JPH07272849A - 薄膜el表示器とその製造方法 - Google Patents

薄膜el表示器とその製造方法

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JPH07272849A
JPH07272849A JP6063096A JP6309694A JPH07272849A JP H07272849 A JPH07272849 A JP H07272849A JP 6063096 A JP6063096 A JP 6063096A JP 6309694 A JP6309694 A JP 6309694A JP H07272849 A JPH07272849 A JP H07272849A
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thin film
display
electrode
connection terminal
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JP6063096A
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English (en)
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Kazuhiro Inokuchi
和宏 井ノ口
Nobue Ito
信衛 伊藤
Tadashi Hattori
服部  正
Tamotsu Hattori
有 服部
Masahiko Osada
雅彦 長田
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Denso Corp
Original Assignee
NipponDenso Co Ltd
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    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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    • H05B33/02Details
    • H05B33/06Electrode terminals
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05BELECTRIC HEATING; ELECTRIC LIGHT SOURCES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; CIRCUIT ARRANGEMENTS FOR ELECTRIC LIGHT SOURCES, IN GENERAL
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    • HELECTRICITY
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    • H05B33/12Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces
    • H05B33/26Light sources with substantially two-dimensional radiating surfaces characterised by the composition or arrangement of the conductive material used as an electrode

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Abstract

(57)【要約】 【目的】実装作業性に優れ、信頼性の高い安定した性能
を有し、輝度ムラや色ムラの発生を防止することができ
る薄膜EL表示器とその製造方法を提供する。 【構成】この薄膜EL表示器は、ガラス基板11、21
上に、第1電極12、22、第1絶縁層、発光層、第2
絶縁層、及び第2電極16、26を順に積層形成してな
る2枚の薄膜EL素子1、2を、重ね合せて配置し、各
薄膜EL素子1、2の基板11、21上の縁部に、前記
第1電極12、22、第2電極16、26が接続される
接続端子部12a,22a,16a,26aが形成され
る。一方の薄膜EL素子1の基板上の縁部に、他方の薄
膜EL素子2の各接続端子部22a,26aに対応した
接続パッド部17、18が設けられ、接続パッド部と他
方の薄膜EL素子の接続端子部が導電連結部19を介し
て接続され、リード線が接続される接続パッド部と前記
接続端子部とが両基板の重ならない位置の一方の基板の
縁部上に設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、各種情報端末機器のデ
ィスプレイ装置、車載用表示器等に使用される薄膜EL
(エレクトロルミネッセンス)表示器に係わるもので、
特に2枚の薄膜EL素子を重ね合せた構造の薄膜EL表
示器とその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】薄膜EL表示器は、硫化亜鉛(ZnS)
等を母体とする蛍光体に電界をかけたとき発光する現象
を利用したもので、近年、自発光型の平面表示装置とし
て注目されている。
【0003】この種の薄膜EL表示器の発光色は、発光
体層中に添加する発光中心元素の種類によって種々に変
えることができ、例えば、発光母体を硫化亜鉛(Zn
S)として、マンガン(Mn)を添加した場合には、黄
橙色に発光し、またフッ化テルビウム(TbF3 )、塩
化サマリウム(SmCl3 )、塩化ツリウム(TmCl
3 )、フッ化プラセオジウム(PrF3 )を添加した場
合には、それぞれ、緑色、赤色、青色、白色に発光す
る。
【0004】そこで、少なくとも一方を透明基板とした
2枚の基板上に、各々異なる発光色の薄膜EL素子を形
成し、それらを重ね合わせ接着し、可変色表示を可能と
した薄膜EL表示器が提案されている(特開昭59-13358
4 号公報参照)。
【0005】この可変色薄膜EL表示器は、単色の二重
絶縁型の薄膜EL素子を単に重ね合わせて構成できるた
め、比較的構造が簡単で、かつ最終的な組み付けの前
に、各々異なる発光色のEL素子を選別し、チェックで
