JPH0963766A - 薄膜elパネル - Google Patents

薄膜elパネル

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JPH0963766A
JPH0963766A JP7220384A JP22038495A JPH0963766A JP H0963766 A JPH0963766 A JP H0963766A JP 7220384 A JP7220384 A JP 7220384A JP 22038495 A JP22038495 A JP 22038495A JP H0963766 A JPH0963766 A JP H0963766A
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JP
Japan
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substrate
panel
thin film
translucent
insulating layer
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JP7220384A
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English (en)
Inventor
Mikihiro Noma
幹弘 野間
Satoshi Inoue
智 井上
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Sharp Corp
Original Assignee
Sharp Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 絶縁破壊より画素破壊が起き、湿気など水分
の侵入により薄膜ELパネルの寿命が短くなる。また、
EL素子を積層化することができないため、輝度が低
い。 【課題解決手段】 EL素子3とEL素子13とを対向
するように配置してなる薄膜ELパネルにおいて、両E
L素子3、13と対向面間に透光性絶縁樹脂9、19
と、両EL素子3、13と透光性絶縁樹脂9、19とを
封止する第1の封止部が、基板2とガラス基板12とを
貼り合わせて形成するエポキシ樹脂22と、第1の封止
部を隙間23を介して封止する第2の封止部が、基板2
と貼り合わせて形成するシールガラス24とを備えてな
るものである。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、平面薄膜型ディス
プレイとして用いられている薄膜ELパネルに関するも
のである。
【0002】
【従来の技術】情報化産業時代の到来と共に、フラット
ディスプレイの需要が高まっており、その中でも薄膜E
Lパネルが長寿命であることから、特にFA用ディスプ
レイとして注目されている。
【0003】最近では、従来実用化されているMn(マ
ンガン)を添加したZnS(硫化亜鉛)を用いた黄色発
光の薄膜ELパネルに加え、より豊かな発光色と、より
高い発光輝度とを求め、Tb(テルビウム)を添加した
ZnSやCe(セリウム)を添加したSrS(硫化スト
ロンチウム)、Eu(ニウロピウム)を添加したSrS
などを発光層に用い、緑色、青色、赤色の各画素をマト
リクス状に配置した並置方式の薄膜ELパネルや、異な
る発光色の2枚のEL素子を貼り合わせる方式の薄膜E
Lパネル、Mnを添加したZnS、Ceを添加したSr
S、Mnを添加したZnSの3層を積層した発光層など
の白色発光に、カラーフィルタを重ねてカラ化するカラ
ーフィルタ方式の薄膜ELパネルなどの開発が盛んであ
り、現在のところ、輝度的には貼り合わせ方式が最も有
望な方式である。
【0004】従来の貼り合わせ方式の薄膜ELパネル
は、例えば特開昭60−263982号公報に開示され
たものが知られている。以下、この薄膜ELパネルを図
6と共に説明する。図6はこの薄膜ELパネルの要部断
面図であり、図6に示すように、この薄膜ELパネル
は、ガラス基板51上に形成されたEL素子52上と、
ガラス基板53に形成されたEL素子54とを対向配置
し、ガラス基板51と53との端部を樹脂スペーサ55
