JPH07116559B2 - シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 - Google Patents
シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金薄板およびその製造方法Info
- Publication number
- JPH07116559B2 JPH07116559B2 JP2218946A JP21894690A JPH07116559B2 JP H07116559 B2 JPH07116559 B2 JP H07116559B2 JP 2218946 A JP2218946 A JP 2218946A JP 21894690 A JP21894690 A JP 21894690A JP H07116559 B2 JPH07116559 B2 JP H07116559B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin plate
- rkr
- annealing
- alloy
- surface roughness
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Description
【発明の詳細な説明】 「発明の目的」 （産業上の利用分野） 本発明はシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板およびその製
造方法に係り、カラーテレビブラウン管のシャドウマス
クを製造するためのFe−Ni系合金薄板においてエッチン
グ穿孔性が優れ、特に穿孔時のムラ発生を防止し、かつ
穿孔後のフラットマスクを焼鈍するときの密着焼付を防
止し適切な製品を得るための技術に関するものである。
造方法に係り、カラーテレビブラウン管のシャドウマス
クを製造するためのFe−Ni系合金薄板においてエッチン
グ穿孔性が優れ、特に穿孔時のムラ発生を防止し、かつ
穿孔後のフラットマスクを焼鈍するときの密着焼付を防
止し適切な製品を得るための技術に関するものである。
（従来の技術） 近年、カラーテレビの高品位化に伴い、色ずれの問題に
対応できる低熱膨脹のシャドウマスク材料としてFe−Ni
系のインバー合金が注目されているが、この合金は従来
の低炭素鋼によるシャドウマスク材に比し、エッチング
穿孔時におけるフラットマスクのムラ発生および穿孔後
のフラットマスクを焼鈍するときにおいて密着焼付性が
著しい。
対応できる低熱膨脹のシャドウマスク材料としてFe−Ni
系のインバー合金が注目されているが、この合金は従来
の低炭素鋼によるシャドウマスク材に比し、エッチング
穿孔時におけるフラットマスクのムラ発生および穿孔後
のフラットマスクを焼鈍するときにおいて密着焼付性が
著しい。
これらのうち、前者の問題を解決すべく、特開昭61−
39344号公報、特開昭62−243780号公報、同243781
号公報および同243782号公報が提案されている。
39344号公報、特開昭62−243780号公報、同243781
号公報および同243782号公報が提案されている。
即ちはシャドウマスク用素材の表面粗さ（中心線平均
粗さRa）を0.1〜0.4μｍとすることにより開孔形状の規
則性および開孔のシャドウマスク全体における均一性を
得ている。又はシャドウマスク用素材の表面粗度（R
a）を0.2〜0.7μｍ、Sm（基準長さ内における表面粗度
を示す断面曲線の凹凸間隔平均値）を100μｍ以下、結
晶粒度を粒度番号で8.0以上とすることによりエッチン
グ穿孔後のムラ品位の高いマスクを提供している。更に
は前記の規定に加えてRe（透過孔径α1/エッチング
孔径α２）を0.9以上とすることによりエッチング穿孔
後のムラ品位の高いマスクを提供している。なおはエ
ッチング素材の集合組織を強冷延−最結晶焼鈍によって
集積させ、且つ結晶粒度を粒度番号で8.0以上とし、そ
の後に前記に記載の表面粗度への調整をダルロールに
より冷間加工度３〜15％としてエッチング穿孔後のムラ
品位の高いマスクを製造しようとするものである。
粗さRa）を0.1〜0.4μｍとすることにより開孔形状の規
則性および開孔のシャドウマスク全体における均一性を
得ている。又はシャドウマスク用素材の表面粗度（R
a）を0.2〜0.7μｍ、Sm（基準長さ内における表面粗度
を示す断面曲線の凹凸間隔平均値）を100μｍ以下、結
晶粒度を粒度番号で8.0以上とすることによりエッチン
グ穿孔後のムラ品位の高いマスクを提供している。更に
は前記の規定に加えてRe（透過孔径α1/エッチング
孔径α２）を0.9以上とすることによりエッチング穿孔
後のムラ品位の高いマスクを提供している。なおはエ
ッチング素材の集合組織を強冷延−最結晶焼鈍によって
集積させ、且つ結晶粒度を粒度番号で8.0以上とし、そ
の後に前記に記載の表面粗度への調整をダルロールに
より冷間加工度３〜15％としてエッチング穿孔後のムラ
品位の高いマスクを製造しようとするものである。
一方上記した後者の問題を解決するに好ましい提案はな
されていない。
されていない。
即ち特開昭62−238003号公報の如き従来の低炭素鋼フ
ラットマスクの焼鈍時密着焼付を表面粗度の適正化、即
ちRaを0.2〜2.0μｍで、Rsk（粗さ曲線の高さ方向にお
ける偏りの指標）を０以上とするような提案はみられる
としてもFe−Ni系インバー合金の強度は低炭素鋼に比し
て高く、その曲面プレス前の焼鈍温度は低炭素鋼の場合
よりも高く採らざるを得ず、また数十枚〜数百枚重ね合
わせて800〜1100℃のように相当の高温で焼鈍を行って
いるものであるからこの低炭素鋼フラットマスクの技術
ではFe−Ni系インバー合金のフラットマスクにおける焼
鈍時密着焼付防止をなし得ないことになり、その焼付防
止に関する好ましい技術は見当らない。
ラットマスクの焼鈍時密着焼付を表面粗度の適正化、即
ちRaを0.2〜2.0μｍで、Rsk（粗さ曲線の高さ方向にお
ける偏りの指標）を０以上とするような提案はみられる
としてもFe−Ni系インバー合金の強度は低炭素鋼に比し
て高く、その曲面プレス前の焼鈍温度は低炭素鋼の場合
よりも高く採らざるを得ず、また数十枚〜数百枚重ね合
わせて800〜1100℃のように相当の高温で焼鈍を行って
いるものであるからこの低炭素鋼フラットマスクの技術
ではFe−Ni系インバー合金のフラットマスクにおける焼
鈍時密着焼付防止をなし得ないことになり、その焼付防
止に関する好ましい技術は見当らない。
更に特開昭64−52022号においてはSiなどの合金成分
と冷間圧延率、更に結晶粒度を規定し、また５特開平
１−252725号においてはスラブの均一化熱処理を行い、
Niの偏析を低減することによりスジムラを抑制すること
が開示されている。
と冷間圧延率、更に結晶粒度を規定し、また５特開平
１−252725号においてはスラブの均一化熱処理を行い、
Niの偏析を低減することによりスジムラを抑制すること
が開示されている。
（発明が解決しようとする課題） 上記したエッチング穿孔時におけるフラットマスクのム
ラ品位向上を図った前記〜の技術では何れも曲面プ
レス前の焼鈍における密着焼付防止が達成されていな
い。又では上述のように従来における低炭素鋼フラッ
トマスクの焼鈍時密着焼付を防止しているのみで、実際
のインバー合金強度は低炭素鋼に比して高く、その曲面
プレス前の焼鈍温度は低炭素鋼の場合に比し高く採らざ
るを得ず、ブラウン管メーカーではFe−Niインバー合金
のフラットマスク焼鈍を数十枚〜数百枚重ね合わせて81
0〜1100℃という低炭素鋼フラットマスクの焼鈍温度よ
りも相当な高温で行っているのが現状である。このよう
な焼鈍温度において前記の技術ではインバー合金フラ
ットマスク焼鈍時の焼付防止をなし得ない。
ラ品位向上を図った前記〜の技術では何れも曲面プ
レス前の焼鈍における密着焼付防止が達成されていな
い。又では上述のように従来における低炭素鋼フラッ
トマスクの焼鈍時密着焼付を防止しているのみで、実際
のインバー合金強度は低炭素鋼に比して高く、その曲面
プレス前の焼鈍温度は低炭素鋼の場合に比し高く採らざ
るを得ず、ブラウン管メーカーではFe−Niインバー合金
のフラットマスク焼鈍を数十枚〜数百枚重ね合わせて81
0〜1100℃という低炭素鋼フラットマスクの焼鈍温度よ
りも相当な高温で行っているのが現状である。このよう
な焼鈍温度において前記の技術ではインバー合金フラ
ットマスク焼鈍時の焼付防止をなし得ない。
前記のものは表面性状や密着焼付防止について考慮さ
れていないのでむらの発生や焼付発生が不可避であり、
のものもせいぜいNiの偏析を低減する程度であって、
密着焼付防止、表面性状との関係における焼付防止など
を適切に得ることができない。
れていないのでむらの発生や焼付発生が不可避であり、
のものもせいぜいNiの偏析を低減する程度であって、
密着焼付防止、表面性状との関係における焼付防止など
を適切に得ることができない。
従って従来のFe−Ni系インバー合金のシャドウマスク用
素材においてエッチング穿孔時のムラ発生を防止し、又
穿孔後の焼鈍時密着焼付を適切に防止する技術が確立さ
れていない。
素材においてエッチング穿孔時のムラ発生を防止し、又
穿孔後の焼鈍時密着焼付を適切に防止する技術が確立さ
れていない。
「発明の構成」 （課題を解決するための手段） 本発明は上記したような実情に鑑み、エッチング穿孔性
が優れ、特に穿孔時のムラ発生を防止し、かつ穿孔時の
フラットマスクを焼鈍するときの密着焼付を防止したFe
−Ni系インバー合金のシャドウマスク用素材を得べく、
検討を重ねて創案されたものであって、以下の如くであ
る。
が優れ、特に穿孔時のムラ発生を防止し、かつ穿孔時の
フラットマスクを焼鈍するときの密着焼付を防止したFe
−Ni系インバー合金のシャドウマスク用素材を得べく、
検討を重ねて創案されたものであって、以下の如くであ
る。
1. Si:0.01〜0.15wt％、Ni:34〜38wt％を含有し、残部
がFeおよび不可避的不純物から成り、かつその合金鋼帯
の板厚はフラットマスクの多数枚を積み重ねて焼鈍処理
する工程を含むシャドウマスクの製造に供する該フラッ
トマスクと実質上同等であり、その表面粗度（Ra）が0.