きるため、製品の歩留まりが良く、しかも信頼性が高
い。
【0006】また、薄膜EL表示器は、一般に空気中の
水分等で劣化し易く、これを保護するために、シリコー
ンオイル等でEL表示素子全体を封止する方法が取られ
ているが、上記の可変色薄膜EL表示器は、EL素子側
を互いに内向きに重ね合わせ、その空間にシリコーンオ
イル等を封止できるので、封止用のダミー基板等が不要
となる利点もある。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかし、2枚の薄膜E
L素子を重ね合せて構成した薄膜EL表示器は、分離さ
れた各々の基板の電極の接続端子部にリード線を接続す
る必要があるため、基板の周縁部に多数の接続端子部を
設ける場合には、そのリード線接続を含む実装組み付け
作業が非常に複雑化、煩雑化する問題があった。このた
め、従来、特開昭64−60993号公報等において、
2枚の薄膜EL素子を重ね合せた構造の薄膜EL表示器
のリード線の接続構造が提案されている。
【0008】しかし、この従来の薄膜EL表示器は、図
25に示すように、2枚の薄膜EL素子90、91の各
電極の接続端子部92、93を周縁部に設け、各々の発
光層側を内側にした状態で、微小な間隙をもって両薄膜
EL素子90、91を重ね合せ、その微小な隙間にFP
C等のリード線部材94を挿入するようにして、各接続
端子部92、93とリード線部材94を接続している。
【0009】しかしながら、2枚の薄膜EL素子90、
91の間隙の幅は約50μmと非常に狭く、実際には、
2枚の薄膜EL素子90、91を接着した後に、リード
線部材94を接続することは不可能である。
【0010】このため、両EL素子を接着する前に、各
接続端子部にリード線部材を接続しておく必要がある
が、リード線部材を取り付けた後、2枚の基板を高精度
に位置合せして接着する作業は非常に難しく、しかも、
その後に防湿のためのシリコーンオイルを間隙に充填す
る際、リード線部材にオイルが付着し、その洗浄は困難
である。
【0011】さらに、リード線部材にFPC(可撓性プ
リント配線板)を使用する場合、その厚さは、通常、1
00〜200μmであるため、2枚のFPCを両基板の
間隙に配設するためには、両薄膜EL素子の間隙を20
0〜400μmに広げる必要があるが、両薄膜EL素子
の間隙を広くして接着した場合、可変色表示の表示色が
にじみやすく、表示品質を低下させる問題があった。
【0012】一方、ドットマトリックス方式の薄膜EL
表示器の場合、図26に示すように、上述のようなリー
ド線部材の接続の問題を避けるために、2枚のEL素子
95、96をずらして重ね合わせ接着し、シリコーンオ
イルを封入した後にリード線部材を接続することが考え
られる。
【0013】しかし、このような薄膜EL表示器の場
合、各薄膜EL素子95、96の各ストライプ状の電極
の接続端子部97、98が、片側に位置するため、発光
表示される各表示ドット(ストライプ電極の交差部分)
99から各接続端子部97、98までの距離は各表示ド
ットの位置により大きく相違する。
【0014】このため、比較的大きい抵抗値を有するI
TO等の透明電極では、その間の電圧、電流が接続端子
部97、98の近くでは大きく、そこから遠くなる程、
電極間の電流、電圧が低下するため、このような薄膜E
L表示器の表示画面上では、輝度ムラが発生する問題が
ある。
【0015】さらに、発光色の相違する2枚の薄膜EL
素子を重ね合せた可変色薄膜EL表示器の場合、各薄膜
EL素子に印加する電圧等を変えて発光色を制御するた
め、表示画面上に所定の色を表示しようとしても、表示
画面上の位置によって表示色が一定せず、色ムラが生じ
る問題がある。
【0016】本発明は、上記の点に鑑みなされたもの
で、実装作業性に優れ、信頼性の高い安定した性能を有
し、輝度ムラや色ムラの発生を防止することができる薄
膜EL表示器とその製造方法を提供することを目的とす
る。
【0017】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明の薄膜EL表示器は、基板上に、第1電極、
第1絶縁層、発光層、第2絶縁層、及び第2電極を順に
積層形成してなる2枚の薄膜EL素子を、重ね合せて配
置し、各薄膜EL素子の基板上の縁部に、前記第1、第
2電極が接続される接続端子部が形成された薄膜EL表
示器において、一方の薄膜EL素子の基板上の縁部に、
他方の薄膜EL素子の各接続端子部に対応した接続パッ
ド部が設けられ、接続パッド部と他方の薄膜EL素子の
接続端子部が導電連結部を介して接続され、リード線が
接続される接続パッド部と前記接続端子部とが両基板の
重ならない位置の一方の基板の縁部上に設けられて構成
される。
【0018】ここで、請求項3において、両薄膜EL素
子は、各第1、第2電極が並設され、相互に重なり合っ
て位置する両薄膜EL素子の第1電極又は第2電極の接
続端子部を同じ側の縁部に設けられる構成とすることも
できる。
【0019】
【作用・効果】このような構成の薄膜EL表示器では、
FPC等のリード線が接続される接続パッド部と接続端
子部とが、両薄膜EL素子の基板の重ならない位置に設
けられるため、リード線の接続を、実装組み付け後、つ
まり両薄膜EL素子を重ね合せ接着し絶縁油を封入した
後に行うことができ、リード線の接続作業が従来に比
べ、極めて簡単化できると共に、2枚の薄膜EL素子を
微細な間隙で高精度に位置決めして接着できるため、ボ
ケやにじみのない高品位の表示を行うことができる。
【0020】また、両薄膜EL素子における相互に重な
り合って位置する第1、第2電極の接続端子部が、各々
同じ側の縁部に設けられているため、その部分の両薄膜
EL素子の第1電極と第2電極の各リード線は、同じ方
向から接続されることになり、薄膜EL表示器を実際に
駆動する場合、重なり合う2枚の薄膜EL素子の各電極
には、相互に同じ方向から通電が行われる。このため、
各電極における接続端子部から表示部分までの距離の違
いにより生じる電極の電気抵抗に起因した輝度ムラを、
解消することができる。また、同様な理由により、相違
した発光色を有する2枚の薄膜EL素子を重ね合せた可
変色の薄膜EL表示器において生じる色ムラも、解消す
ることができる。
【0021】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
【0022】(第1実施例) 図1は、ドットマトリッ
