JPH0982475A - 薄膜カラーｅｌパネル及びその製造方法 - Google Patents
薄膜カラーｅｌパネル及びその製造方法Info
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- JPH0982475A JPH0982475A JP7232701A JP23270195A JPH0982475A JP H0982475 A JPH0982475 A JP H0982475A JP 7232701 A JP7232701 A JP 7232701A JP 23270195 A JP23270195 A JP 23270195A JP H0982475 A JPH0982475 A JP H0982475A
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Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 薄膜カラーＥＬパネルにおいて、平板状のフ
ィルタ基板を対向側に設けた構成であれば、シール部の
体積が増加してしまい、耐湿性に欠けていたため、ＥＬ
素子の寿命を短くさせていた。また、対向側基板をシー
ル板とした構成であれば、前記基板にカラーフィルタを
形成するのが困難となっていた。また、対向側基板をシ
ール板とし、カラーフィルタをＥＬ素子形成基板上に形
成する構成であれば、カラーフィルタの現像工程におい
て、前記現像液によってＥＬ素子がダメージを受けてし
まう。 【課題解決手段】 本発明の薄膜カラーＥＬパネルにお
いては、ＥＬ素子の形成された素子基板とは別の、平板
状のフィルタ基板にカラーフィルタを形成し、前記素子
基板と前記フィルタ基板とを貼り合わせ、かつ前記フィ
ルタ基板を覆うように、掘り込み加工が施されたシール
板をＥＬパネル基板に貼り合わせる構成となっている。
ィルタ基板を対向側に設けた構成であれば、シール部の
体積が増加してしまい、耐湿性に欠けていたため、ＥＬ
素子の寿命を短くさせていた。また、対向側基板をシー
ル板とした構成であれば、前記基板にカラーフィルタを
形成するのが困難となっていた。また、対向側基板をシ
ール板とし、カラーフィルタをＥＬ素子形成基板上に形
成する構成であれば、カラーフィルタの現像工程におい
て、前記現像液によってＥＬ素子がダメージを受けてし
まう。 【課題解決手段】 本発明の薄膜カラーＥＬパネルにお
いては、ＥＬ素子の形成された素子基板とは別の、平板
状のフィルタ基板にカラーフィルタを形成し、前記素子
基板と前記フィルタ基板とを貼り合わせ、かつ前記フィ
ルタ基板を覆うように、掘り込み加工が施されたシール
板をＥＬパネル基板に貼り合わせる構成となっている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄型でかつ平板状
の表示手段として好適に用いられる薄膜ＥＬ（エレクト
ロルミネッセント）パネル及びその製造方法に関するも
のである。
の表示手段として好適に用いられる薄膜ＥＬ（エレクト
ロルミネッセント）パネル及びその製造方法に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ＥＬパネルは、現在ＺｎＳ：Ｍｎを発光
層とする黄色モノクロディスプレイが実用化されている
が、情報化時代をむかえてマルチカラー、あるいはフル
カラーディスプレイの開発が盛んに行われている。
層とする黄色モノクロディスプレイが実用化されている
が、情報化時代をむかえてマルチカラー、あるいはフル
カラーディスプレイの開発が盛んに行われている。
【０００３】ＥＬディスプレイの多色化の方法として
は、ＣａＳ：ＥｕやＺｎＳ：Ｓｍなどを発光層とする赤
色ＥＬ素子、ＺｎＳ：Ｔｂなどを発光層とする緑色ＥＬ
素子、ＳｒＳ：ＣｅやＺｎＳ：Ｔｍなどを発光層とする
青色ＥＬ素子をマトリクス状に配置させた並置方式、及
び、ＺｎＳ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／ＺｎＳ：ＭｎやＳｒ
Ｓ：Ｐｒ，Ｃｅなどを発光層とする白色ＥＬ素子に赤，
緑，青のカラーフィルタを設けたフィルタ方式がある。
は、ＣａＳ：ＥｕやＺｎＳ：Ｓｍなどを発光層とする赤
色ＥＬ素子、ＺｎＳ：Ｔｂなどを発光層とする緑色ＥＬ
素子、ＳｒＳ：ＣｅやＺｎＳ：Ｔｍなどを発光層とする
青色ＥＬ素子をマトリクス状に配置させた並置方式、及
び、ＺｎＳ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／ＺｎＳ：ＭｎやＳｒ
Ｓ：Ｐｒ，Ｃｅなどを発光層とする白色ＥＬ素子に赤，
緑，青のカラーフィルタを設けたフィルタ方式がある。
【０００４】前記の並置方式のカラーＥＬパネルは、各
色の発光特性の違い（特に輝度）から、実用化に向けて
は課題が多く残されているため、現在フィルタ式のカラ
ーＥＬパネルが実用化に向けて検討されている。
色の発光特性の違い（特に輝度）から、実用化に向けて
は課題が多く残されているため、現在フィルタ式のカラ
ーＥＬパネルが実用化に向けて検討されている。
【０００５】以下に、従来のフィルタ式カラーＥＬパネ
ルの製造方法について図６を用いて簡単に説明する。ま
ず、ガラス基板１上に下部電極２としてＡｌ，Ｎｉ，Ｃ
ｒ，Ａｕ，あるいはＩＴＯなどをスパッタリング、ある
いは蒸着法により形成し、フォトリソグラフィ技術を用
