JPH06336655A - 黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板 - Google Patents
黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板Info
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- JPH06336655A JPH06336655A JP15288693A JP15288693A JPH06336655A JP H06336655 A JPH06336655 A JP H06336655A JP 15288693 A JP15288693 A JP 15288693A JP 15288693 A JP15288693 A JP 15288693A JP H06336655 A JPH06336655 A JP H06336655A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 黒化処理性が優れ、且つ黒化膜を従来よりも
短時間の黒化処理で形成することが可能なシャドウマス
ク用Ｆｅ−Ｎｉ系およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板を
得ること 【構成】 低熱膨張係数が得られる所定量のＮｉ、Ｃｏ
を含有し、Ｈ≦１．９ｐｐｍ、Ｍｎ≦０．３５ｗｔ％、
Ａｌ≦０．０２０ｗｔ％、Ｓｉ≦０．０９ｗｔ％、Ｃｒ
≦：０．０６ｗｔ％、Ｔｉ≦：０．０３ｗｔ％、Ｍｏ
≦：０．０６ｗｔ％、Ｗ≦：０．０４ｗｔ％、Ｎｂ≦：
０．０３ｗｔ％、Ｖ≦：０．０２ｗｔ％、Ｃｕ≦：０．
０３ｗｔ％を含有し、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ≦０．１
０ｗｔ％であり、残部Ｆｅおよび不可避不純物からな
り、黒化処理直前における板表面での｛２１０｝結晶面
の集積度が１６％以下である。
短時間の黒化処理で形成することが可能なシャドウマス
ク用Ｆｅ−Ｎｉ系およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板を
得ること 【構成】 低熱膨張係数が得られる所定量のＮｉ、Ｃｏ
を含有し、Ｈ≦１．９ｐｐｍ、Ｍｎ≦０．３５ｗｔ％、
Ａｌ≦０．０２０ｗｔ％、Ｓｉ≦０．０９ｗｔ％、Ｃｒ
≦：０．０６ｗｔ％、Ｔｉ≦：０．０３ｗｔ％、Ｍｏ
≦：０．０６ｗｔ％、Ｗ≦：０．０４ｗｔ％、Ｎｂ≦：
０．０３ｗｔ％、Ｖ≦：０．０２ｗｔ％、Ｃｕ≦：０．
０３ｗｔ％を含有し、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ≦０．１
０ｗｔ％であり、残部Ｆｅおよび不可避不純物からな
り、黒化処理直前における板表面での｛２１０｝結晶面
の集積度が１６％以下である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、黒化処理性に優れた
シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎ
ｉ−Ｃｏ系合金薄板に関するものである。
シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎ
ｉ−Ｃｏ系合金薄板に関するものである。
【従来の技術】近年、カラーテレビの高品位化に伴い、
色ずれの問題に対処できるシャドウマスク用合金とし
て、３４〜３８ｗｔ％のＮｉを含有するＦｅ−Ｎｉ系合
金が使用されている。このＦｅ−Ｎｉ系合金は、シャド
ウマスク用材料として従来から使用されてきた低炭素鋼
に較べ、熱膨張率が著しく小さい。このためＦｅ−Ｎｉ
系合金によって作られたシャドウマスクは、電子ビーム
により加熱されても熱膨張による色ずれの問題は生じに
くい。
色ずれの問題に対処できるシャドウマスク用合金とし
て、３４〜３８ｗｔ％のＮｉを含有するＦｅ−Ｎｉ系合
金が使用されている。このＦｅ−Ｎｉ系合金は、シャド
ウマスク用材料として従来から使用されてきた低炭素鋼
に較べ、熱膨張率が著しく小さい。このためＦｅ−Ｎｉ
系合金によって作られたシャドウマスクは、電子ビーム
により加熱されても熱膨張による色ずれの問題は生じに
くい。
【０００２】通常、シャドウマスク用合金薄板は、連続
鋳造法または造塊法によって得られた合金塊に、分塊圧
延、熱間圧延および冷間圧延・焼鈍を施すことにより製
造される。また、このようにして製造されたシャドウマ
スク用合金薄板は、通常、以下のような工程によってシ
ャドウマスクに加工される。すなわち、シャドウマスク
用合金薄板にフォトエッチングによって電子ビームの通
過孔を形成し（以下、このエッチングによって穿孔され
たままのシャドウマスク用合金薄板を「フラットマス
ク」という）、このフラットマスクに焼鈍を施した後、
ブラウン管の形状に合うように曲面形状にプレス成形
し、しかる後、それをシャドウマスクに組立て、その表
面上に黒化処理を施す。
鋳造法または造塊法によって得られた合金塊に、分塊圧
延、熱間圧延および冷間圧延・焼鈍を施すことにより製
造される。また、このようにして製造されたシャドウマ
スク用合金薄板は、通常、以下のような工程によってシ
ャドウマスクに加工される。すなわち、シャドウマスク
用合金薄板にフォトエッチングによって電子ビームの通
過孔を形成し（以下、このエッチングによって穿孔され
たままのシャドウマスク用合金薄板を「フラットマス
ク」という）、このフラットマスクに焼鈍を施した後、
ブラウン管の形状に合うように曲面形状にプレス成形
し、しかる後、それをシャドウマスクに組立て、その表
面上に黒化処理を施す。
【０００３】しかし、このような従来のＦｅ−Ｎｉ系合
金のシャドウマスク用材料は、従来から使用されている
低炭素鋼のシャドウマスク用材料に較べて黒化処理性に
劣るという大きな問題を有している。すなわち、Ｆｅ−
Ｎｉ系合金のシャドウマスク用材料は、黒化処理により
形成される酸化膜（以下、黒化膜という）の黒色度、黒
色度の均一性および密着性が低炭素鋼のシャドウマスク
用材料に較べて劣っている。従来、このようなＦｅ−Ｎ
ｉ系合金の黒化処理性の問題を解決するために、以下の
ような技術が知られている。
金のシャドウマスク用材料は、従来から使用されている
低炭素鋼のシャドウマスク用材料に較べて黒化処理性に
劣るという大きな問題を有している。すなわち、Ｆｅ−
Ｎｉ系合金のシャドウマスク用材料は、黒化処理により
形成される酸化膜（以下、黒化膜という）の黒色度、黒
色度の均一性および密着性が低炭素鋼のシャドウマスク
用材料に較べて劣っている。従来、このようなＦｅ−Ｎ
ｉ系合金の黒化処理性の問題を解決するために、以下の
ような技術が知られている。
【０００４】従来技術１： 特開昭６１−１９４０５９
号公報には、Ｆｅ−Ｎｉ系インバー合金に黒色度が良好
で且つ緻密で密着性の高い黒化膜を形成させるために、
黒化処理雰囲気中の水蒸気量を適正に制御し、且つ前段
