JPH07136402A - 減圧蒸留方法および減圧蒸留装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 各種の汚れ成分を含む非水系溶剤等の被処理
液を効率よく再生することを可能にした減圧蒸留装置を
提供する。 【構成】 加熱媒体として耐熱オイルを用いた加熱機構
４を有する蒸留釜１で、汚れ成分を含む非水系溶剤等を
減圧下で加熱・蒸発させる。非水系溶剤の蒸気は、コン
デンサ１９で凝縮液化される。凝縮液化した留出液は、
水分分離器３１を介して循環させる。蒸留釜１内は、留
出液の循環系に介挿したエゼクタ３４により減圧し、所
定の減圧状態とする。蒸留釜１内に残留する残留物は、
開閉バルブ５３が介挿された廃液パイプ２１を介して蒸
留釜１に接続され、かつ蒸留釜１内と同程度の減圧度と
なるように導通管５４を介して接続された貯液タンク２
２内に排出し、冷却器４８で冷却する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、油脂系の汚れや固形物
系の汚れ等、各種汚れ成分を含む被処理液の再生に好適
な減圧蒸留方法および減圧蒸留装置に係り、特に各種汚
れ成分を含む非水系溶剤等の再生に好適な減圧蒸留方法
および減圧蒸留装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】金属部品、メッキ部品、塗装部品、電子
部品、半導体部品等の各種の部品には、その製造工程や
組立工程等において、切削油等の工作油脂、フラック
ス、塵埃等をはじめとして様々な汚れが付着する。この
ような汚れを有する各種部品の洗浄は、従来、ＣＦＣに
代表されるハロゲン化炭化水素系溶剤により行うことが
一般的であった。しかし、ハロゲン化炭化水素系溶剤
は、有機溶剤中毒予防規則等の法的規制により明らかな
ように、以前から肝臓障害や発癌性等のように人体に悪
影響を及ぼすことが知られており、また最近では人体だ
けでなく、地下水汚染やオゾン層の破壊等、環境への影
響も問題視されるに至っている。このため、ハロゲン化
炭化水素系溶剤に代替可能で、人体や環境に悪影響を及
さない洗浄溶剤が強く求められている。

【０００３】そこで、ハロゲン化炭化水素系溶剤の代替
溶剤として、シリコーン系溶剤、炭化水素系溶剤、ペル
フルオロカーボン系溶剤、テルペン系溶剤等の各種非水
系溶剤が提案されており、それぞれを用いた洗浄方法が
検討されている。このような非水系溶剤を用いた洗浄プ
ロセスを実現する上で、使用した非水系溶剤の再生方法
を確立することが重要である。すなわち、非水系溶剤を
使用して機械部品や電子部品等を洗浄すると、部品等の
被洗浄物に付着していた各種汚れが洗浄用の非水系溶剤
に混入し、洗浄装置に設けてあるフィルタ等を通しただ
けでは除去し切れない。また、上述したような非水系溶
剤は、一般に高価な溶剤であり、さらには省資源の見地
からも再生使用を可能にすることが必要とされている。

【０００４】非水系溶剤の最も簡単な処理・再生方法と
しては、大気圧下で加熱・凝縮を行う、いわゆる単蒸留
法が挙げられるが、引火性を有する非水系溶剤を沸点ま
で加熱することは危険極まりない。そこで、上述したよ
うな非水系溶剤の処理・再生方法として、減圧蒸留を適
用することが検討されている。減圧蒸留によれば、加熱
温度を低下させることができると共に、高負荷、高濃度
の溶剤も効率よく処理することができる可能性が高い。
非水系溶剤の減圧蒸留による処理・再生は、用途分野は
異なるが、例えば衣類等の被洗浄物を洗浄したドライク
リーニング用石油系溶剤の再生等で実用化されている。

【０００５】しかしながら、ハロゲン化炭化水素系溶剤
の代替溶剤として、上述したような非水系溶剤を用い
て、各種工業部品等の洗浄を行う場合には、その使用量
はドライクリーニング用石油系溶剤に比べて極めて多量
となる。このように、多量の非水系溶剤等を再生する場
合、従来の減圧蒸留方法や減圧蒸留装置では効率よく再
生することができないという問題が生じている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の減圧蒸留方法および減圧蒸留装置では、比較的多量の
非水系溶剤等の被処理液を効率よく再生することができ
ないという問題が生じている。各種工業部品の洗浄に非
水系溶剤を用いる場合には、洗浄品質の向上や洗浄コス
トの低減を図る上で、用いた溶剤を高精度にかつ効率よ
く再生することを可能にすることが重要である。

【０００７】本発明は、上述したような問題が真空発生
装置や加熱源等の付帯設備や蒸留残留物の廃棄に伴うア
イドルタイムに起因すること、さらには共沸現象等で混
入する水分または硫黄や塩素等の不純物に起因すること
を見出したことにより成されたものである。

【０００８】本発明の主とする目的は、各種の汚れ成分
を含む非水系溶剤等の被処理液を効率よく再生すること
を可能にした減圧蒸留方法および減圧蒸留装置を提供す
ることにある。具体的には、真空発生装置に起因する精
留度の低下を防止することによって、汚れ成分を含む非
水系溶剤等の被処理液を効率よくかつ高精度に再生する
ことを可能にすると共に、共沸現象等による再生品質の
低下を防止した減圧蒸留方法および減圧蒸留装置、また
加熱源に起因する精留度の低下を防止することによっ
て、汚れ成分を含む非水系溶剤等の被処理液を効率よく
かつ高精度に再生することを可能にすると共に、付帯設
備に要するコストや装置管理に要する手間の低減を図っ
た減圧蒸留方法および減圧蒸留装置、さらに蒸留残留物
の排出に要する時間や手間を削減することによって、汚
れ成分を含む非水系溶剤等の被処理液を効率よくかつ安
全に再生することを可能にした減圧蒸留方法および減圧
蒸留装置を提供することを目的としている。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明の減圧蒸留方法に
おいて、請求項１記載の減圧蒸留方法は、蒸留釜内で被
処理液を減圧下で加熱蒸発させ、この蒸気を凝縮液化
し、前記被処理液を再生する減圧蒸留方法において、前
記凝縮液化した留出液を貯液タンクを介して循環させる
と共に、前記留出液の循環系に介挿したエゼクタを用い
て、前記蒸留釜内を所定の減圧度に減圧することを特徴
としている。

【００１０】請求項２記載の減圧蒸留方法は、蒸留釜内
で被処理液を減圧下で加熱蒸発させ、この蒸気を凝縮液
化すると共に、前記蒸留釜内に前記加熱蒸発による残留
物を残留させて、前記被処理液を再生する減圧蒸留工程
と、前記蒸留釜内に残留した残留物を、前記蒸留釜と同
程度の減圧度とされた貯液タンク内に排出する残留物排
出工程とを有し、前記残留物排出工程後直に前記減圧蒸
留工程を実施することを特徴としている。

【００１１】請求項３記載の減圧蒸留方法は、蒸留釜内
で被処理液を減圧下で加熱蒸発させ、この蒸気を凝縮液
化して、前記被処理液を再生する減圧蒸留方法におい
て、前記被処理液の加熱を、加熱媒体として耐熱オイル
を用いて行うことを特徴としている。

【００１２】本発明の減圧蒸留方法は、汚れ成分を含む
非水系溶剤の減圧蒸留による処理・再生に好適である。

【００１３】また、本発明の減圧蒸留装置において、請
求項５記載の減圧蒸留装置は、被処理液を減圧下で加熱
蒸発させる蒸留釜と、前記被処理液の蒸気を凝縮液化す
る冷却器と、前記凝縮液化した留出液を貯液タンクを介
して循環させる循環系に介挿され、前記蒸留釜内を所定
の減圧度に減圧するエゼクタとを具備することを特徴と
している。

【００１４】請求項６記載の減圧蒸留装置は、加熱機構
を有し、前記加熱機構により被処理液を減圧下で加熱・
蒸発させる蒸留釜と、前記蒸留釜に連通接続され、前記
被処理液の蒸気を凝縮液化する冷却器と、前記凝縮液化
した留出液を水分分離器を介して循環させる循環系と、
前記冷却器を介して前記蒸留釜に連通接続された真空発
生手段とを具備し、前記真空発生手段は、前記留出液の
循環系に介挿されたエゼクタを有することを特徴として
いる。

【００１５】請求項７記載の減圧蒸留装置は、被処理液
を減圧下で加熱蒸発させる蒸留釜と、前記被処理液の蒸
気を凝縮液化する冷却器と、前記蒸留釜内と同程度の減
圧度とされ、前記蒸留釜内に残留された前記被処理液の
加熱蒸発による残留物を収容する貯液タンクとを具備す
ることを特徴としている。

【００１６】請求項８記載の減圧蒸留装置は、加熱機構
を有し、前記加熱機構により被処理液を減圧下で加熱蒸
発させる蒸留釜と、前記蒸留釜に連通接続され、前記被
処理液の蒸気を凝縮液化する冷却器と、前記冷却器を介
して前記蒸留釜に連通接続された真空発生手段と、前記
蒸留釜に、開閉機構が介挿された残留物排出管を介して
接続されていると共に、前記蒸留釜内と同程度の減圧度
となるように導通管を介して接続され、前記残留物排出
管を介して前記被処理液の加熱蒸発による残留物を収容
する貯液タンクとを具備することを特徴としている。

【００１７】また、請求項１１記載の減圧蒸留装置は、
請求項８記載の減圧蒸留装置において、前記貯液タンク
は、さらに前記残留物を冷却する冷却手段を有し、前記
残留物を冷却した後に前記貯液タンクから排出するよう
構成したことを特徴としている。

