JPH09315806A - 硫酸および過酸化水素を含む廃液からの硫酸の回収方法 - Google Patents
硫酸および過酸化水素を含む廃液からの硫酸の回収方法Info
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- JPH09315806A JPH09315806A JP13353696A JP13353696A JPH09315806A JP H09315806 A JPH09315806 A JP H09315806A JP 13353696 A JP13353696 A JP 13353696A JP 13353696 A JP13353696 A JP 13353696A JP H09315806 A JPH09315806 A JP H09315806A
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- hydrogen peroxide
- sulfuric acid
- acid
- sulfurous acid
- sulfurous
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 硫酸および過酸化水素を含む廃液から過酸化
水素のみを除去し、該廃液を硫酸溶液として回収し、排
水処理のｐＨ調整剤などとして有効利用すること方法を
提供する。 【解決手段】 硫酸および過酸化水素を含む廃液へ亜硫
酸を導入し、過酸化水素と亜硫酸を反応させ、過酸化水
素を分解すると共に硫酸を生成させ、亜硫酸の過剰添加
を亜硫酸ガスを検知することにより防止し、さらに亜硫
酸導入停止後通気することにより残存する亜硫酸を除去
する。
水素のみを除去し、該廃液を硫酸溶液として回収し、排
水処理のｐＨ調整剤などとして有効利用すること方法を
提供する。 【解決手段】 硫酸および過酸化水素を含む廃液へ亜硫
酸を導入し、過酸化水素と亜硫酸を反応させ、過酸化水
素を分解すると共に硫酸を生成させ、亜硫酸の過剰添加
を亜硫酸ガスを検知することにより防止し、さらに亜硫
酸導入停止後通気することにより残存する亜硫酸を除去
する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、硫酸および過酸化水素
を含む廃液からの硫酸の回収方法に関する。
を含む廃液からの硫酸の回収方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】硫酸および過酸化水素を含む溶液は、エ
ッチング剤、表面処理剤等として、半導体の製造、プリ
ント配線板の製造、各種金属の表面加工などに多用され
ている。この、硫酸および過酸化水素を含む溶液を繰り
返し使用して行くと、この溶液により溶解除去された物
質が溶液中に蓄積し、機能が低下するため、溶液を更新
する必要がある。
ッチング剤、表面処理剤等として、半導体の製造、プリ
ント配線板の製造、各種金属の表面加工などに多用され
ている。この、硫酸および過酸化水素を含む溶液を繰り
返し使用して行くと、この溶液により溶解除去された物
質が溶液中に蓄積し、機能が低下するため、溶液を更新
する必要がある。
【０００３】この様に機能が低下して、更新が必要にな
った硫酸および過酸化水素を含む溶液（以下、「硫酸−
過酸化水素廃液」とよぶ）は、硫酸および過酸化水素を
含むため、アルカリ剤による酸の中和処理と、過酸化水
素の除去処理をしなければ廃棄することができない。ま
た、含まれる硫酸を排水処理のｐＨ調整剤として有効利
用する場合も、硫酸−過酸化水素廃液中に含まれる過酸
化水素が有害であり、そのまま使用することはできな
い。
った硫酸および過酸化水素を含む溶液（以下、「硫酸−
過酸化水素廃液」とよぶ）は、硫酸および過酸化水素を
含むため、アルカリ剤による酸の中和処理と、過酸化水
素の除去処理をしなければ廃棄することができない。ま
た、含まれる硫酸を排水処理のｐＨ調整剤として有効利
用する場合も、硫酸−過酸化水素廃液中に含まれる過酸
化水素が有害であり、そのまま使用することはできな
い。
【０００４】これらの問題点を解決するために、従来
は、アルカリ剤、たとえば水酸化ナトリウム、水酸化カ