は酸化力の弱い雰囲気中で、また後段は酸化力の強い雰
囲気中でそれぞれ処理を行う方法が提案されている。 従来技術２： 特開平３−１９９３８４号公報では、Ｆ
ｅ−Ｎｉ系インバー合金の表面に緻密で密着性の高い黒
化膜を形成させるために、黒化処理条件を適正化（大気
中４００〜８００℃での処理）することに加え、その処
理前に露点０℃以上の雰囲気中で４００〜８００℃の焼
鈍処理を行うことが提案されている。 従来技術３： 特開昭６１−４２８３８号公報では、Ｆ
ｅ−Ｎｉ系インバー合金の黒化膜の熱輻射率を向上させ
るために、合金中にＭｎを０．８〜１０ｗｔ％添加し、
黒化膜をＦｅ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｏからなるスピネル構造と
することが提案されている。
号公報には、Ｆｅ−Ｎｉ系インバー合金に黒色度が良好
で且つ緻密で密着性の高い黒化膜を形成させるために、
黒化処理雰囲気中の水蒸気量を適正に制御し、且つ前段
は酸化力の弱い雰囲気中で、また後段は酸化力の強い雰
囲気中でそれぞれ処理を行う方法が提案されている。 従来技術２： 特開平３−１９９３８４号公報では、Ｆ
ｅ−Ｎｉ系インバー合金の表面に緻密で密着性の高い黒
化膜を形成させるために、黒化処理条件を適正化（大気
中４００〜８００℃での処理）することに加え、その処
理前に露点０℃以上の雰囲気中で４００〜８００℃の焼
鈍処理を行うことが提案されている。 従来技術３： 特開昭６１−４２８３８号公報では、Ｆ
ｅ−Ｎｉ系インバー合金の黒化膜の熱輻射率を向上させ
るために、合金中にＭｎを０．８〜１０ｗｔ％添加し、
黒化膜をＦｅ、Ｎｉ、Ｍｎ、Ｏからなるスピネル構造と
することが提案されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の従来技
術には以下のような問題がある。まず、従来技術１は、
黒化処理を特別な雰囲気で行うために従来用いられてい
る黒化処理炉が使用できず、このため工業上の実用性に
乏しいという根本的な問題がある。また、この技術では
素材の成分によっては黒色度が必ずしも均一にならず、
優れた熱輻射性能を均一に発揮することができないとい
う欠点もある。また、従来技術２は、黒化処理前の焼鈍
処理を特別な条件（雰囲気、温度）で行う必要があるた
め工業上の実用性に乏しく、また、黒色度が必ずしも均
一にならず、優れた熱輻射性能を均一に発揮することが
できないという欠点がある。さらに、従来技術３は、酸
化し易いＭｎを多量に含むため合金板の製造工程中の熱
処理時に強固な酸化膜が形成され、この酸化膜のために
エッチング性が劣るという欠点がある。また、固溶強化
元素であるＭｎを多量に含んでいるため強度が上昇し、
プレス成形性も劣っている。
術には以下のような問題がある。まず、従来技術１は、
黒化処理を特別な雰囲気で行うために従来用いられてい
る黒化処理炉が使用できず、このため工業上の実用性に
乏しいという根本的な問題がある。また、この技術では
素材の成分によっては黒色度が必ずしも均一にならず、
優れた熱輻射性能を均一に発揮することができないとい
う欠点もある。また、従来技術２は、黒化処理前の焼鈍
処理を特別な条件（雰囲気、温度）で行う必要があるた
め工業上の実用性に乏しく、また、黒色度が必ずしも均
一にならず、優れた熱輻射性能を均一に発揮することが
できないという欠点がある。さらに、従来技術３は、酸
化し易いＭｎを多量に含むため合金板の製造工程中の熱
処理時に強固な酸化膜が形成され、この酸化膜のために
エッチング性が劣るという欠点がある。また、固溶強化
元素であるＭｎを多量に含んでいるため強度が上昇し、
プレス成形性も劣っている。
【０００６】また、最近ではブラウン管製造の生産性向
上、コスト低減化のために、黒化処理の低温化、短時間
化に対する要望が高まりつつある。従来行われている黒
色化処理は、例えば、先に述べた従来技術１では５００
〜７００℃で１０分以上の処理の後、５５０〜７５０℃
で１０分以上の処理が行われ、従来技術２では４５０℃
で１８０分、５５０℃で１００分、６００℃で６０分の
処理が行われ、また、従来技術３では６２０℃で３０分
の処理が行われているように、少なくとも４５０℃では
１８０分、５００℃以上でも１０分以上という長時間の
処理が必要であり、これよりも低温度、短時間で処理し
た場合、黒化膜の所望の黒色度、黒色度の均一性および
密着性が得られないという問題がある。
上、コスト低減化のために、黒化処理の低温化、短時間
化に対する要望が高まりつつある。従来行われている黒
色化処理は、例えば、先に述べた従来技術１では５００
〜７００℃で１０分以上の処理の後、５５０〜７５０℃
で１０分以上の処理が行われ、従来技術２では４５０℃
で１８０分、５５０℃で１００分、６００℃で６０分の
処理が行われ、また、従来技術３では６２０℃で３０分
の処理が行われているように、少なくとも４５０℃では
１８０分、５００℃以上でも１０分以上という長時間の
処理が必要であり、これよりも低温度、短時間で処理し
た場合、黒化膜の所望の黒色度、黒色度の均一性および
密着性が得られないという問題がある。
【０００７】本発明はこのような従来の問題に鑑みなさ
れたもので、黒色度、黒色度の均一性および密着性が優
れ、且つ高い熱輻射能を有する黒化膜を有し、しかも、
このような黒化膜を従来よりも短時間の黒化処理で形成
することが可能なシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄
板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板の提供を目的とす
る。
れたもので、黒色度、黒色度の均一性および密着性が優
れ、且つ高い熱輻射能を有する黒化膜を有し、しかも、
このような黒化膜を従来よりも短時間の黒化処理で形成
することが可能なシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄
板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板の提供を目的とす
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、黒化処理
性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およ
びＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板を開発すべく鋭意研究を
重ねた結果、合金薄板の成分組成と特定の結晶面の集積
度を所定の範囲に規制することにより、優れた黒化処理
性が得られ、所望の性能を有する黒化膜を従来よりも短
時間の黒化処理で形成できることを見出した。本発明は
このような知見に基づきなされたもので、その特徴とす
る構成は以下の通りである。
性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およ
びＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板を開発すべく鋭意研究を
重ねた結果、合金薄板の成分組成と特定の結晶面の集積
度を所定の範囲に規制することにより、優れた黒化処理
性が得られ、所望の性能を有する黒化膜を従来よりも短
時間の黒化処理で形成できることを見出した。本発明は
このような知見に基づきなされたもので、その特徴とす
る構成は以下の通りである。
【０００９】（１） Ｎｉ：３４〜３８ｗｔ％、Ｈ：
１．９ｐｐｍ以下、Ｍｎ：０．３５ｗｔ％以下、Ａｌ：
０．０２０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０９ｗｔ％以下、Ｃ
ｒ：０．０６ｗｔ％以下、Ｔｉ：０．０３ｗｔ％以下、
Ｍｏ：０．０６ｗｔ％以下、Ｗ：０．０４ｗｔ％以下、
Ｎｂ：０．０３ｗｔ％以下、Ｖ：０．０２ｗｔ％以下、
Ｃｕ：０．０３ｗｔ％以下を含有し、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ
＋Ｓｉ≦０．１０ｗｔ％であり、残部Ｆｅおよび不可避
不純物からなり、黒化処理直前における板表面での｛２
１０｝結晶面の集積度が１６％以下である黒化処理性に
優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板。
１．９ｐｐｍ以下、Ｍｎ：０．３５ｗｔ％以下、Ａｌ：
０．０２０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０９ｗｔ％以下、Ｃ
ｒ：０．０６ｗｔ％以下、Ｔｉ：０．０３ｗｔ％以下、
Ｍｏ：０．０６ｗｔ％以下、Ｗ：０．０４ｗｔ％以下、
Ｎｂ：０．０３ｗｔ％以下、Ｖ：０．０２ｗｔ％以下、
Ｃｕ：０．０３ｗｔ％以下を含有し、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ
＋Ｓｉ≦０．１０ｗｔ％であり、残部Ｆｅおよび不可避
不純物からなり、黒化処理直前における板表面での｛２
１０｝結晶面の集積度が１６％以下である黒化処理性に
優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板。
【０００１０】（２） Ｎｉ：３４〜３８ｗｔ％、Ｈ：
１．９ｐｐｍ以下、Ｍｎ：０．３５ｗｔ％以下、Ａｌ：
０．０２０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０９ｗｔ％以下、Ｃ
ｒ：０．０６ｗｔ％以下、Ｔｉ：０．０３ｗｔ％以下、
Ｍｏ：０．０６ｗｔ％以下、Ｗ：０．０４ｗｔ％以下、
Ｎｂ：０．０３ｗｔ％以下、Ｖ：０．０２ｗｔ％以下、
Ｃｕ：０．０３ｗｔ％以下、Ｃｏ：１ｗｔ％以下を含有
し、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ≦０．１０ｗｔ％であり、
残部Ｆｅおよび不可避不純物からなり、黒化処理直前に
おける板表面での｛２１０｝結晶面の集積度が１６％以
下である黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎ
ｉ系合金薄板。
１．９ｐｐｍ以下、Ｍｎ：０．３５ｗｔ％以下、Ａｌ：
０．０２０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０９ｗｔ％以下、Ｃ
ｒ：０．０６ｗｔ％以下、Ｔｉ：０．０３ｗｔ％以下、
Ｍｏ：０．０６ｗｔ％以下、Ｗ：０．０４ｗｔ％以下、
Ｎｂ：０．０３ｗｔ％以下、Ｖ：０．０２ｗｔ％以下、
Ｃｕ：０．０３ｗｔ％以下、Ｃｏ：１ｗｔ％以下を含有
し、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ≦０．１０ｗｔ％であり、
残部Ｆｅおよび不可避不純物からなり、黒化処理直前に
おける板表面での｛２１０｝結晶面の集積度が１６％以
下である黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎ
ｉ系合金薄板。
【０００１１】（３） Ｎｉ：２８〜３８ｗｔ％、Ｈ：
１．９ｐｐｍ以下、Ｍｎ：０．３５ｗｔ％以下、Ａｌ：
０．０２０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０９ｗｔ％以下、Ｃ
ｒ：０．０６ｗｔ％以下、Ｔｉ：０．０３ｗｔ％以下、
Ｍｏ：０．０６ｗｔ％以下、Ｗ：０．０４ｗｔ％以下、
Ｎｂ：０．０３ｗｔ％以下、Ｖ：０．０２ｗｔ％以下、
Ｃｕ：０．０３ｗｔ％以下、Ｃｏ：１ｗｔ％超〜７ｗｔ
％以下を含有し、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ≦０．１０ｗ
ｔ％であり、残部Ｆｅおよび不可避不純物からなり、黒
化処理直前における板表面での｛２１０｝結晶面の集積
度が１６％以下である黒化処理性に優れたシャドウマス
ク用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板。
１．９ｐｐｍ以下、Ｍｎ：０．３５ｗｔ％以下、Ａｌ：
０．０２０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０９ｗｔ％以下、Ｃ
ｒ：０．０６ｗｔ％以下、Ｔｉ：０．０３ｗｔ％以下、
Ｍｏ：０．０６ｗｔ％以下、Ｗ：０．０４ｗｔ％以下、
Ｎｂ：０．０３ｗｔ％以下、Ｖ：０．０２ｗｔ％以下、
Ｃｕ：０．０３ｗｔ％以下、Ｃｏ：１ｗｔ％超〜７ｗｔ
％以下を含有し、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ≦０．１０ｗ
ｔ％であり、残部Ｆｅおよび不可避不純物からなり、黒
化処理直前における板表面での｛２１０｝結晶面の集積
度が１６％以下である黒化処理性に優れたシャドウマス
ク用Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板。
【０００１２】
【作用】以下、本発明の詳細をその限定理由とともに説
明する。まず、成分組成の限定理由は以下の通りであ
る。色ずれの発生を防止するためにシャドウマスク用Ｆ
ｅ−Ｎｉ系合金薄板に要求される３０〜１００℃の温度
域における平均熱膨張係数の上限値は、２．０×（１／
１０6）／℃である。熱膨張係数は合金のＮｉ量に依存
し、上記の平均熱膨張係数の条件を満足するためのＮｉ
量は３４〜３８ｗｔ％である。このためＮｉは３４〜３
８ｗｔ％の範囲とする。また、より低い平均熱膨張係数
を得るためには、Ｎｉを３５〜３７ｗｔ％、さらに好ま
しくは３５．５〜３６．０ｗｔ％とすることが望まし
い。通常、ＣｏはＦｅ−Ｎｉ系合金中に不可避不純物と
してある程度含まれており、Ｃｏが１ｗｔ％以下では特
性にほとんど影響を与えず、Ｎｉ量も上記範囲でよい。
一方、Ｃｏを１ｗｔ％超〜７ｗｔ％含有する場合には、
上記の平均熱膨張係数の条件を満足するためのＮｉの範
囲は２８〜３８ｗｔ％である。このためＣｏを１ｗｔ％
超〜７ｗｔ％含有する場合には、Ｎｉは２８〜３８ｗｔ