により貼り合わせ、EL素子52と54との間に絶縁油
56を注入して構成されている。
【0005】上記EL素子52は、ガラス基板51上に
ストライプ状の電極57を形成し、その上に、第1の絶
縁層58、発光層59、第2の絶縁層60の3層を積層
し、さらにその上に、電極57に対して直交するように
ストライプ状の対向透明電極61を形成して構成されて
いる。
【0006】上記EL素子54は、ガラス基板53上に
ストライプ状の透明電極62を形成し、その上に、第1
の絶縁層63、発光層64、第2の絶縁層65を3層積
層し、さらにその上に、透明電極62に対して直交する
ようにストライプ状の対向透明電極66を形成して構成
されている。
【0007】そして、このガラス基板51、53のEL
素子52、54の形成面を互いに向かい合うように、隙
間を空けて樹脂スペーサ55によりガラス基板51と5
3との端部を貼り合わせる。この貼り合わせた隙間に透
明なシリコン油などの絶縁油56を封止して薄膜ELパ
ネルが構成されている。
【0008】一方、従来の並置方式の薄膜ELパネル
は、例えば特開平5−198379号公報に開示された
ものが知られている。以下、この薄膜ELパネルを図7
と共に説明する。図7はこの薄膜ELパネルの要部断面
図であり、図7に示すように、この薄膜ELパネルは、
ガラス基板71上に形成されたEL素子72上に、樹脂
層73を介してカラーフィルタ74を積層し、これらを
シールガラスで75で覆って構成されている。
【0009】上記EL素子72は、ガラス基板71上に
ストライプ状の電極76を形成し、その上に、第1の絶
縁層77、発光層78、第2の絶縁層79を3層積層
し、さらにその上に、電極76に対して直交するように
ストライプ状の対向透明電極80を形成して構成されて
いる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
貼り合わせ方式の薄膜ELパネルは、EL素子52と5
4とが密着していると、対向透明電極61と66との接
触により動作時には絶縁破壊が生じ、その絶縁破壊によ
り画素破壊を起こしてしまうため、ガラス基板51と5
3との間に樹脂スペーサ55を挟んで、隙間に絶縁油5
6を封止する必要がある。また、絶縁破壊を避けるた
め、隙間を大きくすると、ガラスに比べ防湿性の乏しい
樹脂スペーサ55を通して水分が侵入し、薄膜ELパネ
ルの寿命が短くなるという問題点があった。
【0011】一方、後者の並置方式の薄膜ELパネル
は、ガラス基板71に掘り込み加工を施して空間を形成
しているため、ガラス基板71とシールガラス75との
接着面の間隔を狭くして、ガラス基板71とシールガラ
ス75との密着性を高め、防湿性を高くして薄膜ELパ
ネルの寿命が短くなるのを防止することができるが、前
者の貼り合わせ方式の薄膜ELパネルに比べ、EL素子
を積層化することができないため、輝度が低いという問
題点があった。
【0012】本発明の薄膜ELパネルは上記のような問
題点を解決したもので、絶縁破壊による画素破壊が起き
ることがなく、湿気など水分の侵入により薄膜ELパネ
ルの寿命が短くなるのを防止することができ、長寿命で
高輝度の薄膜ELパネルを提供することを目的とするも
のである。
【0013】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明の薄膜ELパネルは、基板上に形成された電極
と、該電極に対向する第1の対向透明電極と、該両電極
間に形成された、少なくとも一方主面に第1の絶縁層を
有する第1の発光層と、からなる第1のEL素子と、透
光性基板上に形成された透明電極と、該透明電極に対向
する第2の対向透明電極と、該両電極間に形成された、
少なくとも一方主面に第2の絶縁層を有する第2の発光
層と、からなる第2のEL素子と、を備え、上記第1の
EL素子と上記第2のEL素子とを対向するように配置
してなる薄膜ELパネルにおいて、上記両EL素子の対
向面間に形成する除湿兼絶縁破壊防止用の透光性絶縁層
と、上記第1及び第2のEL素子と上記透光性絶縁層と
を封止する第1の封止部が、上記基板面と上記透光性基
板とを貼り合わせて形成するシール材と、上記第1の封
止部を隙間を介して封止する第2の封止部が、上記基板
と貼り合わせて形成する透光性シール基板と、を備えて
