JPS60217524A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、短波長記録に適した強磁性金属薄膜を磁気記
録層とする磁気記録媒体に関するものである。

従来例の構成とその問題点 高分子フィルムを基板として、真空蒸着法やイオンブレ
ーティング法によって強磁性金属を斜め蒸着することに
よシ、高抗磁力、高飽和磁束密度の磁気記録層を有する
磁気記録媒体を得ることができ、かかる磁気記録媒体は
、短波長記録、狭トラツク記録による高密度記録に有用
であることは周知である。

しかしかかる磁気記録媒体の耐久性、とりわけ走行耐久
性は未だに十分満足できる構成のものは知られていない
のが現状である。

現在、走行耐久性の改良のためにとられている方法は、
磁気記録層の表面に滑剤層を形成するものである。第１
図に本発明の対象となる磁気記録媒体の拡大断面図を示
すように、磁気記録媒体１は基板２上に磁気記録層３を
配し、その表面に、滑剤層４を配したものから成ってい
る。

滑剤層４は、湿式法又は乾式法により、脂肪酸。

脂肪酸エステル、脂肪酸アεド、シリコン含有滑剤、フ
ッ素含有滑剤、二硫化モリブデン、ポリエチレン等を薄
く塗布形成して得られるが、録音機器、録画機器でくり
返し使用すると、走行系の構成部材、磁気ヘッド、シリ
ンダ等によシ、磁気記録媒体の表面から取り去られ、ス
リ傷が発生したり、はっきりとダメージが観測されなく
ても、ドロップアウトが増加する等の不具合があった。

本発明者等は、この現象に磁気記録側から検討を加えた
所、走行耐久性が微細構造に依存する度合が強いことを
見出し、鋭意研究の結果、本発明に至ったものである。

発明の目的 本発明は走行耐久性の改良された、強磁性金属薄膜を磁
気記録層とする磁気記録媒体の提供を目的とするもので
ある。

発明の構成 本発明はわん曲した柱状結晶からなる磁気記録層を有し
、基板面と平行な柱状結晶の高さの歿の位置の断面及び
表面での断面の中心を結ぶ直線が基板面となす角度６０
°以上であることを特徴とする磁気配録媒体で、走行耐
久性が良好なものである。

実施例の説明 以下本発明の実施例について、図面を参照しながら説明
する。

第２図は、本発明の構成要件の説明図である。

第２図で、６は柱状結晶であり、ｅは基板である。

まず基板面をＳ。とすると、この面に平行な平面として
Ｓｌを選ぶものとする。この面Ｓ、は、柱状結晶６の厚
み方向の高さの捧の位置に相当するものである。又、面
Ｓ２は、表面である。Ｓ２とＳ、の位置で柱状結晶６の
断面の中心Ｇ１と０２を結ぶ直線ｑ１が、面Ｓ。となす
角αがＧｄ以上になるよう構成することで本発明の磁気
記録媒体が得られる。

第２図は、柱状結晶がＳ、の位置で１度折れ曲っている
状態を示しであるが、これは模式化したもので、実際に
得られるものは、連続的にわん曲し、それぞれの高さで
の断面の径も異なるものが通例であるが、定義は前述の
ようにするものとする。

本発明の媒体の製造に用いた装置の一例を第３図に主要
構成のみ示した。

回転ベルト７に沿って移動する基板８は、蒸発源９より
放射される蒸気流１０により、蒸着される。回転ベルト
７は、冷却ドラム１１．１２゜１３に沿って回転するの
であるが、１１．１３を軸固定し、１２は、軸を移動し
、本発明の角αの調整ができるよう構成した。

蒸発源９は、容器１４．蒸着材料（強磁性金属材料）１
６と加熱源（図、示してないが、電子ビームが良く用い
られる。）から成る。１６は送シ出し軸１７は巻き取り
軸、１８はマスクで、１９はフリーローラーである。

本発明で用いられる基板は、ポリエチレンテレフタレー
トなどのポリエステル類、ポリプロピレン等のポリオレ
フィン類、セルロースジアセテート、ニトロセルロース
等のセルロース誘導体、ポリカーボネート、ポリ塩化ビ
ニル、ボリアばド。

ポリイミドなどが挙げられ、下塗り層の有無、下地層の
有無等の変形も適宜行えるのは勿論である。

本発明に用いられる強磁性金属薄膜は、Ｇｏ　、　Ｆｅ
。

Ｎｉ　、Ｃｏ−Ｆｅ、　（ｉｏ−Ｎｉ　、　Ｃｏ　−Ｂ
　、　ｃｏ−Ｇｕ　、　Ｃｏ　−Ｇｏ　。

Ｃｏ−Ｍｎ　、　Ｃｏ−Ｍｇ　、　Ｇｏ−Ｍｏ　、　Ｃ
ｏ　−Ｐ　ｔ　、　Ｃｏｏ−Ｒｕ　。

Ｃｏ−Ｒｈ　、　０ｏ−８ｉ　、　Ｃｏ−ａｍ　、　Ｃ
ｏ−８ｎ　、　Ｃｏ−Ｇｄ　。

Ｃｏ−Ｔａ　、　Ｃｏ　−Ｖ　、　Ｃｏ　−Ｗ　、　Ｇ
ｏ　−Ｙ　、　Ｃｊｏ−Ｚｎ　、　Ｃｏ−ＣｒＣｏ−Ｇ
ｏ　、　Ｇｏ　−Ｔ　ｉ　、　Ｃｏ　−Ｎ　ｉ　−Ｃｊ
　ｒ　、　Ｃｏ　−Ｎ　ｉ　−Ｍｇ　城及びそれらの部
ｄ酸化膜９部分窒化膜１部分炭化膜等である。