％の範囲とする。また、Ｃｏを３〜６ｗｔ％、Ｎｉを３
０〜３３ｗｔ％とすることにより、さらに優れた特性が
得られる。また、Ｃｏが７ｗｔ％を超えると逆に熱膨張
係数が劣化するため、Ｃｏの上限は７ｗｔ％とする。
明する。まず、成分組成の限定理由は以下の通りであ
る。色ずれの発生を防止するためにシャドウマスク用Ｆ
ｅ−Ｎｉ系合金薄板に要求される３０〜１００℃の温度
域における平均熱膨張係数の上限値は、２．０×（１／
１０6）／℃である。熱膨張係数は合金のＮｉ量に依存
し、上記の平均熱膨張係数の条件を満足するためのＮｉ
量は３４〜３８ｗｔ％である。このためＮｉは３４〜３
８ｗｔ％の範囲とする。また、より低い平均熱膨張係数
を得るためには、Ｎｉを３５〜３７ｗｔ％、さらに好ま
しくは３５．５〜３６．０ｗｔ％とすることが望まし
い。通常、ＣｏはＦｅ−Ｎｉ系合金中に不可避不純物と
してある程度含まれており、Ｃｏが１ｗｔ％以下では特
性にほとんど影響を与えず、Ｎｉ量も上記範囲でよい。
一方、Ｃｏを１ｗｔ％超〜７ｗｔ％含有する場合には、
上記の平均熱膨張係数の条件を満足するためのＮｉの範
囲は２８〜３８ｗｔ％である。このためＣｏを１ｗｔ％
超〜７ｗｔ％含有する場合には、Ｎｉは２８〜３８ｗｔ
％の範囲とする。また、Ｃｏを３〜６ｗｔ％、Ｎｉを３
０〜３３ｗｔ％とすることにより、さらに優れた特性が
得られる。また、Ｃｏが７ｗｔ％を超えると逆に熱膨張
係数が劣化するため、Ｃｏの上限は７ｗｔ％とする。
【０００１３】Ｈは、Ｆｅ−Ｎｉ系合金の溶製時に不可
避的に混入する元素である。特に、従来のＦｅ−３４〜
３８％Ｎｉのインバー合金では精錬工程で水分を吸収し
易いＣａＯ系スラグを用いているため、このＣａＯ系ス
ラグがメタル側へのＨの供給源となり、不可避的に１．
９ｐｐｍを超える量（場合によっては４〜５ｐｐｍ程
度）のＨが含まれている。合金中に含まれるＨは、黒化
膜の形成時にＨガスとして合金内から放出されるため、
合金中のＨ量が多いと黒化膜が多孔質となり、この結
果、黒化膜の剛性が小さくなり、黒化膜の密着性が劣化
してしまう。また、このようなＨによる黒化膜の密着性
の劣化は、比較的低温、短時間の黒化処理で形成される
黒化膜において特に著しい。Ｈが１．９ｐｐｍを超える
と黒化膜の密着性の劣化が著しくなるため、Ｈは１．９
ｐｐｍを上限する。
避的に混入する元素である。特に、従来のＦｅ−３４〜
３８％Ｎｉのインバー合金では精錬工程で水分を吸収し
易いＣａＯ系スラグを用いているため、このＣａＯ系ス
ラグがメタル側へのＨの供給源となり、不可避的に１．
９ｐｐｍを超える量（場合によっては４〜５ｐｐｍ程
度）のＨが含まれている。合金中に含まれるＨは、黒化
膜の形成時にＨガスとして合金内から放出されるため、
合金中のＨ量が多いと黒化膜が多孔質となり、この結
果、黒化膜の剛性が小さくなり、黒化膜の密着性が劣化
してしまう。また、このようなＨによる黒化膜の密着性
の劣化は、比較的低温、短時間の黒化処理で形成される
黒化膜において特に著しい。Ｈが１．９ｐｐｍを超える
と黒化膜の密着性の劣化が著しくなるため、Ｈは１．９
ｐｐｍを上限する。
【００１４】黒化膜の黒色度を高めることで高い熱輻射
率を得るためには、合金中のＭｎ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔｉ、
Ｓｉの各含有量を以下のように規制する必要がある。Ｍ
ｎは高い黒色度を有する黒化膜を形成させるためには有
害な元素であり、できるだけ低減することが好ましい。
Ｍｎが０．３５ｗｔ％を超えるとＭｎを含むスピネル酸
化物が生成し、本発明が前提とする黒化処理条件の下で
は黒色度の優れた黒化膜を形成することができない。こ
のためＭｎは０．３５ｗｔ％を上限とする。Ｃｒは合金
の溶製時に不可避的に混入する元素であり、Ｃｒが多い
と黒化膜中にＣｒの酸化物が形成され、本発明が前提と
する黒化処理条件の下では黒色度の優れた黒化膜を形成
することができない。Ｃｒが０．０６ｗｔ％を超えると
黒化膜の黒色度が劣化するため、０．０６ｗｔ％を上限
とする。
率を得るためには、合金中のＭｎ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔｉ、
Ｓｉの各含有量を以下のように規制する必要がある。Ｍ
ｎは高い黒色度を有する黒化膜を形成させるためには有
害な元素であり、できるだけ低減することが好ましい。
Ｍｎが０．３５ｗｔ％を超えるとＭｎを含むスピネル酸
化物が生成し、本発明が前提とする黒化処理条件の下で
は黒色度の優れた黒化膜を形成することができない。こ
のためＭｎは０．３５ｗｔ％を上限とする。Ｃｒは合金
の溶製時に不可避的に混入する元素であり、Ｃｒが多い
と黒化膜中にＣｒの酸化物が形成され、本発明が前提と
する黒化処理条件の下では黒色度の優れた黒化膜を形成
することができない。Ｃｒが０．０６ｗｔ％を超えると
黒化膜の黒色度が劣化するため、０．０６ｗｔ％を上限
とする。
【００１５】Ａｌは合金の溶製時に脱酸元素として用い
られるが、０．０２０ｗｔ％を超えるとＡｌの酸化物が
形成され、本発明が前提とする黒化処理条件の下では黒
色度の優れた黒化膜を形成することができない。このた
めＡｌは０．０２０ｗｔ％を上限とする。Ｔｉは合金の
溶製時に不可避的に混入する元素であり、０．０３ｗｔ
％を超えるとＴｉの酸化物が形成され、本発明が前提と
する黒化処理条件の下では黒色度の優れた黒化膜を形成
することができない。このためＴｉは０．０３ｗｔ％を
上限とする。Ｓｉは合金の溶製時に脱酸元素として用い
られるが、０．０９ｗｔ％を超えるとＳｉの酸化物が形
成され、本発明が前提とする黒化処理条件の下では黒色
度の優れた黒化膜を形成することができない。このため
Ｓｉは０．０９ｗｔ％を上限とする。なお、以上のＭ
ｎ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｓｉの範囲において、その含有
量をできるだけ低減すれば、より優れたレベルの黒色度
を有する黒化膜を得ることができる。
られるが、０．０２０ｗｔ％を超えるとＡｌの酸化物が
形成され、本発明が前提とする黒化処理条件の下では黒
色度の優れた黒化膜を形成することができない。このた
めＡｌは０．０２０ｗｔ％を上限とする。Ｔｉは合金の
溶製時に不可避的に混入する元素であり、０．０３ｗｔ
％を超えるとＴｉの酸化物が形成され、本発明が前提と
する黒化処理条件の下では黒色度の優れた黒化膜を形成
することができない。このためＴｉは０．０３ｗｔ％を
上限とする。Ｓｉは合金の溶製時に脱酸元素として用い
られるが、０．０９ｗｔ％を超えるとＳｉの酸化物が形
成され、本発明が前提とする黒化処理条件の下では黒色
度の優れた黒化膜を形成することができない。このため
Ｓｉは０．０９ｗｔ％を上限とする。なお、以上のＭ
ｎ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔｉ、Ｓｉの範囲において、その含有
量をできるだけ低減すれば、より優れたレベルの黒色度