【００１８】請求項１６記載の減圧蒸留装置は、加熱媒
体として耐熱オイルを用いた加熱機構を有し、前記加熱
機構により被処理液を減圧下で加熱蒸発させる蒸留釜
と、前記蒸留釜に連通接続され、前記被処理液の蒸気を
凝縮液化する冷却器と、前記冷却器を介して前記蒸留釜
に連通接続された真空発生手段とを具備することを特徴
としている。

【００１９】また、請求項１７記載の減圧蒸留装置は、
請求項１６記載の減圧蒸留装置において、前記加熱機構
は、前記蒸留釜内に配設された第１の熱交換流路および
前記蒸留釜の外周を囲うように配設された第２の熱交換
流路の少なくとも一方を有する熱交換流路と、前記耐熱
オイルを加熱するオイル加熱器と、前記オイル加熱器で
加熱された前記耐熱オイルを前記熱交換流路を介して循
環させる循環ポンプとを具備することを、また請求項２
１記載の減圧蒸留装置は、請求項１６記載の減圧蒸留装
置において、前記加熱機構は、前記蒸留釜の外周を囲う
ように設けられ、かつ前記耐熱オイルが充填された加熱
タンクを有し、かつ、前記加熱タンクは、前記蒸留釜を
囲うように前記加熱タンク内に立設されたオイル循環用
整流板と、前記オイル循環用整流板の下部に設けられた
オイル通過流路と、前記オイル循環用整流板の内側に設
置された耐熱オイル加熱用の加熱器とを有することを特
徴としている。

【００２０】本発明の減圧蒸留装置は、被処理液として
汚れ成分を含む非水系溶剤を減圧蒸留する際に好適であ
る。

【００２１】

【作用】従来、減圧蒸留の際の真空発生装置としては、
ギヤポンプ、往復ピストンポンプ、回転式ポンプ等の真
空ポンプを用いることが一般的であった。真空ポンプ
は、ギア、ピストン、ロータ等の機械的可動部品を備え
ており、これら可動部品には潤滑オイルやグリス等の油
脂が不可欠である。減圧蒸留の際に真空ポンプを使用す
ると、真空ポンプに使用されている油脂が再生液に混入
してしまい、精留度が低下してしまうことを、本発明者
らは見出した。このように精留度が低下すると、再処理
が必要となったり、また減圧蒸留装置の点検、整備等が
余儀無くされるため、被処理液の再生効率を低下させる
ことになる。

【００２２】さらに、真空ポンプは可動部品を有するた
め、メンテナンスが面倒であるばかりでなく、長時間使
用すると摩耗により機能が低下してしまい、耐久性も十
分とはいえない。また、真空ポンプを減圧蒸留装置に使
用すると、閉止バルブを入口と出口にそれぞれ設けたタ
ンクを 2つ連結して設け、減圧蒸留中は真空状態になっ
たタンクに再生液を貯留し、その後複数の閉止バルブを
何回か操作してタンク中を大気圧に戻してから再生溶剤
を取り出すことが必要である。これらの操作は、面倒で
あるばかりでなく、上記精留度の低下と同様に、被処理
液の再生効率の低下要因となることを、本発明者らは見
出した。

【００２３】また、減圧蒸留装置の加熱源としては、従
来、ボイラ等からの蒸気を用いることが一般的であっ
た。しかし、蒸気を用いて被処理液を加熱蒸発させる場
合には、蒸発温度の管理、すなわち被処理液の揮発特性
に適合した温度域を正確に維持することが極めて困難で
あり、これにより精留度が低下しやすいことを、本発明
者らは見出した。この熱源の種類に伴う精留度の低下
も、当然ながら被処理液の再生効率の低下要因となる。
また、既に蒸気ラインが敷設されている工場以外では、
新に蒸気発生ボイラを設置すると共に、蒸気ラインを敷
設しなければならない。従って、従来の減圧蒸留装置を
導入する場合には、付帯設備の設置に多大な経費と労力
を要し、減圧蒸留による再生装置を導入しても、再生の
メリットを減殺する要素が少なからず存在していること
を見出した。

【００２４】さらに、被処理液を減圧蒸留した後には、
蒸留釜内に蒸留残留物として油脂等からなる廃液（スラ
ッジ）が残留するため、これを蒸留釜の底部から定期的
に排出しなければならない。この際、まず取扱時におけ
る火傷や引火による火災等の誘発を防止するために、蒸
留釜内の残留物の温度が室温程度まで低下した後に排出
しなければならない。また、残留物の排出により、蒸留
釜内の減圧状態は破られることになるため、残留物の排
出後に新に蒸留釜内を所定の減圧度まで減圧しなければ
ならない。これらに起因して、運転終了から再び運転を
開始するまでに相当のアイドルタイムが必要とされる。
このことも、被処理液の処理・再生効率の低下要因とな
ることを、本発明者らは見出した。

【００２５】本発明は、上述したような各種の知見に基
いて成されたものである。例えば、請求項１記載の減圧
蒸留方法においては、貯液タンクを介した循環系にエゼ
クタを介挿し、このエゼクタの吸引力により蒸留釜内を
所定の減圧度としている。従って、従来の真空発生装置
のように、真空発生装置に起因して留出液中に油脂等が
混入することがなく、よって効率よくかつ高精度に減圧
蒸留を実施することが可能となる。

【００２６】請求項２記載の減圧蒸留方法においては、
蒸留釜と同程度の減圧度とされた貯液タンクに、蒸留釜
内に残留した残留物を排出する工程を設けているため、
蒸留釜を含む真空系を破ることなく、蒸留釜から残留物
を排出することができる。これにより、残留物の排出に
要する時間や手間を大幅に削減することができ、効率よ
くかつ安全に減圧蒸留を実施することが可能となる。

【００２７】請求項３記載の減圧蒸留方法においては、
被処理液を加熱する際の媒体として耐熱オイルを用いて
いるため、蒸留釜内での温度制御が容易となる。従っ
て、加熱源の温度制御に起因する精留度の低下を防止す
ることができ、効率よくかつ高精度に減圧蒸留を実施す
ることが可能となる。

【００２８】請求項５記載の減圧蒸留装置においては、
貯液タンクを介した循環系にエゼクタを介挿し、このエ
ゼクタの吸引力により蒸留釜内を所定の減圧度としてい
る。従って、従来の真空発生装置のように、真空発生装
置に起因して留出液中に油脂等が混入することがなく、
よって効率よくかつ高精度に減圧蒸留を実施することが
可能となる。

【００２９】請求項６記載の減圧蒸留装置においては、
共沸現象等で留出液中に混入した水、さらには硫黄や塩
素等の不純物を分離する水分分離器を設けると共に、こ
の水分分離器を介した循環系にエゼクタを介挿し、この
エゼクタの吸引力により蒸留釜内を所定の減圧度として
いる。従って、水分分離器により精留度の向上が図れる
と共に、真空発生装置に起因して留出液中に油脂等が混
入することもない。これらによって、効率よくかつ高精
度に減圧蒸留を実施することが可能となる。

【００３０】請求項７記載の減圧蒸留装置においては、
蒸留釜と同程度の減圧度とされた貯液タンクに、蒸留釜
内に残留した残留物を排出するため、蒸留釜を含む真空
系を破ることなく、蒸留釜から残留物を排出することが
できる。これにより、残留物の排出に要する時間や手間
を大幅に削減することができ、効率よくかつ安全に減圧
蒸留を実施することが可能となる。

【００３１】請求項８記載の減圧蒸留装置においては、
蒸留釜と残留物排出管により接続され、かつ蒸留釜と同
程度の減圧度となるように導通管で接続された貯液タン
クを設けている。従って、蒸留釜を含む真空系を破るこ
となく、蒸留釜から残留物を貯液タンクに排出すること
ができる。これにより、残留物の排出に要する時間や手
間を大幅に削減することができ、効率よくかつ安全に減
圧蒸留を実施することが可能となる。また、請求項１１
記載の減圧蒸留装置においては、上記貯液タンクに冷却
機構を設けているため、さらに貯液タンクに収容した残
留物を冷却後安全に取出すことができる。

【００３２】請求項１６記載の減圧蒸留装置において
は、加熱媒体として耐熱オイルを用いた加熱機構を有し
ているため、蒸留釜内での温度制御が容易となる。ま
た、請求項１７や請求項２１記載の減圧蒸留装置におい
ては、確実に温度制御した耐熱オイルにより効率よく被
処理液を加熱することができる。従って、適正な温度範
囲に正確に制御した状態で被処理液を加熱蒸発させるこ
とができるため、精留度の向上を図ることができる。よ
って、効率よくかつ高精度に減圧蒸留を実施することが
可能となる。

【００３３】

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。

【００３４】図１は、本発明を適用した一実施例の減圧
蒸留再生装置の構成を示す図である。同図において、１
は耐圧性を有する概略円筒形状の蒸留釜である。蒸留釜
１には、図２に拡大して示すように、内部にコイル状あ
るいは蛇行状の第１の熱交換流路２が配設されていると
共に、蒸留釜１の底部外側を覆うように、ジャケット状
の第２の熱交換流路３が設けられている。第１および第
２の熱交換流路２、３に、加熱媒体として加熱された耐
熱オイルを流通させることによって、蒸留釜１に供給さ
れた被処理液、例えば汚れ成分を含む非水系溶剤（以
下、被処理溶剤と記す）が所定の減圧下で加熱される。

【００３５】ここで、上記被処理溶剤としては、例えば
洗浄溶剤として用いた各種汚れ成分を含む非水系溶剤が
挙げられる。対象となる洗浄溶剤としては、シリコーン
系溶剤、石油系溶剤等を含む炭化水素系溶剤、ペルフル
オロカーボン系溶剤、テルペン系溶剤等、もしくはこれ
らに界面活性剤やアルコール等の洗浄有効成分や各種添
加剤を加えたものが例示される。また、減圧蒸留により
除去する汚れ成分は特に限定されるものではなく、油脂
系汚れのような有機系汚れから固形物系汚れのような無
機系汚れまで、種々の汚れ成分を除去することができ
る。また、洗浄溶剤中に界面活性剤やアルコール等を含
む場合、これらが非水系溶剤より高沸点であれば、汚れ
成分と同様に除去することができる。