本発明においても、滑剤を塗布することは有効であり、
乾式法、湿式法を問わず、公知の方法によりスペーシン
グ損失にならない程度の厚み、例えば１００Å以下で清
快を示す脂肪酸、脂肪酸エステル、脂肪酸アミド、シリ
コン含有滑剤、フッ素含有滑剤などを用いることができ
る。

以上のような構成により、磁気記録再生機器によシくり
返し使用しても、走行耐久性が維持される理由について
は、走行系を構成する機材の表面粗さが鏡面研磨される
傾向にあるものの、表面粗さは０．１μｍ程度であるた
め、磁気記録媒体の表面粗さに比べるとまだまだ粗いた
め、従来のように高抗磁力を得るために斜め蒸着した膜
は、微視的にみると、ひっかかりやすいのに比べて、本
発明品は、より垂直に近いため、走行方向が変っても（
テープ状で用いる時は必ず双方向で走行系構成材と接す
ることになる）ひっかからないことと、破壊の伝ばん速
度にも方向性がないことに関係しているものと推察され
る。

６６に臨界的意義が存在するのも、前記した機械特性に
方向性がはっきり見出せなくなることからきていると考
えられる・。

実験的にも６６から６６までは、不安定であり、信頼性
の面から６ｅ以上が好ましい。

以下さらに本発明の具体的な実施例について説明する。

〔実施例１〕 厚さ１２μｍのポリエチレンテレフタレートフィルムを
基板として、第３図の構成の蒸着装置で、Ｃｏ−Ｎ１（
）ｆｉ２２％）を電子ビーム蒸着した。真空度は１，５
Ｘ１０　Ｔｏｒｒで酸素分圧が全圧の８０係となるよう
にした。

第３図の装置で、ベルトは０．２ｍｍのステンレスシー
トを電子ビーム溶接して、全長２．４ｍのエンドレス構
造とし、回転ドラム１１は直径４０ｃｍ。

回転ドラム゛１３は直径１６ｃｍ、、回転ドラム１２は
直径１０ｃｍとした。回転ドラム１２の位置を変化させ
て、第２図に示した角αの異なるものを得て、滑剤とし
てεリステン酸を乾燥厚みが１０ＯＡとなるように塗布
し、ａｍｍにスリットし磁気テープを製造した。

試作したビデオテープレコーダ忙てくり返し使用し耐久
性を比較した。

ビデオテープレコーダはシリンダ直径４Ｃｍ、磁気ヘッ
ドはギャップ長０．２２μｍのＣＯ系アモルファス合金
ヘッドを用い、記録波長０．６μｍトラック幅１４μｍ
とし、ドロップアウトは、信号出力が初期値の１ｅ　ｄ
Ｂまで低下したら１ケとして計数した。テープ長は５０
１１１とし、テスト後の表面かん察は光学顕微鏡で全長
に渡りで行った。それらの条件と結果を表−１にまとめ
た。

（］］゛人トート４ 〔実施例２〕 厚み１１μｍのポリイミドフィルムを用い、実施例−１
と真空度条件を変え、他の装置条件は、実施例−１と合
わせて、鉄の部分窒化膜を形成し、磁気テープを製造（
し、同様のテストを行った。

真空度は、アンモニアガスを導入し、２×１０〜４Ｘ１
０　Ｔｏｒｒで制御した。アンモニアガス導入直前の真
空度１Ｊ３Ｘ１０　Ｔｏｒｒとした。

尚滑剤は、ステアリン酸亜鉛を乾燥厚みが１００八とな
るよう塗布形成したものを用いた。

条件とテストの結果をまとめて表−２に示した。

（以１分ＩＢ） 表−１１表−２よりわかるように、本発明の構成のもの
は、キズの発生は６０ｏパス目までないのは勿論である
し、ドロップアウトの増加現象がみられるパス回数も、
高温、高湿の厳しい条件でのテストにもかかわらす４５
０パス以上であり、いずれも５００パス目のドロップア
ウトも増加があっても実用水準は十分満足しており、走
行耐久性は目をみはるものがある。

なお本実施例ではＧ　ｏ　−Ｎ　ｉ　−０、Ｆ　ｅ−Ｎ
について例を示したが、本発明を構成する前述の他の材
料の組み合わせにおいても同様の効果を確認した。

発明の効果 以上のように本発明はわん曲した柱状結晶の構成条件を
限定することにより、くり返し磁気テープとして使用し
てもドロップアウトの増加も少なく、スリ傷の発生もな
い極めて走行耐久性能の優れた磁気記録媒体を得ること
ができる−もので、その実用的効果は太きい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、磁気記録媒体め拡大断面図、第２図は磁気記
録層の微細構造の説明図、第３図は、磁気記録媒体の製
造装置の要部構成図である。 １・・・・・・磁気記録媒体、２・・・・・・基板、３
・・・・・・磁気記録層、６・・・・・・わん曲した柱
状結晶、９・・・・・・蒸発源、１２・・・・・・角度
調整回転ドラム。 代理人の氏名　弁理士　中　尾　敏　男　ほか１名第１
図 第２図 １

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. わん曲した柱状結晶からなる磁気記録層を有し、基板面
   と平行な柱状結晶の高さの捧の位置の断面及び表面での
   断面の中心を結ぶ直線が基板面となす角度が６ｄ以上で
   あることを特徴とする磁気記録媒体。