いてストライプ状にパターニングする。
ルの製造方法について図６を用いて簡単に説明する。ま
ず、ガラス基板１上に下部電極２としてＡｌ，Ｎｉ，Ｃ
ｒ，Ａｕ，あるいはＩＴＯなどをスパッタリング、ある
いは蒸着法により形成し、フォトリソグラフィ技術を用
いてストライプ状にパターニングする。
【０００６】そして、この上に下部絶縁膜３として用い
られるＳｉＯ2 、Ｔａ2Ｏ5積層膜をスパッタリングし、
次に、発光層４に用いられるＳｒＳ：Ｐｒ，Ｃｅなどの
白色ＥＬ素子１６を電子ビーム蒸着法により形成する。
られるＳｉＯ2 、Ｔａ2Ｏ5積層膜をスパッタリングし、
次に、発光層４に用いられるＳｒＳ：Ｐｒ，Ｃｅなどの
白色ＥＬ素子１６を電子ビーム蒸着法により形成する。
【０００７】さらに、前記発光層の上に、ＳｉＯ2 、Ｔ
ａ2Ｏ5積層膜からなる上部絶縁膜５をスパッタリングに
より形成し、その上に上部電極６となる透明導電性ＩＴ
Ｏ膜をスパッタリングにより形成し、フォトリソグラフ
ィ技術を用いて前記下部電極２と直交するようにストラ
イプ状にパターニングする。この後、これらを覆うよう
に防湿兼絶縁破壊防止用の透光性絶縁樹脂層７を形成す
る。
ａ2Ｏ5積層膜からなる上部絶縁膜５をスパッタリングに
より形成し、その上に上部電極６となる透明導電性ＩＴ
Ｏ膜をスパッタリングにより形成し、フォトリソグラフ
ィ技術を用いて前記下部電極２と直交するようにストラ
イプ状にパターニングする。この後、これらを覆うよう
に防湿兼絶縁破壊防止用の透光性絶縁樹脂層７を形成す
る。
【０００８】次に、有機膜からなる赤、緑、青のカラー
フィルタ９及びこれを保護するためのオーバーコート膜
１０を形成したカラーフィルタ付き背面ガラス板２０を
ＥＬ素子１６の画素上の上部電極とフィルタとが接する
ように位置合わせしてのせ、カラーフィルタ付き背面ガ
ラス板２０の周囲をシール剤１１で固定し、図６に示す
ようなカラーＥＬパネルを得る。
フィルタ９及びこれを保護するためのオーバーコート膜
１０を形成したカラーフィルタ付き背面ガラス板２０を
ＥＬ素子１６の画素上の上部電極とフィルタとが接する
ように位置合わせしてのせ、カラーフィルタ付き背面ガ
ラス板２０の周囲をシール剤１１で固定し、図６に示す
ようなカラーＥＬパネルを得る。
【０００９】しかしながら、上述したカラーＥＬパネル
では、二枚の基板を防湿性の乏しい樹脂スペーサを含む
シール剤によって貼り合わせているため、水分を嫌うＥ
Ｌ素子１６の寿命を短くしてしまうという問題点や、Ｅ
Ｌ素子１６とカラーフィルタ９とが数〜数十μｍの薄い
透光性絶縁樹脂７を介して密着しているので、ＥＬパネ
ル基板１７が絶縁破壊による画素破壊を起こしてしま
い、カラーフィルタ９が黒色化し易すいという問題点を
有していた。
では、二枚の基板を防湿性の乏しい樹脂スペーサを含む
シール剤によって貼り合わせているため、水分を嫌うＥ
Ｌ素子１６の寿命を短くしてしまうという問題点や、Ｅ
Ｌ素子１６とカラーフィルタ９とが数〜数十μｍの薄い
透光性絶縁樹脂７を介して密着しているので、ＥＬパネ
ル基板１７が絶縁破壊による画素破壊を起こしてしま
い、カラーフィルタ９が黒色化し易すいという問題点を
有していた。
【００１０】そこで、前記第一の問題点を解決するた
め、例えば特開平２−６００８８号公報では、前記シー
ル剤の外側にフッ素系樹脂を塗布する方法が開示されて
いる。
め、例えば特開平２−６００８８号公報では、前記シー
ル剤の外側にフッ素系樹脂を塗布する方法が開示されて
いる。
【００１１】さらに、特開平５−９４８７８号公報で
は、図７に示すように、ＥＬ素子１６の上に形成される
透光性絶縁樹脂層７を厚さ０．１μｍ〜５００μｍに形
成し、他方のガラス基板には掘り込み加工を施したシー
ル板１３を用いて、前記ガラス基板の貼り合わせ面上に
カラーフィルタ９を形成し、二枚の基板を貼り合わせた
カラーＥＬパネルが開示されている。
は、図７に示すように、ＥＬ素子１６の上に形成される
透光性絶縁樹脂層７を厚さ０．１μｍ〜５００μｍに形
成し、他方のガラス基板には掘り込み加工を施したシー
ル板１３を用いて、前記ガラス基板の貼り合わせ面上に
カラーフィルタ９を形成し、二枚の基板を貼り合わせた
カラーＥＬパネルが開示されている。
【００１２】また、特開平５−１９８３７９号公報で
は、図８に示すように、一方のガラス基板上に形成され
た透光性絶縁樹脂層７の上にカラーフィルタ９を形成
し、他方のガラス基板には掘り込み加工を施し、かつ防
湿効果を高めるために絶縁性オイル１２を両基板間に充
満させるためのオイル注入口１４及びオイル封止板１５
が設けられたシール板１３を用いたカラーＥＬパネルが
開示されている。
は、図８に示すように、一方のガラス基板上に形成され
た透光性絶縁樹脂層７の上にカラーフィルタ９を形成
し、他方のガラス基板には掘り込み加工を施し、かつ防
湿効果を高めるために絶縁性オイル１２を両基板間に充
満させるためのオイル注入口１４及びオイル封止板１５
が設けられたシール板１３を用いたカラーＥＬパネルが
開示されている。
【００１３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記特
開平２−６００８８号公報に開示されたカラーＥＬパネ
ルでは、フッ素系樹脂を塗布することで改善はされる
が、ガラスより透湿性に乏しいため、防湿効果が十分で
あるとは言えない。
開平２−６００８８号公報に開示されたカラーＥＬパネ
ルでは、フッ素系樹脂を塗布することで改善はされる