【００３６】蒸留釜１内の減圧度は、処理対象の非水系
溶剤の蒸気圧曲線に基いて、適宜設定するものとする。
図１０に、シリコーン系溶剤の一例としてオクタメチル
シクロテトラシロキサンと、炭化水素系溶剤の一例とし
てナフテン系炭化水素と、特殊アルコールの蒸気圧曲線
を示す。このような蒸気圧曲線に基いて、蒸留釜１内の
減圧度を設定すればよい。

【００３７】また、この実施例の減圧蒸留再生装置は、
非水系洗浄剤等の非水系溶剤の蒸留再生に限らず、水系
洗浄剤の蒸留再生に適用することも可能である。このよ
うな場合、例えば図１０に示すように、大気圧下では 1
00℃まで加熱する必要がある水系洗浄剤をそれ以下の温
度、例えば90Torrまで減圧することにより、50℃で沸
騰、蒸発させることができる。

【００３８】第１および第２の熱交換流路２、３には、
加熱媒体としての耐熱オイルがオイル加熱器４から加熱
された状態で供給される。ここで、加熱媒体として用い
る耐熱オイルとしては、高沸点（例えば沸点 250℃以
上）を有し、かつ難燃性もしくは高引火点（例えば引火
点 230℃以上）で、さらに低粘度で熱伝導性に優れる鉱
物系油や合成油が例示される。特に、この実施例におい
ては、後述するようにオイル槽６を大気開放しているた
め、酸化安定性に優れる合成系熱媒体油、例えばダフニ
ーアルファサーモ22A(商品名、出光興産社製）、ハイテ
クサーム32（商品名、日本石油社製）等が好適である。

【００３９】オイル加熱器４は、加熱媒体としての耐熱
オイル（加熱用オイル）５が収容されたオイル槽６内の
下部に加熱器、例えば電気ヒータ７を備えている。オイ
ル槽６には、フロートの上下動によりオイルの量を電気
的に検出するオイルレベル検出器８が設けられている。
また、オイル槽６の上部には、一端が大気中に開口され
た外気連通管９が連通接続されている。

【００４０】オイル槽６の出口側には、オイル供給管１
０が接続されており、オイル供給管１０の途中にはオイ
ル循環ポンプ１１とオイル温度検出器１２が介挿されて
いる。オイル槽６の入口側には、蒸留釜１からオイルを
戻すオイル還流管１３が接続されている。オイル供給管
１０は、第１の熱交換流路２の下部に位置する入口側に
接続されている。また、蒸留釜１の側面に開口した第１
の熱交換流路２の出口と、底面に開口した第２の熱交換
流路３の入口とは、連通管１４により接続されており、
側面に開口した第２の熱交換流路３の出口には、上記し
たオイル還流管１３が連通接続されている。すなわち、
第１の熱交換流路２の上部に位置する出口側を、第２の
熱交換流路３の下部に位置する入口側に連通すると共
に、第２の熱交換流路３の上部に位置する出口側をオイ
ル加熱器の入口側に連通接続している。

【００４１】なお、第２の熱交換流路３は、全体の形状
としては蒸留釜１の下部を収納したジャケット状である
が、内部を仕切り板により仕切ることによって、長尺な
流路が形成されており、入口から流入した加熱用オイル
が長尺な流路を通る過程で、蒸留釜１の下部を効率よく
加熱できるように構成されている。

【００４２】この実施例においては、オイル加熱器４に
別個に通電可能な電気ヒータ７を 2本（７ａ、７ｂ）設
けている。これら電気ヒータ７ａ、７ｂは、後述する電
気的制御手段１５（図３に示す）により制御され、一方
の電気ヒータ７ａは蒸留工程および煮詰め工程中常時通
電してオイルを加熱・保温し、他方の電気ヒータ７ｂは
オイル温度検出器１２からの信号に基いてオン・オフを
繰り返してオイルを加熱する。

【００４３】すなわち、オイル温度検出器１２からの信
号に基いて、オイルの温度が予め設定した上限温度に到
達したことを電気的制御手段１５が検知すると、電気的
制御手段１５は一方の電気ヒータ７ａには継続して通電
することによりオイルを保温し、他方の電気ヒータ７ｂ
の通電は停止する。そして、オイルの温度が次第に低下
し、オイル温度検出器１２からの信号に基いて、オイル
の温度が予め設定した下限温度まで下降したことを検知
すると、電気的制御手段１４は 2本の電気ヒータ７ａ、
７ｂに通電してオイルを加熱する。

【００４４】従って、オイル加熱器４により加熱される
オイルの温度は、上限温度と下限温度との間の適正温度
を正確に維持することができ、しかも常に作動している
一方の電気ヒータ７ａの保温作用により急激に低下する
こともない。このため、蒸留釜１に加熱用オイルを供給
すると、加熱用オイルの温度が安定しているので、溶剤
の揮発特性に適合した温度（予め設定した上限温度と下
限温度との間の適正温度域）により、被処理溶剤を安定
した状態で加熱蒸発させることができ、これにより精留
度を高めることができる。また、従来の加熱源として蒸
気を用いていた場合に比べて、付帯設備の設置や装置管
理に要する手間やコストを大幅に削減することができ
る。

【００４５】なお、オイル循環ポンプ１１の故障等のト
ラブルによって、加熱用オイルが送出されない事態が生
じても、外気連通管９からオイル槽６内のガスが大気中
に放出されるので、オイル槽６が破裂する等のトラブル
を防止することができる。また、オイル槽６内のオイル
が異常に減少した場合には、オイルレベル検出器８から
の信号に基いて電気的制御手段１５が全ての電気ヒータ
７の通電を停止するので、空炊きするおそれもない。オ
イル温度検出器１２は、オイル加熱器４内から蒸留釜１
の熱交換流路２、３の間に配設されていればその位置は
限定されない。上述したオイル加熱器４により適正温度
に加熱された加熱用オイルは、オイル循環ポンプ１１の
作動により、オイル供給管１０を通って蒸留釜１側に圧
送される。蒸留釜１において、加熱用オイルが第１の熱
交換流路２の入口から加圧供給されると、この加熱用オ
イルが第１の熱交換流路２内を流れる過程で熱が蒸留釜
１内の被処理溶剤に伝達され、これにより被処理溶剤が
加熱される。そして、第１の熱交換流路２の出口から流
出した加熱用オイルは、連通管１４を介して第２の熱交
換流路３の入口に供給され、第２の熱交換流路３内を流
れる過程で熱が蒸留釜１の外側から内部の被処理溶剤に
伝達される。従って、蒸留釜１内に収容された被処理溶
剤は、浸漬されている第１の熱交換流路２により内部か
ら直接加熱され、また第２の熱交換流路３により外側か
ら蒸留釜１の板厚を通して間接的に再度加熱されること
になる。

【００４６】なお、第１の熱交換流路２では、下部に位
置する入口側から加熱用オイルが流入して上部に位置す
る出口側から出て、第２の熱交換流路３においても下部
に位置する入口側から加熱用オイルが流入して上部に位
置する出口側から出てオイル加熱器４に戻るため、万一
加熱用オイル内に気泡が混入したり、熱交換流路２、３
内に気泡が存在していたとしても、加熱用オイルが各熱
交換流路２、３内に流入し易く、気泡により流入を阻止
されることがない。従って、各熱交換流路２、３では、
気泡による熱伝達の障害はなく、効率のよい加熱が確実
に行われる。

【００４７】第１の熱交換流路２と第２の熱交換流路３
とを通って熱を奪われた加熱用オイル、即ち温度が低下
した加熱用オイルは、オイル還流管１３を介してオイル
加熱器４に戻され、再度加熱される。換言すれば、加熱
媒体として機能する耐熱オイルは、オイル加熱器４、第
１の熱交換流路２および第２の熱交換流路３を循環して
電気ヒータ７の熱を蒸留釜１内の被処理溶剤に伝達し、
これにより効率よく被処理溶剤を加熱する。また、加熱
用オイルの流通経路を蒸留釜１内に配設された第１の熱
交換流路２から蒸留釜１の外周側に設置された第２の熱
交換流路３の順に流通させるようにしているため、被処
理液との熱交換以外による加熱用オイルの温度低下を抑
制することができ、効率よく被処理溶剤を加熱すること
が可能となる。

【００４８】上述した蒸留釜１の下方側部には、溶剤注
入口１６が形成されており、また上部には蒸気導出口１
７が形成されている。この蒸気導出口１７は、蒸気パイ
プ１８を介して蒸気凝縮用の冷却器、例えばコンデンサ
１９に連通接続されている。また、蒸留釜１の下部に
は、廃液排出口２０が形成され、この廃液排出口２０は
廃液パイプ２１を介して、汚れ成分等からなる蒸留残留
物である廃液を一時的に貯蔵する貯液タンク２２に接続
されている。この貯液タンク２２およびそれに付随する
設備については後に詳述する。

【００４９】溶剤注入口１６には、溶剤注入バルブ２３
が介挿された溶剤パイプ２４が接続されている。この溶
剤パイプ２４の途中には、例えばフロートの上下動で弁
を開閉する液位調整器２５が設けてあり、液位調整器２
５の上部を蒸留釜１の上部と連通接続して、蒸留釜１内
の被処理溶剤の液位を調整している。液位調整器２５
は、図２に示したように、第１の熱交換流路２が蒸留釜
１内の被処理溶剤中に浸漬し、かつ被処理溶剤の液面が
第２の熱交換流路３の上端よりも上方、例えば20〜30mm
上方の所定レベルまで上昇すると閉じて被処理溶剤の注
入を停止し、また所定レベルよりも低下すると開いて被
処理溶剤を蒸留釜１内に注入するように、開閉切換レベ
ルが設定されている。従って、溶剤注入バルブ２３が開
いていれば、液位調整器２５により蒸留釜１内の被処理
溶剤の液面は常に第１および第２の熱交換流路２、３よ
り上方に位置される。

