JP2891660B2 - 汚濁洗浄液の蒸留再生装置 - Google Patents

汚濁洗浄液の蒸留再生装置

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JP2891660B2
JP2891660B2 JP7251296A JP25129695A JP2891660B2 JP 2891660 B2 JP2891660 B2 JP 2891660B2 JP 7251296 A JP7251296 A JP 7251296A JP 25129695 A JP25129695 A JP 25129695A JP 2891660 B2 JP2891660 B2 JP 2891660B2
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  • Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
  • Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、機械部品、電子部品、
その他の被洗浄物の洗浄に使用し、汚濁した洗浄液を再
生使用するための汚濁洗浄液の蒸留再生装置に係るもの
である。
【0002】
【従来の技術】従来、電子部品、機械部品、その他の被
洗浄物を蒸気洗浄、シャワー洗浄、浸漬洗浄等の方法に
より洗浄し、清浄化する事が一般的に行われている。そ
して、これらの洗浄に使用した洗浄液は、被洗浄物に付
着している汚物を除去するとともに、自身も汚濁するも
のとなる。
【0003】この汚濁した洗浄液の蒸留方法に於ては、
従来これを加熱し、蒸気化して蒸留する蒸留再生方法
が、一般的に用いられている。この蒸留再生方法は、汚
濁洗浄液を加熱し、蒸気を発生させ、この蒸気を凝縮す
る事により、汚物を取り除いて再生液として使用するも
のである。
【0004】そして、この蒸気の凝縮は、一般的に蒸留
再生のための加熱槽の上部、若しくは別個に設けた減圧
凝縮槽等に冷却パイプを巻き回して配置している。そし
て、この冷却パイプに、汚濁洗浄液の加熱により発生し
た蒸気を接触させて凝縮し、回収する事が行われてい
る。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、蒸気を
冷却パイプに接触させて凝縮する方法は、冷却パイプの
表面積も小さいものであるため、極めて効率が悪く、迅
速で有効な凝縮作用を営む事ができないものとなってい
る。
【0006】本発明は、上述の如き課題を解決しようと
するものであって、汚濁洗浄液を加熱し、発生した蒸気
を効率良く凝縮し、これを効率良く回収するための、汚
濁洗浄液の蒸留再生装置を提供しようとするものであ
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述の如き課
題を解決するため、冷却機構を備え凝縮した冷却液を充
填する冷却槽と、この冷却槽に接続し冷却液を循環する
エジェクター機構と、このエジェクター機構の吸引部に
接続するとともに冷却槽に連通し吸引部の吸引作用に伴
って冷却液を内部に供給する減圧凝縮槽と、この減圧凝
縮槽に噴射口を接続するとともに加熱部を備え内部の汚
濁洗浄液を加熱蒸発する蒸発槽とから成るものである。
【0008】また、第2の発明は、冷却機構を備え凝縮
した冷却液を充填するとともにバキュームポンプを接続
して内部を減圧可能とした冷却槽と、この冷却槽に連通
し吸引ポンプの吸引作用に伴って冷却液を内部に供給す
る減圧凝縮槽と、この減圧凝縮槽に噴射口を接続すると
ともに加熱部を備え内部の汚濁洗浄液を加熱蒸発する蒸
発槽とから成るものである。
【0009】また、汚液の蒸発槽は、上端内周に冷却コ
イルを巻廻して冷却水を流通可能とし、冷却水の流通時
には内部に蒸気を滞留させて蒸気洗浄を可能としたもの
であっても良い。
【0010】また、減圧凝縮槽への冷却液の供給は、噴
霧して行うものであっても良い。
【0011】また、減圧凝縮槽への冷却液の供給は、シ
ャワー状に行うものであっても良い。
【0012】また、減圧凝縮槽への冷却液の供給は、液
カーテンを形成して行うものであっても良い。
【0013】
【作用】本発明は、上述の如く構成したものであるか
ら、汚濁洗浄液の蒸留再生を行おうとする場合には、蒸
発槽に汚濁洗浄液を充填し、加熱部によって、汚濁洗浄