なるものである。
【0014】また、請求項1記載の構成において、上記
基板上に端子取出用の補助電極を形成し、該補助電極と
上記透明電極とを異方性導電膜を介して接続してなるも
のである。
【0015】また、請求項1または2記載の構成におい
て、上記透光性絶縁層間または上記透光性基板と上記透
光性シール基板との間にカラーフィルタを形成してなる
ものである。
【0016】また、請求項3記載の構成において、上記
第1の発光層は黄色発光し、上記第2の発光層は青色発
光し、上記カラーフィルタは赤色、緑色からなるもので
ある。
【0017】以上のように本発明によれば、第1及び第
2のEL素子を透光性絶縁層を介して貼り合わせること
により、第1及び第2のEL素子間に十分な隙間を設け
ることができるため、絶縁破壊による画素破壊は起こら
ない。
【0018】また、第1及び第2のEL素子と透光性絶
縁層とを封止する第1の封止部を、基板と透光性基板面
とをシール材により貼り合わせて形成し、さらに第1の
密閉部を隙間を介して封止する第2の封止部が、上記基
板と透光性シール基板とを貼り合わせて形成することに
より、2重の封止構造となり、十分な耐湿封止効果が得
られるため、湿気などの水分の侵入により薄膜ELパネ
ルの寿命が短くなるのを防止することができる。
【0019】さらに、EL素子を積層化することができ
るため、長寿命で高輝度の薄膜ELパネルの構造を提供
することができる。
【0020】しかも、透明電極は異方性導電膜を介して
基板に形成された端子用の補助電極に電気的に接続され
ているため、全ての端子は基板から取り出すことができ
る。
【0021】
【発明の実施の形態】以下、本発明の薄膜ELパネルの
第1の実施の形態を図1乃至図4と共に説明する。本発
明の薄膜ELパネルの第1の実施の形態は図1乃至図4
に示すように構成するものであり、図1乃至図4におい
て、この薄膜ELパネルは、基板2上に形成されたEL
素子3上に、透光性絶縁樹脂9、カラーフィルタ10、
透光性絶縁樹脂19を介してガラス基板12上に形成さ
れたEL素子13を積層し、これらを覆うように基板2
とガラス基板12との端部をシール材であるエポキシ樹
脂(樹脂スペーサ)22により貼り合わし、さらに、こ
れらを隙間23を介して透光性シール基板であるシール
ガラス24で覆って構成されている。
【0022】上記基板2、EL素子3、透光性樹脂9で
構成されている第1のELパネル基板1は、特に図1及
び図2に示すように、まず、EL素子3は、電極4、第
1の絶縁層5、黄色発光層6、第2の絶縁層7、対向透
明電極8を基板2上に順に備えている。このEL素子3
の露出面に透光性樹脂9を塗布して構成されている。
【0023】一方、上記ガラス基板12、EL素子1
3、透光性樹脂19で構成されているELパネル基板1
1は、特に図1及び図3に示すように、まず、EL素子
13は、透明電極14、第1の絶縁層15、青色発光層
16、第2の絶縁層17、対向透明電極18をガラス基
板12上に順に備えている。このEL素子13の露出面
に透光性樹脂19を塗布して構成されている。
【0024】この薄膜ELパネルは、以下の手順で作製
する。まず、ELパネル基板1は、基板2上に、Ta
(タンタル)、金属を200nm形成し、ドライエッチ
ングを用いて、Ta金属をストライプ状の電極4に形成
する。次にその上に、Si34(窒化シリコン)とSi
2(酸化シリコン)との2層構造の第1の絶縁層5を
200nm、Mnを添加したZnSからなる黄色発光層
6を800nm、SiO2とSi34との2層構造の第
2の絶縁層7を200nm、ITO(Indum Tin Oxid
e)層を200nmを順に4層積層した後、ITO層が
第1の電極4に対して直交するように、ドライエッチン
グを用いて、ITO層をストライプ状の対向透明電極8
に形成する。
【0025】上記電極4には、Ta、Mo(モリブデ
ン)、W(タングステン)やITO、両絶縁層5、7に
は、Ta25(酸化タンタル)やAl23(酸化アルミ
ニウム)など、対向透明電極8には、ITOやAlを添
加したZnO(酸化亜鉛)、Ga(ガリウム)を添加し
たZnOなどが用いられ、スパッタ法や電子ビーム蒸着
法などの薄膜形成法により形成する。
【0026】上記黄色発光層6は、ZnSにMnを0.