【００５０】このように、蒸留釜１内の被処理溶剤の液
面を常に第１および第２の熱交換流路２、３より上方に
位置させているため、被処理溶剤の蒸気中に含まれる
酸、アルカリ等の反応物質と直接接触することがない。
従って、反応物質による熱交換流路２、３の腐食を防止
することができ、装置寿命を延ばすことが可能となる。
また、蒸留釜１の腐食に関しては、後述する精留網５０
等により抑制しており、また反応棒５１により腐食状態
の検査を実施可能としている。

【００５１】液位調整器２５の上流側には、熱交換用の
エコノマイザ２６が設けてあり、蒸留釜１に供給する被
処理溶剤を蒸留釜１から導出された蒸気により予熱する
ように構成されている。エコノマイザ２６の上流側に
は、被処理溶剤に含まれる塵芥等を吸着する第１のフィ
ルタ２７と、被処理溶剤中に含まれる酸、アルカリ等の
反応物質を吸着除去する第２のフィルタ２８とが設けら
れている。第１のフィルタ２７は、濾紙等により塵芥等
を吸着除去するものであり、第２のフィルタ２８はゼオ
ライト等の吸着剤により硫黄や塩素等の反応物質を吸着
除去するものである。第１および第２のフィルタ２７、
２８を、カートリッジタイプとして着脱可能とすれば、
フィルタの交換が容易となる。第１および第２のフィル
タ２７、２８の設置位置は逆にしてもよい。

【００５２】また、蒸気導出口１７に接続した蒸気パイ
プ１８は、上記エコノマイザ２６を経由し、コンデンサ
１９の内部を蛇行あるいは螺旋状に通過し、さらにチャ
ッキバルブ２９を経由して、真空発生装置３０に接続さ
れている。真空発生装置３０は、再生した非水系溶剤を
水分分離器３１を介して循環させる溶剤循環路３２に設
けた溶剤循環ポンプ３３と、エゼクタ３４とから構成さ
れている。

【００５３】すなわち、水分分離器３１の下部から導か
れた再生溶剤は、溶剤循環ポンプ３３により溶剤循環路
３２を経て再び水分分離器３１の上部へと循環し、この
溶剤循環路３２の途中にエゼクタ３４が設けられてお
り、チャッキバルブ２９の下流側がエゼクタ３４の吸引
口３５に接続されている。エゼクタ３４は、流路の断面
積が次第に小さくなったノズル部３６を有し、このノズ
ル部３６の途中に上記吸引口３５が開口している。従っ
て、溶剤循環ポンプ３３から圧送された溶剤がエゼクタ
３４を通過すると、ノズル部３６を通過する際に流速が
急激に増加すると共に圧力が低下し、これによりノズル
部３６に負圧が発生する。ノズル部３６の吸引口３５
は、チャッキバルブ２９、コンデンサ１９等を経由し、
さらに蒸気パイプ１８を介して蒸留釜１の上部に接続連
通されているので、エゼクタ３４内に生じた負圧により
蒸留釜１の内部が減圧されて所定の減圧状態となる。

【００５４】ここで言うエゼクタ３４とは、上記したよ
うに流路断面積が次第に小さくなるように設定したノズ
ル部３６と、流路断面積が次第に大きくなるように設定
したディフューザと、ノズル部３６の途中に開口された
吸引口３５とから主として構成されるものであり、駆動
流がノズル部３６を通過する際に発生する負圧により、
2次流を吸引口３５から引き込むものである。エゼクタ
３４は、駆動流の圧力よりも低い圧力にある多量の気体
または液体を輸送するものである。この実施例では、 2
次流すなわち蒸留釜１内の気体を吸引口３５から引き込
むことにより、蒸留釜１の内部を所定の減圧状態として
いる。

【００５５】このように、エゼクタ３４は、従来の真空
発生装置のように可動部分を必要としないため、このよ
うなエゼクタ３４を用いて蒸留釜１内を所定の減圧状態
とすることによって、従来の真空発生装置のように油脂
等が再生溶剤中に混入することがない。従って、精留度
の向上を図ることができ、結果的に処理効率を高めるこ
とが可能となる。また、エゼクタ３４は水分分離器３１
の溶剤循環路３２中に設置しているため、別途エゼクタ
３４を作動させるための循環系等を設置する必要もな
く、装置の簡略化および装置コストの削減等を図ること
ができる。さらに、エゼクタ３４は機械的な可動部分が
ないので、メンテナンスが簡単であり、摩耗等により吸
引力が低下するおそれもなく、優れた耐久性が得られ
る。

【００５６】上述したような減圧状態の蒸留釜１内で、
被処理溶剤は加熱される。被処理溶剤である汚れ成分を
含んだ非水系溶剤は、汚れ成分を蒸留釜１内に残して、
容易に蒸気化する。蒸留釜１内で加熱されて蒸気化した
非水系溶剤、すなわち溶剤ガスは、蒸気パイプ１８を通
って吸引され、コンデンサ１９で凝縮液化される。凝縮
液化された留出液、すなわち再生溶剤は、エゼクタ３４
の吸引作用により吸引され、チャッキバルブ２９を通過
して、エゼクタ３４の吸引口３５から溶剤循環路３２内
の循環溶剤流に合流する。合流した再生溶剤は、エゼク
タ３４の下流側に配設された水分分離器３１に流入す
る。

【００５７】水分分離器３１は、上室３１ａと下室３１
ｂとに分かれている。上室３１ａ内のほぼ中央には、上
部に開口部３７を有するエレメント支持棒３８が立設さ
れ、このエレメント支持棒３８にエレメント３９が被せ
てある。また、下室３１ｂと上室３１ａとは、エレメン
ト支持棒３８に開設した開口部３７により内部で連通接
続されていると共に、上記したように溶剤循環路３２に
より外部でも連通接続されている。また、下室３１ｂの
上部には、再生した非水系溶剤を排出するための排出口
４０が設けてあり、水分等の不純物が除去された非水系
溶剤は排出口４０を通って再生溶剤タンク（図示せず）
に導かれる。

【００５８】この水分分離器３１では、上室３１ａの上
部から、循環してきた非水系溶剤および新に凝縮液化さ
れた非水系溶剤が供給され、エレメント３９を通過する
ことにより、共沸現象等で再生溶剤に混入した水分また
は硫黄や塩素等の不純物が除去される。エレメント指示
棒３８の開口部３７から下室３１ｂに導かれた非水系溶
剤の一部は、溶剤循環ポンプ３３を経て再び上室３１ａ
に循環されると共に、残りの非水系溶剤は排出口４０か
ら再生溶剤タンクに排出される。従って、エゼクタ３４
から合流した新な再生溶剤は、その全部が直接排出口４
１から取り出される訳ではなく、通常は溶剤循環流によ
り水分分離器３１内を何度か通って不純物が十分に除去
された状態で、排出口４０から取り出される。このた
め、排出口４０から取り出された再生溶剤の精留度は高
く、洗浄力等の機能も新規の溶剤に劣ることがない。

【００５９】上記水分分離器３１内に挿入されるエレメ
ント３９は、図４に示すように、中央部にエレメント支
持棒３８が挿入される挿入孔３９ａを設けた円筒形状を
しており、外周に濾紙部３９ｂを設け、濾紙部３９ｂの
内周に不織布からなる吸水部３９ｃが設けられている。

【００６０】上述したように、水分分離器３１は、再生
された非水系溶剤を一時的に貯蔵する貯液タンクの役割
も有しており、上記エゼクタ３４は貯液タンクを介した
循環系に介挿されていると言い換えることもできる。ま
た、水分分離器３１を必要としない場合には、貯液タン
クを介して循環系を形成し、この循環系にエゼクタを介
挿してもよい。特に、水系洗浄剤等を被処理液とする場
合には、貯液タンクを介した循環系にエゼクタを介挿す
ればよい。

【００６１】なお、蒸気パイプ１８の蒸留釜１側には、
蒸気温度を測定する温度計４１が配設されている。ま
た、蒸留釜１の上部に接続した管４２には、減圧度検出
器４３が取り付けられており、蒸留釜１内の減圧状態を
電気的制御手段１５で検知できるように構成されてい
る。また、蒸留釜１の下方側部には覗視窓１ａが形成さ
れ、この覗視窓から蒸留釜１の内部を覗けるようになっ
ている。

【００６２】前述したコンデンサ１９の内部には、冷却
水が下部の冷却水入口４４から上部の冷却水出口４５に
向かって流れており、冷却水入口４４に冷却水を供給す
る冷却水パイプ４６の途中には、冷却水バルブ４７、冷
却水ストレーナ４８が設けられている。また、冷却水出
口４５から排出された冷却水は、後述する貯液タンク２
２の冷却器４９に送られる。

【００６３】また、この実施例では精留度を高めるため
に、蒸留釜１の上方の供給された被処理溶剤の液面より
も高い位置に、蒸留釜１の内周形状とほぼ同様の外周形
状を有する金網５０を着脱可能に配置している。この金
網５０は、例えば線径が 0.2mm以上で、10〜60メッシュ
であって、 2から 3枚の金網５０を重ねて設置してい
る。また、金網５０の表面を波形にすると、間に多くの
空間が形成されるので有効である。この金網５０は、非
水系溶剤が沸騰した場合に、溶剤と一緒に共沸した油脂
等からなる汚れ成分が蒸留釜１上部まで上昇し、溶剤ガ
ス中に混入することを防止すると共に、汚れ成分の物質
を付着して除去し、これらの作用により精留度を高める
ものである。