液を加熱し蒸気を発生させる。また、冷却液を充填した
冷却槽に接続しているエジェクター機構を作動させる。
このエジェクター機構は、ポンプにより、冷却槽から吸
引した冷却洗浄液を、吸引部を介して冷却槽に循環させ
る構成となっている。
【0014】そして、この吸引部に直角に接続する導入
管を減圧凝縮槽に接続し、減圧凝縮槽の内部を吸引部の
吸引によって、減圧可能としている。また、冷却槽と減
圧凝縮槽とは、連通管を介して連通しているから、エジ
ェクター機構を作動させ、減圧凝縮槽内を減圧状態にす
れば、冷却槽内の冷却液は連通管を介して、減圧槽内に
導入される。そして、この導入により減圧凝縮槽内に於
て、冷却槽内の冷却液は噴霧、若しくはシャワー状、若
しくは液カーテン等の方法により、減圧凝縮槽内に放出
される。
【0015】また、この減圧凝縮槽は前記の蒸発槽に接
続しており、この減圧凝縮槽内がエジェクター機構の作
用により、減圧されるのに伴って、蒸発槽内で加熱発生
していた汚濁洗浄液の蒸気が、減圧凝縮槽内に導入され
る。この導入により、蒸発槽から供給された蒸気は、減
圧凝縮槽内に於て、噴射口から供給される冷却液と接触
して凝縮される。
【0016】この冷却液と蒸気との接触は、液と蒸気と
の接触であるから、冷却パイプと蒸気の接触に比較し、
著しく接触面積を大きくするとともに、凝縮効率を良好
なものとし、極めて迅速な凝縮を可能とする事ができ
る。そして、この減圧凝縮槽内で凝縮され、液化した洗
浄液はエジェクター機構の吸引部に吸引され、冷却槽内
に導入される。
【0017】そして、この冷却槽内で冷却パイプにより
冷却されるとともに、エジェクター機構によって、減圧
されている減圧凝縮槽内に再度導かれ、噴射口から噴出
されて、蒸発槽から供給される蒸気と接触し、これを凝
縮する。また、この凝縮液となって冷却槽に導入された
凝縮液の一部は、冷却槽内に於てオーバーフローによ
り、他の適宜の洗浄液収納部に導かれるものとなる。
【0018】このように、本発明によれば液と蒸気の接
触によって、凝縮を行うものであるから、極めて効率的
な蒸気の凝縮が可能となる。また、液と蒸気との接触凝
縮の場合は、蒸気と液との間に多少の温度差を有するも
のであれば、容易に凝縮を行う事ができる。しかし、冷
却パイプ等で蒸気の凝縮を行う場合は、冷却パイプの表
面積が小さい事もあって、大きな温度差を有するもので
なければ、凝縮を効率的に行う事ができない。そのた
め、従来方法では冷却エネルギーを大きくし蒸留再生コ
ストを高くするものとなる。
【0019】また、本発明に於ては、エジェクター機構
で冷却槽内の冷却液を循環するのみによって、この冷却
液を減圧凝縮槽に導いたり、蒸発槽の蒸気を減圧凝縮槽
内に導入したり、また、減圧凝縮槽で凝縮した洗浄液
を、冷却槽に導く等の操作を全て行う事ができる。その
ため、簡易な機構によって、効率的な汚濁洗浄液の蒸留
再生を可能とするものである。
【0020】また、上記の第一発明に於ては、冷却槽の
冷却液を減圧凝縮槽に導いたり、減圧凝縮槽で凝縮した
洗浄液を冷却槽に導入するために、エジェクター機構を
用いた。しかし、異なる第二の発明に於ては、エジェク
ター機構を用いずに減圧凝縮槽にバキュームポンプを接
続する。また、冷却槽と減圧凝縮槽との間に吸引ポンプ
を接続している。
【0021】そして、この吸引ポンプにより冷却槽内の
冷却液を減圧凝縮槽に導き、減圧凝縮槽内に冷却液を供
給するとともに、冷却槽に接続したバキュームポンプを
作動し、冷却槽内を減圧状態とする。このバキュームポ
ンプの作用により、減圧凝縮槽内も減圧され、蒸発槽か
ら供給される蒸気を、冷却液との接触により凝縮する。
【0022】また、この凝縮された洗浄液は、バキュー
ムポンプの減圧作用によって、冷却槽内に吸引され、冷
却槽内に於て冷却液と混合する。勿論、この冷却液と凝
縮された洗浄液とは同質のものである。そして、この冷
却槽に供給された凝縮液の一部は、吸引ポンプを介して
減圧凝縮槽に循環し、また、その一部は冷却槽からオー
バーフローする事により、清浄な洗浄液の収納部に収納
されるものである。
【0023】
【実施例】以下本発明の第1実施例を図1に於て説明す
れば、(1)は冷却槽で、内部に冷却機構を構成する冷却
パイプ(2)を巻き回して形成し、汚濁洗浄液(3)と同質
の洗浄液を冷却した冷却液(4)を充填している。また、