クス方式の可変色薄膜EL表示器の概略平面図を示し、
図2、図3は各々その概略断面図を示している。
【0023】この可変色薄膜EL表示器は、図4に示す
薄膜EL素子1の上に、より小形の薄膜EL素子2(図
5)をその発光層側を内側にして重ね合せ、接着して構
成され、薄膜EL素子2側に表示光を放射して表示面と
する。
【0024】薄膜EL素子2は、図6に示すように、透
光性絶縁基板であるノンアルカリのガラス基板21上
に、ITO(Indium Tin Oxide : 酸化インジウム・
錫)透明導電膜からなる第1透明電極22、第1絶縁層
23、母体材料が硫化亜鉛(ZnS)からなる第1の発
光色を呈する発光層24、第2絶縁層25、及び酸化亜
鉛(ZnO: Ga23 )透明導電膜からなる第2透明
電極26を、順に積層形成して構成される。
【0025】図5に示すように、第1透明電極22は、
横方向にのびるストライプ状に形成され、所定の間隔を
もって並設された多数の短冊状の電極22の一端に、接
続端子部22aが形成され、その接続端子部22aは、
1本おきに右側と左側に交互に、基板21の両側縁部に
現われるように、電極の端部に延設される。
【0026】また、第2透明電極26は、縦方向にのび
るストライプ状に形成され、所定の間隔をもって並設さ
れた多数の短冊状の電極26の一端に、接続端子部26
aが形成され、その接続端子部26aは、1本おきに上
側と下側に交互に、基板21の上下縁部に現われるよう
に、電極の端部に延設される。
【0027】これらの接続端子部22a、26aは、第
1絶縁層23、発光層24、第2絶縁層25によって被
覆されない電極部分上に、Ni又はAu等の金属膜を被
覆し、その上に予備ハンダを被覆して形成される。
【0028】一方、薄膜EL素子1は、図6に示すよう
に、上述した光放出側のガラス基板21より一回り大き
いノンアルカリのガラス基板11上に、Ta、Mo又は
W金属膜からなる反射形の第1電極12、第1絶縁層1
3、第1の発光色とは異なる第2の発光色を呈する発光
層14、第2絶縁層15、及び酸化亜鉛(ZnO: Ga
23 )透明導電膜からなる第2透明電極16を、順に
積層形成して構成される。
【0029】図4に示すように、第1電極12は、横方
向にのびるストライプ状に形成され、所定の間隔をもっ
て並設された多数の短冊状の電極12の一端に、接続端
子部12aが形成され、その接続端子部12aは、1本
おきに右側と左側に交互に、基板21の両側縁部に現わ
れるように、電極の端部に延設される。
【0030】また、第2透明電極16は、縦方向にのび
るストライプ状に形成され、所定の間隔をもって並設さ
れた多数の短冊状の電極16の一端に、接続端子部16
aが形成され、その接続端子部16aは、1本おきに上
側と下側に交互に、基板11の上下縁部に現われるよう
に、電極の端部に延設される。
【0031】さらに、各々の接続端子部12a,16a
と隣接する位置に、薄膜EL素子2側の電極22、26
を接続するための接続パッド部17、18が形成され
る。これらの接続パッド部17は、両EL素子を重ね合
せた際、電極22の接続端子部22aと対向する位置と
なるように配置され、接続パッド部18は、両EL素子
を重ね合せた際、電極26の接続端子部26aと対向す
る位置となるように配置される。これらの接続パッド部
17、18は、Ni又はAu等の金属膜の上に予備ハン
ダを被覆して形成される。
【0032】これら2枚の薄膜EL素子1、2は、発光
層側を向かい合う形で対向配置させ、スペーサを含む接
着剤8で各基板間を一定の間隙に保持するとともに、各
薄膜EL素子1、2の発光ドットの位置が正確に合うよ
うに、予め基板上に印刷された位置決めマークM1、M
2を合せ、重ね合せて接着される。
【0033】接続パッド部17、18上の予備ハンダ
は、加熱処理を行って溶融することにより、導電連結部
19となり、導電連結部19は、図2、3に示す如く、
薄膜EL素子2の第1透明電極22の接続端子部22a
と接続パッド部17、及び第2透明電極26の接続端子
部26aと接続パッド部18を接続する。
【0034】接着剤8は接続パッド部17、18の内側
に沿って付され、一部に接着剤を付さないことにより、
油注入口が形成されている。その油注入口から両素子
1、2の間隙にシリコーンオイルを真空注入し、油注入
口を接着剤で封止する。
【0035】そして、薄膜EL素子1の基板11上縁部
に形成された接続端子部12a,16a、及び接続パッ
ド部17、18に、FPC等のリード線7が接続され、
リード線7は図示しない駆動回路に接続されている。
【0036】ここで、背面側の薄膜EL素子1は、基板
としてノンアルカリのガラス基板を用いているが、必ず
しも透明である必要はなく、ムライト(3Al23
2SiO2 〜Al23 ・2SiO2 )やアルミナ(A
23 )等のセラミックス基板でもよい。
【0037】また同様に、薄膜EL素子1は、第1電極
12がTa、Mo又はW金属膜からなる反射電極として
いるが、ITO等の透明導電膜よりなる透明電極として
もかまわない。背面側の薄膜EL素子1に透明基板及び
透明電極を使用する場合には、基板背面に黒色テープや
耐熱性の黒色塗料を配することにより、コントラストを
引き立たせることができる。しかし、より一層の輝度を
望むなら反射率の高い金属電極の使用が好ましい。
【0038】また、反射形の電極には、Ta、Mo又は
Wの他、AlやAg等の高反射金属膜を使用することも
できる。但し、この高反射金属膜の選択では、絶縁膜等
の他の膜や基板等の構成材料との熱膨張係数や膜応力の
整合性、及び処理温度等の作製条件に耐え得ることを考
慮する必要がある。Ta、Mo又はW金属はAl程の反
射率は見込めないが、上記条件を満たす材料の1つであ
る。
【0039】次に、可変色薄膜EL表示器の製造方法
を、より具体的に説明する。
【0040】薄膜EL素子2の場合、先ず、ガラス基板
21上にITO(Indium Tin Oxide: 酸化インジウ
ム、錫)透明導電膜をアルゴン(Ar)及び酸素(O)
の混合ガス雰囲気中でDCスパッタして200nm の厚さに
成膜し、ウェットエッチングにより紙面の左右方向に1
本おきにズラしたストライプ状の透明な第1透明電極2
1を形成した。
【0041】薄膜EL素子1では、ガラス基板11上に
Ta反射電極をアルゴン(Ar)ガス雰囲気中でDCス
パッタして150nm の厚さに成膜し、ドライエッチングに