【００６４】さらに、蒸留釜１内には、その天井面の孔
から反応棒５１が挿入されている。この反応棒５１は、
蒸留釜１内に挿入した際に底部近くまで達する長さを有
し、その材質は、蒸留釜１を構成する材料よりも酸等の
反応物質に対して反応しやすい材質からなる。例えば、
硫黄や塩素に反応しやすいアルミニウムや銅により構成
する。このような反応棒５１を挿入しておき、時々引き
抜いて反応棒５１の腐食程度、特に液面近傍の腐食度合
を検査すると、蒸留釜１の腐食具合を知ることができ、
蒸留釜１の破損等の不慮の事故を未然に防止することが
できる。

【００６５】前述した蒸留釜１の下方に配設された貯液
タンク２２は、蒸留釜１に残留する油脂等の汚れ成分か
らなる廃液（スラッジ）を一時的に収容するものであ
る。この廃液は、いわゆる蒸留による残留物である。貯
液タンク２２の上部には、廃液流入口５２が形成されて
おり、この廃液流入口５２は開閉バルブ５３が介挿され
た廃液パイプ２１を介して、蒸留釜１の廃液排出口２０
に接続されている。廃液パイプ２１の開閉バルブ５３よ
り下側、すなわち廃液流入口５２側は、途中から分岐さ
れて導通パイプ５４に接続されており、この導通パイプ
５４は外気の導入可能な三方切替バルブ５５を介して蒸
留釜１の側部に連通接続されている。そして、この三方
切替バルブ５５の切替えで、貯液タンク２２を蒸留釜１
側または外気側に選択的に導通できるように構成されて
いる。

【００６６】すなわち、三方切替バルブ５５を蒸留釜１
側に導通させると、貯液タンク２２内は蒸留釜１と同程
度の減圧状態となる。この状態で開閉バルブ５３を開く
と、蒸留釜１の真空系を破ることなく、廃液排出口２０
から蒸留釜１内の廃液を貯液タンク２２に流下させるこ
とができる。また、三方切替バルブ５５を大気側に導通
させると、貯液タンク２２内に収容された廃液を廃液流
出口５６から容易に流出させることができる。

【００６７】このように、蒸留釜１と同程度の減圧状態
とし得る貯液タンク２２に、蒸留釜１から廃液（残留
物）を排出するように構成しているため、蒸留釜１を含
む真空系を破ることなく、かつ良好に廃液を排出するこ
とが可能となる。これにより、廃液の排出後に、再度被
処理溶剤の蒸留を行う際に、蒸留釜１の真空排気に伴う
手間や時間を大幅に削減することができる。また、貯液
タンク２２は三方切替バルブ５５により大気開放可能と
しているため、後述する廃液タンク６２へも良好に流出
させることができる。

【００６８】貯液タンク２２の外周には、冷却器４９が
配設されており、この冷却器４９には冷却水が下部の冷
却水入口５７から上部の冷却水出口５８に向かって流れ
ている。この冷却水は、コンデンサ１９の冷却水出口４
５から送出されたものである。また、この貯液タンク２
２の下部には、廃液流出口５６が形成されており、この
廃液流出口５６は廃液バルブ５９を介挿した廃液パイプ
６０に接続され、この廃液パイプ６０の先端部は廃液出
口６１となっている。従って、廃液バルブ５９を開く
と、貯液タンク２２に一時的に貯留されて冷却された廃
液が廃液流出パイプ６０を介して廃液出口６１から排出
される。従って、蒸留釜１から排出された廃液は、冷却
した後に下記の廃液タンク６２に流出させることがで
き、よって廃液の排出を安全に実施することが可能とな
る。

【００６９】次に、図５および図６を参照して、貯液タ
ンク２２の下方に設けた廃液タンク６２および廃液タン
ク６２を載置する載置台６３について述べる。

【００７０】上記した貯液タンク２２の下方には、廃液
を受け止めるための廃液タンク６２を載置するための載
置台６３が設けられている。この載置台６３は、減圧蒸
留再生装置を支持する架台６４上に設けたスライド装置
６５により、貯液タンク２２下方から減圧蒸留再生装置
の前方向（図５、図６では左方向）に移動可能とされて
いる。

【００７１】載置台６３を再生装置の外に移動するに
は、再生装置の前面に設けた扉６６を開き、スライド装
置６５により支持された載置台６３を手前（図５、図６
では左側）に引き出せばよい。載置台６３を引き出すこ
とにより、載置台６３に載置した廃液タンク６２も引き
出すことができる。この廃液タンク取出し位置に廃液タ
ンク６２を引き出すことで、廃液タンク６２内の廃液を
すてることができる（図６）。また、載置台６３を減圧
蒸留再生装置の内部に収容すると（廃液（残留物）収容
位置）、載置台６３に載置した廃液タンク６２により貯
液タンク２２内の廃液を受け止めることができる（図
５）。

【００７２】また、上記した減圧蒸留再生装置の架台６
４には、廃液タンク６２を載置した載置台６３が、貯液
タンク２２内の廃液を受け止めることができる所定位置
（廃液収容位置）にスライドした場合に、載置台６３を
検出するための載置台検出センサ６７が設けられている
と共に、載置台６３上に廃液タンク６２が載置されてい
ることを検出するための廃液タンク検出センサ６８が設
けられている。

【００７３】そして、載置台検出センサ６７が載置台６
３を検出すると共に、廃液タンク検出センサ６８が載置
台６３上に廃液タンク６２が載置されていることを検出
した場合にのみ、電気的制御手段１５の制御により廃液
流出パイプ６０に設けた廃液バルブ５９を開いて、貯液
タンク２２内の廃液を流出させるように構成されてい
る。さらに、廃液タンク６２内には、廃液タンク６２内
の廃液量が所定量になったことを検出する廃液量検出セ
ンサ６９が設けられている。そして、この廃液量検出セ
ンサ６９が、所定量の廃液を検出した場合には、電気的
制御手段１５の制御により廃液流出パイプ６０に設けた
廃液バルブ５９を閉じて、貯液タンク２２内の廃液の排
出を停止する。

【００７４】これら廃液タンク６２に付随する設備によ
って、廃液タンク６２が所定位置に位置していないにも
かかわらず、あるいは廃液タンク６２内が満杯になって
いるにもかかわらず、貯液タンク２２内の廃液を流出さ
せるような事故を未然に防ぐことができる。よって、廃
液排出の安全性を大幅に高めることが可能となる。

【００７５】次に、上記した構成からなる減圧蒸留再生
装置の動作および各部材の制御を、図３に示す電気的制
御手段１５の概略ブロック図および図７に示すタイミン
グチャートを参照しながら説明する。なお、初期状態で
は蒸留釜１、貯液タンク２２内は空であり、オイル加熱
器４および熱交換流路２、３を含む加熱用オイルの循環
系にはオイルが充填されており、また水分分離器３１を
含む溶剤循環系には先に再生した溶剤が充満している。

【００７６】また、電気的制御手段１５は、この実施例
ではマイクロコンピュータ構成であり、操作の手順をプ
ログラミングして予め記憶した中央処理演算回路（ＣＰ
Ｕ）１０１、ＲＯＭ１０２、ＲＡＭ１０３等からなり、
加熱用オイルの温度を溶剤の種類に応じて設定記憶可能
な加熱用オイル温度設定記憶部１０４、予め減圧度を設
定記憶しておく減圧度設定記憶部１０５、蒸留時間を設
定する蒸留タイマ１０６、煮詰め時間を設定する煮詰め
タイマ１０７、蒸留釜１のスラッジバルブ５３を開放す
る時間を設定するスラッジタイマ１０８、貯液タンク２
２の廃液バルブ５９の開放時間を設定する廃液タイマ１
０９等を有している。

【００７７】まず、操作盤の運転ボタンを押すと、電気
的制御手段１５からの信号に基いて運転ランプが点灯す
ると共に、オイル循環ポンプ１１、溶剤循環ポンプ３
３、オイル加熱器４の 2つの電気ヒータ７ａ、７ｂがそ
れぞれ作動を開始する。なお、この時点では溶剤注入バ
ルブ２３は閉じたままである。

【００７８】オイル循環ポンプ１１が作動すると、加熱
用オイル循環系のオイルが循環してオイル加熱器４から
オイル供給管１０、蒸留釜１の第１の熱交換流路２、第
２の熱交換流路３、オイル還流管１３の順に流れてオイ
ル加熱器４に戻る。そして、このオイル循環系のオイル
は、電気ヒータ７の作動により次第に温度が上昇する。
また、溶剤循環ポンプ３３が作動すると、溶剤循環系の
溶剤が循環するので、エゼクタ３４に吸引作用が生じ、
蒸留釜１内の圧力が次第に低下する。

【００７９】そして、オイル温度検出器１２からの信号
に基いて、加熱用オイルの温度が溶剤の種類に応じて予
め設定した上限の所定温度（例えば第３石油類であれば
170〜 180℃）に到達したこと、および減圧度検出器４
３からの信号に基いて蒸留釜１内の減圧度が予め設定し
た所定の減圧度に到達したことを電気的制御手段１５が
検知すると、蒸留タイマ１０６をスタートさせると共
に、冷却水バルブ４７および溶剤注入バルブ２３を開
き、またオイル加熱器４の一方の電気ヒータ７ａは継続
してオンのままで、他方の電気ヒータ７ｂはオフにす
る。