3〜0.8μｍ、（Sm）が70〜160μｍで、しかも粗さ曲線
の高さ方向のとがり指標であるクルトシス（Rkr）が３
〜７で且つ の条件を満足し、またエッチング直前での合金板の表面
におけるSiの成分偏析率 が10％以下であることを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。
がFeおよび不可避的不純物から成り、かつその合金鋼帯
の板厚はフラットマスクの多数枚を積み重ねて焼鈍処理
する工程を含むシャドウマスクの製造に供する該フラッ
トマスクと実質上同等であり、その表面粗度（Ra）が0.
3〜0.8μｍ、（Sm）が70〜160μｍで、しかも粗さ曲線
の高さ方向のとがり指標であるクルトシス（Rkr）が３
〜７で且つ の条件を満足し、またエッチング直前での合金板の表面
におけるSiの成分偏析率 が10％以下であることを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。
2. Si:0.01〜0.15wt％、Ni:34〜38wt％を含有し、残部
がFeおよび不可避的不純物から成り、かつその合金鋼帯
の板厚はフラットマスクの多数枚を積み重ねて焼鈍処理
する工程を含むシャドウマスクの製造に供する該フラッ
トマスクと実質上同等であり、その表面粗度（Ra）が0.
3〜0.8μｍ、（Sm）が70〜160μｍで、しかも粗さ曲線
の高さ方向のとがり指標であるクルトシス（Rkr）が３
〜７で且つ 且つ、粗さ曲線の平均傾斜角（RQa）が0.03〜0.05の条
件を満足し、またエッチング直前での合金板の表面にお
けるSiの成分偏析率 が10％以下であることを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。
がFeおよび不可避的不純物から成り、かつその合金鋼帯
の板厚はフラットマスクの多数枚を積み重ねて焼鈍処理
する工程を含むシャドウマスクの製造に供する該フラッ
トマスクと実質上同等であり、その表面粗度（Ra）が0.
3〜0.8μｍ、（Sm）が70〜160μｍで、しかも粗さ曲線
の高さ方向のとがり指標であるクルトシス（Rkr）が３
〜７で且つ 且つ、粗さ曲線の平均傾斜角（RQa）が0.03〜0.05の条
件を満足し、またエッチング直前での合金板の表面にお
けるSiの成分偏析率 が10％以下であることを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。
3. 前記１項の成分および表面粗度を有し、しかも該表
面粗度の異方性が、下記式、 |Ra（Ｌ）−Ra（ｃ）｜≦0.1μｍ |Rkr（Ｌ）−Rkr（ｃ）｜≦0.5 |Sm（Ｌ）−Sm（ｃ）｜≦５μｍ 但しRa（Ｌ）、Rkr（Ｌ）、Sm（Ｌ）は圧延方向におけ
る測定値で、Ra（ｃ）、Rkr（ｃ）、Sm（ｃ）は圧延方
向と垂直な方向における測定値である。
面粗度の異方性が、下記式、 |Ra（Ｌ）−Ra（ｃ）｜≦0.1μｍ |Rkr（Ｌ）−Rkr（ｃ）｜≦0.5 |Sm（Ｌ）−Sm（ｃ）｜≦５μｍ 但しRa（Ｌ）、Rkr（Ｌ）、Sm（Ｌ）は圧延方向におけ
る測定値で、Ra（ｃ）、Rkr（ｃ）、Sm（ｃ）は圧延方
向と垂直な方向における測定値である。
の関係を満足することを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。
−Ni合金薄板。
4. 前記２項の成分および表面粗度を有し、しかも該表
面粗度の異方性が、下記式、 |Ra（Ｌ）−Ra（ｃ）｜≦0.1μｍ |Rkr（Ｌ）−Rkr（ｃ）｜≦0.5 |Sm（Ｌ）−Sm（ｃ）｜≦５μｍ 但しRa（Ｌ）、Rkr（Ｌ）、Sm（Ｌ）は圧延方向におけ
る測定値で、Ra（ｃ）、Rkr（ｃ）、Sm（ｃ）は圧延方
向と垂直な方向における測定値である。
面粗度の異方性が、下記式、 |Ra（Ｌ）−Ra（ｃ）｜≦0.1μｍ |Rkr（Ｌ）−Rkr（ｃ）｜≦0.5 |Sm（Ｌ）−Sm（ｃ）｜≦５μｍ 但しRa（Ｌ）、Rkr（Ｌ）、Sm（Ｌ）は圧延方向におけ
る測定値で、Ra（ｃ）、Rkr（ｃ）、Sm（ｃ）は圧延方
向と垂直な方向における測定値である。
の関係を満足することを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。
−Ni合金薄板。
5. 前記１項の成分を有する薄板を製造するに当り、そ
の最終冷延または調質圧延時にダルロールを用い、前記
１項の表面粗度を該薄板の表面に付与することを特徴と
するシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方法。
の最終冷延または調質圧延時にダルロールを用い、前記
１項の表面粗度を該薄板の表面に付与することを特徴と
するシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方法。
6. 前記１項の成分を有する薄板を製造するに当り、そ
の最終冷延または調質圧延時にダルロールを用い、前記
２項の表面粗度を該薄板の表面に付与することを特徴と
するシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方法。
の最終冷延または調質圧延時にダルロールを用い、前記
２項の表面粗度を該薄板の表面に付与することを特徴と
するシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方法。
7. 前記１項の成分を有する薄板を製造するに当り、そ
の最終冷延または調質圧延時にダルロールを用い、前記
３項の表面粗度を該薄板の表面に付与することを特徴と
するシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方法。
の最終冷延または調質圧延時にダルロールを用い、前記
３項の表面粗度を該薄板の表面に付与することを特徴と
するシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方法。
8. 前記１項の成分を有する薄板を製造するに当り、そ
の最終冷延または調質圧延時にダルロールを用い、前記
４項の表面粗度を該薄板の表面に付与することを特徴と
するシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方法。
の最終冷延または調質圧延時にダルロールを用い、前記
４項の表面粗度を該薄板の表面に付与することを特徴と
するシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板の製造方法。
なお上記各式におけるRa、Rkr、RQa、Smは以下の如くで
ある。
ある。
Raとは、中心線平均粗さであり、下記の式に示される。
但し、L:測定長さ ｆ（ｘ）：粗さ曲線 Rkrとは、平均線に対しての粗さ曲線の上下のとがりの
程度を示す値であって、下記の数式により表わされる。
程度を示す値であって、下記の数式により表わされる。
は振幅分布曲線の４次のモーメントを示す。
RQaは、平均線に対しての平均の傾斜角を示すものであ
り、下記の数式により表わされる。
り、下記の数式により表わされる。
Smとは基準長さ内における表面粗さを示す断面曲線の凹
凸の間隔の平均値 のことである。
凸の間隔の平均値 のことである。
（作用） 上記したような本発明について説明すると、本発明はシ
ャドウマスク用のインバー合金を対象としているが、事
実上問題のない熱膨脹特性として平均熱膨脹係数（30〜
100℃）の上限を2.0×10-6/℃とし、この熱膨脹特性はN
i量に依存するもので、上述した平均熱膨脹係数の条件
を満たす成分範囲はwt％（以下単に％という）で、Ni量
が34〜38％の場合であるから本発明合金のNi量としては
この34〜38％とする。なおこのNi量は必要とされる熱膨
脹係数に応じ上記範囲内において適当に選択される。
ャドウマスク用のインバー合金を対象としているが、事
実上問題のない熱膨脹特性として平均熱膨脹係数（30〜
100℃）の上限を2.0×10-6/℃とし、この熱膨脹特性はN
i量に依存するもので、上述した平均熱膨脹係数の条件
を満たす成分範囲はwt％（以下単に％という）で、Ni量
が34〜38％の場合であるから本発明合金のNi量としては
この34〜38％とする。なおこのNi量は必要とされる熱膨
脹係数に応じ上記範囲内において適当に選択される。
次に本発明が目標とするエッチング性およびフラットマ
スク焼鈍時の密着焼付防止は表面粗度の適正化と合金中
Si量およびその分布適正化が同時に満たされて始めて達
成される。即ちSiはFe−Ni系インバー合金において焼鈍
時の密着焼付防止に有効な元素であって、このSiが0.01
％以上となるとこの焼付防止に有効な酸化膜が形成され
る。一方このSiが0.15％を越えるとエッチング穿孔時の
ムラ発生が著しくなるのでこれを上限とし、これらから
して焼付が防止でき、しかもエッチング穿孔時にムラ発
生のないSi量として0.01〜0.15％と定めた。なおSi量が
この範囲内の場合でも合金板表面でのSiの成分変動が大
きいと、局部的にエッチング穿孔状態の差に起因するム
ラ発生や焼鈍時に形成される酸化膜の性状に差が生じ、
結果として局部的に焼付くなどの問題が発生するため斯
様な成分変動は制御されねばならない。従って本発明で
は上記Si量の規定に加え、エッチング直前での合金板表
面におけるSi量の成分偏析率、 の10％以下とすることにより上記した成分変動によるエ
ッチング穿孔性の局部的劣化、焼鈍時の局部的焼付を解
決する。なお、このSiの成分偏析率が10％以下であって
も最小濃度部で0.01％未満となったり、最大濃度部で0.
