JPH0666085B2 - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

磁気記録媒体の製造方法

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JPH0666085B2
JPH0666085B2 JP59074102A JP7410284A JPH0666085B2 JP H0666085 B2 JPH0666085 B2 JP H0666085B2 JP 59074102 A JP59074102 A JP 59074102A JP 7410284 A JP7410284 A JP 7410284A JP H0666085 B2 JPH0666085 B2 JP H0666085B2
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JP
Japan
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magnetic recording
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紘一 篠原
秀樹 吉田
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、短波長記録に適した強磁性金属薄膜を磁気記
録層とする磁気記録媒体の製造方法に関するものであ
る。
従来例の構成とその問題点 高分子フィルムを基板として、真空蒸着法やイオンプレ
ーティング法によって強磁性金属を斜め蒸着することに
より、高抗磁力,高飽和磁束密度の磁気記録層を有する
磁気記録媒体を得ることができ、かかる磁気記録媒体
は、短波長記録,狭トラック記録による高密度記録に有
用であることは周知である。
しかしかかる磁気記録媒体の耐久性、とりわけ走行耐久
性は未だに十分満足できる構成のものは知られていない
のが現状である。
現在、走行耐久性の改良のためにとられている方法は、
磁気記録層の表面に滑剤層を形成するものである。第1
図に本発明の対象となる磁気記録媒体の拡大断面図を示
すように、磁気記録媒体1は基板2上に磁気記録層3を
配し、その表面に滑剤層4を配したものから成ってい
る。
滑剤層4は、湿式法又は乾式法により、脂肪酸,脂肪酸
エステル,脂肪酸アミド,シリコン含有滑剤,フッ素含
有滑剤,二硫化モリブデン,ポリエチレン等を薄く塗布
形成して得られるが、録音機器,録画機器でくり返し使
用すると、走行系の構成部材,磁気ヘッド,シリンダ等
により、磁気記録媒体の表面から取り去られ、スリ傷が
発生したり、はっきりとダメージが観測されなくても、
ドロップアウトが増加する等の不具合があった。
本発明者等は、この現象に磁気記録側から検討を加えた
所、走行耐久性が微細構造に依存する度合が強いことを
見出し、鋭意研究の結果、本発明に至ったものである。
発明の目的 本発明は走行耐久性の改良された、強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体の製造方法の提供を目的と
するものである。
発明の構成 本発明はわん曲した柱状結晶からなる単層の磁気記録層
を、基板面と平行な柱状結晶の高さの1/2の位置の断
面及び表面での断面の中心を結ぶ直線が基板面となす角
度が60度以上となるように回転ベルトに沿わせて蒸着す
ることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法で、得られ
る磁気記録媒体は走行耐久性が良好なものである。
実施例の説明 以下本発明の実施例について、図面を参照しながら説明
する。
第2図は本発明の製造方法によって得られる磁気記録媒
体の構成要件の説明図である。第2図で、5は柱状結晶
であり、6は基板である。まず基板面をS0とすると、こ
の面に平行な平面としてS1を選ぶものとする。この面S1
は、柱状結晶5の厚み方向の高さの1/2の位置に相当
するものである。又、面S2は、表面である。S2とS1の位
置で柱状結晶5の断面の中心G1とG2を結ぶ直線g1が、面
S0となす角αが60゜以上になるように製造する。
第2図は、柱状結晶がS1の位置で1度折れ曲っている状
態を示してあるが、これは模式化したもので、実際に得
られるものは、連続的にわん曲し、それぞれの高さでの
断面の径も異なるものが通例であるが、定義は前述のよ
うにするものとする。
本発明の磁気記録媒体の製造方法を実施するのに用いた
装置の一例の主要構成部を第3図に示した。
回転ベルト7に沿って移動する基板8は、蒸発源9より
放射される蒸気流10により、蒸着される。回転ベルト7
は、冷却ドラム11,12,13に沿って回転するのであるが、
11,13を軸固定し、12は、軸を移動し、本発明の角αの
調整ができるよう構成した。
蒸発源9は、容器14,蒸着材料(強磁性金属材料)15と
加熱源(図示していないが、電子ビームが良く用いられ
る。)から成る。16は送り出し軸17は巻き取り軸、18は
マスクで、19はフリーローラーである。
本発明で用いられる基板は、ポリエチレンテレフタレー
トなどのポリエステル類,ポリプロピレン等のポリオレ
フィン類,セルロースジアセテート,ニトロセルロース
等のセルロース誘導体,ポリカーボネート,ポリ塩化ビ
ニル,ポリアミド,ポリイミドなどが挙げられ、下塗り
層の有無、下地層の有無等の変形も適宜行えるのは勿論
である。