【００８０】溶剤注入バルブ２３が開くと、蒸留釜１の
内部に汚れ成分を含む非水系溶剤（被処理溶剤）が注入
されはじめる。蒸留釜１内に導かれる被処理溶剤の分量
は、液位調整器２５により調整され、被処理溶剤の液面
が第２の熱交換流路３の上部よりも上方に位置すると共
に、第１の熱交換流路２が常に被処理溶剤中に浸漬する
所定レベルに達するまで注入される。

【００８１】また、冷却水バルブ４７が開くと、コンデ
ンサ１９内に冷却水が供給されてコンデンサ１９が冷
却、すなわち凝縮液化を開始し、コンデンサ１９から出
た冷却水は貯液タンク２２の冷却器４９を通って貯液タ
ンク２２を冷却する。

【００８２】このように、加熱用オイルの温度が所定温
度に到達した後に溶剤を注入するようにすると、冷えた
溶剤を注入してから加熱用オイルを次第に加熱する場合
に比較して、加熱の立上り時間を短縮することができ、
効率的である。また、蒸留釜１の内部が所定の減圧度に
到達した後に溶剤を注入するようにすると、引火、爆発
等を防止することができ、安全である。

【００８３】オイル加熱器４により所定温度まで加熱さ
れた加熱用オイルが蒸留釜１の第１熱交換流路２から第
２熱交換流路３内を通ると、蒸留釜１内の被処理溶剤が
加熱されて減圧蒸留される。そして、気化した溶剤ガス
は、エゼクタ３４の吸引力によって吸引され、コンデン
サ１９に送り込まれて凝縮液化され、液化した溶剤はエ
ゼクタ３４に吸引されて溶剤循環流に合流し、水分分離
器３１を繰り返し通過することにより水分が除去された
状態で溶剤取出口４０から純粋な再生溶剤として取り出
される。

【００８４】このようにして、蒸留釜１内の被処理溶剤
が減圧蒸留され続けると、蒸留釜１内の溶剤液面が低下
するが、ある程度低下すると液位調整器２５が開いて溶
剤を流し込む。従って、蒸留釜１内では引き続き減圧蒸
留が行われる。

【００８５】蒸留釜１内で継続して減圧蒸留が行われる
と、この減圧蒸留では加熱用オイルの熱を熱源としてい
るので、一方の電気ヒータ７ａの熱で保温していてもオ
イルの温度が緩やかに低下していく。このオイルの温度
は、オイル温度検出器１２からの信号により電気的制御
手段１５が常に監視し続けている。そして、オイルの温
度が下限の所定温度（溶剤の種類により異なるが、例え
ば上限温度 170℃の場合には 165℃）まで低下すると、
電気的制御手段１５がオイル加熱器４の他方の電気ヒー
タ７ｂもオンにして加熱用オイルの加熱を再開する。

【００８６】他方の電気ヒータ７ｂもオンになると、循
環する加熱用オイルの温度が短時間で上限温度まで上昇
し、この上限温度に到達すると、オイル温度検出器１２
からの信号に基いて電気的制御手段１５が他方の電気ヒ
ータ７ｂをオフにして、再び一方の電気ヒータ７ａの加
熱のみによる保温状態に移行する。従って、蒸留釜１の
熱交換流路２、３に供給される加熱用オイルの温度は、
当該溶剤の種類に応じて設定した最適温度域を確実に維
持することができる。よって、減圧蒸留により再生する
目的物質、すなわち当該非水系溶剤の純度を高くするこ
とができ、不純物が共に減圧蒸留される事態を減らすこ
とができる。

【００８７】このような操作を繰り返して行うと、油脂
等の汚れを含んだ非水系溶剤を大量に減圧蒸留して再生
することができるが、その一方で蒸留釜１内では減圧蒸
留で残された汚れ成分の割合が次第に高まる。そこで、
上記した蒸留工程は蒸留タイマ１０６に予め設定した所
定の時間（例えば 10%程度の汚れであれば30分）が経過
した時点で煮詰め工程に移行する。

【００８８】蒸留タイマ１０６から所定時間経過信号が
送出されると、電気的制御手段１５は、煮詰めタイマ１
０７をスタートさせると共に、溶剤注入バルブ２３を閉
じる。なお、オイル加熱器４の電気ヒータ７の制御は蒸
留工程と同じであり、また冷却水バルブ４７も開いた状
態を継続させる。従って、蒸留釜１内の溶剤は引き続い
て減圧蒸留され、次第にその量が減少する。すなわち、
蒸留釜１内の溶剤は減圧蒸留により減少しても注ぎ足さ
れないので煮詰められていき、汚れ成分の割合が極めて
高いスラッジ液となる。

【００８９】そして、煮詰めタイマ１０７に設定した所
定時間（例えば 5分）が経過して煮詰め終了信号が送出
されると、電気的制御手段１５がスラッジタイマ１０８
をスタートさせる。この際、オイル加熱器４の電気ヒー
タ７を全てオフにしてオイルの加熱を停止する。また、
電気的制御手段１５は、煮詰め工程が終了してスラッジ
排出工程に移行すると、スラッジバルブ５３を開放す
る。

【００９０】この際、貯液タンク２２は導通パイプ５４
を介して蒸留釜１に連通されているので、貯液タンク２
２内は蒸留釜１内と同程度の減圧状態となっている。こ
の状態で、スラッジバルブ５４を開くと、蒸留釜１内に
残留した油脂等の汚れからなる高温のスラッジ液が蒸留
釜１から貯液タンク２２に流下し、スラッジ液は貯液タ
ンク２２内に一時的に収容される。このとき、蒸留釜１
内と貯液タンク２２内は共に減圧状態になっているの
で、スラッジ液は容易に蒸留釜１の下方に位置する貯液
タンク２２に流下する。スラッジ排出工程に移行しても
冷却水バルブ４７は開いたままなので、貯液タンク２２
の冷却器４７には冷却水が供給され続ける。このため、
貯液タンク２２内に流下したスラッジは、冷却水により
急速に冷却される。なお、貯液タンク２２は、スラッジ
排出工程のみ減圧状態とするようにしてもよい。

【００９１】次に、スラッジタイマ１０８に設定した所
定時間が経過してスラッジ排出工程が終了すると、電気
的制御手段１５が廃液タイマ１０９をスタートさせ、三
方切替バルブ５５を外気側と貯液タンク２２側とに開
き、蒸留釜１側に閉じて、貯液タンク２２内に外気を導
入して常圧にしてから、廃液バルブ５９を開く。このと
き、載置台検出センサ６７により載置台６３が所定位置
に設置されていることを検出すると共に、廃液タンク検
出センサ６８により廃液タンク６２が載置台６３上に載
置されていることを検出した場合にのみ、電気的制御手
段１５の制御により廃液バルブ５２を開き、冷却された
スラッジを廃液タンク６２に収容する。さらに、廃液タ
ンク６２内に設けた廃液量検出センサ６９が、所定量の
廃液を検出すると、電気的制御手段１５の制御により廃
液バルブ５９が閉じて、貯液タンク２２内からのスラッ
ジ排出を停止する。

【００９２】そして、廃液タイマ１０９に設定した所定
時間が経過して廃液工程が終了すると、電気的制御手段
１５が廃液バルブ５９を閉じ、 1サイクルが終了する。
これら一連の作業工程が終了すると、三方切替バルブ５
５を再び外気側に閉じて、蒸留釜１側と貯液タンク２２
側とに開き、貯液タンク２２内を減圧状態として、上記
した被処理溶剤の再生作業を繰り返し実施する。これに
よって、廃液の排出に伴う手間や時間は大幅に削減され
る。また、蒸留釜１内の減圧状態は、スラッジ排出工程
以降は貯液タンク２２とは別途維持できるため、スラッ
ジ排出工程後直に被処理溶剤の再生作業を実施すること
ができる。

【００９３】なお、廃液工程において、ブザー等の警報
装置を作動させて、廃液が行われることを作業員に了知
させるようにしてもよい。また、廃液工程が終了する
と、一旦減圧蒸留再生装置を停止して再生作業を停止し
てもよいが、廃液タンク６２が満杯にならず再生作業を
続行できる状態であれば、一旦停止することなく、次の
作業に移ることができる。

【００９４】上述したように、蒸留釜１内の廃液は、蒸
留釜１から貯液タンク２２に移送され、貯液タンク２２
の冷却器４９を流れる冷却水にて冷却された後、廃液流
出口５６から排出されるので、従来の再生装置で問題と
なっていた取扱時における火傷や引火による火災等の危
険性が全くなく、安全に運転することができる。

【００９５】また、スラッジバルブ（開閉バルブ）５３
および三方切替バルブ５５を連繋して切替え、蒸留釜１
内や貯液タンク２２内の圧力を適切に調整することによ
り、蒸留工程およびスラッジ排出工程では、蒸留釜１内
と貯液タンク２２内は共に減圧状態になっているため、
蒸留工程を円滑に進行させることができると共に、廃液
の移送操作を容易に行うことができる。さらに、スラッ
ジの冷却および廃液工程（廃液タンク６２への流出工
程）においては、貯液タンク２２内に外気が導入されて
常圧となっているため、廃液の排出操作を容易に行うこ
とができる。またこの際、蒸留釜１内は減圧状態が保た
れているため、蒸留工程をそのまま継続して行うことが
できる。

【００９６】従って、上記スラッジの冷却および廃液工
程は、蒸留工程と無関係にいつでも任意に行うことがで
き、スラッジ排出工程で高温の廃液を貯液タンク２２に
移送した後、直ちに蒸留工程を再スタートさせることが
できる。このように、アイドルタイムなしに蒸留工程が
継続でき、汚れ成分を含む非水系溶剤を効率よく再生す
ることが可能となる。