ルシウム、アンモニアなどを使用して、硫酸−過酸化水
素廃液を中和したのち、過酸化水素を除去する方法がと
られている。しかし、この方法では、使用するアルカリ
剤に対応する大量の硫酸塩、たとえば硫酸ナトリウム、
硫酸カルシウム、硫酸アンモニウムがなど生成する問題
があり、これらの塩を産業廃棄物として処理する必要が
生じている。また、高濃度の硫酸をアルカリで中和する
ために、大量の中和熱が発生し、除熱などが必要となる
とともに、温度上昇に伴う硫酸ミスト発生がおこる場合
もあり、その対策が必要となる。
は、アルカリ剤、たとえば水酸化ナトリウム、水酸化カ
ルシウム、アンモニアなどを使用して、硫酸−過酸化水
素廃液を中和したのち、過酸化水素を除去する方法がと
られている。しかし、この方法では、使用するアルカリ
剤に対応する大量の硫酸塩、たとえば硫酸ナトリウム、
硫酸カルシウム、硫酸アンモニウムがなど生成する問題
があり、これらの塩を産業廃棄物として処理する必要が
生じている。また、高濃度の硫酸をアルカリで中和する
ために、大量の中和熱が発生し、除熱などが必要となる
とともに、温度上昇に伴う硫酸ミスト発生がおこる場合
もあり、その対策が必要となる。
【０００５】アルカリ剤を使用しない方法としては、過
酸化水素分解触媒へ水素を供給しながら過酸化水素を分
解処理する方法（特開昭６１−１８６２０８号公報）、
炭素質物質へ温度を上げた廃液を通じて過酸化水素を分
解処理する方法（特開平５−３４５１８８号公報）が知
られている。しかし、過酸化水素分解触媒へ水素を供給
しながら過酸化水素を分解する方法では、非常に可燃性
の高い水素ガスを使用する必要があり、また触媒の活性
低下の問題もある。炭素質物質へ温度を上げた廃液を通
じて過酸化水素を分解処理する方法では、過酸化水素を
含む強酸性の溶液を加熱処理することに伴う危険性があ
り、さらに加熱のためのエネルギーも必要となる問題が
ある。
酸化水素分解触媒へ水素を供給しながら過酸化水素を分
解処理する方法（特開昭６１−１８６２０８号公報）、
炭素質物質へ温度を上げた廃液を通じて過酸化水素を分
解処理する方法（特開平５−３４５１８８号公報）が知
られている。しかし、過酸化水素分解触媒へ水素を供給
しながら過酸化水素を分解する方法では、非常に可燃性
の高い水素ガスを使用する必要があり、また触媒の活性
低下の問題もある。炭素質物質へ温度を上げた廃液を通
じて過酸化水素を分解処理する方法では、過酸化水素を
含む強酸性の溶液を加熱処理することに伴う危険性があ
り、さらに加熱のためのエネルギーも必要となる問題が
ある。
【０００６】また、従来、過酸化水素除去用の還元剤と
して、亜硫酸のナトリウム塩である亜硫酸ナトリウムや
亜硫酸水素ナトリウムも使用されている。これらの還元
剤の使用にあたっては、酸の中和は必ずしも必要ではな
いが、これらの還元剤は塩の形であるため、硫酸ナトリ
ウムなどの硫酸塩を生成し、過酸化水素除去後に得られ
る、回収硫酸溶液の価値を著しく低下させるものであ
る。
して、亜硫酸のナトリウム塩である亜硫酸ナトリウムや
亜硫酸水素ナトリウムも使用されている。これらの還元
剤の使用にあたっては、酸の中和は必ずしも必要ではな
いが、これらの還元剤は塩の形であるため、硫酸ナトリ
ウムなどの硫酸塩を生成し、過酸化水素除去後に得られ
る、回収硫酸溶液の価値を著しく低下させるものであ
る。
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
の問題点を解決するために、従来の過酸化水素分解方法
とはまったく異なり、非常に簡便に硫酸−過酸化水素廃
液中の過酸化水素のみを分解し、処理後の廃液を硫酸溶
液として使用できるようにする方法を提供することであ
る。
の問題点を解決するために、従来の過酸化水素分解方法
とはまったく異なり、非常に簡便に硫酸−過酸化水素廃
液中の過酸化水素のみを分解し、処理後の廃液を硫酸溶
液として使用できるようにする方法を提供することであ
る。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明の硫酸−過酸化水
素廃液中の過酸化水素を分解する方法は、硫酸−過酸化
水素廃液へ硫酸の還元体である亜硫酸を、ガス、液体、