15％を超えるような場合には焼鈍時の焼付、エッチング
穿孔時のムラがそれぞれ発生するので、このようなこと
にならないように制御する。
スク焼鈍時の密着焼付防止は表面粗度の適正化と合金中
Si量およびその分布適正化が同時に満たされて始めて達
成される。即ちSiはFe−Ni系インバー合金において焼鈍
時の密着焼付防止に有効な元素であって、このSiが0.01
％以上となるとこの焼付防止に有効な酸化膜が形成され
る。一方このSiが0.15％を越えるとエッチング穿孔時の
ムラ発生が著しくなるのでこれを上限とし、これらから
して焼付が防止でき、しかもエッチング穿孔時にムラ発
生のないSi量として0.01〜0.15％と定めた。なおSi量が
この範囲内の場合でも合金板表面でのSiの成分変動が大
きいと、局部的にエッチング穿孔状態の差に起因するム
ラ発生や焼鈍時に形成される酸化膜の性状に差が生じ、
結果として局部的に焼付くなどの問題が発生するため斯
様な成分変動は制御されねばならない。従って本発明で
は上記Si量の規定に加え、エッチング直前での合金板表
面におけるSi量の成分偏析率、 の10％以下とすることにより上記した成分変動によるエ
ッチング穿孔性の局部的劣化、焼鈍時の局部的焼付を解
決する。なお、このSiの成分偏析率が10％以下であって
も最小濃度部で0.01％未満となったり、最大濃度部で0.
15％を超えるような場合には焼鈍時の焼付、エッチング
穿孔時のムラがそれぞれ発生するので、このようなこと
にならないように制御する。
本発明で意図する焼鈍時の焼付防止効果およびエッチン
グ穿孔時のムラ発生の抑制は上述したような成分規定に
加えて、表面粗度の適正化が必要である。即ち第１図
は、Ｓ≦0.0025％で、Si:0.01〜0.15％（板面内の何れ
の場所でもSiは0.01〜0.15％）、Siの成分偏析率≦10％
の合金板についてエッチング穿孔性、焼鈍時の密着焼付
きについて調査し、それら両者を共に満足する領域を表
面粗度のパラメータRaおよびRkrで示したものである。S
mは、エッチング穿孔時のムラ発生の抑制、および焼鈍
時の焼付きの点で制御すべき重要なパラメータである。
エッチング穿孔時のムラ発生を抑制し、かつ焼鈍時の焼
付きを防止するSmの範囲は70〜160μｍである。Smが70
μｍ未満では、焼鈍時の焼付きが発生し、一方Smが160
μｍを越える場合はエッチング穿孔時のムラ発生が問題
になる。Smを70〜160μｍとしてはじめて以下に示すよ
うなRa、Rkrの制御のもとで、本発明で意図する効果が
得られる。Rkrが何れの値の場合でもRaが0.8μｍを超え
る場合にはエッチング穿孔時のムラ発生が著しくなり、
一方Raが0.3μｍ未満の場合にはフラットマスク焼鈍時
の密着焼付が発生し、且つフラットマスクの均一密着性
不良が発生するので本発明におけるRaの範囲は0.3〜0.8
μｍとする。
グ穿孔時のムラ発生の抑制は上述したような成分規定に
加えて、表面粗度の適正化が必要である。即ち第１図
は、Ｓ≦0.0025％で、Si:0.01〜0.15％（板面内の何れ
の場所でもSiは0.01〜0.15％）、Siの成分偏析率≦10％
の合金板についてエッチング穿孔性、焼鈍時の密着焼付
きについて調査し、それら両者を共に満足する領域を表
面粗度のパラメータRaおよびRkrで示したものである。S
mは、エッチング穿孔時のムラ発生の抑制、および焼鈍
時の焼付きの点で制御すべき重要なパラメータである。
エッチング穿孔時のムラ発生を抑制し、かつ焼鈍時の焼
付きを防止するSmの範囲は70〜160μｍである。Smが70
μｍ未満では、焼鈍時の焼付きが発生し、一方Smが160
μｍを越える場合はエッチング穿孔時のムラ発生が問題
になる。Smを70〜160μｍとしてはじめて以下に示すよ
うなRa、Rkrの制御のもとで、本発明で意図する効果が
得られる。Rkrが何れの値の場合でもRaが0.8μｍを超え
る場合にはエッチング穿孔時のムラ発生が著しくなり、
一方Raが0.3μｍ未満の場合にはフラットマスク焼鈍時
の密着焼付が発生し、且つフラットマスクの均一密着性
不良が発生するので本発明におけるRaの範囲は0.3〜0.8
μｍとする。
又このようなRaの適正化に加え、焼鈍時の焼付き防止の
ためにはRkrの適正化も必要である。即ちRaが0.3〜0.8
μｍの範囲でも、Rkrが３未満では、フラットマスク焼
鈍時の密着が発生し、一方Rkrが７を越える場合ではフ
ラットマスク焼鈍時の局部的焼付きが発生し、またエッ
チング穿孔時のムラ発生が問題となる。更に、Ra＜−
（1/15）Rkr＋0.6の条件ではフラットマスク焼鈍時の密
着が発生する。すなわち、Raが0.3〜0.4μｍの場合で
は、焼付の生じないRaの下限値は、Rkrを高めることに
より、より近くすることができる。結果的に低いRaのレ
ベルでも焼付きを防止できるため、エッチング穿孔がよ
り高密度化した場合でも、画面のムラ品位をより優れた
ものとすることができる。
ためにはRkrの適正化も必要である。即ちRaが0.3〜0.8
μｍの範囲でも、Rkrが３未満では、フラットマスク焼
鈍時の密着が発生し、一方Rkrが７を越える場合ではフ
ラットマスク焼鈍時の局部的焼付きが発生し、またエッ
チング穿孔時のムラ発生が問題となる。更に、Ra＜−
（1/15）Rkr＋0.6の条件ではフラットマスク焼鈍時の密
着が発生する。すなわち、Raが0.3〜0.4μｍの場合で
は、焼付の生じないRaの下限値は、Rkrを高めることに
より、より近くすることができる。結果的に低いRaのレ
ベルでも焼付きを防止できるため、エッチング穿孔がよ
り高密度化した場合でも、画面のムラ品位をより優れた
ものとすることができる。
以上より本発明で意図する効果を得るための表面粗度の
条件として、Ra:0.3〜0.8μｍ、Rkr:3〜７で、かつ（R
a）≧−1/15（Rkr）＋0.6と定めた。
条件として、Ra:0.3〜0.8μｍ、Rkr:3〜７で、かつ（R
a）≧−1/15（Rkr）＋0.6と定めた。
以上のような、Si量およびその分布の適正化と、表面粗
度の適正化により、Fe−Niインバー合金をシャドウマス
ク用薄板に適用する際でのエッチング穿孔性および焼鈍
時の密着焼付を防止できるが、フラットマスクの１回の
焼鈍での積層枚数を従来よりも、さらに多くし焼鈍時の
コストの低減を計ろうとする場合には、上記の表面粗度
の規定に加え、表面粗さの面内での異方性を特性値以下
にしなければならない。即ち表面粗度の異方性を |Ra（Ｌ）−Ra（ｃ）｜≦0.1μｍ |Rkr（Ｌ）−Rkr（ｃ）｜≦0.5 とすることにより、従来よりフラットマスクの積層枚数
を多くした際でも、部分的な焼付きは回避できる。
度の適正化により、Fe−Niインバー合金をシャドウマス
ク用薄板に適用する際でのエッチング穿孔性および焼鈍
時の密着焼付を防止できるが、フラットマスクの１回の
焼鈍での積層枚数を従来よりも、さらに多くし焼鈍時の
コストの低減を計ろうとする場合には、上記の表面粗度
の規定に加え、表面粗さの面内での異方性を特性値以下
にしなければならない。即ち表面粗度の異方性を |Ra（Ｌ）−Ra（ｃ）｜≦0.1μｍ |Rkr（Ｌ）−Rkr（ｃ）｜≦0.5 とすることにより、従来よりフラットマスクの積層枚数
を多くした際でも、部分的な焼付きは回避できる。
また、|Sm（Ｌ）−Sm（ｃ）｜≦５μｍとすることによ
り、エッチング穿孔時のムラ発生をより小さくすること
ができる。
り、エッチング穿孔時のムラ発生をより小さくすること
ができる。
なお、フラットマスクの焼鈍時の密着焼付の発生しない
臨界温度を高くするためには、上記の成分、表面粗度の
規定に加え、粗さ曲線の平均傾斜角（RQa）の適正化お
よびＳの低減が有効である。第２図はRQaが0.03未満ま
たは0.05超で、Ra、Rkr、SiおよびSiの偏析率が本発明
範囲内であり、かつＳ量が変化した材料を用い焼鈍温度
を変えて、密着焼付の状態を調べたものである。Ｓ量の
低減により、焼付の生じない臨界の焼鈍温度を高くする
ことができる。
臨界温度を高くするためには、上記の成分、表面粗度の
規定に加え、粗さ曲線の平均傾斜角（RQa）の適正化お
よびＳの低減が有効である。第２図はRQaが0.03未満ま
たは0.05超で、Ra、Rkr、SiおよびSiの偏析率が本発明
範囲内であり、かつＳ量が変化した材料を用い焼鈍温度
を変えて、密着焼付の状態を調べたものである。Ｓ量の
低減により、焼付の生じない臨界の焼鈍温度を高くする
ことができる。
このようなＳの低減による効果の明確な機構は必ずしも
判然としないが、本発明範囲内Si量のインバー合金にお
けるプレス前焼鈍時に表面に形成される密着防止に有効
なSiの酸化膜形成と、Ｓの表面偏析が、表面に競合して
起こるためではないかと推察される。
判然としないが、本発明範囲内Si量のインバー合金にお
けるプレス前焼鈍時に表面に形成される密着防止に有効
なSiの酸化膜形成と、Ｓの表面偏析が、表面に競合して
起こるためではないかと推察される。