を有する黒化膜を得ることができる。
【００１６】また、黒化膜の優れた黒色度を得るために
は、Ｔｉ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｓｉの総量を規制することが重
要である。図１は、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｈ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔ
ｉ、Ｓｉ、Ｍｏ、Ｗ、Ｎｂ、Ｖ、Ｃｕの各含有量が上述
した本発明範囲内にあるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦ
ｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板について、Ｍｎ量およびＴｉ
＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ量と黒化膜の黒色度および熱輻射率
との関係を示したものである。これによれば、Ｍｎ量が
０．３５ｗｔ％以下で、しかもＴｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ
量が０．１０ｗｔ％以下の場合に、本発明が目的とする
優れた黒色度および熱輻射率（０．５０以上）の黒化膜
が得られている。このため本発明では、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａ
ｌ＋Ｓｉの上限を０．１０ｗｔ％と規定する。
は、Ｔｉ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｓｉの総量を規制することが重
要である。図１は、Ｎｉ、Ｃｏ、Ｈ、Ｃｒ、Ａｌ、Ｔ
ｉ、Ｓｉ、Ｍｏ、Ｗ、Ｎｂ、Ｖ、Ｃｕの各含有量が上述
した本発明範囲内にあるＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦ
ｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板について、Ｍｎ量およびＴｉ
＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ量と黒化膜の黒色度および熱輻射率
との関係を示したものである。これによれば、Ｍｎ量が
０．３５ｗｔ％以下で、しかもＴｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ
量が０．１０ｗｔ％以下の場合に、本発明が目的とする
優れた黒色度および熱輻射率（０．５０以上）の黒化膜
が得られている。このため本発明では、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａ
ｌ＋Ｓｉの上限を０．１０ｗｔ％と規定する。
【００１７】黒化膜の熱輻射率を高めるためには、上記
のように黒化膜の黒色度を高めることに加えて、黒化膜
を所定の膜厚まで成長させる必要があり、このためには
本発明が前提とする黒化処理条件の下で黒化膜の成長速
度を高める必要がある。ここで、黒化膜の成長速度を高
めるにはＭｏ、Ｗ、Ｎｂ、Ｖ、Ｃｕの各元素の含有量を
低減させることが必要である。これらの元素は、合金を
電気炉で溶製、精錬する際に混入する元素であるが、Ｍ
ｏ：０．０６ｗｔ％、Ｗ：０．０４ｗｔ％、Ｎｂ：０．
０３ｗｔ％、Ｖ：０．０２ｗｔ％、Ｃｕ：０．０３ｗｔ
％の各含有量を超えると黒化膜の成長速度が小さくな
り、本発明が前提とする比較的低温、短時間の黒化処理
の下では、十分な膜厚の黒化膜が形成できない。このた
めＭｏ：０．０６ｗｔ％以下、Ｗ：０．０４ｗｔ％以
下、Ｎｂ：０．０３ｗｔ％以下、Ｖ：０．０２ｗｔ％以
下、Ｃｕ：０．０３ｗｔ％以下と規定する。
のように黒化膜の黒色度を高めることに加えて、黒化膜
を所定の膜厚まで成長させる必要があり、このためには
本発明が前提とする黒化処理条件の下で黒化膜の成長速
度を高める必要がある。ここで、黒化膜の成長速度を高
めるにはＭｏ、Ｗ、Ｎｂ、Ｖ、Ｃｕの各元素の含有量を
低減させることが必要である。これらの元素は、合金を
電気炉で溶製、精錬する際に混入する元素であるが、Ｍ
ｏ：０．０６ｗｔ％、Ｗ：０．０４ｗｔ％、Ｎｂ：０．
０３ｗｔ％、Ｖ：０．０２ｗｔ％、Ｃｕ：０．０３ｗｔ
％の各含有量を超えると黒化膜の成長速度が小さくな
り、本発明が前提とする比較的低温、短時間の黒化処理
の下では、十分な膜厚の黒化膜が形成できない。このた
めＭｏ：０．０６ｗｔ％以下、Ｗ：０．０４ｗｔ％以
下、Ｎｂ：０．０３ｗｔ％以下、Ｖ：０．０２ｗｔ％以
下、Ｃｕ：０．０３ｗｔ％以下と規定する。
【００１８】Ｍｏ、Ｗ、Ｎｂ、Ｖ、Ｃｕの各元素が黒化
膜の成長速度を低下させる理由は必ずしも明らかではな
いが、これら元素の含有量が上記上限を超えた合金薄板
は、黒化膜と合金板との界面に上記元素の濃化が認めら
れることから、これら元素の界面での濃化により鉄が外
部に拡散しにくくなり、この結果、黒化膜の成長速度が
小さくなるものと考えられる。なお、本発明においては
特に限定しないが、Ｃ、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｐ、Ｂの各元素の
含有量を低減することにより、黒化膜の密着性をより向
上させることができる。具体的には、Ｃ：０．００５０
ｗｔ％以下、Ｎ：０．００１５ｗｔ％以下、Ｏ：０．０
０３０ｗｔ％以下、Ｓ：０．００２０ｗｔ％以下、Ｐ：
０．００４０ｗｔ％以下、Ｂ：０．００３０ｗｔ％以下
とすることにより、黒化膜の密着性をより優れたものと
することができる。また、本発明においては希土類元素
は黒化膜の黒色度向上には有害であり、希土類元素はそ
の合計の含有量で０．０００２ｗｔ％以下とすることが
好ましい。
膜の成長速度を低下させる理由は必ずしも明らかではな
いが、これら元素の含有量が上記上限を超えた合金薄板
は、黒化膜と合金板との界面に上記元素の濃化が認めら
れることから、これら元素の界面での濃化により鉄が外
部に拡散しにくくなり、この結果、黒化膜の成長速度が
小さくなるものと考えられる。なお、本発明においては
特に限定しないが、Ｃ、Ｎ、Ｏ、Ｓ、Ｐ、Ｂの各元素の
含有量を低減することにより、黒化膜の密着性をより向
上させることができる。具体的には、Ｃ：０．００５０
ｗｔ％以下、Ｎ：０．００１５ｗｔ％以下、Ｏ：０．０
０３０ｗｔ％以下、Ｓ：０．００２０ｗｔ％以下、Ｐ：
０．００４０ｗｔ％以下、Ｂ：０．００３０ｗｔ％以下
とすることにより、黒化膜の密着性をより優れたものと
することができる。また、本発明においては希土類元素
は黒化膜の黒色度向上には有害であり、希土類元素はそ
の合計の含有量で０．０００２ｗｔ％以下とすることが
好ましい。
【００１９】以上のような成分組成の規定により、目的
とする膜厚と黒色度を有する黒化膜を形成させることが
できるが、ＴＶ用フラットマスクのサイズで見ると依然