35at(atomic)%添加し、加圧形成した後、Ar
(アルゴン)ガス中900℃で1時間焼結させたMnを
添加したZnSからなるペレットを用いて、電子ビーム
蒸着法により成膜する。また、Mnを添加したZnSの
他に、Mnを添加したZn1-xMgxS(亜鉛−硫化マ
グネシウム)(0≦x≦0.5)を用いることができ
る。
【0027】上記両電極4と8との間に200V程度の
両極性パルス電圧を印加すると、黄色発光が、第2の絶
縁層7、対向透明電極8を透過して基板2の反対側から
出射する構造となっている。このEL素子3の露出面に
防湿兼絶縁破壊防止用の透光性絶縁樹脂9を20μmス
クリーン印刷により塗布した後、その上にカラーフィル
タ10を形成する。
【0028】上記カラーフィルタ10は、緑色フィルタ
10aと赤色フィルタ10bとが交互にストライプ状に
形成される。まず、スピンナにより緑色フィルタ層を塗
布し、90℃でプリベーク後、その緑色フィルタ層を紫
外線露光して有機アルカリ系現像液で現像し、200℃
でホストベークして緑色フィルタ10aを形成する。ま
た、赤色フィルタ10bについても同様な工程を繰り返
すことで形成する。
【0029】一方、ELパネル基板11は、ガラス基板
12上に、ITO層を200nm形成し、ドライエッチ
ングを用いて、ITO層をストライプ状の透明電極14
に形成する。次にその上に、Si34とSiO2との2
層構造の第1の絶縁層15を200nm、Ce(セリウ
ム)を添加したSrSからなる青色発光層16を100
0nm、SiO2とSi34との2層構造の第2の絶縁
層17を200nm、ITOを順に4層積層した後、I
TO層が透明電極14に対して直交するように、ドライ
エッチングを用いて、ITO層をストライプ状の対向透
明電極18に形成する。
【0030】両電極14、18には、Ta25やAlを
添加したZnO、Gaを添加したZnOなどが用いら
れ、両絶縁層15、17には、Ta25やAl23など
が用いられ、スパッタ法や電子ビーム蒸着法などの薄膜
形成法により形成する。
【0031】青色発光層16は、SrSにCeまたはC
eCl3(塩化セリウム)やCeN(窒化セリウム)な
どのCe化合物を0.1at%添加し、加圧形成した
後、Arガス中900℃で1時間焼結させたCeを添加
したSrSからなるペレットを用いて、電子ビーム蒸着
法により成膜される。また、Ceを添加したSrSの他
に、TmF3(フッ化ツリウム)を添加したZnS、C
eを添加したCaGa24(硫化カルシウムガリウ
ム)、Ceを添加したSrGa24(硫化ストロンチウ
ムガリウム)、Ceを添加したBaGa24(硫化バリ
ウムガリウム)、Ceを添加したSr2Ga25(硫化
ストロンチウムガリウム)などを用いることができる。
【0032】上記EL素子13は、完全な透明であるた
め、両電極14と18との間に200V程度の両極性パ
ルス電圧を印加すると、青色発光が、第1の絶縁層15
と透明電極14とを透過してガラス基板12側から出射
するとともに、第1の絶縁層15、透明電極14、第2
の絶縁層17、対向透明電極18を透過してガラス基板
12の反対側から出射する構造となっている。その完成
したEL素子13では、実際にはガラス基板12側から
の出射光を利用することになり、また、EL素子13は
完全な透明であるため、EL素子3からの光を全て透過
することになる。このEL素子13の露出面に防湿兼絶
縁破壊防止用の透光性絶縁樹脂19を20μmスクリー
ン印刷により塗布する。
【0033】このように作製した両EL素子3と13と
の貼り合わせを行うが、まず、両EL素子3と13との
間に異方性導電膜20を挟んで、EL素子11の第1の
電極14とガラス基板2上に形成された補助電極21と
が電気的に接続できるように、また、両EL素子3、1
3の各発光素子画素が対応するように位置合わせすると
共に、両ガラス基板3、13のEL素子3、13の形成
面を対向させて、基板2とガラス基板12との端部をエ
ポキシ樹脂22により貼り合わせる。
【0034】その後、さらにこれらの上に隙間23を介
して掘り込み加工を施した箱型のシールガラス24で覆
い、基板2とシールガラス24の端部とをエポキシ樹脂