水溶液のいずれかの形で導入し、硫酸−過酸化水素廃液
中に含まれる酸化剤である過酸化水素により酸化し硫酸
を生成させる方法である。この方法において、亜硫酸の
添加は、全ての過酸化水素が亜硫酸と反応すると、過剰
の亜硫酸がガスとして放出されることを利用して、コン
トロールすることができる。また、その際若干過剰分と
して残存する亜硫酸が問題となる場合には通気すること
により除去することができる。
素廃液中の過酸化水素を分解する方法は、硫酸−過酸化
水素廃液へ硫酸の還元体である亜硫酸を、ガス、液体、
水溶液のいずれかの形で導入し、硫酸−過酸化水素廃液
中に含まれる酸化剤である過酸化水素により酸化し硫酸
を生成させる方法である。この方法において、亜硫酸の
添加は、全ての過酸化水素が亜硫酸と反応すると、過剰
の亜硫酸がガスとして放出されることを利用して、コン
トロールすることができる。また、その際若干過剰分と
して残存する亜硫酸が問題となる場合には通気すること
により除去することができる。
【０００８】本発明によれば、硫酸−過酸化水素廃液中
の過酸化水素のみを分解除去することができ、さらに処
理後の廃液を廃硫酸として、排水処理のｐＨ調整などに
利用することも可能となる。次に本発明を実施例により
説明するが、本発明はこれに限定されない。
の過酸化水素のみを分解除去することができ、さらに処
理後の廃液を廃硫酸として、排水処理のｐＨ調整などに
利用することも可能となる。次に本発明を実施例により
説明するが、本発明はこれに限定されない。
【０００９】
【実施例】残留過酸化水素濃度２．１２％、硫酸濃度７
４．８％の硫酸−過酸化水素廃液を密閉容器に入れ、下
部より亜硫酸ガスを導入して、逐次、その経過時間まで
に添加した亜硫酸の積算量（濃度換算）、残留過酸化水
素濃度、硫酸濃度を測定した。また気相部分の亜硫酸ガ
スも必要に応じて測定した。その結果を表１に示した。
また、２５００ｐｐｍの亜硫酸を含む反応終了後（経過
時間１０分）の溶液へ空気を６０分通気したところ、溶
液中の残存亜硫酸濃度は５０ｐｐｍに減少した。
４．８％の硫酸−過酸化水素廃液を密閉容器に入れ、下
部より亜硫酸ガスを導入して、逐次、その経過時間まで
に添加した亜硫酸の積算量（濃度換算）、残留過酸化水
素濃度、硫酸濃度を測定した。また気相部分の亜硫酸ガ
スも必要に応じて測定した。その結果を表１に示した。
また、２５００ｐｐｍの亜硫酸を含む反応終了後（経過
時間１０分）の溶液へ空気を６０分通気したところ、溶
液中の残存亜硫酸濃度は５０ｐｐｍに減少した。
【００１０】
【表１】
【００１１】
【発明の効果】本発明の亜硫酸を使用した硫酸および過
酸化水素を含む廃液からの硫酸の回収方法によれば、従
来有効利用できなかった硫酸および過酸化水素を含む廃
液中の過酸化水素のみを除去して、含まれる硫酸を硫酸
溶液として回収し、排水処理のｐＨ調整剤などとして有
効利用することができる。
酸化水素を含む廃液からの硫酸の回収方法によれば、従
来有効利用できなかった硫酸および過酸化水素を含む廃
液中の過酸化水素のみを除去して、含まれる硫酸を硫酸
溶液として回収し、排水処理のｐＨ調整剤などとして有
効利用することができる。
Claims (4)
- 【請求項１】 硫酸および過酸化水素を含む廃液へ亜硫
酸を導入し、過酸化水素と亜硫酸を反応させ、過酸化水
素を分解すると共に硫酸を生成させ、亜硫酸の過剰添加
を亜硫酸ガスを検知することにより防止することを特徴
とする硫酸および過酸化水素を含む廃液からの硫酸の回
収方法。 - 【請求項２】 硫酸および過酸化水素を含む廃液へ亜硫
酸を導入し、過酸化水素と亜硫酸を反応させ、過酸化水
素を分解すると共に硫酸を生成させ、過剰添加された亜
硫酸を亜硫酸導入停止後通気することにより除去するこ
とを特徴とする硫酸および過酸化水素を含む廃液からの
硫酸の回収方法。 - 【請求項３】 硫酸および過酸化水素を含む廃液へ亜硫
酸を導入し、過酸化水素と亜硫酸を反応させ、過酸化水
素を分解すると共に硫酸を生成させ、亜硫酸の過剰添加
を亜硫酸ガスを検知することにより防止し、さらに亜硫
酸導入停止後通気することにより残存する亜硫酸を除去
することを特徴とする請求項１又は２記載の硫酸および
過酸化水素を含む廃液からの硫酸の回収方法。 - 【請求項４】 使用する亜硫酸が、亜硫酸ガス、液体亜
硫酸および亜硫酸水のいずれかである請求項１、２又は
３記載の硫酸および過酸化水素を含む廃液からの硫酸の
回収方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13353696A JPH09315806A (ja) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | 硫酸および過酸化水素を含む廃液からの硫酸の回収方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13353696A JPH09315806A (ja) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | 硫酸および過酸化水素を含む廃液からの硫酸の回収方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09315806A true JPH09315806A (ja) | 1997-12-09 |
Family
ID=15107111
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13353696A Pending JPH09315806A (ja) | 1996-05-28 | 1996-05-28 | 硫酸および過酸化水素を含む廃液からの硫酸の回収方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09315806A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11246207A (ja) * | 1997-12-09 | 1999-09-14 | Degussa Ag | Ｍｍｐ−シアンヒドリンを硫酸により加水分解する際に生じる硫酸塩から硫酸を回収する方法 |
| WO2002095392A3 (de) * | 2001-05-23 | 2003-01-30 | Merck Patent Gmbh | Mittel und verfahren zur bestimmung von schwefliger säure in flüssigkeiten |
| CN103482793A (zh) * | 2013-09-26 | 2014-01-01 | 昆明理工大学 | 一种污酸综合利用方法 |
| CN103771573A (zh) * | 2012-10-23 | 2014-05-07 | 兆联实业股份有限公司 | 废水处理方法及其设备 |
-
1996
- 1996-05-28 JP JP13353696A patent/JPH09315806A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11246207A (ja) * | 1997-12-09 | 1999-09-14 | Degussa Ag | Ｍｍｐ−シアンヒドリンを硫酸により加水分解する際に生じる硫酸塩から硫酸を回収する方法 |
| WO2002095392A3 (de) * | 2001-05-23 | 2003-01-30 | Merck Patent Gmbh | Mittel und verfahren zur bestimmung von schwefliger säure in flüssigkeiten |
| CN103771573A (zh) * | 2012-10-23 | 2014-05-07 | 兆联实业股份有限公司 | 废水处理方法及其设备 |
| CN103482793A (zh) * | 2013-09-26 | 2014-01-01 | 昆明理工大学 | 一种污酸综合利用方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060124 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20060510 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20060913 |