として黒化膜の黒色度にムラが生じるという問題が残さ
れている。このような問題に対し、本発明者らは本発明
が規定する成分組成の合金を用いて、板表面の結晶方位
を様々に変えた合金薄板を作成し、板表面の結晶方位と
黒色度のムラの発生との関係を調べた。その結果、黒化
膜の黒色度のムラを抑制するには、黒化処理直前の板表
面での｛２１０｝結晶面の集積度を特定値以下に抑える
ことが有効であることを見出した。
とする膜厚と黒色度を有する黒化膜を形成させることが
できるが、ＴＶ用フラットマスクのサイズで見ると依然
として黒化膜の黒色度にムラが生じるという問題が残さ
れている。このような問題に対し、本発明者らは本発明
が規定する成分組成の合金を用いて、板表面の結晶方位
を様々に変えた合金薄板を作成し、板表面の結晶方位と
黒色度のムラの発生との関係を調べた。その結果、黒化
膜の黒色度のムラを抑制するには、黒化処理直前の板表
面での｛２１０｝結晶面の集積度を特定値以下に抑える
ことが有効であることを見出した。
【００２０】図２は、本発明が規定する成分条件を満足
するＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合
金薄板について、黒化処理直前の板表面での｛２１０｝
結晶面の集積度が黒化膜の黒色度のムラ発生に及ぼす影
響を調べたものである。これによれば、板表面での｛２
１０｝結晶面の集積度を１６％以下とすることにより、
黒色度のムラの発生が極めて少なくなることが判る。こ
のため本発明では合金薄板の板表面での｛２１０｝結晶
面の集積度を１６％以下と規定する。このように｛２１
０｝結晶面の集積度が特定の値を超えると黒色度のムラ
が著しくなる理由は必ずしも明らかではないが、黒色度
にムラが生じる部分の結晶方位が｛２１０｝結晶面であ
る頻度が高いことから、この結晶面での酸化速度や酸化
物の性状が他の方位に比べて著しく異なることによるも
のと考えられる。
するＦｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合
金薄板について、黒化処理直前の板表面での｛２１０｝
結晶面の集積度が黒化膜の黒色度のムラ発生に及ぼす影
響を調べたものである。これによれば、板表面での｛２
１０｝結晶面の集積度を１６％以下とすることにより、
黒色度のムラの発生が極めて少なくなることが判る。こ
のため本発明では合金薄板の板表面での｛２１０｝結晶
面の集積度を１６％以下と規定する。このように｛２１
０｝結晶面の集積度が特定の値を超えると黒色度のムラ
が著しくなる理由は必ずしも明らかではないが、黒色度
にムラが生じる部分の結晶方位が｛２１０｝結晶面であ
る頻度が高いことから、この結晶面での酸化速度や酸化
物の性状が他の方位に比べて著しく異なることによるも
のと考えられる。
【００２１】｛２１０｝結晶面の集積度は、黒化処理直
前の合金板表面の（４２０）回折面の相対Ｘ線回折強度
比を（１１１）、（２００）、（２２０）、（３１
１）、（３３１）および（４２０）の各回折面の相対Ｘ
線強度比の和で割ることにより求めることができる。こ
こで、相対Ｘ線回折強度比とは各回折面で測定されたＸ
線回折強度を、その回折面の理論Ｘ線回折強度で割った
ものである。例えば、（１１１）回折面の相対Ｘ線回折
強度比は（１１１）回折面のＸ線回折強度を（１１１）
回折面のＸ線回折理論強度で割ったものである。なお、
｛２１０｝結晶面の集積度の測定は、｛２１１｝面と方
位でみて等価な（４２０）回折面のＸ線回折強度の測定
により行った。
前の合金板表面の（４２０）回折面の相対Ｘ線回折強度
比を（１１１）、（２００）、（２２０）、（３１
１）、（３３１）および（４２０）の各回折面の相対Ｘ
線強度比の和で割ることにより求めることができる。こ
こで、相対Ｘ線回折強度比とは各回折面で測定されたＸ
線回折強度を、その回折面の理論Ｘ線回折強度で割った
ものである。例えば、（１１１）回折面の相対Ｘ線回折
強度比は（１１１）回折面のＸ線回折強度を（１１１）
回折面のＸ線回折理論強度で割ったものである。なお、
｛２１０｝結晶面の集積度の測定は、｛２１１｝面と方
位でみて等価な（４２０）回折面のＸ線回折強度の測定
により行った。
【００２２】本発明が規定する｛２１０｝結晶面の集積
度を得るために、合金薄板の製造工程では極力｛２１
０｝結晶面を形成させない製造条件が採られる。例え
ば、本発明の合金薄板を、分塊圧延スラブまたは連続鋳
造スラブを熱間圧延して得られた熱延板、または合金を
直接鋳造して得られた薄鋳板若しくはこれを熱間圧延し
て得られた熱延板を素材として製造する場合には、熱間
圧延後に熱延板焼鈍を実施し、且つその焼鈍温度を８１
０〜８９０℃の範囲内で適切な温度に制御することが
｛２１０｝結晶面の形成を抑制するために有効である。
度を得るために、合金薄板の製造工程では極力｛２１
０｝結晶面を形成させない製造条件が採られる。例え
ば、本発明の合金薄板を、分塊圧延スラブまたは連続鋳
造スラブを熱間圧延して得られた熱延板、または合金を
直接鋳造して得られた薄鋳板若しくはこれを熱間圧延し
て得られた熱延板を素材として製造する場合には、熱間
圧延後に熱延板焼鈍を実施し、且つその焼鈍温度を８１
０〜８９０℃の範囲内で適切な温度に制御することが
｛２１０｝結晶面の形成を抑制するために有効である。
【００２３】なお、本発明が規定する｛２１０｝結晶面
の集積度を得るには、製造工程において分塊圧延後のス
ラブまたは連続鋳造スラブを均一化熱処理することは好
ましくない。例えば、この均一化熱処理が１２００℃以
上、１０時間以上の条件で行われた場合、｛２１０｝結
晶面の集積度が本発明が規定する条件から外れてしまう
ので、このような処理は避けなければならない。また、
本発明が規定する｛２１０｝結晶面の集積度は、上記し
た方法以外にも急冷凝固法の採用、熱間加工での再結晶
のコントロールによる集合組織制御等により得ることが
できる。
の集積度を得るには、製造工程において分塊圧延後のス
ラブまたは連続鋳造スラブを均一化熱処理することは好
ましくない。例えば、この均一化熱処理が１２００℃以
上、１０時間以上の条件で行われた場合、｛２１０｝結
晶面の集積度が本発明が規定する条件から外れてしまう
ので、このような処理は避けなければならない。また、
本発明が規定する｛２１０｝結晶面の集積度は、上記し
た方法以外にも急冷凝固法の採用、熱間加工での再結晶
のコントロールによる集合組織制御等により得ることが
できる。
【００２４】
【実施例】取鍋精錬によって表１〜表４に示す化学成分
を有する合金Ｎｏ．１〜３２を調整し、合金Ｎｏ．１〜
Ｎｏ．２６についてはインゴットに鋳造し、これらのイ
ンゴットを手入れ後、分塊圧延、表面疵取り、熱間圧延
（加熱条件：１１００℃×３時間）、疵取して熱延板を
得た。また、合金Ｎｏ．２７〜３２については薄鋳板に
直接鋳造し、この薄鋳板を１２００〜９５０℃の温度で
圧下率２５％で熱間圧延した後７００℃で巻取り、熱延
板を得た。これら熱延板に対して表５に示す条件で熱延