が、ガラスより透湿性に乏しいため、防湿効果が十分で
あるとは言えない。
【００１４】特開平５−９４８７８号公報に開示された
カラーＥＬパネルは、片側基板にシール板１３を用いて
いるため、接着部分の間隙が小さくなり防湿効果が高く
高寿命であるが、シール板１３にカラーフィルタ９を形
成する際に、原液をスピンナー装置を用いて塗布するこ
とが困難であるという問題点を有している。
カラーＥＬパネルは、片側基板にシール板１３を用いて
いるため、接着部分の間隙が小さくなり防湿効果が高く
高寿命であるが、シール板１３にカラーフィルタ９を形
成する際に、原液をスピンナー装置を用いて塗布するこ
とが困難であるという問題点を有している。
【００１５】また、特開平５−１９８３７９号公報に開
示されたカラーＥＬパネルでは、製造過程でカラーフィ
ルタ９を直接ＥＬパネル基板１７上に塗布して形成する
ため、多数回の現像工程で現像液として用いる有機アル
カリ溶剤（例えばテトラメチルアンモニウムハイドロオ
キサイド）などによって、ＥＬ素子１６、特に発光層４
がダメージを受けやすく、製品の信頼性と歩留まりを悪
化させるという問題点を有している。
示されたカラーＥＬパネルでは、製造過程でカラーフィ
ルタ９を直接ＥＬパネル基板１７上に塗布して形成する
ため、多数回の現像工程で現像液として用いる有機アル
カリ溶剤（例えばテトラメチルアンモニウムハイドロオ
キサイド）などによって、ＥＬ素子１６、特に発光層４
がダメージを受けやすく、製品の信頼性と歩留まりを悪
化させるという問題点を有している。
【００１６】そこで本発明は、高精細でかつ信頼性の高
い長寿命の薄膜カラーＥＬパネル及びその製造方法を提
供することを目的としている。
い長寿命の薄膜カラーＥＬパネル及びその製造方法を提
供することを目的としている。
【００１７】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
薄膜カラーＥＬパネルは、ＥＬ素子が形成された第一の
基板と、カラーフィルタが形成され、前記第一の基板の
ＥＬ素子形成面上に貼り合わされた第二の基板と、前記
ＥＬ素子及び前記第二の基板を覆うように前記第一の基
板に貼り合わされたシール板と、を少なくとも備えたこ
とを特徴としている。
薄膜カラーＥＬパネルは、ＥＬ素子が形成された第一の
基板と、カラーフィルタが形成され、前記第一の基板の
ＥＬ素子形成面上に貼り合わされた第二の基板と、前記
ＥＬ素子及び前記第二の基板を覆うように前記第一の基
板に貼り合わされたシール板と、を少なくとも備えたこ
とを特徴としている。
【００１８】本発明の請求項２記載の薄膜カラーＥＬパ
ネルは、請求項１記載の薄膜カラーＥＬパネルにおい
て、前記第一の基板と前記第二の基板とを、ＥＬ素子形
成面とカラーフィルタ非形成面とが向かい合うように貼
り合わせたことを特徴としている。
ネルは、請求項１記載の薄膜カラーＥＬパネルにおい
て、前記第一の基板と前記第二の基板とを、ＥＬ素子形
成面とカラーフィルタ非形成面とが向かい合うように貼
り合わせたことを特徴としている。
【００１９】本発明の請求項３記載の薄膜カラーＥＬパ
ネルの製造方法は、第一の基板上にＥＬ素子を形成する
工程と、第二の基板上にカラーフィルタを形成する工程
と、前記第二の基板を前記ＥＬ素子の上方に配置すると
ともに前記第一の基板に貼り合わせる工程と、前記ＥＬ
素子及び前記第二の基板を覆うように、シール板を前記
第一の基板に貼り合わせる工程と、を含むことを特徴と
している。
ネルの製造方法は、第一の基板上にＥＬ素子を形成する
工程と、第二の基板上にカラーフィルタを形成する工程
と、前記第二の基板を前記ＥＬ素子の上方に配置すると
ともに前記第一の基板に貼り合わせる工程と、前記ＥＬ
素子及び前記第二の基板を覆うように、シール板を前記
第一の基板に貼り合わせる工程と、を含むことを特徴と
している。
【００２０】本発明の請求項４記載の薄膜カラーＥＬパ
ネルの製造方法は、第一の基板上にＥＬ素子を形成する
工程と、前記第一の基板上に第二の基板を貼り合わせる
工程と、前記第二の基板上にカラーフィルタを形成する
工程と、前記ＥＬ素子及び前記第二の基板を覆うよう
に、シール板を前記第一の基板に貼り合わせる工程と、
を含むことを特徴としている。
ネルの製造方法は、第一の基板上にＥＬ素子を形成する
工程と、前記第一の基板上に第二の基板を貼り合わせる
工程と、前記第二の基板上にカラーフィルタを形成する
工程と、前記ＥＬ素子及び前記第二の基板を覆うよう
に、シール板を前記第一の基板に貼り合わせる工程と、
を含むことを特徴としている。
【００２１】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態について、図
１ないし図５を用いて詳細に説明する。
１ないし図５を用いて詳細に説明する。
【００２２】［実施の形態１］図１は本実施の形態のカ
ラーＥＬパネルの断面を示す図であり、図２はこのパネ
ルを表示面側から見た図であり、図３は前記パネルの作
製手順を示すフローチャートである。
ラーＥＬパネルの断面を示す図であり、図２はこのパネ
ルを表示面側から見た図であり、図３は前記パネルの作
製手順を示すフローチャートである。
【００２３】図１に示されるように、本実施の形態の薄
膜カラーＥＬパネルは、ＥＬ素子１６が形成された第一
の基板（以下ＥＬパネル基板と称す）１７と、カラーフ
ィルタ９が形成された第二の基板（以下フィルタ基板と