【００９７】例えば、被処理溶剤としてオクタメチルシ
クロテトラシロキサンを用いた場合、上記実施例の真空
蒸留再生装置ではスラッジの煮詰め工程が終了した後、
60秒程度のスラッジ排出工程（高温のスラッジ液を蒸留
釜１から貯液タンク２２に流下させる工程）の間だけ、
蒸留工程を停止すればよい。すなわち、蒸留工程間のア
イドルタイムは約60秒となる。これは、上述したように
蒸留釜１の減圧度の維持、スラッジの排出の容易さ、ス
ラッジ冷却の別工程化等に基くものである。

【００９８】一方、従来の真空蒸留装置では、スラッジ
の煮詰め工程が終了した後、手動で蒸留釜を大気開放し
なければならない。この際、煮詰められたスラッジの温
度は100〜 120℃程度となっているため、そのままの状
態で大気開放することはできない。被処理溶剤としてオ
クタメチルシクロテトラシロキサンを用いた場合、スラ
ッジの冷却に約 4時間程度要する。この冷却に要する時
間と、再度蒸留釜１内を所定の減圧度まで真空排気する
までの時間がアイドルタイムとなる。このように、上記
実施例の真空蒸留再生装置によれば、スラッジの排出に
伴うアイドルタイムを大幅に削減することができる。

【００９９】次に、本発明の他の実施例について、図８
の要部断面図を参照して説明する。なお、前述した実施
例と同一部分については同一符号を付して説明を省略す
る。耐圧性を有する略円筒状の蒸留釜１には、図８に示
すように、その低部外周を覆うように加熱タンク７１が
設けられている。この加熱タンク７１は、内部に上方か
ら蒸留釜１の底部が没入し、加熱媒体となる耐熱オイル
が充填してある。また、内部底面には、蒸留釜１の下部
外周を囲うようにオイル循環用整流板７２が立設されて
いる。

【０１００】このオイル循環用整流板７２は、加熱タン
ク７１の上面との間に空間を有するような高さを有する
と共に、下部周面には複数のオイル通過流路７３が開設
されている。なお、上記した耐熱オイルは、オイル循環
用整流板７２が完全に浸る位置にまで充填してある。ま
た、オイル循環用整流板７２は、加熱タンク７１の内部
を内側と外側に区画し、上下にオイルが行き来する空部
があればよい。

【０１０１】また、加熱タンク７１内には、オイル循環
用整流板７２の内側であって、蒸留釜１の底部下方に位
置するように、加熱媒体中に浸漬された 2本の電気ヒー
タ７ａ、７ｂが設けられていると共に、オイルの温度を
計測するためのオイル温度検出器１２が設けられてい
る。さらに、加熱タンク７１の上部には、一端部が大気
中に開放された外気連通管９が連通接続されており、加
熱タンク７１内が大気と連通している。 2本の電気ヒー
タ７ａ、７ｂは、前述した実施例と同様に、電気的制御
手段によって、そのオン・オフが制御されており、常に
オイル温度が被処理溶剤の揮発特性に最適な温度範囲内
となるようにされている。

【０１０２】上記以外の構成については、前述した実施
例と同一構成とされており、また蒸留工程、廃液排出工
程等も前述した実施例と同様に実施されるものである。

【０１０３】上記実施例の減圧蒸留再生装置において
は、ヒータ７により加熱されたオイルはオイル循環用整
流板７２の内側を上昇し、蒸留釜１の下方側部および底
部を加熱した後、オイル循環用整流板７２の上方を越え
て、加熱タンク７１の側面とオイル循環用整流板７２と
の間を下降する。そして、オイル循環用整流板７２の下
部に形成した複数のオイル通過流路７３を通過して、再
びオイル循環用整流板７２の内側に戻る。従って、ヒー
タ７により加熱されたオイルは、オイル循環用整流板７
２により対流が整流されるため、蒸留釜１の下方側部お
よび底部を効率よく加熱することができる。また、蒸留
釜１の下部にヒータ７を有する加熱タンク７１を一体に
設けているため、装置全体をコンパクト化できると共
に、設置や移設も容易となる。

【０１０４】次に、図９に蒸留釜部分を示す実施例につ
いて説明する。この蒸留釜１は、加熱タンク７２の上部
側面に開設した上循環口７４と、オイル循環用整流板７
２の内側の底部に開設した下循環口７５とを循環パイプ
７６により連通接続されていると共に、循環パイプ７６
の途中に小さな循環ポンプ７７が設けられたものであ
る。なお、その他の構成は先に説明した蒸留釜（図８）
と同様であり、また蒸留釜以外の構成についても同様で
ある。

【０１０５】上記した構成からなる蒸留釜１において
は、ヒータ７ａ、７ｂが加熱タンク７１内のオイルを加
熱すると、高温になったオイルがオイル循環用整流板７
２の内側を上昇して蒸留槽１内の溶剤を加熱する。この
溶剤加熱により温度が低下したオイルは、その一部が上
循環口７４から循環パイプ７６内を通って、底部の下循
環口７５から加熱タンク７１内部に戻され、その他のオ
イルは先の実施例と同様にオイル循環用整流板７２の外
側を流下して底部側に戻る。このように、この実施例で
は、自然発生するオイル循環用整流板７２により整流さ
れた自然対流と、循環ポンプ７７の作用による強制循環
とによって、オイルがオイル循環用整流板７２により区
画された加熱タンク７１内および循環パイプ７６を介し
て活発に流動する。なお、下循環口７５から加熱タンク
７１内に循環するオイルは、自然対流により流動するオ
イルの流れる方向と同じく上向きなので、自然対流を促
進する働きも有する。

【０１０６】従って、この実施例の蒸留釜１において
は、加熱ヒータ７ａ、７ｂが発生する熱を、オイルを媒
体として蒸留釜１内の溶剤に効率よく伝達して、効率の
よい減圧蒸留を行うことができる。また、オイルの流動
性を高めると、加熱ヒータ７ａ、７ｂに接触するオイル
の流動性も高められるので、加熱ヒータ７ａ、７ｂに接
触したオイルが局部的に不用意に高温になることを回避
することができる。このため、オイルが過熱して酸化し
たり、オイルの酸化物が加熱ヒータ７ａ、７ｂに付着固
化して放熱を妨げたり、加熱ヒータ７ａ、７ｂの電熱線
が加熱して断線する等のトラブルを未然に防止できる。
なお、循環ポンプ７７は、自然対流によるオイルの流動
を補助するだけなので、小型ポンプで十分である。

【０１０７】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１記載の減
圧蒸留方法および請求項５、請求項６記載の減圧蒸留装
置によれば、真空発生装置に起因する精留度の低下を防
止することができるため、例えば汚れ成分を含む非水系
溶剤等の被処理液を効率よくかつ高精度に蒸留再生する
ことが可能となると共に、耐久性の向上や装置の簡略化
を図ることができる。また、請求項６記載の減圧蒸留装
置によれば、共沸現象等により留出液中に混入する水等
も安定に除去することができ、より一層再生品質を向上
させることができる。

【０１０８】請求項２記載の減圧蒸留方法および請求項
７、請求項８記載の減圧蒸留装置によれば、蒸留残留物
の排出に要する時間や手間を大幅に削減することができ
るため、例えば汚れ成分を含む非水系溶剤等の被処理液
を効率よくかつ安全に再生することが可能となる。ま
た、請求項１１記載の減圧蒸留装置によれば、蒸留残留
物排出工程の安全性をさらに高めることが可能となる。

【０１０９】請求項３記載の減圧蒸留方法および請求項
１６記載の減圧蒸留装置によれば、被処理液の加熱温度
の管理が容易となるため、被処理液に適した安定条件下
で減圧蒸留を実施することができる。これにより、精留
度を高めることができ、よって例えば汚れ成分を含む非
水系溶剤等の被処理液を効率よくかつ高精度に再生する
ことが可能となる。また、加熱源に付随する設備やその
装置管理に要する手間やコストの低減をも図ることがで
きる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例による減圧蒸留再生装置の
構成を示す図である。

【図２】 図１に示す減圧蒸留再生装置の蒸留釜部分を
拡大して示す断面図である。

【図３】 図１に示す減圧蒸留再生装置の電気的制御手
段を示す概略ブロック図である。

【図４】 図１に示す減圧蒸留再生装置に用いた水分分
離器のフィルタを示す図であって、（ａ）はその上面
図、（ｂ）は一部切り欠き断面で示す正面図である。

【図５】 図１に示す減圧蒸留再生装置の廃液タンク部
分を示す図である。

【図６】 図５に示す廃液タンクの移動状態を示す図で
ある。

【図７】 図１に示す減圧蒸留再生装置のタイミングチ
ャートの一例を示す図である。

【図８】 本発明の他の実施例による減圧蒸留再生装置
の要部構成を示す断面図である。

【図９】 本発明のさらに他の実施例による減圧蒸留再
生装置の要部構成を示す断面図である。

【図１０】 被処理液の蒸気圧曲線の一例を示す図であ
る。

【符号の説明】

１……蒸留釜 ２、３……熱交換流路 ４……オイル加熱器 １９……コンデンサ ２２……貯液タンク ２５……液位調整器 ３１……水分分離器 ３２……溶剤循環路 ３４……エゼクタ ４９……冷却器 ５３……スラッジバルブ（開閉バルブ） ５５……三方切替バルブ ６２……廃液タンク

フロントページの続き (31)優先権主張番号 特願平5−235837 (32)優先日 平５(1993)８月30日 (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (31)優先権主張番号 特願平5−237183 (32)優先日 平５(1993)８月31日 (33)優先権主張国 日本（ＪＰ） (72)発明者 齋藤 敏雄 静岡県三島市南本町13−５

