性の経時変
化を図１に示す。ここで比活性は次式によって算出され
る。
【０００７】
【数１】
【０００８】図１から分かるように、酸性になる条件で
処理した場合には、約６００時間で活性が約半分まで低
下した。これに対し、酸性にならないようにＮａＯＨを
添加した場合には６００時間以上経過した時点において
も初期の活性を維持していた。また、試験後の触媒量
は、酸性になる条件では２４.９ｇ、酸性にならない条
件では３４.１ｇであった。pHを酸性にしないことで、
触媒の溶解、流失を妨ぎ、触媒活性を維持できることが
確認できた。フッ素除去処理後の処理水のフッ素イオン
濃度は１４ppmであった。
処理した場合には、約６００時間で活性が約半分まで低
下した。これに対し、酸性にならないようにＮａＯＨを
添加した場合には６００時間以上経過した時点において
も初期の活性を維持していた。また、試験後の触媒量
は、酸性になる条件では２４.９ｇ、酸性にならない条
件では３４.１ｇであった。pHを酸性にしないことで、
触媒の溶解、流失を妨ぎ、触媒活性を維持できることが
確認できた。フッ素除去処理後の処理水のフッ素イオン
濃度は１４ppmであった。
【０００９】
【発明の効果】本発明によると、フッ化アンモニウム含
有水中のアンモニウムイオンを触媒を用いて分解、除去
するに際し、該触媒の溶解、崩壊を防止して、初期の触
媒活性を長時間保持し、アンモニウムイオンを効率よく
分解、除去することができる。
有水中のアンモニウムイオンを触媒を用いて分解、除去
するに際し、該触媒の溶解、崩壊を防止して、初期の触
媒活性を長時間保持し、アンモニウムイオンを効率よく
分解、除去することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】図１は、フッ化アンモニウム含有水に過酸化水
素を添加してアンモニウムイオンを分解処理する際に、
水酸化ナトリウムを添加しない場合と添加した場合の触
媒活性の経時変化を示すグラフである。
素を添加してアンモニウムイオンを分解処理する際に、
水酸化ナトリウムを添加しない場合と添加した場合の触
媒活性の経時変化を示すグラフである。
Claims (1)
- 【請求項１】フッ化アンモニウム含有水に酸化剤を添加
したのち、加熱条件下に触媒と接触させるとともに、接
触処理後の処理水のpHが６以上となるように、接触処理
前又は接触処理中にアルカリ剤を添加することを特徴と
するフッ化アンモニウム含有水の処理方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18195593A JPH078971A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | フッ化アンモニウム含有水の処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18195593A JPH078971A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | フッ化アンモニウム含有水の処理方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH078971A true JPH078971A (ja) | 1995-01-13 |
Family
ID=16109799
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18195593A Pending JPH078971A (ja) | 1993-06-28 | 1993-06-28 | フッ化アンモニウム含有水の処理方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH078971A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001070950A (ja) * | 1999-09-02 | 2001-03-21 | Kurita Water Ind Ltd | ジメチルスルホキシド含有排水の処理方法及び処理装置 |
| JP2003225678A (ja) * | 2002-02-06 | 2003-08-12 | Japan Organo Co Ltd | フッ素および過酸化水素を含む排水の処理方法 |
| US7491349B2 (en) | 2004-12-28 | 2009-02-17 | Ishihara Sangyo Kaisha, Ltd. | Black titanium oxynitride |
| US7753701B2 (en) | 2006-06-16 | 2010-07-13 | Sumitomo Wiring Systems, Ltd. | Construction for holding cap for use in connector |
| KR20180077036A (ko) | 2016-12-28 | 2018-07-06 | 니혼앗짜쿠단시세이소 가부시키가이샤 | 커버 부재, 커버 유닛 및 커넥터 |
-
1993
- 1993-06-28 JP JP18195593A patent/JPH078971A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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