称す）１８と、掘り込み加工が施されたシール板１３と
からなっている。
膜カラーＥＬパネルは、ＥＬ素子１６が形成された第一
の基板（以下ＥＬパネル基板と称す）１７と、カラーフ
ィルタ９が形成された第二の基板（以下フィルタ基板と
称す）１８と、掘り込み加工が施されたシール板１３と
からなっている。
【００２４】前記ＥＬパネル基板１７には、下部電極
２、下部絶縁膜３、ＥＬ発光層４、上部絶縁膜５、上部
電極６からなるＥＬ素子１６が形成されており、これら
を覆うように防湿兼絶縁破壊防止用の透光性絶縁樹脂層
７が形成されている。
２、下部絶縁膜３、ＥＬ発光層４、上部絶縁膜５、上部
電極６からなるＥＬ素子１６が形成されており、これら
を覆うように防湿兼絶縁破壊防止用の透光性絶縁樹脂層
７が形成されている。
【００２５】前記フィルタ基板１８には、赤、緑、青の
カラーフィルタ９が形成され、それらを覆うように保護
用のオーバーコート膜１０が形成されている。
カラーフィルタ９が形成され、それらを覆うように保護
用のオーバーコート膜１０が形成されている。
【００２６】これら二枚の基板１７，１８は、図１に示
されるように、ＥＬパネル基板１７上に形成されたＥＬ
素子１６と、フィルタ基板１８上に形成されたカラーフ
ィルタ９とが向かい合わないように、前記ＥＬ素子１６
形成面と前記カラーフィルタ９非形成面とを向かい合わ
せ、シール剤１１によって貼り合わされている。
されるように、ＥＬパネル基板１７上に形成されたＥＬ
素子１６と、フィルタ基板１８上に形成されたカラーフ
ィルタ９とが向かい合わないように、前記ＥＬ素子１６
形成面と前記カラーフィルタ９非形成面とを向かい合わ
せ、シール剤１１によって貼り合わされている。
【００２７】以下に、本実施例の薄膜カラーＥＬパネル
の具体的な作製手順を詳細に説明する。
の具体的な作製手順を詳細に説明する。
【００２８】まず、ＥＬパネル基板１７の作製手順につ
いて図３に基づいて説明する。ガラス基板１の一方の表
面に、Ｔａからなる下部電極２を、スパッタ法、電子ビ
ーム蒸着法等により２００ｎｍ程度の膜厚になるように
形成し、その後前記下部電極２を、ストライプ状の電極
パターンとなるように、ドライエッチング法により形成
した。
いて図３に基づいて説明する。ガラス基板１の一方の表
面に、Ｔａからなる下部電極２を、スパッタ法、電子ビ
ーム蒸着法等により２００ｎｍ程度の膜厚になるように
形成し、その後前記下部電極２を、ストライプ状の電極
パターンとなるように、ドライエッチング法により形成
した。
【００２９】次に、前記下部電極２を覆うように、基板
全面にスパッタ法等で４０ｎｍ程度の厚さにＳｉＯ2 を
堆積し、さらに２００ｎｍ程度の厚さにＳｉ3Ｎ4を堆積
して下部絶縁膜３を形成した。
全面にスパッタ法等で４０ｎｍ程度の厚さにＳｉＯ2 を
堆積し、さらに２００ｎｍ程度の厚さにＳｉ3Ｎ4を堆積
して下部絶縁膜３を形成した。
【００３０】さらに、ＺｎＳにＭｎを０．３５ａｔ％添
加し、加圧形成した後Ａｒガス中９００℃で１時間焼結
させたＺｎＳ：Ｍｎペレットと、ＳｒＳにＣｅまたはＣ
ｅＣｌ3 ，ＣｅＮなどのＣｅ化合物を０．１ａｔ％添加
し、加圧形成した後Ａｒガス中９００℃で１時間焼結さ
せたＳｒＳ：Ｃｅペレットとを用いて、電子ビーム蒸着
法によりＥＬ発光層４をＺｎＳ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／
ＺｎＳ：Ｍｎ構造となるようにそれぞれ２００ｎｍ，８
００ｎｍ，２００ｎｍの厚さに形成した。
加し、加圧形成した後Ａｒガス中９００℃で１時間焼結
させたＺｎＳ：Ｍｎペレットと、ＳｒＳにＣｅまたはＣ
ｅＣｌ3 ，ＣｅＮなどのＣｅ化合物を０．１ａｔ％添加
し、加圧形成した後Ａｒガス中９００℃で１時間焼結さ
せたＳｒＳ：Ｃｅペレットとを用いて、電子ビーム蒸着
法によりＥＬ発光層４をＺｎＳ：Ｍｎ／ＳｒＳ：Ｃｅ／
ＺｎＳ：Ｍｎ構造となるようにそれぞれ２００ｎｍ，８
００ｎｍ，２００ｎｍの厚さに形成した。
【００３１】前記ＥＬ発光層４を覆うようにスパッタ法
等で２００ｎｍ程度の厚さにＳｉ3Ｎ4を堆積し、さらに
４０ｎｍ程度の厚さにＳｉＯ2 を堆積して上部絶縁膜５
を形成した。
等で２００ｎｍ程度の厚さにＳｉ3Ｎ4を堆積し、さらに
４０ｎｍ程度の厚さにＳｉＯ2 を堆積して上部絶縁膜５
を形成した。
【００３２】更に、前記上部絶縁膜５を覆うようにＩＴ
Ｏからなる上部電極６をスパッタ法、電子ビーム蒸着法
などにより２００ｎｍ程度の膜厚になるように形成し
た。その後、前記上部電極６を、図２に示すように、下
部電極２と直交するようなストライプ状の電極パターン
となるように、ドライエッチング法により形成した。ス
トライプ状の下部電極２と上部電極６とを直交させるこ
とにより、両電極の重なった部分がカラーＥＬパネルの
画素を形成している。
Ｏからなる上部電極６をスパッタ法、電子ビーム蒸着法
などにより２００ｎｍ程度の膜厚になるように形成し
た。その後、前記上部電極６を、図２に示すように、下
部電極２と直交するようなストライプ状の電極パターン
となるように、ドライエッチング法により形成した。ス
トライプ状の下部電極２と上部電極６とを直交させるこ
とにより、両電極の重なった部分がカラーＥＬパネルの
画素を形成している。
【００３３】更に、上部電極６の上から基板全面を覆う
ように透光性絶縁樹脂７をスクリーン印刷法により２０
μｍ程度の厚さに形成することによって、ＥＬパネル基
板１７を作製した。
ように透光性絶縁樹脂７をスクリーン印刷法により２０
μｍ程度の厚さに形成することによって、ＥＬパネル基
板１７を作製した。
【００３４】なお、前記下部電極２としては、Ｔｉの他
にＭｏ，Ｗ，ＩＴＯなどを用いても良い。また、上部電
極６としては、ＩＴＯの他にＡｌを添加したＺｎＯや、
Ｇａを添加したＺｎＯなどを用いても良い。さらに、下
部、上部絶縁膜３，５としては、Ｔａ2Ｏ5やＡｌ2Ｏ3な
どを用いても良い。
にＭｏ，Ｗ，ＩＴＯなどを用いても良い。また、上部電
極６としては、ＩＴＯの他にＡｌを添加したＺｎＯや、
Ｇａを添加したＺｎＯなどを用いても良い。さらに、下
部、上部絶縁膜３，５としては、Ｔａ2Ｏ5やＡｌ2Ｏ3な
どを用いても良い。
【００３５】次に、フィルタ基板１８の作製手順を説明
する。まず、２００μｍ以下、より好ましくは１００μ
ｍのガラスからなる透光性基板８の一方の表面に、緑色
フィルターの原液をスピンナーで塗布し、約９０℃でプ
リベークする。その後、画素形状にパターニングするた
め、この画素形状にあわせたマスクをかぶせて紫外線露
光を行い、有機アルカリ系の現像液で現像し、約２００
℃でホストベークして緑色フィルター９ａを形成した。
赤色フィルター９ｂ、青色フィルター９ｃについても同
様の工程で形成し、さらにその上から基板全面に保護用
のオーバーコート膜１０をスピンナーを用いて約３μｍ
の厚みに形成することにより、フィルタ基板１８を作製
した。
する。まず、２００μｍ以下、より好ましくは１００μ
ｍのガラスからなる透光性基板８の一方の表面に、緑色
フィルターの原液をスピンナーで塗布し、約９０℃でプ
リベークする。その後、画素形状にパターニングするた
め、この画素形状にあわせたマスクをかぶせて紫外線露
光を行い、有機アルカリ系の現像液で現像し、約２００
℃でホストベークして緑色フィルター９ａを形成した。
赤色フィルター９ｂ、青色フィルター９ｃについても同
様の工程で形成し、さらにその上から基板全面に保護用
のオーバーコート膜１０をスピンナーを用いて約３μｍ
の厚みに形成することにより、フィルタ基板１８を作製
した。
【００３６】次に、前記手順にて作製したＥＬパネル基
板１７とフィルタ基板１８とを、ＥＬパネル基板１７上
の各画素と、フィルタ基板１８上に形成された各色のカ
ラーフィルタ９とを対応させ、かつ前記ＥＬパネル基板
１７のＥＬ素子１６形成面と前記フィルタ基板１８のフ
ィルタ非形成面とを向かい合わせ、エポキシ樹脂からな
るシール剤１１によって貼り合わせた。
板１７とフィルタ基板１８とを、ＥＬパネル基板１７上
の各画素と、フィルタ基板１８上に形成された各色のカ
ラーフィルタ９とを対応させ、かつ前記ＥＬパネル基板
１７のＥＬ素子１６形成面と前記フィルタ基板１８のフ
ィルタ非形成面とを向かい合わせ、エポキシ樹脂からな
るシール剤１１によって貼り合わせた。
【００３７】更にその上から、掘り込み加工を施したシ
ール板１３をエポキシ樹脂でフィルタ基板１８を覆うよ
うにＥＬパネル基板１７に貼り付け、防湿剤としてシリ
コーン樹脂からなる絶縁性オイル１２をシール板１３の
一部に設けられたオイル注入口１４から注入し、この注
入口１４をオイル封止板１５を接着し封止することによ
って、薄膜カラーＥＬパネルを作製した。
ール板１３をエポキシ樹脂でフィルタ基板１８を覆うよ
うにＥＬパネル基板１７に貼り付け、防湿剤としてシリ
コーン樹脂からなる絶縁性オイル１２をシール板１３の
一部に設けられたオイル注入口１４から注入し、この注
入口１４をオイル封止板１５を接着し封止することによ
って、薄膜カラーＥＬパネルを作製した。
【００３８】なお、シール板１３の貼り付け工程におい
ては、ＥＬパネル基板１７とフィルタ基板１８とを貼り
合わせた後、フィルタ基板１８上に透光性樹脂１９を塗
布した後、オイル注入口１４のあいていないシール板１
３を気泡の入らないように密着させて紫外線硬化性樹脂
で貼り付ける、或いは、窒素又はアルゴンなどの不活性
ガス雰囲気中において、シール板１３内に前記ガスが充
填されるように紫外線効果性樹脂で貼り付けるようにし
ても良い。
ては、ＥＬパネル基板１７とフィルタ基板１８とを貼り
合わせた後、フィルタ基板１８上に透光性樹脂１９を塗
布した後、オイル注入口１４のあいていないシール板１
３を気泡の入らないように密着させて紫外線硬化性樹脂
で貼り付ける、或いは、窒素又はアルゴンなどの不活性
ガス雰囲気中において、シール板１３内に前記ガスが充
填されるように紫外線効果性樹脂で貼り付けるようにし
ても良い。
【００３９】また、ＥＬパネル基板１７とフィルタ基板
１８との間に形成した透光性絶縁樹脂７に替えて絶縁性
オイル１２を用い、ＥＬパネル基板１７とフィルタ基板
１８との空隙及びＥＬパネル基板１７とシール板１３と
の空隙を全て絶縁性オイル１２で満たすようにしてもよ
い。
１８との間に形成した透光性絶縁樹脂７に替えて絶縁性
オイル１２を用い、ＥＬパネル基板１７とフィルタ基板
１８との空隙及びＥＬパネル基板１７とシール板１３と
の空隙を全て絶縁性オイル１２で満たすようにしてもよ
い。
【００４０】本実施の形態における薄膜カラーＥＬパネ
ルは、ＥＬパネル基板１７がフィルタ９の現像工程を通
ることがないので、ＥＬ素子１６が現像液によってダメ
ージを受けることがない。また、ＥＬパネル基板１７に
設けられたＥＬ素子１６と、フィルタ基板１８に設けら
れたフィルタ９との間に十分な間隙が設けられているた
め、絶縁破壊による画素破壊が起こらず、フィルタ９の
黒色化が防げて、かつフィルタ９に含まれるアルカリ成
分の溶出の影響も非常に低減できる。さらに、シール板
１３による封止を行っているので十分な耐湿性が得られ
る。
ルは、ＥＬパネル基板１７がフィルタ９の現像工程を通
ることがないので、ＥＬ素子１６が現像液によってダメ
ージを受けることがない。また、ＥＬパネル基板１７に
設けられたＥＬ素子１６と、フィルタ基板１８に設けら
れたフィルタ９との間に十分な間隙が設けられているた
め、絶縁破壊による画素破壊が起こらず、フィルタ９の
黒色化が防げて、かつフィルタ９に含まれるアルカリ成
分の溶出の影響も非常に低減できる。さらに、シール板
１３による封止を行っているので十分な耐湿性が得られ
る。
【００４１】［実施の形態２］次に、本発明の別の実施
の形態について、図４を用いて説明する。
の形態について、図４を用いて説明する。
【００４２】図４は本実施の形態における薄膜カラーＥ
Ｌパネルの断面を示す図である。前記パネルの作製手順
を示すフローチャートは、前記第一の実施の形態と同じ
なのでここでは省略する。
Ｌパネルの断面を示す図である。前記パネルの作製手順
を示すフローチャートは、前記第一の実施の形態と同じ
なのでここでは省略する。
【００４３】本実施の形態では、上述した第一の実施の
形態とほぼ同じ構成となっているが、フィルタ基板１８
に２００μｍより厚いものを使用している点で前記実施
の形態とは異なる。これは、パネルサイズが大きくなる
と、２００μｍ以下のフィルタ基板１８を使用していて
は、カラーフィルタ９の形成時などにおいてフィルタ基
板１８が割れやすく、扱いにくくなるためである。した
がって、特に大型ＥＬパネルに適している。
形態とほぼ同じ構成となっているが、フィルタ基板１８
に２００μｍより厚いものを使用している点で前記実施
の形態とは異なる。これは、パネルサイズが大きくなる
と、２００μｍ以下のフィルタ基板１８を使用していて
は、カラーフィルタ９の形成時などにおいてフィルタ基
板１８が割れやすく、扱いにくくなるためである。した
がって、特に大型ＥＬパネルに適している。
【００４４】また、本実施の形態では、フィルタ基板１
８が２００μｍ以上となっているため、前記実施の形態
と同じように、ＥＬ素子１６形成面とフィルタ非形成面
とを向かい合わせて貼り合わせると、画素のパターン精
度にもよるが視角により色ずれが問題となってくる場合
がある。このときは図４に示されるように、ＥＬ素子１
６形成面とフィルタ形成面とを向かい合わせて貼り合わ
せれば良い。
８が２００μｍ以上となっているため、前記実施の形態
と同じように、ＥＬ素子１６形成面とフィルタ非形成面
とを向かい合わせて貼り合わせると、画素のパターン精
度にもよるが視角により色ずれが問題となってくる場合
がある。このときは図４に示されるように、ＥＬ素子１
６形成面とフィルタ形成面とを向かい合わせて貼り合わ
せれば良い。
【００４５】本実施の形態における薄膜カラーＥＬパネ
ルは、ＥＬパネル基板１７がフィルタ９の現像工程を通
ることがないので、ＥＬ発光層４が現像液によってダメ
ージを受けることがない。
ルは、ＥＬパネル基板１７がフィルタ９の現像工程を通
ることがないので、ＥＬ発光層４が現像液によってダメ
ージを受けることがない。
【００４６】［実施の形態３］次に、本発明の別の実施
の形態について、図５を用いて説明する。
の形態について、図５を用いて説明する。
【００４７】図５は本実施の形態における薄膜カラーＥ
Ｌパネルの作製手順を示すフローチャートである。前記
パネルの断面図は、前記第一の実施の形態で示した図１
と同じなのでここでは省略する。
Ｌパネルの作製手順を示すフローチャートである。前記
パネルの断面図は、前記第一の実施の形態で示した図１
と同じなのでここでは省略する。
【００４８】本実施の形態では、上述した第一の実施の
形態とほぼ同じ構成となっているが、作製手順におい
て、パネル基板１７にＥＬ素子１６形成後、フィルタ未
形成のフィルタ基板１８を貼り合わせ、その後フィルタ
９を形成する点で前記実施の形態とは異なる。これは、
パネルサイズが大きくなると、２００μｍ以下のフィル
タ基板１８を使用していては、カラーフィルタ９の形成
時などにおいてフィルタ基板１８が割れやすく、扱いに
くくなるためである。したがって、特に大型ＥＬパネル
に適している。
形態とほぼ同じ構成となっているが、作製手順におい
て、パネル基板１７にＥＬ素子１６形成後、フィルタ未
形成のフィルタ基板１８を貼り合わせ、その後フィルタ
９を形成する点で前記実施の形態とは異なる。これは、
パネルサイズが大きくなると、２００μｍ以下のフィル
タ基板１８を使用していては、カラーフィルタ９の形成
時などにおいてフィルタ基板１８が割れやすく、扱いに
くくなるためである。したがって、特に大型ＥＬパネル
に適している。
【００４９】本実施の形態における薄膜カラーＥＬパネ
ルは、フィルタ９を現像する際に、ＥＬパネル基板１７
が直接現像液に触れることがないのでダメージをかなり
軽減させることができる。また、ＥＬパネル基板１７に
設けられたＥＬ素子１６とフィルタ基板１８に形成され
たフィルタ９との間に十分な間隙が設けられているた
め、絶縁破壊による画素破壊が起こらないため、フィル
タ９の黒色化が防げ、かつフィルタ９に含まれるアルカ
リ成分の溶出の影響も非常に低減できる。さらに、シー
ル板１３による封止を行っているので十分な耐湿性が得
られる。
ルは、フィルタ９を現像する際に、ＥＬパネル基板１７
が直接現像液に触れることがないのでダメージをかなり
軽減させることができる。また、ＥＬパネル基板１７に
設けられたＥＬ素子１６とフィルタ基板１８に形成され
たフィルタ９との間に十分な間隙が設けられているた
め、絶縁破壊による画素破壊が起こらないため、フィル
タ９の黒色化が防げ、かつフィルタ９に含まれるアルカ
リ成分の溶出の影響も非常に低減できる。さらに、シー
ル板１３による封止を行っているので十分な耐湿性が得
られる。
【００５０】
【発明の効果】本発明の請求項１記載の薄膜カラーＥＬ
パネルは、カラーフィルタ９をＥＬ素子１６の形成され
たＥＬパネル基板１７とは別のフィルタ基板１８上に回
転塗布法により形成でき、かつシール板１３を前記フィ
ルタ基板１８を覆うように前記パネル基板１７に貼り付
けることによって封止するので、パターン精度の良いカ
ラーフィルタ９と、湿気を嫌うＥＬ素子１６に対する十
分な耐湿効果とを同時に得ることができる。
パネルは、カラーフィルタ９をＥＬ素子１６の形成され
たＥＬパネル基板１７とは別のフィルタ基板１８上に回
転塗布法により形成でき、かつシール板１３を前記フィ
ルタ基板１８を覆うように前記パネル基板１７に貼り付
けることによって封止するので、パターン精度の良いカ
ラーフィルタ９と、湿気を嫌うＥＬ素子１６に対する十
分な耐湿効果とを同時に得ることができる。
【００５１】本発明の請求項２記載の薄膜カラーＥＬパ
ネルは、請求項１記載の薄膜カラーＥＬパネルにおい
て、前記第一の基板と前記第二の基板とを貼り合わせる
際に、ＥＬ素子１６形成面とカラーフィルタ９非形成面
とを向かい合わせて貼り合わせることによって前記ＥＬ
素子１６と前記カラーフィルタ９との間に十分な間隙を
設けることができるので、絶縁破壊による画素破壊を起
こすことがなく、かつカラーフィルタ９に含まれるアル
カリ成分の溶出によるＥＬ素子１６への影響も無くすこ
とができる。
ネルは、請求項１記載の薄膜カラーＥＬパネルにおい
て、前記第一の基板と前記第二の基板とを貼り合わせる
際に、ＥＬ素子１６形成面とカラーフィルタ９非形成面
とを向かい合わせて貼り合わせることによって前記ＥＬ
素子１６と前記カラーフィルタ９との間に十分な間隙を
設けることができるので、絶縁破壊による画素破壊を起
こすことがなく、かつカラーフィルタ９に含まれるアル
カリ成分の溶出によるＥＬ素子１６への影響も無くすこ
とができる。
【００５２】本発明の請求項３記載の薄膜カラーＥＬパ
ネルの製造方法は、請求項１または２記載の薄膜カラー
ＥＬパネルを製造する際に、ＥＬ素子１６が形成された
ＥＬパネル基板１７がカラーフィルタ９の現像工程を通
ることがないので、ＥＬ素子１６が現像液によるダメー
ジを受けることがない。
ネルの製造方法は、請求項１または２記載の薄膜カラー
ＥＬパネルを製造する際に、ＥＬ素子１６が形成された
ＥＬパネル基板１７がカラーフィルタ９の現像工程を通
ることがないので、ＥＬ素子１６が現像液によるダメー
ジを受けることがない。
【００５３】本発明の請求項４記載の薄膜カラーＥＬパ
ネルの製造方法は、請求項１または２記載の薄膜カラー
ＥＬパネルを製造する際に、カラーフィルタ９未形成の
フィルタ基板１８を先にＥＬパネル基板１７に貼り付け
ておき、その後カラーフィルタ９を形成するので、この
カラーフィルタ９の現像工程においてＥＬ素子１６が直
接現像液に触れることがなく、ＥＬ素子１６が現像液に
よって受けるダメージを低減することができる。また、
大型の薄膜カラーＥＬパネルにおいては、フィルタ基板
１８を先にＥＬパネル基板１７に貼り付けることによっ
て、カラーフィルタ９の形成時にも基板割れを起こすこ
とがない。
ネルの製造方法は、請求項１または２記載の薄膜カラー
ＥＬパネルを製造する際に、カラーフィルタ９未形成の
フィルタ基板１８を先にＥＬパネル基板１７に貼り付け
ておき、その後カラーフィルタ９を形成するので、この
カラーフィルタ９の現像工程においてＥＬ素子１６が直
接現像液に触れることがなく、ＥＬ素子１６が現像液に
よって受けるダメージを低減することができる。また、
大型の薄膜カラーＥＬパネルにおいては、フィルタ基板
１８を先にＥＬパネル基板１７に貼り付けることによっ
て、カラーフィルタ９の形成時にも基板割れを起こすこ
とがない。
【図１】本発明の一実施の形態における薄膜カラーＥＬ
パネルの断面図である。
パネルの断面図である。
【図２】図１における薄膜カラーＥＬパネルを表示面側
から見た平面図である。
から見た平面図である。
【図３】本発明の一実施の形態における薄膜カラーＥＬ
パネルの作製手順を示したフローチャート図である。
パネルの作製手順を示したフローチャート図である。
【図４】本発明の別の実施の形態における薄膜カラーＥ
Ｌパネルの断面図である。
Ｌパネルの断面図である。
【図５】本発明の更に別の実施の形態における薄膜カラ
ーＥＬパネルの作製手順を示したフローチャート図であ
る。
ーＥＬパネルの作製手順を示したフローチャート図であ
る。
【図６】従来の薄膜カラーＥＬパネルの断面図である。
【図７】従来の薄膜カラーＥＬパネルの断面図である。
【図８】従来の薄膜カラーＥＬパネルの断面図である。
１ ガラス基板 ２ 下部電極 ３ 下部絶縁膜 ４ ＥＬ発光層 ５ 上部絶縁膜 ６ 上部電極層 ７ 透光性絶縁樹脂 ８ ガラス基板 ９ カラーフィルタ １０ オーバーコート膜 １１ シール剤 １２ 絶縁性オイル １３ シール板 １４ オイル注入口 １５ オイル封止板 １６ ＥＬ素子 １７ ＥＬパネル基板 １８ フィルタ基板 １９ 透光性樹脂 ２０ 背面ガラス板
Claims (4)
- 【請求項１】 ＥＬ素子が形成された第一の基板と、 カラーフィルタが形成され、前記第一の基板のＥＬ素子
形成面上に貼り合わされた第二の基板と、 前記ＥＬ素子及び前記第二の基板を覆うように前記第一
の基板に貼り合わされたシール板と、を少なくとも備え
たことを特徴とする薄膜カラーＥＬパネル。 - 【請求項２】 前記第一の基板と前記第二の基板とを、
ＥＬ素子形成面とカラーフィルタ非形成面とが向かい合
うように貼り合わせたことを特徴とする請求項１記載の
薄膜カラーＥＬパネル。 - 【請求項３】 第一の基板上にＥＬ素子を形成する工程
と、 第二の基板上にカラーフィルタを形成する工程と、 前記第二の基板を前記ＥＬ素子の上方に配置するととも
に前記第一の基板に貼り合わせる工程と、 前記ＥＬ素子及び前記第二の基板を覆うように、シール
板を前記第一の基板に貼り合わせる工程と、を含むこと
を特徴とする薄膜カラーＥＬパネルの製造方法。 - 【請求項４】 第一の基板上にＥＬ素子を形成する工程
と、 前記第一の基板上に第二の基板を貼り合わせる工程と、 前記第二の基板上にカラーフィルタを形成する工程と、 前記ＥＬ素子及び前記第二の基板を覆うように、シール
板を前記第一の基板に貼り合わせる工程と、を含むこと
を特徴とする薄膜カラーＥＬパネルの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7232701A JPH0982475A (ja) | 1995-09-11 | 1995-09-11 | 薄膜カラーｅｌパネル及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7232701A JPH0982475A (ja) | 1995-09-11 | 1995-09-11 | 薄膜カラーｅｌパネル及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0982475A true JPH0982475A (ja) | 1997-03-28 |
Family
ID=16943426
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7232701A Pending JPH0982475A (ja) | 1995-09-11 | 1995-09-11 | 薄膜カラーｅｌパネル及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0982475A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11111465A (ja) * | 1997-09-18 | 1999-04-23 | Lg Electron Inc | 有機ｅｌ素子及びその製造方法 |
| US6932665B2 (en) * | 2003-07-24 | 2005-08-23 | Fuji Electric Co., Ltd. | Method of manufacturing organic EL display and color conversion filter substrate |
| JP2008089634A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
| JP2009109857A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Casio Comput Co Ltd | 保護板一体型表示パネル |
-
1995
- 1995-09-11 JP JP7232701A patent/JPH0982475A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11111465A (ja) * | 1997-09-18 | 1999-04-23 | Lg Electron Inc | 有機ｅｌ素子及びその製造方法 |
| JP4588813B2 (ja) * | 1997-09-18 | 2010-12-01 | エルジー エレクトロニクス インコーポレイティド | 有機ｅｌ素子及びその製造方法 |
| US6932665B2 (en) * | 2003-07-24 | 2005-08-23 | Fuji Electric Co., Ltd. | Method of manufacturing organic EL display and color conversion filter substrate |
| JP2008089634A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-04-17 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
| JP2009109857A (ja) * | 2007-10-31 | 2009-05-21 | Casio Comput Co Ltd | 保護板一体型表示パネル |
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