Claims (25)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 蒸留釜内で被処理液を減圧下で加熱蒸発
   させ、この蒸気を凝縮液化し、前記被処理液を再生する
   減圧蒸留方法において、 前記凝縮液化した留出液を貯液タンクを介して循環させ
   ると共に、前記留出液の循環系に介挿したエゼクタを用
   いて、前記蒸留釜内を所定の減圧度に減圧することを特
   徴とする減圧蒸留方法。
2. 【請求項２】 蒸留釜内で被処理液を減圧下で加熱蒸発
   させ、この蒸気を凝縮液化すると共に、前記蒸留釜内に
   前記加熱蒸発による残留物を残留させて、前記被処理液
   を再生する減圧蒸留工程と、 前記蒸留釜内に残留した残留物を、前記蒸留釜と同程度
   の減圧度とされた貯液タンク内に排出する残留物排出工
   程とを有し、 前記残留物排出工程後直に前記減圧蒸留工程を実施する
   ことを特徴とする減圧蒸留方法。
3. 【請求項３】 蒸留釜内で被処理液を減圧下で加熱蒸発
   させ、この蒸気を凝縮液化して、前記被処理液を再生す
   る減圧蒸留方法において、 前記被処理液の加熱を、加熱媒体として耐熱オイルを用
   いて行うことを特徴とする減圧蒸留方法。
4. 【請求項４】 請求項１、請求項２または請求項３記載
   の減圧蒸留方法において、 前記被処理液は、汚れ成分を含む非水系溶剤であり、前
   記減圧蒸留により前記非水系溶剤を再生することを特徴
   とする減圧蒸留方法。
5. 【請求項５】 被処理液を減圧下で加熱蒸発させる蒸留
   釜と、 前記被処理液の蒸気を凝縮液化する冷却器と、 前記凝縮液化した留出液を貯液タンクを介して循環させ
   る循環系に介挿され、前記蒸留釜内を所定の減圧度に減
   圧するエゼクタとを具備することを特徴とする減圧蒸留
   装置。
6. 【請求項６】 加熱機構を有し、前記加熱機構により被
   処理液を減圧下で加熱・蒸発させる蒸留釜と、 前記蒸留釜に連通接続され、前記被処理液の蒸気を凝縮
   液化する冷却器と、 前記凝縮液化した留出液を水分分離器を介して循環させ
   る循環系と、 前記冷却器を介して前記蒸留釜に連通接続された真空発
   生手段とを具備し、 前記真空発生手段は、前記留出液の循環系に介挿された
   エゼクタを有することを特徴とする減圧蒸留装置。
7. 【請求項７】 被処理液を減圧下で加熱蒸発させる蒸留
   釜と、 前記被処理液の蒸気を凝縮液化する冷却器と、 前記蒸留釜内と同程度の減圧度とされ、前記蒸留釜内に
   残留された前記被処理液の加熱蒸発による残留物を収容
   する貯液タンクとを具備することを特徴とする減圧蒸留
   装置。
8. 【請求項８】 加熱機構を有し、前記加熱機構により被
   処理液を減圧下で加熱蒸発させる蒸留釜と、 前記蒸留釜に連通接続され、前記被処理液の蒸気を凝縮
   液化する冷却器と、 前記冷却器を介して前記蒸留釜に連通接続された真空発
   生手段と、 前記蒸留釜に、開閉機構が介挿された残留物排出管を介
   して接続されていると共に、前記蒸留釜内と同程度の減
   圧度となるように導通管を介して接続され、前記残留物
   排出管を介して前記被処理液の加熱蒸発による残留物を
   収容する貯液タンクとを具備することを特徴とする減圧
   蒸留装置。
9. 【請求項９】 請求項８記載の減圧蒸留装置において、 前記真空発生手段は、エゼクタを有することを特徴とす
   る減圧蒸留装置。
10. 【請求項１０】 請求項９記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記被処理液は汚れ成分を含む非水系溶剤であり、かつ
    前記エゼクタは前記凝縮液化した留出液を水分分離器を
    介して循環させる循環系に介挿されていることを特徴と
    する減圧蒸留装置。
11. 【請求項１１】 請求項８記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記貯液タンクは、さらに前記残留物を冷却する冷却手
    段を有し、前記残留物を冷却した後に前記貯液タンクか
    ら排出するよう構成したことを特徴とする減圧蒸留装
    置。
12. 【請求項１２】 請求項８記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記導通管には、さらに外気導入可能な切替機構が介挿
    され、前記切替機構により前記貯液タンク内を前記蒸留
    釜側または外気側に選択的に導通させることを特徴とす
    る減圧蒸留装置。
13. 【請求項１３】 請求項１１記載の減圧蒸留装置におい
    て、 さらに、前記貯液タンクに開閉機構を有する残留物排出
    部が設けられ、 かつ、前記貯液タンクで冷却された残留物を収容する廃
    液タンクと、 前記廃液タンクが載置されると共に、前記貯液タンク下
    方の残留物収容位置と廃液タンク取出し位置との間で移
    動可能な載置台と、 前記載置台上に前記廃液タンクが載置されていることを
    検出する廃液タンク検出センサと、 前記載置台が前記残留物収容位置に位置していることを
    検出する載置台検出センサと、 前記廃液タンク検出センサが前記廃液タンクを検出する
    と共に、前記載置台検出センサが前記残留物収容位置に
    前記載置台が位置していることを検出したとき、前記残
    留物排出部の開閉機構を開いて前記冷却された残留物を
    前記廃液タンク内に排出させる制御手段とを具備するこ
    とを特徴とする減圧蒸留装置。
14. 【請求項１４】 請求項１３記載の減圧蒸留装置におい
    て、 さらに、前記廃液タンクに設けられた、前記廃液タンク
    内の残留物量を検出する残留物検出センサと、 前記残留物検出センサが所定量の残留物を検出したと
    き、前記残留物排出部の開閉機構を閉じて前記残留物の
    排出を停止させる制御手段とを具備することを特徴とす
    る減圧蒸留装置。
15. 【請求項１５】 請求項５、請求項６、請求項７または
    請求項８記載の減圧蒸留装置において、 前記被処理液は、汚れ成分を含む非水系溶剤であり、前
    記減圧下での加熱蒸発および凝縮液化により、前記非水
    系溶剤を再生することを特徴とする減圧蒸留装置。
16. 【請求項１６】 加熱媒体として耐熱オイルを用いた加
    熱機構を有し、前記加熱機構により被処理液を減圧下で
    加熱蒸発させる蒸留釜と、 前記蒸留釜に連通接続され、前記被処理液の蒸気を凝縮
    液化する冷却器と、 前記冷却器を介して前記蒸留釜に連通接続された真空発
    生手段とを具備することを特徴とする減圧蒸留装置。
17. 【請求項１７】 請求項１６記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記加熱機構は、前記蒸留釜内に配設された第１の熱交
    換流路および前記蒸留釜の外周を囲うように配設された
    第２の熱交換流路の少なくとも一方を有する熱交換流路
    と、前記耐熱オイルを加熱するオイル加熱器と、前記オ
    イル加熱器で加熱された前記耐熱オイルを前記熱交換流
    路を介して循環させる循環ポンプとを具備することを特
    徴とする減圧蒸留装置。
18. 【請求項１８】 請求項１７記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記加熱機構は、前記第１の熱交換流路および前記第２
    の熱交換流路を共に有し、前記加熱された耐熱オイルを
    前記第１の熱交換流路から前記第２の熱交換流路の順に
    流通させるよう構成したことを特徴とする減圧蒸留装
    置。
19. 【請求項１９】 請求項１７記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記オイル加熱器に別個に作動可能な複数の加熱器を配
    設すると共に、前記加熱された耐熱オイルの温度を検知
    するオイル温度検知器を配設し、前記オイル温度検知器
    により検知した前記耐熱オイルの温度に応じて、前記複
    数の加熱器の作動状態を制御するよう構成したことを特
    徴とする減圧蒸留装置。
20. 【請求項２０】 請求項１７記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記蒸留釜内に前記被処理液を供給する配管系に液位調
    節器を設け、前記熱交換流路が前記蒸留釜内に収容され
    た前記被処理液の液面より下方に位置するように、前記
    液位調節器を作動させることを特徴とする減圧蒸留装
    置。
21. 【請求項２１】 請求項１６記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記加熱機構は、前記蒸留釜の外周を囲うように設けら
    れ、かつ前記耐熱オイルが充填された加熱タンクを有
    し、 かつ、前記加熱タンクは、前記蒸留釜を囲うように前記
    加熱タンク内に立設されたオイル循環用整流板と、前記
    オイル循環用整流板の下部に設けられたオイル通過流路
    と、前記オイル循環用整流板の内側に設置された耐熱オ
    イル加熱用の加熱器とを有することを特徴とする減圧蒸
    留装置。
22. 【請求項２２】 請求項２１記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記加熱タンクは、その上部と底部とを連通接続する循
    環配管と、前記循環配管に介挿された循環ポンプとを有
    し、前記耐熱オイルを上部側から底部側に前記循環配管
    を介して循環させるよう構成したことを特徴とする減圧
    蒸留装置。
23. 【請求項２３】 請求項２１記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記加熱タンクに別個に作動可能な複数の加熱器を配設
    すると共に、前記加熱された耐熱オイルの温度を検知す
    るオイル温度検知器を配設し、前記オイル温度検知器に
    より検知した前記耐熱オイルの温度に応じて、前記複数
    の加熱器の作動状態を制御するよう構成したことを特徴
    とする減圧蒸留装置。
24. 【請求項２４】 請求項２１記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記蒸留釜内に前記被処理液を供給する配管系に液位調
    節器を設け、前記加熱タンクが前記蒸留釜内に収容され
    た前記被処理液の液面より下方に位置するように、前記
    液位調節器を作動させることを特徴とする減圧蒸留装
    置。
25. 【請求項２５】 請求項１６記載の減圧蒸留装置におい
    て、 前記被処理液は、汚れ成分を含む非水系溶剤であり、前
    記減圧下での加熱蒸発および凝縮液化により、前記非水
    系溶剤を再生することを特徴とする減圧蒸留装置。