また、第３図に示すように、粗さ曲線の平均傾斜角（RQ
a）は0.03〜0.05の範囲とすることにより焼付の生じな
い臨界の焼鈍温度を同一Ｓ量でも高くすることができ
る。
a）は0.03〜0.05の範囲とすることにより焼付の生じな
い臨界の焼鈍温度を同一Ｓ量でも高くすることができ
る。
更に、Siの偏析低減の手段としては、たとえば、鋼塊又
は連続鋳造（CC）スラブを1200℃×20hrの加熱をなし、
１次分塊での断面減少率20〜60％にて分塊圧延を行ない
その軽分塊スラブを1200℃×20hrで加熱し、２次分塊で
の断面減少率30〜50％で分塊圧延し、徐冷する工程があ
げられる。この工程の中では１次の加熱・均熱によるSi
の鋼塊偏析低減、１次分塊での加工及び引き続く加熱・
均熱によるSiの鋼塊偏析及びミクロ偏析の低減促進およ
び２次分塊による加工並びに引き続く徐冷過程でのSiの
鋼塊偏析及びミクロ偏析の低減のさらなる促進という、
大きく分けて３つの工程における均質化の相乗効果によ
りはじめてSiの均質化が達成されているのである。なお
分塊前の加熱は、雰囲気中のＳ含有量を80ppm以下と極
力低くして加熱中の粒界脆化を抑制し、分塊スラブにお
ける表面疵の発生抑制を配慮する。
は連続鋳造（CC）スラブを1200℃×20hrの加熱をなし、
１次分塊での断面減少率20〜60％にて分塊圧延を行ない
その軽分塊スラブを1200℃×20hrで加熱し、２次分塊で
の断面減少率30〜50％で分塊圧延し、徐冷する工程があ
げられる。この工程の中では１次の加熱・均熱によるSi
の鋼塊偏析低減、１次分塊での加工及び引き続く加熱・
均熱によるSiの鋼塊偏析及びミクロ偏析の低減促進およ
び２次分塊による加工並びに引き続く徐冷過程でのSiの
鋼塊偏析及びミクロ偏析の低減のさらなる促進という、
大きく分けて３つの工程における均質化の相乗効果によ
りはじめてSiの均質化が達成されているのである。なお
分塊前の加熱は、雰囲気中のＳ含有量を80ppm以下と極
力低くして加熱中の粒界脆化を抑制し、分塊スラブにお
ける表面疵の発生抑制を配慮する。
更に本発明で特徴としているシャドウマスク用薄板は上
記のような製造履歴のものに限られず、溶鋼から直接に
冷延素材を鋳造するストリップキャスティングまたはス
トリップキャスティングにより鋳造された鋼帯を熱延軽
圧下することにより冷延素材を製造する工程を経たもの
でも本発明の効果は充分に発揮される。又このような表
面をもつシャドウマスク用インバー合金素材の製造は最
終冷延または調質圧延時にダルロールを用いて圧延する
ことにより達成し得る。
記のような製造履歴のものに限られず、溶鋼から直接に
冷延素材を鋳造するストリップキャスティングまたはス
トリップキャスティングにより鋳造された鋼帯を熱延軽
圧下することにより冷延素材を製造する工程を経たもの
でも本発明の効果は充分に発揮される。又このような表
面をもつシャドウマスク用インバー合金素材の製造は最
終冷延または調質圧延時にダルロールを用いて圧延する
ことにより達成し得る。
なお、インバー合金のエッチング穿孔性、特にエッチン
グ穿孔後の孔界面の品質を向上させ、かつエッチング工
程におけるエッチング液の汚れを少なくし、エッチング
の作業性を向上させるためには、例えば合金中の非金属
介在物の組成を第４図に示すAl2O3−CaO−MgO系三元状
態図の点，，，およびを結んだ領域外の組成
に制御することが必要である。すなわち、このような介
在物の組成制御により、エッチング直前での非金属介在
物はサイズ３μｍ以下の球形の介在物が主体となり、展
伸性を有する圧延方向に伸びた線型の介在物が極めて少
なくなる結果エッチング孔の界面における介在物に起因
したピットの形成が抑制され、かつ線状介在物がエッチ
ング液に混入してエッチング液の汚れることも極めて少
なくなる。
グ穿孔後の孔界面の品質を向上させ、かつエッチング工
程におけるエッチング液の汚れを少なくし、エッチング
の作業性を向上させるためには、例えば合金中の非金属
介在物の組成を第４図に示すAl2O3−CaO−MgO系三元状
態図の点，，，およびを結んだ領域外の組成
に制御することが必要である。すなわち、このような介
在物の組成制御により、エッチング直前での非金属介在
物はサイズ３μｍ以下の球形の介在物が主体となり、展
伸性を有する圧延方向に伸びた線型の介在物が極めて少
なくなる結果エッチング孔の界面における介在物に起因
したピットの形成が抑制され、かつ線状介在物がエッチ
ング液に混入してエッチング液の汚れることも極めて少
なくなる。
上記したようなダルロールを得るには放電加工、レーザ
ー加工なども採用し得るが、ショットブラスト法によっ
てダル目付けすることが好ましく、この場合においてロ
ール材質としてはSKH（硬度Hs85〜95）を採用し、又径1
00〜125mmφのものを用いることが適切である。ショッ
トブラスト法によるロール加工条件としては＃120〜＃2
40のスチールグリット（Hv400〜950）を用い、投射エネ
ルギーとしては＃120で低目、＃240では高目のものを採
用する。このように、スチールグリットの粒度および投
射エネルギーの選択を適正化することによりRQaは0.03
〜0.05（ラジアン）とすることができる。
ー加工なども採用し得るが、ショットブラスト法によっ
てダル目付けすることが好ましく、この場合においてロ
ール材質としてはSKH（硬度Hs85〜95）を採用し、又径1
00〜125mmφのものを用いることが適切である。ショッ
トブラスト法によるロール加工条件としては＃120〜＃2
40のスチールグリット（Hv400〜950）を用い、投射エネ
ルギーとしては＃120で低目、＃240では高目のものを採
用する。このように、スチールグリットの粒度および投
射エネルギーの選択を適正化することによりRQaは0.03
〜0.05（ラジアン）とすることができる。
適正ロール表面粗度を得るには、加工前においてRa:0.1
μｍ以下としたものに対し加工処理してRa:0.4〜1.5μ
ｍ、Rkr:3〜12、Sm:40〜200μｍとし、このようなロー
ル粗度として本発明範囲の表面粗度を適切に得しめる。
μｍ以下としたものに対し加工処理してRa:0.4〜1.5μ
ｍ、Rkr:3〜12、Sm:40〜200μｍとし、このようなロー
ル粗度として本発明範囲の表面粗度を適切に得しめる。
圧延に関しては、最終冷延または調質圧延に当り前述し
たようなダルロールで１パス当り10％以上、しかも合計
２パス以上を採用し、１パス当り10％以上の圧下をなす
ことでロール粗度が充分に転写され、しかも２パス以上
とすることにより所定のRkrおよびSmを有効に得しめ
る。
たようなダルロールで１パス当り10％以上、しかも合計
２パス以上を採用し、１パス当り10％以上の圧下をなす
ことでロール粗度が充分に転写され、しかも２パス以上
とすることにより所定のRkrおよびSmを有効に得しめ
る。
更に具体的な圧延に際して用いられる圧延油としては温
度10〜50℃で粘度７〜8cstのものを0.1〜0.5kg/cm2で吐
出して用い、圧延速度は30〜200mpm、圧延時の張力は前
方が15〜45kg/mm2、後方を10〜40kg/mm2程度となし、単
位幅当りの圧下力としては0.15〜0.25トン/mmとするこ
とが好ましい。前記した圧延油吐出圧力が0.1kg/cm2未
満であり、あるいは0.5kg/cm2超えではその他の条件が
適正でも本発明で目標とする合金薄板の表面粗度が得難
い傾向が認められ、又0.5kg/cm2超えでは表面粗度にム
ラが発生する。又上記したような圧延時の張力条件適正
化によって圧延材である合金薄板の平坦度を良好なレベ
ルとすることができる。
度10〜50℃で粘度７〜8cstのものを0.1〜0.5kg/cm2で吐
出して用い、圧延速度は30〜200mpm、圧延時の張力は前
方が15〜45kg/mm2、後方を10〜40kg/mm2程度となし、単
位幅当りの圧下力としては0.15〜0.25トン/mmとするこ
とが好ましい。前記した圧延油吐出圧力が0.1kg/cm2未
満であり、あるいは0.5kg/cm2超えではその他の条件が
適正でも本発明で目標とする合金薄板の表面粗度が得難
い傾向が認められ、又0.5kg/cm2超えでは表面粗度にム
ラが発生する。又上記したような圧延時の張力条件適正
化によって圧延材である合金薄板の平坦度を良好なレベ
ルとすることができる。
薄板圧延に当ってアイアニングロール、アンチクリンピ
ンクロールなどが採用され、また中間焼鈍、SR焼鈍とし
て難鋼用連続焼鈍炉（H2濃度５〜15％、DP−10〜−30℃
の雰囲気ガス）または光輝焼鈍炉（H2濃度15〜100％、D
P−20〜−50℃）などが用いられる。
ンクロールなどが採用され、また中間焼鈍、SR焼鈍とし
て難鋼用連続焼鈍炉（H2濃度５〜15％、DP−10〜−30℃
の雰囲気ガス）または光輝焼鈍炉（H2濃度15〜100％、D
P−20〜−50℃）などが用いられる。