板焼鈍を行った後、冷間圧延−焼鈍−仕上冷間圧延を行
い、板厚０．２５ｍｍの合金板を得た。なお、これらの
合金板は熱間圧延後の段階で十分に再結晶していた。
を有する合金Ｎｏ．１〜３２を調整し、合金Ｎｏ．１〜
Ｎｏ．２６についてはインゴットに鋳造し、これらのイ
ンゴットを手入れ後、分塊圧延、表面疵取り、熱間圧延
（加熱条件：１１００℃×３時間）、疵取して熱延板を
得た。また、合金Ｎｏ．２７〜３２については薄鋳板に
直接鋳造し、この薄鋳板を１２００〜９５０℃の温度で
圧下率２５％で熱間圧延した後７００℃で巻取り、熱延
板を得た。これら熱延板に対して表５に示す条件で熱延
板焼鈍を行った後、冷間圧延−焼鈍−仕上冷間圧延を行
い、板厚０．２５ｍｍの合金板を得た。なお、これらの
合金板は熱間圧延後の段階で十分に再結晶していた。
【００２５】これらの合金板をエッチングによりフラッ
トマスクに加工した後、８１０℃でプレス前焼鈍を施
し、プレス成形後５６０℃×８分の条件で黒化処理を施
した。黒化処理直前の合金板表面の｛２１０｝結晶面の
集積度は、先に述べたＸ線回折による方法により求め
た。｛２１０｝結晶面の集積度、黒化膜の密着性、黒色
度、膜厚、黒色度のムラ発生状況および熱輻射率を表６
および表７に示す。なお、黒化膜の密着性は、黒化膜の
上に接着テープを貼り、１８０℃密着曲げ後にテープを
剥がし、テープの接着面への黒化膜の付着状況により評
価した。
トマスクに加工した後、８１０℃でプレス前焼鈍を施
し、プレス成形後５６０℃×８分の条件で黒化処理を施
した。黒化処理直前の合金板表面の｛２１０｝結晶面の
集積度は、先に述べたＸ線回折による方法により求め
た。｛２１０｝結晶面の集積度、黒化膜の密着性、黒色
度、膜厚、黒色度のムラ発生状況および熱輻射率を表６
および表７に示す。なお、黒化膜の密着性は、黒化膜の
上に接着テープを貼り、１８０℃密着曲げ後にテープを
剥がし、テープの接着面への黒化膜の付着状況により評
価した。
【００２６】表６および表７によれば、本発明条件を満
足する成分組成と｛２１０｝結晶面の集積度を有する合
金Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１３、Ｎｏ．２７〜Ｎｏ．３１は黒
化膜の密着性、黒色度、黒色度のムラ発生状況および熱
輻射率ともに本発明が目的とする優れたレベルを示して
いる。特に、合金Ｎｏ．１およびＮｏ．１３はＭｎ、Ａ
ｌ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｔｉが特に好ましいレベルまで低減さ
れているため、黒化膜の黒色度および熱輻射率は本発明
例である合金Ｎｏ．２〜Ｎｏ．1２よりも優れている。
また、合金Ｎｏ．１、Ｎｏ．４〜Ｎｏ．1０、Ｎｏ．２
７、Ｎｏ．２８、Ｎｏ．３０、Ｎｏ．３１は｛２１０｝
結晶面の集積度が特に好ましいレベルまで低減されてい
るため、本発明例である合金Ｎｏ．２、Ｎｏ．３、Ｎ
ｏ．１１〜Ｎｏ．1３に較べ黒色度のムラの発生もより
少ない。
足する成分組成と｛２１０｝結晶面の集積度を有する合
金Ｎｏ．１〜Ｎｏ．１３、Ｎｏ．２７〜Ｎｏ．３１は黒
化膜の密着性、黒色度、黒色度のムラ発生状況および熱
輻射率ともに本発明が目的とする優れたレベルを示して
いる。特に、合金Ｎｏ．１およびＮｏ．１３はＭｎ、Ａ
ｌ、Ｓｉ、Ｃｒ、Ｔｉが特に好ましいレベルまで低減さ
れているため、黒化膜の黒色度および熱輻射率は本発明
例である合金Ｎｏ．２〜Ｎｏ．1２よりも優れている。
また、合金Ｎｏ．１、Ｎｏ．４〜Ｎｏ．1０、Ｎｏ．２
７、Ｎｏ．２８、Ｎｏ．３０、Ｎｏ．３１は｛２１０｝
結晶面の集積度が特に好ましいレベルまで低減されてい
るため、本発明例である合金Ｎｏ．２、Ｎｏ．３、Ｎ
ｏ．１１〜Ｎｏ．1３に較べ黒色度のムラの発生もより
少ない。
【００２７】これに対して、合金Ｎｏ．１４は本発明の
上限を超えるＨを含有した比較例であり、黒化膜の密着
性が劣っている。合金Ｎｏ．１５〜Ｎｏ．２０はそれぞ
れ本発明の上限を超えるＭｎ、Ａｌ、Ｓｉおよび〔Ｔｉ
＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ〕、Ｃｒ、Ｔｉ、〔Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａ
ｌ＋Ｓｉ〕を含有した比較例であり、黒化膜の黒色度お
よび熱輻射率が本発明例に比べて劣っている。また、合
金Ｎｏ．２１〜Ｎｏ．２５はそれぞれ本発明の上限を超
えるＭｏ、Ｗ、Ｎｂ、Ｖ、Ｃｕを含有した比較例であ
り、黒化膜の黒色度は本発明が目標とするレベルに達し
ているものの、黒化膜の膜厚が本発明例に較べて薄いた
め、熱輻射率は本発明例に比べて小さい。
上限を超えるＨを含有した比較例であり、黒化膜の密着
性が劣っている。合金Ｎｏ．１５〜Ｎｏ．２０はそれぞ
れ本発明の上限を超えるＭｎ、Ａｌ、Ｓｉおよび〔Ｔｉ
＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ〕、Ｃｒ、Ｔｉ、〔Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａ
ｌ＋Ｓｉ〕を含有した比較例であり、黒化膜の黒色度お
よび熱輻射率が本発明例に比べて劣っている。また、合
金Ｎｏ．２１〜Ｎｏ．２５はそれぞれ本発明の上限を超
えるＭｏ、Ｗ、Ｎｂ、Ｖ、Ｃｕを含有した比較例であ
り、黒化膜の黒色度は本発明が目標とするレベルに達し
ているものの、黒化膜の膜厚が本発明例に較べて薄いた
め、熱輻射率は本発明例に比べて小さい。
【００２８】合金Ｎｏ．１７、Ｎｏ．１８、Ｎｏ．２
１、Ｎｏ．２２、Ｎｏ．２６およびＮｏ．３２は｛２１
０｝結晶面の集積度が本発明の上限を超えた比較例であ
り、いずれも黒化膜の黒色度にムラが生じている。以上
の実施例から明らかなように、本発明条件を満足する成
分組成および｛２１０｝結晶面の集積度とすることによ
り、黒化膜の密着性、黒色度および熱輻射率が優れ、黒
色度のムラもないシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄
板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板が得られることが
判る。
１、Ｎｏ．２２、Ｎｏ．２６およびＮｏ．３２は｛２１
０｝結晶面の集積度が本発明の上限を超えた比較例であ
り、いずれも黒化膜の黒色度にムラが生じている。以上
の実施例から明らかなように、本発明条件を満足する成
分組成および｛２１０｝結晶面の集積度とすることによ
り、黒化膜の密着性、黒色度および熱輻射率が優れ、黒
色度のムラもないシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄
板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板が得られることが
判る。
【００２９】
【表１】
【００３０】
【表２】
【００３１】
【表３】
【００３２】
【表４】
【００３３】
【表５】