この冷却槽(1)は側面にエジェクター機構(5)を接続し
ている。
【0024】このエジェクター機構(5)は、両端部を冷
却槽(1)に接続した流通管(6)の中間部に流通ポンプ
(7)を配置する。この流通ポンプ(7)により、冷却槽
(1)内の冷却液(4)を吸入するとともに、冷却槽(1)内
に戻して循環させるように構成している。そして、その
流通ポンプ(7)と冷却槽(1)との間隔の流通管(6)に吸
引部(8)を設けている。また、この吸引部(8)に、減圧
凝縮槽(10)に一端を接続した導入管(11)を、冷却液
(4)の流通方向に対し、直角に接続している。このよう
に流通管(6)に導入管(11)を直角に接続する事によ
り、この接続部に吸引部(8)が形成される。
【0025】また、この導入管(11)の上端を下端に接
続した減圧凝縮槽(10)には、冷却液(4)を供給するた
めの噴射口(12)を設けている。この噴射口(12)は開
閉弁(13)を介して、連通管(14)により冷却槽(1)と
連通し、冷却槽(1)内の冷却液(4)を供給可能としてい
る。
【0026】また、噴射口(12)の減圧凝縮槽(10)へ
の冷却液(4)の供給は、噴射口(12)から霧状に冷却液
(4)を噴霧して行うものであっても良いし、シャワー状
に減圧凝縮槽(10)内に冷却液(4)を供給するものであ
っても良いし、若しくはカーテン状に冷却液(4)を減圧
凝縮槽(10)に供給するものであっても良い。そして、
このカーテン状に冷却液(4)を供給する場合には、邪魔
板等を設け、この邪魔板に冷却液(4)を接触させて、流
下させるものであっても良いし、冷却液(4)を自然落下
させる事により、液カーテンを形成するものであっても
良い。
【0027】また、この減圧凝縮槽(10)には、蒸発槽
(15)を接続管(16)を介し接続している。この蒸発槽
(15)は被洗浄物の洗浄に使用し、汚濁された汚濁洗浄
液(3)を充填するものであって、下端部に設けた加熱部
(17)により加熱され、沸点まで加熱する事により蒸気
を発生している。
【0028】そして、この蒸気は接続管(16)を介し
て、減圧凝縮槽(10)に導かれ、減圧凝縮槽(10)内に
於て噴射口(12)から供給される冷却液(4)と接触し凝
縮される。そして、開閉弁(13)を開放した状態に於
て、流通ポンプ(7)によってエジェクター機構(5)を作
動すると、冷却槽(1)内の冷却液(4)が流通管(6)内を
循環する事により、吸引部(8)に吸引効果を生じる。
【0029】この吸引効果により、導入管(11)を介し
て接続している減圧凝縮槽(10)内は減圧状態となる。
この減圧状態の発生により、蒸発槽(15)からは接続管
(16)を介して、蒸気が吸引導入されるとともに、連通
管(14)を介して接続している冷却槽(1)からは、冷却
液(4)が減圧凝縮槽(10)内に噴射口(12)から供給さ
れる。
【0030】このようにエジェクター機構(5)を作動さ
せる事により、冷却液(4)は減圧凝縮槽(10)に供給さ
れるとともに、蒸発槽(15)の蒸気は減圧凝縮槽(10)
に供給される。そして、この減圧凝縮槽(10)内に於
て、冷却液(4)と蒸気の接触により、効率の良い迅速な
蒸気の凝縮が可能となり、汚濁洗浄液(3)の効率的な蒸
留再生を行う事ができるものである。
【0031】また、上記の実施例に於て蒸発槽(15)
は、汚濁洗浄液(3)を蒸気化する事にのみ使用したが、
図2に示す、第2実施例に於ては、蒸発槽(15)を汚濁
洗浄液(3)の蒸気発生とともに、蒸気洗浄槽としても用
いる事ができるものである。この図2に示す実施例に於
ては、蒸発槽(15)の外周に外周槽(18)を一定の間隔
を介して配置する。この外周槽(18)は、蒸発槽(15)
との間に熱媒体(20)を介装している。この熱媒体(2
0)は、油、液体、その他の適宜のものを選択的に用い
る事ができるが、外周槽(18)の下端に設けた加熱部
(17)により、熱媒体(20)は加熱されている。そし
て、この熱媒体(20)の加熱温度は、適宜調整する事が
できるものであるが、汚濁洗浄液(3)の沸点以上に加熱
しなければならない事は当然である。
【0032】また、蒸発槽(15)の内周には、冷却水を
流通可能とした冷却コイル(21)を巻き回している。こ
の冷却コイル(21)は蒸発槽(15)の上部方向の内周に
巻き回し固定するとともに、冷却水を流通する、流通し
ない、の選択を任意に行う事ができるものである。