上記したような本発明によるものの具体的実施例を示
し、その作用効果の仔細を説明すると以下の如くであ
る。
し、その作用効果の仔細を説明すると以下の如くであ
る。
実施例１ 次の第１表に示すような成分組成を有する本発明例（合
金No.1、２、５）および比較例（合金No.3、４）の各合
金No.1〜４を電気炉にて出鋼し、その後に取鍋精錬を行
うことによって７トン鋼塊として得た。
金No.1、２、５）および比較例（合金No.3、４）の各合
金No.1〜４を電気炉にて出鋼し、その後に取鍋精錬を行
うことによって７トン鋼塊として得た。
なお、出鋼後の取鍋精錬は、CaO:40％以下のMgO−CaO系
耐火物よりなる取鍋を使用し、溶滓は成分がwt％で（Ca
O）／〔（CaO）＋（Al2O3）〕が0.45以上、MgOが25％以
下、SiO2が15％以下、Siより酸化力の弱い金属の酸化物
が３％以下であるCaO−Al2O3−MgO系のものであり、こ
れにより処理することで第１表中の化学成分および後述
する第２表のような合金を得た。
耐火物よりなる取鍋を使用し、溶滓は成分がwt％で（Ca
O）／〔（CaO）＋（Al2O3）〕が0.45以上、MgOが25％以
下、SiO2が15％以下、Siより酸化力の弱い金属の酸化物
が３％以下であるCaO−Al2O3−MgO系のものであり、こ
れにより処理することで第１表中の化学成分および後述
する第２表のような合金を得た。
上記したようにして得られた各鋼塊を手入れの後、1200
℃で20時間加熱し、１次分塊にて断面減少率60％で分塊
圧延を行い、しかるのち1200℃で20時間加熱し、２次分
塊にて断面減少率45％で分塊圧延を行い、徐冷すること
により、合金No.1よりａ〜ｆの供試材を得、合金No.1よ
りａ、ｃ〜ｉの供試材を得、合金No.2は供試材ｕ、合金
No.3は供試材ｖ、合金No.4は供試材ｗ、合金No.5は供試
材ｘとして夫々用意した。なお供試材ｂの材料は７トン
鋼塊を手入れ後、1200℃にて15時間加熱し、１次分塊に
て断面減少率78％で分塊圧延を行い徐冷することにより
スラブを準備した。
℃で20時間加熱し、１次分塊にて断面減少率60％で分塊
圧延を行い、しかるのち1200℃で20時間加熱し、２次分
塊にて断面減少率45％で分塊圧延を行い、徐冷すること
により、合金No.1よりａ〜ｆの供試材を得、合金No.1よ
りａ、ｃ〜ｉの供試材を得、合金No.2は供試材ｕ、合金
No.3は供試材ｖ、合金No.4は供試材ｗ、合金No.5は供試
材ｘとして夫々用意した。なお供試材ｂの材料は７トン
鋼塊を手入れ後、1200℃にて15時間加熱し、１次分塊に
て断面減少率78％で分塊圧延を行い徐冷することにより
スラブを準備した。
これらのスラブを手入れし酸化防止剤を塗布後、加熱温
度1100℃で加熱してから熱間圧延を行った。なおこの
際、1000℃以上での合計圧下率は82％であり、850℃以
上での合計圧下率は98％であって、熱間圧延された熱延
コイルの巻取り温度は550〜750℃であった。
度1100℃で加熱してから熱間圧延を行った。なおこの
際、1000℃以上での合計圧下率は82％であり、850℃以
上での合計圧下率は98％であって、熱間圧延された熱延
コイルの巻取り温度は550〜750℃であった。
上記のようにして得られた熱延コイルのうち合金No.1〜
No.4に対応するものは脱スケール後、冷延、焼鈍を繰返
し、最終冷延または調質圧延時にダルロールを用いて圧
延することにより後述する第３表に示す表面粗度を有す
る板厚0.25mmの合金板を夫々得た。なお、エッチングテ
スト材の介在物の形態、大きさ分類は、原板の圧延方向
における板厚断面で測定した。測定方法は800倍にて60m
m2検鏡し、視野内すべての介在物の厚さ、長さを測定
し、（長さ／厚さ）≦３を球状介在物、（長さ／厚さ）
＞３を線状介在物として分類し、かつそれらの介在物の
サイズ別の個数（1mm2当り）で表記した。
No.4に対応するものは脱スケール後、冷延、焼鈍を繰返
し、最終冷延または調質圧延時にダルロールを用いて圧
延することにより後述する第３表に示す表面粗度を有す
る板厚0.25mmの合金板を夫々得た。なお、エッチングテ
スト材の介在物の形態、大きさ分類は、原板の圧延方向
における板厚断面で測定した。測定方法は800倍にて60m
m2検鏡し、視野内すべての介在物の厚さ、長さを測定
し、（長さ／厚さ）≦３を球状介在物、（長さ／厚さ）
＞３を線状介在物として分類し、かつそれらの介在物の
サイズ別の個数（1mm2当り）で表記した。
用いたロールのダル目付けはショットブラスト法で材質
SKH（Hs90）の径120mmのロールに対し＃120のスチール
グリット（Hv400〜950）で加工し、加工後の表面粗度が
RA:0.3〜1.20、Rkr:3〜12、Sm:40〜200μｍのロールを
用い、この実施例では最終調質圧延時に前記ダルロール
により１パス目は18.6％、２パス目は12.3％（合計圧下
率28.6％）で行った。またこの圧延に当って採用された
圧延油の粘度は7.5cstであり、圧延速度は100mpmであっ
て、圧延時張力については前方20kg/mm2、後方15kg/mm2
で実施した。
SKH（Hs90）の径120mmのロールに対し＃120のスチール
グリット（Hv400〜950）で加工し、加工後の表面粗度が
RA:0.3〜1.20、Rkr:3〜12、Sm:40〜200μｍのロールを
用い、この実施例では最終調質圧延時に前記ダルロール
により１パス目は18.6％、２パス目は12.3％（合計圧下
率28.6％）で行った。またこの圧延に当って採用された
圧延油の粘度は7.5cstであり、圧延速度は100mpmであっ
て、圧延時張力については前方20kg/mm2、後方15kg/mm2
で実施した。
なお、この圧延において用いられた単位幅当りの圧下力
は0.20トン/mm、圧延油の吐出圧力は0.4kg/cm2であって
円滑に圧延処理することができ、得られた合金板の平坦
度その他は良好なレベルのものとして得ることができ
た。
は0.20トン/mm、圧延油の吐出圧力は0.4kg/cm2であって
円滑に圧延処理することができ、得られた合金板の平坦
度その他は良好なレベルのものとして得ることができ
た。
上記のような各合金板の板面におけるSiの偏析率はEPMA
によるマッピングアナライザーにより調査した。又これ
らの合金薄板コイルにエッチング穿孔し、フラットマス
クを作製し、ムラ発生の状況を調査した。さらにエッチ
ング孔の界面を走査型電子顕微鏡により観察し、ピット
の有無を調べ、またエッチング液の汚れは、エッチング
穿孔後の残滓の量を調べることにより行った。更に焼鈍
時の密着焼付においては上記したようなフラットマスク
を30枚積層し、900℃の温度で焼鈍した後に密着の状況
を調査した。合金No.1〜４の各材は、次の第２表に示す
ような介在物の組成を有し、この介在物は液相線温度16
00℃以上の融点を有するもので、エッチング直前の合金
薄板での介在物は形状からして球状、大きさも幅でみ
て、３μｍ以下のものが主体となっており、エッチング
穿孔性でみても、孔界面のピットは見られず、エッチン
グ液の汚れも極めて少なく、エッチング性に優れてい
る。即ち本発明で意図する合金素材としては、このよう
にエッチング穿孔性に優れているものを基本としてい
る。
によるマッピングアナライザーにより調査した。又これ
らの合金薄板コイルにエッチング穿孔し、フラットマス
クを作製し、ムラ発生の状況を調査した。さらにエッチ
ング孔の界面を走査型電子顕微鏡により観察し、ピット
の有無を調べ、またエッチング液の汚れは、エッチング
穿孔後の残滓の量を調べることにより行った。更に焼鈍
時の密着焼付においては上記したようなフラットマスク
を30枚積層し、900℃の温度で焼鈍した後に密着の状況
を調査した。合金No.1〜４の各材は、次の第２表に示す
ような介在物の組成を有し、この介在物は液相線温度16
00℃以上の融点を有するもので、エッチング直前の合金
薄板での介在物は形状からして球状、大きさも幅でみ
て、３μｍ以下のものが主体となっており、エッチング
穿孔性でみても、孔界面のピットは見られず、エッチン
グ液の汚れも極めて少なく、エッチング性に優れてい
る。即ち本発明で意図する合金素材としては、このよう
にエッチング穿孔性に優れているものを基本としてい
る。
上記したような各調査の結果は何れも次の第３表に示す
如くであり、又各合金No.1〜５の介在物組成については
前述第５図のAl2O3−CaO−MgO系三元状態図に〜と
して示した。
如くであり、又各合金No.1〜５の介在物組成については
前述第５図のAl2O3−CaO−MgO系三元状態図に〜と
して示した。
即ち供試材ａ、ｉおよびｕの材料は、Si量、Si偏析率、
Ra（Ｌ）、Ra（Ｃ）、Rkr（Ｌ）、Rkr（Ｃ）、（Ra）＋
1/15（Rkr）−0.6、Sm（Ｌ）、Sm（Ｃ）の値が何れも本
発明範囲内にあり、エッチング穿孔時のムラ発生の問題