【００３４】
【表６】
【００３５】
【表７】
【００３６】
【発明の効果】以上述べたように本発明のシャドウマス
ク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合
金薄板によれば、従来よりも比較的低温且つ短時間の黒
化処理により、優れた黒色度および密着性と高い熱輻射
率を示し、且つ黒色度のムラも少ない黒化膜を形成させ
ることができる。
ク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合
金薄板によれば、従来よりも比較的低温且つ短時間の黒
化処理により、優れた黒色度および密着性と高い熱輻射
率を示し、且つ黒色度のムラも少ない黒化膜を形成させ
ることができる。
【図１】Ｍｎ量およびＴｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ量と黒化
膜の黒色度および熱輻射率との関係を示したグラフ
膜の黒色度および熱輻射率との関係を示したグラフ
【図２】板表面の｛２１０｝結晶面の集積度と黒化膜の
黒色度のムラ発生状況との関係を示したグラフ
黒色度のムラ発生状況との関係を示したグラフ
Claims (3)
- 【請求項１】 Ｎｉ：３４〜３８ｗｔ％、Ｈ：１．９ｐ
ｐｍ以下、Ｍｎ：０．３５ｗｔ％以下、Ａｌ：０．０２
０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０９ｗｔ％以下、Ｃｒ：０．
０６ｗｔ％以下、Ｔｉ：０．０３ｗｔ％以下、Ｍｏ：
０．０６ｗｔ％以下、Ｗ：０．０４ｗｔ％以下、Ｎｂ：
０．０３ｗｔ％以下、Ｖ：０．０２ｗｔ％以下、Ｃｕ：
０．０３ｗｔ％以下を含有し、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ
≦０．１０ｗｔ％であり、残部Ｆｅおよび不可避不純物
からなり、黒化処理直前における板表面での｛２１０｝
結晶面の集積度が１６％以下である黒化処理性に優れた
シャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板。 - 【請求項２】 Ｎｉ：３４〜３８ｗｔ％、Ｈ：１．９ｐ
ｐｍ以下、Ｍｎ：０．３５ｗｔ％以下、Ａｌ：０．０２
０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０９ｗｔ％以下、Ｃｒ：０．
０６ｗｔ％以下、Ｔｉ：０．０３ｗｔ％以下、Ｍｏ：
０．０６ｗｔ％以下、Ｗ：０．０４ｗｔ％以下、Ｎｂ：
０．０３ｗｔ％以下、Ｖ：０．０２ｗｔ％以下、Ｃｕ：
０．０３ｗｔ％以下、Ｃｏ：１ｗｔ％以下を含有し、Ｔ
ｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ≦０．１０ｗｔ％であり、残部Ｆ
ｅおよび不可避不純物からなり、黒化処理直前における
板表面での｛２１０｝結晶面の集積度が１６％以下であ
る黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合
金薄板。 - 【請求項３】 Ｎｉ：２８〜３８ｗｔ％、Ｈ：１．９ｐ
ｐｍ以下、Ｍｎ：０．３５ｗｔ％以下、Ａｌ：０．０２
０ｗｔ％以下、Ｓｉ：０．０９ｗｔ％以下、Ｃｒ：０．
０６ｗｔ％以下、Ｔｉ：０．０３ｗｔ％以下、Ｍｏ：
０．０６ｗｔ％以下、Ｗ：０．０４ｗｔ％以下、Ｎｂ：
０．０３ｗｔ％以下、Ｖ：０．０２ｗｔ％以下、Ｃｕ：
０．０３ｗｔ％以下、Ｃｏ：１ｗｔ％超〜７ｗｔ％以下
を含有し、Ｔｉ＋Ｃｒ＋Ａｌ＋Ｓｉ≦０．１０ｗｔ％で
あり、残部Ｆｅおよび不可避不純物からなり、黒化処理
直前における板表面での｛２１０｝結晶面の集積度が１
６％以下である黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆ
ｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15288693A JP2970316B2 (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15288693A JP2970316B2 (ja) | 1993-05-31 | 1993-05-31 | 黒化処理性に優れたシャドウマスク用Ｆｅ−Ｎｉ系合金薄板およびＦｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金薄板 |
Publications (2)
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| JPH06336655A true JPH06336655A (ja) | 1994-12-06 |
| JP2970316B2 JP2970316B2 (ja) | 1999-11-02 |
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ID=15550275
Family Applications (1)
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Country Status (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19920144C1 (de) * | 1999-05-03 | 2000-08-03 | Krupp Vdm Gmbh | Eisen-Nickel-Legierung |
| KR100418813B1 (ko) * | 1996-11-08 | 2004-04-29 | 엘지마이크론 주식회사 | 섀도우마스크용원소재제조방법 |
-
1993
- 1993-05-31 JP JP15288693A patent/JP2970316B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100418813B1 (ko) * | 1996-11-08 | 2004-04-29 | 엘지마이크론 주식회사 | 섀도우마스크용원소재제조방법 |
| DE19920144C1 (de) * | 1999-05-03 | 2000-08-03 | Krupp Vdm Gmbh | Eisen-Nickel-Legierung |
| WO2000066802A1 (de) * | 1999-05-03 | 2000-11-09 | Krupp Vdm Gmbh | Eisen-nickel-legierung |
| CN1110576C (zh) * | 1999-05-03 | 2003-06-04 | 蒂森克鲁普德国联合金属制造有限公司 | 铁镍合金 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2970316B2 (ja) | 1999-11-02 |
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