より同様にストライプ状の反射形の第1電極12を形成
すると共に、その端部に接続端子部12aの部分に相当
する箇所を形成した。
【0042】その上に、シリコンをターゲットとしてア
ルゴン、窒素及び少量の酸素の混合ガス雰囲気中で高周
波スパッタして酸化窒化珪素(SiON)を100nm の厚
さに成膜した後、その上に、五酸化タンタル・酸化アル
ミニウム混合(Ta25 ・Al23 )をターゲット
としてアルゴン及び酸素の混合ガス雰囲気中で高周波ス
パッタして300nm の厚さに連続成膜し、第1絶縁層13
を形成した。
【0043】次に、薄膜EL素子2では、TbOFを添
加した硫化亜鉛(ZnS)をターゲットとして、アルゴ
ン及びヘリウム(He)の混合ガス雰囲気中で高周波ス
パッタして500nm の厚さに成膜し発光層24を形成し
た。また、薄膜EL素子1においては、Mnを添加した
硫化亜鉛(ZnS)を蒸着用ペレットとして、電子ビー
ム蒸着法により620nm の厚さに成膜し発光層14を形成
した。
【0044】そして、第1絶縁層23と同じ要領でSi
ONを100nm の厚さ、Ta25 ・Al2 Oを320nm の
厚さに連続成膜し、その上に更にSiONを100nm を成
膜して第2絶縁層25を形成した。ここで、第1、第2
絶縁層共に成膜条件は同じであり、膜厚は搬送速度と繰
り返し成膜回数により調整した。
【0045】これらの薄膜を積層形成した後、Ga2
3 を添加したZnO透明導電膜をイオンプレーティング
により450nm の厚さに成膜し、フォトエッチング法によ
り紙面の上下方向に1本おきにズラしたストライプ状の
透明な第2透明電極26を形成した。
【0046】一方、薄膜EL素子1では、同様にストラ
イプ状の透明な第2透明電極16を形成すると共に、電
極の端部に接続パッド部16aの部分に相当する箇所を
形成した。
【0047】第1絶縁層13、23、発光層14、2
4、第2絶縁層15、25の成膜に際しては、金属マス
ク等でガラス基板11、21の周囲を制限して成膜し、
第1電極12、第1透明電極22の所定の端部を覆わな
いようにした。その後、第1絶縁層13、23、発光層
14、24、第2絶縁層15、25の成膜領域を塞ぎガ
ラス基板11、21の周囲の第1電極12、22及び第
2電極16、26の端部の所定の位置を開口した金属マ
スク等で成膜領域を制限しながら、ニッケル(Ni)を
ターゲットとしてアルゴン雰囲気中でDCスパッタして
350nm の膜厚に成膜し、ウェットエッチング法より各々
の電極端子部を端子間が接続しないように孤立して接続
端子部12a,16a,22a,26aを形成すると共
に、2枚の基板を重ね合わせる際に用いる位置決めマー
クM1、M2を形成した。
【0048】ここで、第1絶縁層13、23、発光層1
4、24、第2絶縁層15、25の成膜領域を塞いだ理
由は、Niのエッチングの際、ZnO膜よりなる第2透
明電極16、26を含む上記膜を保護するためであり、
必要な箇所をレジストで覆い、Niのエッチング液に晒
さないためである。
【0049】また、薄膜EL素子1では、上記と同様に
Ni膜を、第1電極、第2透明電極の各接続端子部12
a,16a、接続パッド部17、18上に形成し、基板
の隅に位置決めマークM1を形成した。
【0050】上記のように製作された薄膜EL素子1と
2は、どちらか一方の内側に、ギャップ形成用の直径約
20μmの樹脂ビーズ(図示しない)を散布し塗布する
と共に、スペーサとしての樹脂ビーズを混入したエポキ
シ系の熱硬化型樹脂の接着剤8をスクリーン印刷し、接
続端子部12a,16a,22a,26aを形成する
際、予めNi膜にて基板上に形成しておいた位置決めマ
ークM1 M2を用いて、位置ズレが5μm以内となる
ように両素子1、2を正確に位置合わせし、互いの発光
面が向かい合う形で2枚の基板11、21を重ね合わせ
た状態で、高温槽に入れ、接着固化させた。
【0051】この時、薄膜EL素子2に形成された接続
端子部22a,26aと、薄膜EL素子1に形成された
接続パッド部17、18(図のハッチング部)がちょう
ど重なり合うように接着・固定される。
【0052】次に、上記接着剤8の一部を切り欠いた油
注入口を下にして、減圧雰囲気下でシリコーンオイル中
に素子1、2を浸積し、これを大気圧に戻すことで2枚
の基板の間隙にシリコーンオイルを充填し、余計なオイ
ルを拭き取った後、油注入口をエポキシ系の常温硬化型
の樹脂接着剤で封止した。封止に際してエポキシ系の常
温硬化型の樹脂接着剤の代わりに紫外線硬化型の接着剤
を用いてもよい。
【0053】その後、封止した2枚の素子1、2をハン
ダ(Pb−Sn合金)メッキ槽に浸積し、薄膜EL素子
2の接続端子部22a,26aと薄膜EL素子1の接続
端子部12a,16a、及び接続パッド部17、18上
に、厚さ約10μmのハンダメッキ膜を形成した。
【0054】次に、光ビーム等の非接触加熱手段にて、
光放射側の薄膜EL素子2側から接続端子部22a,2
6aを加熱してハンダを溶かし、溶融したハンダにより
導電連結部19を形成し、薄膜EL素子1に形成された
接続パッド部17、18に連結した。
【0055】なお、上記実施例においては、2枚の基板
を重ね合わせた後、接続端子部12a,16a,22
a,26aにハンダメッキ膜を形成したが、重ね合わせ
前に予め基板上の所定の位置にハンダメッキ膜を形成
し、或はペースト状のハンダソルダーをスクリーン印刷
し、或はディスペンサー等の注射針から吐出して塗布し
て形成してもよい。
【0056】また、ハンダとしては、銀ペースト等の導
体粒子を有機溶剤に練り込んだペースト状のもので、加
熱により流動性を持ち、冷却することで固化して導通で
きるものであればよい。但し、加熱により発生するヒュ
ームやガス等によりEL素子にダメージを与えるもので
あってはならない。
【0057】また、上記実施例では、ハンダを溶かす
際、非接触加熱手段として光ビームを使用したが、非常
に細いノズルから水素ガスと酸素ガスを吹き出し燃焼さ
せるバーナー式の加熱手段や、高温熱風が噴出するドラ
イヤー形式のものを使用してもよい。
【0058】上記のように製作された薄膜EL表示器
は、その後、薄膜EL素子1の基板11の縁部に形成さ
れた接続端子部12a,16aと接続パッド部17、1
8に、FPC等のリード線7がハンダ付けされ、リード
線7のもう一方の端部は、駆動回路等が実装されたガラ
スエポキシ等よりなるプリント基板にハンダ付けされ
る。そして、薄膜EL表示器の周縁部は、それらの接続