および焼鈍時の密着焼付はともに認められない。特に
ｉ、ｕの材料は|Sm（Ｌ）−Sm（Ｃ）｜も本発明規定内
となっており、エッチング穿孔時のムラ発生はまったく
なく、特に優れたムラ品位を有している。
Ra（Ｌ）、Ra（Ｃ）、Rkr（Ｌ）、Rkr（Ｃ）、（Ra）＋
1/15（Rkr）−0.6、Sm（Ｌ）、Sm（Ｃ）の値が何れも本
発明範囲内にあり、エッチング穿孔時のムラ発生の問題
および焼鈍時の密着焼付はともに認められない。特に
ｉ、ｕの材料は|Sm（Ｌ）−Sm（Ｃ）｜も本発明規定内
となっており、エッチング穿孔時のムラ発生はまったく
なく、特に優れたムラ品位を有している。
これに対し、供試材ｖ、ｗ、ｂのものは、何れも表面粗
度のパラメータが本発明範囲内にあるものの、Si量につ
いては本発明規定範囲下限を下まわるもの、その上限値
を越えるもの、あるいは偏析率が上限を越えるものであ
り、エッチング穿孔時のムラ発生、焼鈍時の密着焼付の
うち、１つまたは２つに問題が認められる。
度のパラメータが本発明範囲内にあるものの、Si量につ
いては本発明規定範囲下限を下まわるもの、その上限値
を越えるもの、あるいは偏析率が上限を越えるものであ
り、エッチング穿孔時のムラ発生、焼鈍時の密着焼付の
うち、１つまたは２つに問題が認められる。
なお供試材ｃ、ｄ、ｅ、ｆの各材は何れもSi量およびSi
の偏析率が本発明の規定範囲内にあるが、それぞれ本発
明におけるRaの上限、（Ra）＋1/15（Rkr）−0.6の値、
Rkrの下限、Rkrの上限から外れるものであって、エッチ
ング穿孔時のムラ発生、焼鈍時の密着焼付性のうち１つ
以上の性能が好ましくない。なお、ｇおよびｈの材料は
それぞれSmが本発明規定の上限を越えるもの、下限未満
のものであり、Ra、Rkr、（Ra）＋1/15（Rkr）＋0.6は
本発明規定内であるが、それぞれエッチング穿孔時のム
ラ発生、焼鈍時の密着焼付に問題が生じている。このよ
うに本発明はSmの適正制御のもとではじめて達成される
ことが理解される。
の偏析率が本発明の規定範囲内にあるが、それぞれ本発
明におけるRaの上限、（Ra）＋1/15（Rkr）−0.6の値、
Rkrの下限、Rkrの上限から外れるものであって、エッチ
ング穿孔時のムラ発生、焼鈍時の密着焼付性のうち１つ
以上の性能が好ましくない。なお、ｇおよびｈの材料は
それぞれSmが本発明規定の上限を越えるもの、下限未満
のものであり、Ra、Rkr、（Ra）＋1/15（Rkr）＋0.6は
本発明規定内であるが、それぞれエッチング穿孔時のム
ラ発生、焼鈍時の密着焼付に問題が生じている。このよ
うに本発明はSmの適正制御のもとではじめて達成される
ことが理解される。
即ち本発明で目的とする効果は、Si量、Siの偏析率とい
う成分的配慮に加え、表面粗度の適正化が図られて始め
て達成されることが理解される。
う成分的配慮に加え、表面粗度の適正化が図られて始め
て達成されることが理解される。
実施例２ 前記した実施例１の供試材ａの作製のために用いた熱延
コイルおよび供試材ｕの作製に用いた熱延コイルを脱ス
ケール後、冷延と焼鈍を繰返し最終冷延または調質圧延
時にダルロールを用いて圧延し、次の第４表に示すよう
な表面粗度を有する板厚0.25mmの合金板、（供試材ｊ、
ｋ、ｌ、ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔおよびｘ）を
得た。
コイルおよび供試材ｕの作製に用いた熱延コイルを脱ス
ケール後、冷延と焼鈍を繰返し最終冷延または調質圧延
時にダルロールを用いて圧延し、次の第４表に示すよう
な表面粗度を有する板厚0.25mmの合金板、（供試材ｊ、
ｋ、ｌ、ｍ、ｎ、ｏ、ｐ、ｑ、ｒ、ｓ、ｔおよびｘ）を
得た。
これらの供試材における板面でのSi偏析率は実施例１と
同じ方法で調べたが何れも２〜７％の範囲であった。又
これらの合金薄板コイルをエッチング穿孔してフラット
マスクを作製し、ムラ発生状況を調査した。更に焼鈍時
の密着焼付は上記したフラットマスクを50枚積層し第４
表に示す温度で焼鈍してその後の密着状況を調べた。こ
れらの結果は何れも次の第４表に併せて示す如くであ
る。
同じ方法で調べたが何れも２〜７％の範囲であった。又
これらの合金薄板コイルをエッチング穿孔してフラット
マスクを作製し、ムラ発生状況を調査した。更に焼鈍時
の密着焼付は上記したフラットマスクを50枚積層し第４
表に示す温度で焼鈍してその後の密着状況を調べた。こ
れらの結果は何れも次の第４表に併せて示す如くであ
る。
なお、この実施例において用いられたダルロール、圧延
条件などについては前記した実施例１に述べたところと
同様であるが、ロールの表面粗度は加工後においてRa:
0.45〜1.0μｍ、Rkr:3〜12、Sm:40〜200μｍのものであ
った。
条件などについては前記した実施例１に述べたところと
同様であるが、ロールの表面粗度は加工後においてRa:
0.45〜1.0μｍ、Rkr:3〜12、Sm:40〜200μｍのものであ
った。
即ち供試材ｊは、Si量、Si偏析率および表面粗度が何れ
も本発明規定範囲内で、Ｓ量は0.0005％のものであり、
エッチング穿孔時のムラ発生はまったくなくムラ品位は
極めて優れており、しかもこの実施例の焼鈍条件におい
ても密着焼付は発生していない。
も本発明規定範囲内で、Ｓ量は0.0005％のものであり、
エッチング穿孔時のムラ発生はまったくなくムラ品位は
極めて優れており、しかもこの実施例の焼鈍条件におい
ても密着焼付は発生していない。
これに対し供試材ｔは、Si量、Siの偏析率および表面粗
度が本発明の規定範囲内のもので、Ｓ量が0.0025％のも
のであり、エッチング穿孔時のムラ発生はないが、焼鈍
時の密着焼付が一部で発生している。このように本発明
の構成要件を満たす場合であっても焼鈍温度が実施例１
より高温となるような場合にはＳ量を低くすることによ
り密着焼付の発生を防止し得ることが理解される。
度が本発明の規定範囲内のもので、Ｓ量が0.0025％のも
のであり、エッチング穿孔時のムラ発生はないが、焼鈍
時の密着焼付が一部で発生している。このように本発明
の構成要件を満たす場合であっても焼鈍温度が実施例１
より高温となるような場合にはＳ量を低くすることによ
り密着焼付の発生を防止し得ることが理解される。
更には、供試材ｘはSi量、Siの偏析率および表面粗度が
本発明の規定の範囲内で、Ｓ量が0.0002％のものであ
り、エッチング穿孔時のムラ発生はなく、しかも焼鈍温
度は供試材ｊの場合よりも高温であるが、密着焼付は発
生していない。このようにＳ量を低減することにより11
00℃の高温でも密着焼付の発生防止が達成されることが
明らかである。
本発明の規定の範囲内で、Ｓ量が0.0002％のものであ
り、エッチング穿孔時のムラ発生はなく、しかも焼鈍温
度は供試材ｊの場合よりも高温であるが、密着焼付は発
生していない。このようにＳ量を低減することにより11
00℃の高温でも密着焼付の発生防止が達成されることが
明らかである。
また供試材ｎはRaの面内異方性およびRkrの面内異方性
以外は本発明の規定範囲内のものであって、この材料は
エッチング穿孔時のムラ発生はなく、900℃の焼鈍では
密着焼付が発生していない。これに対し供試材ｍは供試
材ｎのフラットマスクを950℃で焼鈍した場合であっ
て、この場合は焼鈍時の密着焼付が発生している。
以外は本発明の規定範囲内のものであって、この材料は
エッチング穿孔時のムラ発生はなく、900℃の焼鈍では
密着焼付が発生していない。これに対し供試材ｍは供試
材ｎのフラットマスクを950℃で焼鈍した場合であっ
て、この場合は焼鈍時の密着焼付が発生している。
なお供試材ｋ、ｌの各材も夫々Raの面内異方性、Rkrの
面内異方性以外は本発明の規定範囲内のものであるが、
これらの材料でも950℃の焼鈍で密着焼付きが一部に発
生している。これらの供試材ｋ、ｌ、ｍに対し、供試材
ｊのものではRaの面内異方性およびRkrの面内異方性も
含め、すべてが本発明規定範囲内であって、この場合に
は焼鈍温度が950℃でも密着焼付は発生しておらず、特
にSmの面内異方性も本発明規定内にあることにより、エ
ッチング穿孔時のムラ品位も極めて高いレベルにあるこ
とは前述の通りである。
面内異方性以外は本発明の規定範囲内のものであるが、
これらの材料でも950℃の焼鈍で密着焼付きが一部に発
生している。これらの供試材ｋ、ｌ、ｍに対し、供試材
ｊのものではRaの面内異方性およびRkrの面内異方性も
含め、すべてが本発明規定範囲内であって、この場合に
は焼鈍温度が950℃でも密着焼付は発生しておらず、特
にSmの面内異方性も本発明規定内にあることにより、エ
ッチング穿孔時のムラ品位も極めて高いレベルにあるこ
とは前述の通りである。
このように900℃で焼鈍密着が発生しない材料であって
も、焼鈍温度をより高温とする際にはRaおよびRkrの面
内異方性について適正化が必要である。
も、焼鈍温度をより高温とする際にはRaおよびRkrの面