で貼り合わせた後、隙間23にシリコーン樹脂やシリコ
ーンオイルなどの絶縁性オイル(または乾燥窒素)をシ
ールガラス24の一部に設けられたオイル注入口25か
ら注入し、その注入口25にオイル封止板26を接着し
て封止する。
【0035】以上のように本発明によれば、EL素子3
とEL素子13とを透光性絶縁樹脂9、19及びカラー
フィルタ10を介して貼り合わせることにより、両EL
素子3と13との間に透光性絶縁樹脂9、19とカラー
フィルタ10との合計の厚さ部分だけ十分な隙間が得ら
れるため、絶縁破壊による画素破壊は起こらない。
【0036】また、透明電極14は異方性導電膜20を
介して基板2上に形成された補助電極21に電気的に接
続されているため、全ての端子は基板2から取り出すこ
とができる。
【0037】さらに、両EL素子3、13と透光性絶縁
樹脂9、19とが、基板2とガラス基板12の端部とを
エポキシ樹脂22により貼り合わせて封止され、さら
に、その封止した部分が、隙間23を介してガラス基板
2とシールガラス24とを貼り合わせて封止されること
により、2重の密閉構造を有しており、十分な耐湿封止
効果が得られるため、湿気などの侵入により薄膜ELパ
ネルの寿命が短くなるのを防止することができる。
【0038】しかも、EL素子3、13を積層化するこ
とができるため、長寿命で高輝度の薄膜ELパネルの構
造を提供することができる。
【0039】次に、本発明の薄膜ELパネルの第2の実
施形態を図5と共に詳細に説明する。尚、上記第1の実
施形態と同一部分には同一符号を付し、その説明は省略
する。
【0040】本発明の薄膜ELパネルの第2の実施形態
は図5に示すように構成するものであり、図5におい
て、この薄膜ELパネルは、第1の実施形態のように構
成された薄膜ELパネルに、さらに、ガラス基板32上
に透光性絶縁樹脂33を介して、ガラス基板32上に形
成されたEL素子34を積層し、EL素子3、13、3
4を覆うように基板2とガラス基板32との端部をエポ
キシ樹脂35により貼り合し、ガラス基板32とオイル
注入口のないシールガラス36との間に透光性樹脂37
を形成して構成されている。
【0041】上記ガラス基板32、EL素子34、透光
性絶縁樹脂33で構成されているELパネル基板31
は、上記第1の実施形態で説明したELパネル基板11
と略同一であるので、説明は省略する。
【0042】また、発光層6、16、38は、画素パタ
ーンの形成精度が荒い場合、視角による色ずれがあまり
問題とならないため、赤、青、緑の色の3原色毎に、
赤、青、緑などの異なる発光色を程する発光層6、1
6、38を積層している。
【0043】この薄膜ELパネルは、以下の手順で作製
する。上記第1の実施形態のELパネル基板11と略同
様に、ELパネル基板31を作製する。
【0044】この作製したELパネル基板31とELパ
ネル基板1、11との貼り合わせを行うが、まず、EL
素子3とEL素子34との間に異方性導電膜39を挟ん
で、EL素子34の電極38とガラス基板2上に形成さ
れた補助電極21とが電気的に接続できるように、ま
た、EL素子3、13、34の各発光素子画素が対応す
るように、ガラス基板12上にEL素子34を積層し、
基板2とガラス基板32との端部をエポキシ樹脂35に
より貼り合わせる。
【0045】次に、ガラス基板32上にシリコーン樹脂
などの透光性樹脂37を塗布した後、シールガラス36
と透光性樹脂37との間に気泡が入らないように密着さ
せると共に、ELパネル基板1、11、31を覆うよう
に、隙間23を介して基板2とシールガラス36の端部
とを貼り合わせる。
【0046】また、N(窒素)またはAr雰囲気中にお
いて、隙間23にNまたはArが充填されるように、紫
外線硬化樹脂により貼り合わせを行ってもよい。また、
透光性樹脂37をカラーフィルタに置き換えて、多色化
を図ることが可能である。
【0047】以上にように第2の実施形態によれば、画
素パターンの形成精度が荒い場合、視角による色ずれが
あまり問題とならないため、赤、青、緑の発光色の発光
層6、16、38を積層することにより、色の3原色を
有する薄膜ELパネルを提供することができる。
【0048】
【発明の効果】本発明の薄膜ELパネルは以上のような
構成であるから、第1及び第2のEL素子を透光性絶縁
層を介して貼り合わせることにより、第1及び第2のE
L素子間に十分な隙間を設けることができるため、絶縁
破壊による画素破壊は起こらない。
【0049】また、第1及び第2のEL素子と透光性絶
縁層とを封止する第1の封止部を、基板と透光性基板面
とをシール材により貼り合わせて形成し、さらに第1の
密閉部を隙間を介して封止する第2の封止部が、上記基
板と透光性シール基板とを貼り合わせて形成することに
より、2重の封止構造となり、十分な耐湿封止効果が得
られるため、湿気などの水分の侵入により薄膜ELパネ
ルの寿命が短くなるのを防止することができる。
【0050】さらに、EL素子を積層化することができ
るため、長寿命で高輝度の薄膜ELパネルの構造を提供
することができる。
【0051】しかも、透明電極は異方性導電膜を介して
基板に形成された端子用の補助電極に電気的に接続され
ているため、全ての端子は基板から取り出すことができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の薄膜ELパネルの一実施形態を示す要
部断面図である。
【図2】本発明の一実施形態を示す第1のELパネル基
板の要部平面図である。
【図3】本発明の一実施形態を示す第2のELパネル基
板の要部平面図である。
【図4】本発明の薄膜ELパネルの一実施形態を示す要
部平面図である。
【図5】本発明の薄膜ELパネルの他実施形態を示す要
部断面図である。
【図6】従来の貼り合わせ方式の薄膜ELパネルを示す
要部断面図である。
【図7】従来の並置方式の薄膜ELパネルを示す要部断
面図である。
【符号の説明】
2 基板 3,13 EL素子 4 電極 5,15 第1の絶縁層 6 黄色発光層 7,17 第2の絶縁層 8,18 対向透明電極 9,19 透光性絶縁樹脂層 10 カラーフィルタ 10a 緑色カラーフィルタ 10b 赤色カラーフィルタ 12 ガラス基板 14 透明電極 16 青色発光層 20 異方性導電膜 21 補助電極 23 隙間 24 シールガラス

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板上に形成された電極と、該電極に対
    向する第1の対向透明電極と、該両電極間に形成され
    た、少なくとも一方主面に第1の絶縁層を有する第1の
    発光層と、からなる第1のEL素子と、 透光性基板上に形成された透明電極と、該透明電極に対
    向する第2の対向透明電極と、該両電極間に形成され
    た、少なくとも一方主面に第2の絶縁層を有する第2の
    発光層と、からなる第2のEL素子と、を備え、 上記第1のEL素子と上記第2のEL素子とを対向する
    ように配置してなる薄膜ELパネルにおいて、 上記第1及び第2のEL素子との対向面間に形成する防
    湿兼絶縁破壊防止用の透光性絶縁層と、 上記第1及び第2のEL素子と上記透光性絶縁層とを封
    止する第1の封止部が、上記基板と透光性基板とを貼り
    合わせて形成するシール材と、 上記第1の封止部を隙間を介して封止する第2の封止部
    が、上記基板と貼り合わせて形成する透光性シール基板
    と、を備えてなることを特徴とする薄膜ELパネル。
  2. 【請求項2】 上記基板上に端子取出用の補助電極を形
    成し、該補助電極と上記透明電極とを異方性導電膜を介
    して接続してなることを特徴とする請求項1記載の薄膜
    ELパネル。
  3. 【請求項3】 上記透光性絶縁層間または上記透光性基
    板と上記透光性シール基板との間にカラーフィルタを形
    成してなることを特徴とする請求項1または2記載の薄
    膜ELパネル。
  4. 【請求項4】 上記第1の発光層は黄色発光し、上記第
    2の発光層は青色発光し、上記カラーフィルタは赤色、
    緑色からなることを特徴とする請求項3記載の薄膜EL
    パネル。
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