【0033】この状態に於て蒸発槽(15)内に汚濁洗浄
液(3)を供給し、熱媒体(20)により加熱すれば、蒸発
槽(15)内の汚濁洗浄液(3)は蒸発し、減圧凝縮槽(1
0)に供給される。この減圧凝縮槽(10)への供給によ
り、前述した第一実施例と同様の作用により、蒸気の凝
縮を行う事ができるものとなる。また、蒸発槽(15)へ
の溶剤の供給は汚濁洗浄液(3)を供給することにより行
う事を原則とするが、冷却槽(1)と蒸発槽(15)とを、
補助バルブ(27)を介して補助連通管(28)によって連
通し、清浄な冷却液(4)を蒸発槽(15)に供給するもの
としても良い。また前記の汚液槽(22)は、蒸発槽(1
5)と補助バルブ(27)との間隔の補助連通管(28)に
接続している。
【0034】また、この蒸発槽(15)に於ける蒸気の発
生は、予め蒸発槽(15)内に汚濁洗浄液(3)を充填して
おく事により行う事もできる。しかし、他の異なる実施
例に於ては、蒸発槽(15)に汚液槽(22)を接続し、こ
の汚液槽(22)から、極少量ずつ汚濁洗浄液(3)を蒸発
槽(15)に供給する事により、汚濁洗浄液(3)の蒸発を
瞬時に行う事も可能となる。
【0035】この場合に於て、汚液槽(22)から極少量
の汚濁洗浄液(3)を、蒸発槽(15)に供給するものとす
れば、熱媒体(20)の能力が比較的小さなものであって
も、供給される汚濁洗浄液(3)が少量であるから、迅速
な蒸気化が可能となる。また、その汚濁洗浄液(3)が可
燃性のものである場合には、加熱する汚濁洗浄液(3)が
少ないために、引火の危険を低下させる事ができるもの
となる。
【0036】そして、汚液槽(22)から少量の汚濁洗浄
液(3)を順次供給しながら、蒸発槽(15)内に於て蒸気
の発生をさせる事ができるものである。また、上記の方
法に於て、蒸発槽(15)で発生した汚濁洗浄液(3)の蒸
気は、減圧凝縮槽(10)に供給したが、この減圧凝縮槽
(10)に蒸気を供給せず、蒸発槽(15)を蒸気洗浄槽と
して使用することも可能である。この場合には、冷却コ
イル(21)内に冷却水を流通させる。
【0037】そして、蒸発槽(15)内に於て蒸気の発生
をさせれば、その蒸気は上昇するが、上端部に於て冷却
コイル(21)に接触して凝縮され、それ以上は上部に上
昇する事ができない。そのため、蒸発槽(15)の冷却コ
イル(21)よりも下の部分は、蒸気によって満たされる
事となり、この蒸発槽(15)内に被洗浄物を配置すれ
ば、この被洗浄物を蒸気洗浄する事が可能となるもので
ある。このように第2実施例に於ては、蒸発槽(15)を
蒸気洗浄槽として使用したり、蒸留槽として使用したり
する事ができ、多目的の使用を可能とする。また、図2
に於いて蒸発槽(15)から減圧凝縮槽(10)に蒸気を供
給する接続管(16)には、減圧調整器(29)を設置して
いる。
【0038】また、上記の二つの実施例に於ては、冷却
液(4)の減圧凝縮槽(10)への供給、及び減圧凝縮槽
(10)への蒸気の導入等は、全てエジェクター機構(5)
により、減圧凝縮槽(10)を減圧する事によって行って
いる。しかし、他の異なる第3実施例に於ては、図3に
示す如く、エジェクター機構(5)を用いる事なく、吸引
ポンプ(23)とバキュームポンプ(24)を用いる事によ
り、上記の第1、第2実施例と同様の作用効果を生じる
ように構成している。
【0039】この方法に於ては、汚濁洗浄液(3)と同質
の清浄化された冷却液(4)を充填する冷却槽(1)にバキ
ュームポンプ(24)を接続し、この冷却槽(1)内を減圧
可能なものとしている。また、この冷却槽(1)は吸引ポ
ンプ(23)を介して、供給管(25)により減圧凝縮槽
(10)の噴射口(12)と接続している。そして、この吸
引ポンプ(23)の吸引作用により、供給管(25)を介し
て、減圧凝縮槽(10)内の噴射口(12)に冷却液を供給
できるものとしている。また、減圧凝縮槽(10)と冷却
槽(1)とは、設置を上下方向に配置するもので、減圧凝
縮槽(10)を上部に、冷却槽(1)を下部に配置し、これ
を流出管(26)により連通している。
【0040】上述の如く構成したものに於て、蒸発槽
(15)内で汚濁洗浄液(3)を加熱し、蒸気を発生させる
と、この蒸気は冷却槽(1)に接続したバキュームポンプ
(24)の減圧作用に伴い、流出管(26)を介して冷却槽
(1)と接続している減圧凝縮槽(10)内も減圧する。そ
のため、蒸発槽(15)で発生した蒸気は、減圧凝縮槽
(10)内に導入される。同時に吸引ポンプ(23)を作動
する事により、冷却槽(1)内の冷却液(4)は供給管(2
5)を介して、減圧凝縮槽(10)に供給され、噴射口(1
2)から減圧凝縮槽(10)内に供給される。この冷却液
(4)の供給により、蒸発槽(15)から導入された蒸気
は、冷却液(4)と接続して凝縮作用を営むものとなる。
【0041】この実施例に於ては、冷却槽(1)にバキュ
ームポンプ(24)を設置するため、エジェクター機構
(5)を用いる場合に比較し、冷却槽(1)内及び減圧凝縮
槽(10)内の減圧度を高める事が可能となり、蒸気の効
率的な吸引と凝縮を可能とし、前記の第1、第2実施例
よりも、迅速な汚濁洗浄液(3)の蒸留再生を可能とする
ものである。
【0042】
【発明の効果】本発明は上述の如く構成したものである
から、冷却パイプを用いて蒸気の凝縮を行うものに比較
し、極めて効率的な凝縮動作を行う事ができるものとな
る。そのため、汚濁洗浄液の蒸留再生装置として、汚濁
洗浄液の迅速で廉価な凝縮再生が可能となるものであ
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1実施例を示す断面図である。
【図2】蒸発槽を蒸気洗浄槽としても利用する事ができ
る第2実施例を示す断面図である。
【図3】第3実施例を示す断面図である。
【符号の説明】
1 冷却槽 3 汚濁洗浄液 4 冷却液 5 エジェクター機構8 吸引部 10 減圧凝縮槽 12 噴射口 15 蒸発槽 17 加熱部21 冷却コイル 23 吸引ポンプ 24 バキュームポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平7−136404(JP,A) 特開 平5−57101(JP,A) 特開 昭63−302903(JP,A) 特開 昭59−189902(JP,A) 特開 平7−171301(JP,A) 特開 昭53−114777(JP,A) 実開 平1−77807(JP,U) 実開 平5−60501(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) B01D 5/00 B01D 3/00 D06F 43/08

Claims (6)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 冷却機構を備え凝縮した冷却液を充填す
    る冷却槽と、この冷却槽に接続し冷却液を循環するエジ
    ェクター機構と、このエジェクター機構の吸引部に接続
    するとともに冷却槽に連通し吸引部の吸引作用に伴って
    冷却液を内部に供給する減圧凝縮槽と、この減圧凝縮槽
    に噴射口を接続するとともに加熱部を備え内部の汚濁洗
    浄液を加熱蒸発する蒸発槽とから成る事を特徴とする汚
    濁洗浄液の蒸留再生装置。
  2. 【請求項2】 冷却機構を備え凝縮した冷却液を充填す
    るとともにバキュームポンプを接続して内部を減圧可能
    とした冷却槽と、この冷却槽に連通し吸引ポンプの吸引
    作用に伴って冷却液を内部に供給する減圧凝縮槽と、こ
    の減圧凝縮槽に噴射口を接続するとともに加熱部を備え
    内部の汚濁洗浄液を加熱蒸発する蒸発槽とから成る事を
    特徴とする汚濁洗浄液の蒸留再生装置。
  3. 【請求項3】 汚濁洗浄液の蒸発槽は、上端内周に冷却
    コイルを巻廻して冷却水を流通可能とし、冷却水の流通
    時には内部に蒸気を滞留させて蒸気洗浄を可能とした事
    を特徴とする請求項1または2の汚濁洗浄液の蒸留再生
    装置。
  4. 【請求項4】 減圧凝縮槽への冷却液の供給は、噴霧し
    て行うものである事を特徴とする請求項1または2の汚
    濁洗浄液の蒸留再生装置。
  5. 【請求項5】 減圧凝縮槽への冷却液の供給は、シャワ
    ー状に行うものである事を特徴とする請求項1または2
    の汚濁洗浄液の蒸留再生装置。
  6. 【請求項6】 減圧凝縮槽への冷却液の供給は、液カー
    テンを形成して行うものである事を特徴とする請求項1
    または2の汚濁洗浄液の蒸留再生装置。
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