内異方性について適正化が必要である。
また供試材ｏ、ｐ、ｑ、ｒはRQaのみが本発明規定外の
ものである。供試材ｏ、ｑは焼鈍温度が850℃の場合で
あり、密着焼付は発生していないが、供試材ｐ、ｒは焼
鈍温度が900℃の場合であり、密着焼付は一部で発生し
ている。これらに対して供試材ＳはRQaも含め、すべて
の条件が本発明範囲内にある場合であり、900℃焼鈍で
も密着焼付は発生していない。このように、同一のＳ量
でも、RQaを本発明範囲内とすることにより密着焼付の
発生する温度を高くすることができる。
ものである。供試材ｏ、ｑは焼鈍温度が850℃の場合で
あり、密着焼付は発生していないが、供試材ｐ、ｒは焼
鈍温度が900℃の場合であり、密着焼付は一部で発生し
ている。これらに対して供試材ＳはRQaも含め、すべて
の条件が本発明範囲内にある場合であり、900℃焼鈍で
も密着焼付は発生していない。このように、同一のＳ量
でも、RQaを本発明範囲内とすることにより密着焼付の
発生する温度を高くすることができる。
「発明の効果」 以上説明したような本発明によるときは、エッチング穿
孔性に優れ、又穿孔時のムラ発生を的確に防止し、且つ
穿孔後のフラットマスクを焼鈍するに当っての密着焼付
をも適切に防止したFe−Ni系インバー合金のシャドウマ
スク用薄板を提供し、又その好ましい製造法を得しめて
高品位のフラットマスクを製造でき、かつ焼鈍時の歩留
りの向上、コストの低減の可能などがあげられ、その経
済的効果は大きいなど工業的に優れた発明である。
孔性に優れ、又穿孔時のムラ発生を的確に防止し、且つ
穿孔後のフラットマスクを焼鈍するに当っての密着焼付
をも適切に防止したFe−Ni系インバー合金のシャドウマ
スク用薄板を提供し、又その好ましい製造法を得しめて
高品位のフラットマスクを製造でき、かつ焼鈍時の歩留
りの向上、コストの低減の可能などがあげられ、その経
済的効果は大きいなど工業的に優れた発明である。
図面は本発明の技術的内容を示すものであって、第１図
はエッチング穿孔性、焼鈍時の密着焼付きとRa、Rkrの
関係を示した図表、第２図はフラットマスクの焼鈍密着
性とＳ量の関係を焼鈍時フラットマスクの積層数30枚の
場合について示した図表、第３図は密着焼付きを生じな
い臨界焼鈍温度とＳ量、RQaの関係を示した図表、第４
図、第５図はAl2O3−CaO−MgO系三元状態図である。
はエッチング穿孔性、焼鈍時の密着焼付きとRa、Rkrの
関係を示した図表、第２図はフラットマスクの焼鈍密着
性とＳ量の関係を焼鈍時フラットマスクの積層数30枚の
場合について示した図表、第３図は密着焼付きを生じな
い臨界焼鈍温度とＳ量、RQaの関係を示した図表、第４
図、第５図はAl2O3−CaO−MgO系三元状態図である。
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−238003（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−39344（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−243782（ＪＰ，Ａ)
Claims (8)
- 【請求項１】Si:0.01〜0.15wt％、Ni:34〜38wt％および
Mn:0.40％以下を含有し、残部がFeおよび不可避的不純
物から成り、かつその合金鋼帯の板厚はフラットマスク
の多数枚を積み重ねて焼鈍処理する工程を含むシャドウ
マスクの製造に供する該フラットマスクと実質上同等で
あり、その表面粗度（Ra）が0.3〜0.8μｍ、断面曲線の
凹凸の平均間隔（Sm、以下単にSmと略す）が70〜160μ
ｍで、しかも粗さ曲線の高さ方向のとがり指標であるク
ルトシス（Rkr）が３〜７で且つ の条件を満足し、またエッチング直前での合金板の表面
におけるSiの成分偏析率 が10％以下であることを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。 - 【請求項２】Si:0.01〜0.15wt％、Ni:34〜38wt％および
Mn:0.40％以下を含有し、残部がFeおよび不可避的不純
物から成り、かつその合金鋼帯の板厚はフラットマスク
の多数枚を積み重ねて焼鈍処理する工程を含むシャドウ
マスクの製造に供する該フラットマスクと実質上同等で
あり、その表面粗度（Ra）が0.3〜0.8μｍ、（Sm）が70
〜160μｍで、しかも粗さ曲線の高さ方向とがり指標で
あるクルトシス（Rkr）が３〜７で且つ 且つ、粗さ曲線の平均傾斜角（RQa）が0.03〜0.05の条
件を満足し、またエッチング直前での合金板の表面にお
けるSiの成分偏析率 が10％以下であることを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。 - 【請求項３】請求項１の成分および表面粗度を有し、し
かも該表面粗度の異方性が、下記式、 |Ra（Ｌ）−Ra（ｃ）｜≦0.1μｍ |Rkr（Ｌ）−Rkr（ｃ）｜≦0.5 |Sm（Ｌ）−Sm（ｃ）｜≦５μｍ 但しRa（Ｌ）、Rkr（Ｌ）、Sm（Ｌ）は圧延方向におけ
る測定値で、Ra（ｃ）、Rkr（ｃ）、Sm（ｃ）は圧延方
向と垂直な方向における測定値である。 の関係を満足することを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。 - 【請求項４】請求項２の成分および表面粗度を有し、し
かも該表面粗度の異方性が、下記式、 |Ra（Ｌ）−Ra（ｃ）｜≦0.1μｍ |Rkr（Ｌ）−Rkr（ｃ）｜≦0.5 |Sm（Ｌ）−Sm（ｃ）｜≦５μｍ 但しRa（Ｌ）、Rkr（Ｌ）、Sm（Ｌ）は圧延方向におけ
る測定値で、Ra（ｃ）、Rkr（ｃ）、Sm（ｃ）は圧延方
向と垂直な方向における測定値である。 の関係を満足することを特徴とするシャドウマスク用Fe
−Ni合金薄板。 - 【請求項５】請求項１の成分を有する薄板を製造するに
当り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、請求項１の表面粗度を該薄板の表面に付与し、Ｓ量
との関係で第２図に示す臨界温度以内の温度条件で焼鈍
することを特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板
の製造方法。 - 【請求項６】請求項１の成分を有する薄板を製造するに
当り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、請求項２の表面粗度を該薄板の表面に付与し、Ｓ量
との関係で第２図に示す臨界温度以内の温度条件で焼鈍
することを特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板
の製造方法。 - 【請求項７】請求項１の成分を有する薄板を製造するに
当り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、請求項３の表面粗度を該薄板の表面に付与し、Ｓ量
との関係で第２図に示す臨界温度以内の温度条件で焼鈍
することを特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板
の製造方法。 - 【請求項８】請求項１の成分を有する薄板を製造するに
当り、その最終冷延または調質圧延時にダルロールを用
い、請求項４の表面粗度を該薄板の表面に付与し、Ｓ量
との関係で第２図に示す臨界温度以内の温度条件で焼鈍
することを特徴とするシャドウマスク用Fe−Ni合金薄板
の製造方法。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2218946A JPH07116559B2 (ja) | 1990-08-22 | 1990-08-22 | シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 |
| US07/723,923 US5127965A (en) | 1990-07-17 | 1991-07-01 | Fe-ni alloy sheet for shadow mask and method for manufacturing same |
| DE4123567A DE4123567C2 (de) | 1990-07-17 | 1991-07-16 | Fe-Ni-Legierungsblech für Lochmasken und Verfahren zu seiner Herstellung |
| KR1019910012099A KR930009412B1 (ko) | 1990-07-17 | 1991-07-16 | 섀도우 마스크용 Fe-Ni계 합금 박판 및 그 제조방법 |