本発明に用いられる強磁性金属薄膜は、Co,Fe,Ni,Co−F
e,Co−Ni,Co−B,Co−Cu,Co−Ge,Co−Mn,Co−Mg,Co−Mo,
Co−Pt,Co−Ru,Co−Rh,Co−Si,Co−Sm,Co−Sn,Co−Gd,C
o−Ta,Co−V,Co−W,Co−Y,Co−Zn,Co−Cr,Co−Ce,Co−T
i,Co−Ni−Cr,Co−Ni−Mg等及びそれらの部分酸化膜,
部分窒化膜,部分炭化膜等である。
本発明においても、滑剤を塗布することは有効であり、
乾式法,湿式法を問わず、公知の方法によりスペーシン
グ損失にならない程度の厚み、例えば100Å以下で滑性
を示す脂肪酸,脂肪酸エステル,脂肪酸アミド,シリコ
ン含有滑剤,フッ素含有滑剤などを用いることができ
る。
以上の製造方法により得られた磁気記録媒体が磁気記録
再生機器によりくり返し使用しても、走行耐久性が維持
される理由については、走行系を構成する機材の表面粗
さが鏡面研磨される傾向にあるものの、表面粗さは0.1
μm程度であるため、磁気記録媒体の表面粗さに比べる
とまだまだ粗いため、従来のように高抗磁力を得るため
に斜め蒸着した膜は、微視的にみると、ひっかかりやす
いのに比べて、本発明品は、より垂直に近いため、走行
方向が変っても(テープ状で用いる時は必ず双方向で走
行系構成材と接することになる)ひっかからないこと
と、破壊の伝ぱん速度にも方向性がないことに関係して
いるものと推察される。
600に臨界的意義が存在するのも、前記した機械特性に
方向性がはっきり見出せなくなることからきていると考
えられる。
実験的にも60゜から50゜までは、不安定であり、信頼性
の面から60゜以上が好ましい。
以下さらに本発明の具体的な実施例について説明する。
〔実施例1〕 厚さ12μmのポリエチレンテレフタレートフィルムを基
板として、第3図の構成の蒸着装置で、Co−Ni(Ni22
%)を電子ビーム蒸着した。真空度は1.5×10-5Torrで
酸素分圧が全圧の80%となるようにした。
第3図の装置で、ベルトは0.2mmのステンレスシートを
電子ビーム溶接して、全長2.4mのエンドレス構造とし、
回転ドラム11は直径40cm、回転ドラム13は直径15cm、回
転ドラム12は直径10cmとした。回転ドラム12の位置を変
化させて、第2図に示した角αの異なるものを得て、滑
剤としてミリステン酸を乾燥厚みが100Åとなるように
塗布し、8mmにスリットし磁気テープを製造した。
試作したビデオテープレコーダにてくり返し使用し耐久
性を比較した。
ビデオテープレコーダはシリンダ直径4cm、磁気ヘッド
はギャップ長0.22μmのCo系アモルファス合金ヘッドを
用い、記録波長0.6μmトラック幅14μmとし、ドロッ
プアウトは、信号出力が初期値の16dBまで低下したら1
ケとして計数した。テープ長は50mとし、テスト後の表
面かん察は光学顕微鏡で全長に渡って行った。それらの
条件と結果を表−1にまとめた。
〔実施例2〕 厚み11μmのポリイミドフィルムを用い、実施例−1と
真空度条件を変え、他の装置条件は、実施例−1と合わ
せて、鉄の部分窒化膜を形成し、磁気テープを製造し、
同様のテストを行った。
真空度は、アンモニアガスを導入し、2×10-5〜4×10
-5Torrで制御した。アンモニアガス導入直前の真空度は
3×10-7Torrとした。
尚滑剤は、ステアリン酸亜鉛を乾燥厚みが100Åとなる
よう塗布形成したものを用いた。
条件とテストの結果をまとめて表−2に示した。
表−1,表−2よりわかるように、本発明により得られる
磁気記録媒体は、キズの発生は500パス目までないのは
勿論であるし、ドロップアウトの増加現象がみられるパ
ス回数も、高温,硬質の厳しい条件でのテストにもかか
わらず450パス以上であり、いずれも500パス目のドロッ
プアウトも増加があっても実用水準は十分満足してお
り、走行耐久性は目をみはるものがある。
なお本実施例ではCo−Ni−O,Fe−Nについて例を示した
が、本発明を構成する前述の他の材料の組み合わせにお
いても同様の効果を確認した。
発明の効果 以上のように本発明により製造される磁気記録媒体はわ
ん曲した柱状結晶の構成条件を限定することにより、く
り返し磁気テープとして使用してもドロップアウトの増
加も少なく、スリ傷の発生もない極めて走行耐久性の優
れた磁気記録媒体を得ることができるもので、その実用
的効果は大きい。
【図面の簡単な説明】
第1図は、磁気記録媒体の拡大断面図、第2図は磁気記
録層の微細構造の説明図、第3図は、磁気記録媒体の製
造装置の要部構成図である。 1……磁気記録媒体、2……基板、3……磁気記録層、
5……わん曲した柱状結晶、9……蒸発源、12……角度
調整回転ドラム。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】わん曲した柱状結晶からなる単層の磁気記
    録層を、基板面と平行な柱状結晶の高さの1/2の位置
    の断面及び表面での断面の中心を結ぶ直線が基板面とな
    す角度が60度以上となるように回転ベルト状搬送体を調
    整して形成することを特徴とする磁気記録媒体の製造方
    法。
JP59074102A 1984-04-13 1984-04-13 磁気記録媒体の製造方法 Expired - Lifetime JPH0666085B2 (ja)

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