部を保護するため、絶縁性のシリコーン樹脂で被覆され
る。
【0059】このように製作された可変色薄膜EL表示
器は、製作後の検査において、半田付け不良による欠陥
等は全く無く、2枚の薄膜EL素子1、2間の位置ズレ
や、2枚の素子の間隔(ギャップ)からくる光路差によ
る表示パターンのにじみも全く認められず、極めて良好
な表示を示すことが確認された。
【0060】なお、上記実施例はドットマトリックス方
式の薄膜EL表示器であるが、7セグメントの数字表示
器においても同様に製作することができる。また、薄膜
EL素子の発光色は、例示した上記以外の発光色とする
こともでき、必要に応じて色フィルターを設けてもよ
く、さらに、2枚の薄膜EL素子の発光色を同じ発光色
にし、重ね合わせることにより、発光輝度を増加させる
構造としてもよい。
【0061】上記実施例の薄膜EL表示器では、同一位
置で重なり合った2枚の薄膜EL素子1、2の各電極
に、その両側からリード線を通して通電するため、図2
6に示すように片側から通電する場合に比べ、輝度ムラ
や色ムラの発生を少なくすることができるが、表示器が
大形化し表示画面の面積が増大すると、各電極の長さが
長くなり、電極の電気抵抗の増大によって、また画素数
の増大により画素の容量性負荷が増大し、輝度ムラや色
ムラが目立つようになる。
【0062】即ち、図7は各薄膜EL素子1、2の各電
極に印加する電圧波形と実電圧波形を示したものであ
り、素子に印加する電圧は矩形波のパルス波形である
が、実際に電極にかかる電圧は、実電圧波形に示すよう
に、過渡特性を持った電圧となる。
【0063】図7において、τはパルス幅、Vmax は最
大印加(信号)電圧、Vn は実負荷(素子の1つの画
素)にかかる最大電圧、VthはEL素子の発光開始電圧
を示す。ドットマトリックス方式の薄膜EL表示器にお
ける1ライン(X軸)上の電極の等価回路は、図8に示
すように簡略化して表わすことができる。1ラインの電
極に垂直な方向の電極(Y方向)の数、つまり画素数は
例えば640である。
【0064】この等価回路において、n番目の画素にか
かる最大実電圧Vn は、Vn=Vmax (1−e
-t/640nRC ) のように表せる。
【0065】薄膜EL素子の輝度は、電圧に比例して高
くなるので、輝度の分布はこのVnの値をみれば推測で
きる。実際には、薄膜EL素子は、発光開始電圧Vth以
上にならないと光らないので、(Vn−Vth)/(V
max −Vth) の式の値が輝度の分布と比例すること
となる。
【0066】図9は上記の考察に基づき、表示器の1ラ
インの電極(X方向)の輝度分布をシュミレーションし
たもので、パルス幅τ=35μsec 、1画素の容量C=
6PF、Vmax =300V、Vth=250Vとして、総
抵抗値Rを5kΩ、4kΩ、3kΩ、2kΩとし、画素
間の電極抵抗値rと総抵抗値Rは、R=640rの関係
にあるものとして、接続端子部から個々の画素までの抵
抗値nrを決定して計算した結果を示す。この図9から
分かるように、電極抵抗が増大すると、電圧の低下つま
り輝度ムラが大きくなることがわかるであろう。
【0067】また、図10は、例えばR=5kΩの電極
抵抗をもつ薄膜EL素子1、2を重ねた時の1つのライ
ンの輝度の関係を表したものであるが、薄膜EL素子
1、2の発光色が同じ場合には、相互補完されて輝度ム
ラが解消されるものの、異なった色の発光色を持つ場
合、両素子の輝度がラインに沿って逆に変化するため、
色ムラが発生しやすくなる。 (第2実施例) 図11〜図15は第2実施例を示し、
上記のような色ムラの発生を低減できる薄膜EL表示器
の例である。
【0068】この薄膜EL表示器は、図14に示す薄膜
EL素子3の上に、より小形の薄膜EL素子4(図1
5)をその発光層側を内側に重ね合せ接着して構成さ
れ、薄膜EL素子4側に表示光を放射して表示面とす
る。
【0069】薄膜EL素子4は、上記と同様にガラス基
板41上に、透明導電膜からなる第1透明電極42、第
1絶縁層、母体材料が硫化亜鉛(ZnS)からなる第1
の発光色を呈する発光層、第2絶縁層、及び第2透明電
極46を、順に積層形成して構成される。
【0070】図15に示すように、第1透明電極42
は、横方向にのびるストライプ状に形成され、所定の間
隔をもって並設された多数の短冊状の電極42の一端
に、接続端子部42aが形成され、その接続端子部42
aは、1本おきに右側と左側に交互に、基板41の両側
縁部に現われ、且つ隣接する電極側に曲るように延設さ
れる。つまり、隣の電極42のライン上に各接続端子部
42aが位置する。
【0071】また、第2透明電極46は、縦方向にのび
るストライプ状に形成され、所定の間隔をもって並設さ
れた多数の短冊状の電極46の一端に、接続端子部46
aが形成され、その接続端子部46aは、1本おきに上
側と下側に交互に、基板41の上下縁部に現われ、且つ
隣接する電極側に曲るように延設される。つまり、隣の
電極46のライン上に各接続端子部46aが位置する。
【0072】一方、薄膜EL素子3は、図14に示すよ
うに、ガラス基板31上に、反射形の第1電極32、第
1絶縁層、第1の発光色とは異なる第2の発光色を呈す
る発光層、第2絶縁層、及び透明導電膜からなる第2透
明電極36を、順に積層形成して構成される。
【0073】図14に示すように、第1電極32は、横
方向にのびるストライプ状に形成され、所定の間隔をも
って並設された多数の短冊状の電極32の一端に、接続
端子部32aが形成され、その接続端子部32aは、1
本おきに右側と左側に交互に、基板31の両側縁部に現
われるように、電極の端部に延設される。
【0074】また、第2透明電極36は、縦方向にのび
るストライプ状に形成され、所定の間隔をもって並設さ
れた多数の短冊状の電極36の一端に、接続端子部36
aが形成され、その接続端子部36aは、1本おきに上
側と下側に交互に、基板31の上下縁部に現われるよう
に、電極の端部に延設される。
【0075】さらに、各々の接続端子部32a,36a
と隣接する位置に、薄膜EL素子4側の電極42、46
を接続するための接続パッド部37、38が形成され
る。これらの接続パッド部37は、両EL素子を重ね合
せた際、電極42の接続端子部42aと対向する位置と
なるように配置され、接続パッド部38は、両EL素子
を重ね合せた際、電極46の接続端子部46aと対向す
る位置となるように配置される。これらの接続パッド部
37、38は、Ni又はAu等の金属膜の上に予備ハン
ダを被覆して形成される。
【0076】2枚の薄膜EL素子3、4は、発光層側を
向かい合う形で対向配置させ、スペーサを含む接着剤8
で各基板間を一定の間隙に保持するとともに、各薄膜E
L素子3、4の発光ドットの位置が正確に合うように、
予め基板上に形成された位置決めマークを合せ、重ね合
せて接着される。接着剤8の位置は、図11〜図13に
示すように、各接続端子部32a,36a、接続パッド
部37、38の内側に沿って表示部を囲うように配置さ
れる。
【0077】接続パッド部37、38上の予備ハンダ
は、加熱処理を行って溶融することにより、導電連結部
39となり、導電連結部39は、図12、13に示す如
く、薄膜EL素子4の第1透明電極42の接続端子部4
2aと接続パッド部37、及び第2透明電極46の接続
端子部46aと接続パッド部38を接続する。
【0078】このように構成された薄膜EL表示器は、
図15に示すように、薄膜EL素子4の第1、第2透明
電極42、46の接続端子部42a,46aが隣接する
電極側に曲げられて配置されるため、両薄膜EL素子
3、4を重ね合せ接着した場合、同じ表示位置にある両
薄膜EL素子3、4の各電極42と32又は電極46と
36は、同じ側に設けられた接続端子部32a,36a
又は接続パッド部37、38に接続される。
【0079】したがって、同じ表示位置の各電極42と
32又は電極46と36には、駆動時、同じ方向から通
電され、1つの表示ライン上では同じ方向で輝度が減少
していくため、上述した上記実施例の図10に示すよう
な現象による色ムラは、生じない。
【0080】また、輝度に関しては、1表示ライン上で
は、接続端子部、接続パッド部に近い側から遠くなるほ
ど輝度が減少するが、その隣の表示ラインでは色相が同
じで、かつ輝度が逆の関係になるため、各表示ラインの
輝度の減少分が相互に補完され、輝度ムラを人の目に感
じさせないようにすることができる。
【0081】(第3実施例) 図16〜図20は第3実
施例を示し、この実施例の特徴は、両薄膜EL素子5、
6の接着が、光放出側の薄膜EL素子6の各電極の接続
端子部62a,66aと接続パッド部57,58の接続
部分の外側に沿って配置された接着剤28によって行わ
れる点であり、その他の構造については、上記第2実施
例と略同様である。
【0082】この薄膜EL表示器は、上記実施例と同様
に、図19に示す薄膜EL素子5の上に、より小形の薄
膜EL素子6(図20)をその発光層側を内側に重ね合
せ接着して構成され、薄膜EL素子6側に表示光を放射
して表示面とする。
【0083】薄膜EL素子5と6は、基本的には上記実
施例の薄膜EL素子3、4と各々同様に構成されが、薄
膜EL素子6では、ガラス基板61の周縁部に接着剤2
8がのるためのスペースが設けてあり、さらに、薄膜E
L素子5では、接続パッド部57、58と接続端子部5
2a,56aの部分(薄膜EL素子6側の接続端子部6
2a,66aが接続される部分)の外側に、接着剤28
がのるためのスペースが設けてある。
【0084】2枚の薄膜EL素子5、6は、各電極の接
続端子部52a,56a,62a,66aと接続パッド
部57、58上にハンダメッキ膜を形成した状態で、ス
ペーサを含む接着剤28を各電極の接続端子部62a,
66aと接続パッド部57,58の接続部分の外側に沿
って配置し、正確に位置合せした状態で、接着剤28に
より接着される。
【0085】接続パッド部57、58上の予備ハンダ
は、加熱処理を行って溶融することにより導電連結部5
9となり、これらの導電連結部59は、図17、18に
示す如く、薄膜EL素子6の第1透明電極62の接続端
子部62aと接続パッド部57、及び第2透明電極66
の接続端子部66aと接続パッド部58を接続する。
【0086】具体的には、両薄膜EL素子5、6の接
着、及び接続パッド部57、58の導電連結部59を介
しての接続は、次のように実施される。
【0087】2枚の薄膜EL素子5、6を重ね合わせた
後、接続端子部、接続パッド部にハンダメッキ膜を形成
することはできないので、重ね合わせ前に予め基板上の
所定の位置にペースト状のハンダソルダー(スーパーソ
ルダー)をスクリーン印刷してハンダメッキ膜を形成し
た。ハンダソルダーの塗布厚さは、各々の素子で略10
μmであり、2枚の素子5、6を重ね合わせた状態で
は、ほとんど接触していた。
【0088】そして、透明基板62を通して接続端子部
52a,56a,62a,66a、接続パッド部57、
58の接続部分に光ビームを照射し、その部分を加熱し
てハンダを溶融させ、溶融したハンダの導電連結部59
によってその部分を連結した。
【0089】次に、接着剤28の一部を切り欠いた油注
入口を下にした状態で、減圧雰囲気下でシリコーンオイ
ル中に浸積し、これを大気圧に戻すことで、2枚の薄膜
EL素子5、6間にシリコーンオイルを充填し、余計な
オイルを拭き取った後、油注入口をエポキシ系の常温硬
化型の樹脂接着剤で封止し、はみ出たシリコーンオイル
を最終洗浄を行って完全に除去した。
【0090】そして、第1実施例と同様に、薄膜EL素
子5のガラス基板51の周囲に形成された接続端子部5
2a,56a及び接続パッド部57、58にFPC等の
リード線を接続し、それらの接続部を保護するため、絶
縁性のシリコーン樹脂等でガラス基板51の周縁部を被
覆した。
【0091】このように製造される薄膜EL表示器で
は、導電連結部59が接着剤28で封止された部分の内
側に位置するため、その部分を良好に保護することがで
き、また、製造工程時には、接続端子部等に付着したシ
リコーンオイルを除去する際、導電連結部59付近を除
く接続端子部と接続パッド部の一部のみのオイルを除去
すればよいため、オイルの除去作業が容易となる。ま
た、絶縁油を注入封止した後に、接続端子部、接続パッ
ト部にリード線を接続できるため、従来に比べ実装作業
をより簡単化することができる。
【0092】(第4実施例) 図21〜図24は第4実
施例を示し、電極の接続端子部の構造をより簡略化する
と共に、各素子の走査側の電極を駆動回路に共通化して
接続できるようにした薄膜EL表示器の例である。
【0093】この薄膜EL表示器は、図21に示す薄膜
EL素子70の上に、より小形の薄膜EL素子80(図
24)をその発光層側を内側に重ね合せ接着して構成さ
れ、薄膜EL素子80側に表示光を放射して表示面とす
る。
【0094】薄膜EL素子80は、上記と同様にガラス
基板81上に、透明導電膜からなる第1透明電極82、
第1絶縁層、母体材料が硫化亜鉛(ZnS)からなる第
1の発光色を呈する発光層、第2絶縁層、及び第2透明
電極86を、順に積層形成して構成される。
【0095】図24に示すように、第1透明電極82
は、横方向にのびるストライプ状に形成され、所定の間
隔をもって並設された多数の短冊状の電極82の両端
に、接続端子部82aが形成される。また、第2透明電
極86は、縦方向にのびるストライプ状に形成され、所
定の間隔をもって並設された多数の短冊状の電極86の
一端に、接続端子部86aが形成され、その接続端子部
86aは、1本おきに上側と下側に交互に、基板81の
上下縁部に現われるように延設される。
【0096】一方、薄膜EL素子70は、図23に示す
ように、ガラス基板71上に、反射形の第1電極72、
第1絶縁層、第1の発光色とは異なる第2の発光色を呈
する発光層、第2絶縁層、及び透明導電膜からなる第2
透明電極76を、順に積層形成して構成される。
【0097】図23に示すように、第1電極72は、横
方向にのびるストライプ状に形成され、所定の間隔をも
って並設された多数の短冊状の電極72の両端に、接続
端子部72aが形成される。また、第2透明電極76
は、縦方向にのびるストライプ状に形成され、所定の間
隔をもって並設された多数の短冊状の電極76の一端
に、接続端子部76aが形成され、その接続端子部76
aは、1本おきに上側と下側に交互に、基板71の上下
縁部に現われるように、電極の端部に延設される。
【0098】さらに、接続端子部76aと隣接する位置
に、薄膜EL素子80側の電極82、86を接続するた
めの接続パッド部78が形成される。これらの接続パッ
ド部78は、両EL素子を重ね合せた際、電極86の接
続端子部86aと対向する位置となるように配置され
る。これらの接続パッド部38は、Ni又はAu等の金
属膜の上に予備ハンダを被覆して形成される。
【0099】2枚の薄膜EL素子70、80は、発光層
側を向かい合う形で対向配置させ、スペーサを含む接着
剤8で各基板間を一定の間隙に保持するとともに、各薄
膜EL素子70、80の発光ドットの位置が正確に合う
ように、予め基板上に印刷された位置決めマークを合
せ、重ね合せて接着される。
【0100】接続端子部82a,86a及び接続パッド
部38上の予備ハンダは、加熱処理を行って溶融するこ
とにより、導電連結部79となり、各導電連結部79
は、図22に示す如く、ロー側(走査側)の電極では、
薄膜EL素子80の第1透明電極82の接続端子部82
aと、薄膜EL素子70の第1透明電極72の接続端子
部72aとを連結し、カラム側(信号側)の電極では、
薄膜EL素子80の第2透明電極86の接続端子部86
aと接続パッド部78を接続する。
【0101】このように構成された薄膜EL表示器は、
図21、22に示すように、両薄膜EL素子70、80
の同一表示ライン(横方向)上における電極72、82
の両側に設けた接続端子部72a,82aが導電連結部
79によって相互に接続され、縦方向の表示ライン上の
電極76、86においては、接続端子部86aが対応す
る位置の接続パッド部78と導電連結部79を介して接
続される。
【0102】このような薄膜EL表示器は、駆動する場
合、駆動回路の走査側出力がFPC等のリード線7を介
してロー側の両側の接続端子部72aに接続され、駆動
回路の信号側出力はリード線を介してカラム側の接続端
子部76aと接続パッド部78に接続される。
【0103】このような構成の薄膜EL表示器では、両
薄膜EL素子70、80の走査側電極が共通接続される
ため、駆動回路を共通化して使用することができ、コス
トダウンを図ることができる。また、ロー側において
は、同一表示ライン上の両側の第1電極の両端が短絡し
て駆動回路に接続されるため、その電極のどこか一点で
断線等が発生した場合でも、継続して通電し、表示を行
うことができる。
【0104】なお、この実施例の第2透明電極76、8
6は、上記第1実施例と同様に、隣接する電極の端部に
交互にストレートの接続端子部76a,86aを設けて
いるが、カラム側のつまり信号電極となる第2透明電極
76、86には、駆動時に印加される電圧は、走査電極
の第1電極に比べ、かなり低いため、図7〜図10につ
いて上述したような輝度ムラや色ムラの発生は少なく、
実際上それ程問題とはならない。
【0105】また、上記実施例では、ドットマトリック
ス方式の薄膜EL表示器について説明したが、例えば7
セグメント方式の数字表示器にも適用することができ
る。
【0106】また、上記実施例では、全て光放出側の薄
膜EL素子のガラス基板が背面側の素子の基板より小形
に形成されているが、光放出側の薄膜EL素子のガラス
基板を背面側の素子の基板より大形にしてもよい。
【0107】さらに、両薄膜EL素子の基板を同じ大き
さとし、2枚の基板を斜めにズラして重ね合せることに
より、一方の基板の縁部に接続端子部のスペースを設け
るようにしてもよい。また、長方形の2枚の基板を、そ
れらの両側縁部が突出するように、相互に90度回して
重ね合せ、その突出縁部に接続端子部のスペースを設け
るようにしてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す可変色薄膜EL表示
器の概略平面図である。
【図2】図1のII−II概略断面図である。
【図3】図1の III− III概略断面図である。
【図4】薄膜EL素子1の概略平面図である。
【図5】薄膜EL素子2の概略平面図である。
【図6】薄膜EL表示器の概略断面図である。
【図7】薄膜EL表示器の駆動電圧の波形図である。
【図8】ドットマトリックス薄膜EL素子の1表示ライ
ン上の等価回路である。
【図9】各画素にかかる電圧を示すグラフ図である。
【図10】ドットマトリックス薄膜EL表示器の画素数
と輝度の関係を示すグラフ図である。
【図11】第2実施例の薄膜EL表示器の概略平面図で
ある。
【図12】図11のXII −XII 概略断面図である。
【図13】図11のXIII−XIII概略断面図である。
【図14】薄膜EL素子3の概略平面図である。
【図15】薄膜EL素子4の概略平面図である。
【図16】第3実施例の薄膜EL表示器の概略平面図で
ある。
【図17】図16のXVII−XVII概略断面図である。
【図18】図16のXVIII −XVIII 概略断面図である。
【図19】薄膜EL素子5の概略平面図である。
【図20】薄膜EL素子6の概略平面図である。
【図21】第4実施例の薄膜EL表示器の概略平面図で
ある。
【図22】図21のXXII−XXII概略断面図である。
【図23】薄膜EL素子70の概略平面図である。
【図24】薄膜EL素子80の概略平面図である。
【図25】従来の薄膜EL表示器の概略断面図である。
【図26】従来のドットマトリックス方式の薄膜EL表
示器の概略平面図である。
【符号の説明】
1、2−薄膜EL素子 8−接着剤 11、21−ガラス基板 12−第1電極 22−第1透明電極 16、26−第2透明電極 13、23−第1絶縁層 15、25−第2絶縁層 14、24−発光層 12a,22a−接続端子部 16a,26a−接続端子部 17、18−接続パッド部 19−導電連結部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 服部 有 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装株式会社内 (72)発明者 長田 雅彦 愛知県刈谷市昭和町1丁目1番地 日本電 装株式会社内

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に、第1電極、第1絶縁層、発光
    層、第二絶縁層、及び第2電極を順に積層形成してなる
    2枚の薄膜EL素子を、重ね合せて配置し、各薄膜EL
    素子の基板上の縁部に、前記第1、第2電極の接続端子
    部が形成された薄膜EL表示器において、 一方の該薄膜EL素子の基板上の縁部に、他方の該薄膜
    EL素子の各接続端子部に対応した接続パッド部が設け
    られ、該接続パッド部と他方の該薄膜EL素子の接続端
    子部が導電連結部を介して接続され、リード線が接続さ
    れる該接続パッド部と前記接続端子部とが両基板の重な
    らない位置の一方の基板の縁部上に設けられていること
    を特徴とする薄膜EL表示器。
  2. 【請求項2】 前記両薄膜EL素子の各第1、第2電極
    が並設され、相互に重なり合って位置する両薄膜EL素
    子の第1電極又は第2電極の接続端子部が各々異なった
    側の縁部に設けられていることを特徴とする請求項1記
    載の薄膜EL表示器。
  3. 【請求項3】 前記両薄膜EL素子の各第1、第2電極
    が並設され、該両薄膜EL素子の各電極の一端には交互
    に接続端子部が設けられ、同一表示ライン上で相互に重
    なり合って位置する前記両薄膜EL素子の各電極が同じ
    方向から通電可能なように、該電極の接続端子部が隣接
    する電極側に曲げられて接続パッド部に接続されている
    ことを特徴とする請求項1記載の薄膜EL表示器。
  4. 【請求項4】 前記2枚の薄膜EL素子の各第1電極と
    第2電極が、縦横のストライプ状に形成され、該第1、
    第2電極の直交位置でドット表示を行うことを特徴とす
    る請求項1記載の薄膜EL表示器。
  5. 【請求項5】 同一表示ライン上で相互に重なり合って
    位置し走査電極を構成する前記両薄膜EL素子の各電極
    が、その両端部で導電連結部を介して相互に連結されて
    いることを特徴とする請求項4記載の薄膜EL表示器。
  6. 【請求項6】 前記2枚の薄膜EL素子の第1電極と第
    2電極の交差部により形成される表示領域が、ミラー対
    称形状に形成され、同一形状に重ね合せて配置されてい
    ることを特徴とする請求項1記載の薄膜EL表示器。
  7. 【請求項7】 前記2枚の薄膜EL素子の発光色が同じ
    であることを特徴とする請求項1記載の薄膜EL表示
    器。
  8. 【請求項8】 前記2枚の薄膜EL素子の発光色が相違
    し、それらの中間色を含む複数の色に可変表示すること
    を特徴とする請求項1記載の薄膜EL表示器。
  9. 【請求項9】 前記各接続端子部と接続パッド部を連結
    する前記導電連結部の外側に沿って配置された接着剤に
    より、重ね合された両薄膜EL素子内の周囲を封止した
    ことを特徴とする請求項1記載の薄膜EL表示器。
  10. 【請求項10】 基板上に、第1電極、第1絶縁層、発
    光層、第2絶縁層、及び第2電極を順に積層形成してな
    る2枚の薄膜EL素子を、重ね合せて配置し、各薄膜E
    L素子の基板上の縁部に、前記第1、第2電極の接続端
    子部が形成されてなる薄膜EL表示器の製造方法におい
    て、 前記接続端子部の一部上に、加熱により溶融または軟化
    し冷却により固化する導電性物質を配置し、該接続端子
    部と対向する他方の基板側に接続パッド部を設け、両基
    板を正確に位置合せして重ね合せ接着した後、該基板の
    上から非接触加熱手段により前記導電性物質を加熱し、
    前記導電性物質を溶融または軟化させて、該接続パッド
    部と該接続端子部とを接続し、冷却後に該導電性物質を
    導電連結部とすることを特徴とする薄膜EL表示器の製
    造方法。
  11. 【請求項11】 前記加熱により溶融または軟化し冷却
    により固化する導電性物質が金属膜であり、該金属膜メ
    ッキ、蒸着、或はスパッタにより成膜形成される請求項
    10記載の薄膜EL表示器の製造方法。
  12. 【請求項12】 前記加熱により溶融または軟化し冷却
    により固化する導電性物質が金属微粉末を有機溶剤に練
    り込んだペースト体であって、スクリーン印刷、或は塗
    布によって前記接続端子部上に形成されることを特徴と
    する請求項10記載の薄膜EL表示器の製造方法。
  13. 【請求項13】 前記導電性物質の主成分が、Pb
    (鉛)、Sn(スズ)、Pb- Sn合金(ハンダ)、A
    g(銀)、Ag- Pd(銀- パラジウム)混合、In
    (インジウム)の何れかであることを特徴とする請求項
    10記載の薄膜EL表示器の製造方法。
  14. 【請求項14】 前記非接触加熱手段として光ビーム、
    レーザー、燃焼バーナー、或はドライヤーを使用し、瞬
    時に導電性物質を加熱することを特徴とする請求項10
    記載の薄膜EL表示器の製造方法。
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