| FR9109047A FR2664908A1 (fr) | 1990-07-17 | 1991-07-17 | Feuille d'alliage fer-nickel pour masque de tube de television. |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2218946A JPH07116559B2 (ja) | 1990-08-22 | 1990-08-22 | シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04103744A JPH04103744A (ja) | 1992-04-06 |
| JPH07116559B2 true JPH07116559B2 (ja) | 1995-12-13 |
Family
ID=16727812
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2218946A Expired - Fee Related JPH07116559B2 (ja) | 1990-07-17 | 1990-08-22 | シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH07116559B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3316909B2 (ja) * | 1992-01-31 | 2002-08-19 | 日本鋼管株式会社 | 黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板 |
| JP2711979B2 (ja) * | 1993-04-28 | 1998-02-10 | 東洋鋼鈑株式会社 | 色選別電極用素材およびその製造法 |
| JP6628082B2 (ja) * | 2015-01-20 | 2020-01-08 | 日立金属株式会社 | Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法 |
| JP6598007B2 (ja) * | 2015-09-30 | 2019-10-30 | 日立金属株式会社 | Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板の製造方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6139344A (ja) * | 1984-07-31 | 1986-02-25 | Toshiba Corp | シャドウマスク |
| JPS62238003A (ja) * | 1986-04-07 | 1987-10-19 | Nisshin Steel Co Ltd | シャドウマスクの製造法 |
| JPS62243782A (ja) * | 1986-04-15 | 1987-10-24 | Nippon Mining Co Ltd | シヤドウマスク用金属薄板の製造方法 |
| JPS6452022A (en) * | 1987-08-19 | 1989-02-28 | Nippon Mining Co | Production of shadow mask material |
| JPH0668128B2 (ja) * | 1988-03-31 | 1994-08-31 | 新日本製鐵株式会社 | シャドウマスク用のＦｅ−Ｎｉ合金板の製造方法 |
| JPH03193847A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-23 | Nippon Mining Co Ltd | シャドウマスク |
| JPH03193846A (ja) * | 1989-12-22 | 1991-08-23 | Nippon Mining Co Ltd | シャドウマスク |
-
1990
- 1990-08-22 JP JP2218946A patent/JPH07116559B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04103744A (ja) | 1992-04-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR950004936B1 (ko) | 에칭 천공성이 우수하고 소둔시의 소부를 방지하며 가스발생을 억제하는 섀도우 마스크용 Fe-Ni계 합금 박판 및 그 제조방법 | |
| EP0468059B1 (en) | Thin sheet of iron-nickel alloy for shadow mask and production thereof | |
| KR930009412B1 (ko) | 섀도우 마스크용 Fe-Ni계 합금 박판 및 그 제조방법 | |
| JP2590657B2 (ja) | 焼鈍時の密着焼付防止性およびガス放散性に優れたＦｅ−Ｎｉ合金およびその製造方法 | |
| RU2109839C1 (ru) | Холоднокатаный стальной лист для теневой маски и способ его изготовления | |
| JPH0826437B2 (ja) | シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 | |
| JPH0762217B2 (ja) | シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 | |
| JPH07116558B2 (ja) | シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 | |
| JP2871414B2 (ja) | プレス成形性に優れたシャドウマスク用合金薄板およびその製造方法 | |
| JPH07116559B2 (ja) | シャドウマスク用Ｆｅ―Ｎｉ合金薄板およびその製造方法 | |
| JP3327903B2 (ja) | Ｆｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用材料 | |
| JP2929881B2 (ja) | エッチング加工性に優れたシャドウマスク用金属薄板 | |
| JP3353321B2 (ja) | プレス成形性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板の製造方法及びプレス成形性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板 | |
| JP3584209B2 (ja) | シャドウマスク素材用スラブ、そのスラブの製造方法、およびすじむら品位および表面品質に優れたシャドウマスク素材の製造方法 | |
| JP3538850B2 (ja) | プレス成形性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金薄板およびその製造方法 | |
| JP3360033B2 (ja) | シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金及びその製造方法 | |
| JP3288656B2 (ja) | Ｆｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用材料 | |
| JP3327902B2 (ja) | Ｆｅ−Ｎｉ系シャドウマスク用材料 | |
| JP3367147B2 (ja) | プレス成形性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板とその製造方法 | |
| JP3079897B2 (ja) | プレス成形性に優れたカラー受像管用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板とその製造方法 | |
| JP3501004B2 (ja) | エッチング穿孔性に優れたＦｅ−Ｎｉ系合金板及びシャドウマスク | |
| JP3326897B2 (ja) | シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板 | |
| KR940008930B1 (ko) | 섀도우 마스크용 Fe-Ni계 합금 박판 및 그 제조방법 | |
| JPH06336655A (ja) | 黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板 | |
| JPH05195160A (ja) | 黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ合金 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |