JPS6260127A - 磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は、例えば蒸着テープ等の強磁性金泥薄膜型の磁
気記録媒体の製造方法に関し、特に、強磁性金属薄膜形
成時に発生するカールの解消方法に関するものである。

〔発明の概要〕

本発明は、強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体を製造する
に際し、 非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を形成後、熱風を吹き
つけることにより、 信頼性や生産性を低下することなく、カールのない平坦
な磁気記録媒体を得ようとしたものである。

〔従来の技術〕

従来、高密度記録が可能な磁気記録媒体として、磁性層
である強磁性金属薄膜を真空蒸着あるいはスパッタリン
グ等の手法で非磁性支持体上に被着形成した強磁性金属
薄膜型磁気記録媒体が提案されている。この強磁性金属
薄膜型磁気記録媒体においては、塗布型の磁気記録媒体
と比較して磁性層の厚みを極めて薄くすることができる
ので、長時間記録が可能となるとともに、高域周波数特
性が良好なものとなる等、種々の長所を有している。

しかしながら、この種の磁気記録媒体にあっては、ポリ
エチレンテレフタレート等の可撓性を有する非磁性支持
体上に真空蒸着等の手段で強磁性金１ｇ１ｆｆを被着形
成すると、上記薄膜の収縮等に起因して内部応力が発生
し、得られる磁気記録媒体にカールと称される屈曲が生
ずるという欠点を有している。

したがって、このようなカールを有する磁気記録媒体を
走行させると、上記磁気記録媒体と磁気ヘッドとの当た
りが悪くなり、再生出力が低下してしまったり、あるい
は巻き乱れが生じたりする。

そこで、従来、上述のようなカールを解消するために種
々の方法が考えられている。

例えば、非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を形成した後
、この非磁性支持体をニップロールで押圧しながら熱ロ
ールに密着走行させることにより、上記非磁性支持体を
熱収縮させ、上記カールを解消しようとする方法が提案
されている。

しかし、この方法では、磁気記録媒体（特に磁性層）の
表面状態が、熱ロールやニップロール等の表面性に左右
され、磁性層の表面形状が悪化したり、あるいは表面粗
度が増大してしまい、ドロップアウト等の原因となると
ともに、電磁変換特性が劣化し信頼性を著しく損なって
しまう。また、上記信頼性を確保するためには、上記熱
ロールやニップロール等の表面性（鏡面状態）を保持す
るための研碧玉程が必要であり生産性の点で問題がある
。

あるいは、非磁性支持体上に形成された強磁性金属薄膜
と反対側の面に金属等を蒸着形成することにより、上記
強磁性金属薄膜の内部応力を緩和し、上記カールを解消
しようとする試みがなされている。

ところが、この方法でカールを解消しようとすると、製
造装置が大がかりなものとなって設備に要する費用が多
大なものとなってしまうとともに、製造工程が煩雑なも
のとなってしまう。

〔発明が解決しようとする問題点〕

このように、非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を被着形
成した時に生じるカールを解消しようとすると、磁性層
の表面形状が悪化しｈす、表面粗度が増大し、磁気記録
媒体の信頼性が低下するという欠点や、生産性が悪いと
いう問題がある。

そこで、本発明は上述の事情に鑑みて提案されたもので
あって、信頼性や生産性を低下することなく、カールの
ない平坦な強磁性金属薄膜型磁気　・記録媒体を得るこ
とが可能な磁気記録媒体の製造方法を提供することを目
的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明者は上述の如き目的を達成せんものと鋭、１ｇ究
を重ねた結果、カールの原因となっている内部応力の解
消に熱風を吹きつけることが有効であることを見出し本
発明を完成するに至ったものであって、非磁性支持体上
に強磁性金属薄膜を形成後、熱風を吹きつけることを特
徴とするものである。

〔作用〕

非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を形成後、熱風を吹き
つけることにより、上記強磁性金属Ｎ膜の内部応力が緩
和される。また、上記強磁性金属薄膜には熱ロール等が
接触することがないので、上記強磁性金属薄膜の表面粗
さが小さく抑えられる。

〔実施例〕

以下、本発明による磁気記録媒体の製造方法をその工程
順序に従って説明する。

強磁性金属薄膜型の磁気記録媒体を製造するには、まず
、連続巻き取り式蒸着装置（図示せず）を用いて、第１
図に示すように、非磁性支持体（１）上に金属磁性材料
を蒸着し、記録・再生に関与する磁性層となる強磁性金
属薄膜（２）を形成し、磁気記録媒体（３）を作製する
。

上記非磁性支持体（１）の材料としては、従来より使用
されているものであれば何れも使用でき、例えば、ポリ
エチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリプロピ
レン等のポリオレフィン、セルローストリアセテート、
セルロースジアセテート等のセルロース誘導体、ポリカ
ーボネート、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、ポリアミド
、等の高分子物質が挙げられる。

一方、上記強磁性金属材料としては、強磁性薄膜を形成
しうるちのであれば何れでも使用でき、例えば、Ｆｅ、
Ｃｏ、Ｎｉ、等の金属、あるいはＣｏ−Ｃｒ系、Ｃｏ−
Ｎｉ系、Ｃｏ−Ｒｅ系、ｃｏ−Ｐ系、Ｆｅ−Ｃｏ系、Ｆ
ｅ−Ｎｉ系、Ｃｏ−Ｎ１−Ｐ系、Ｃｏ−Ｎ１−Ｆｅ−Ｐ
系、等の種々の合金材料等が挙げられる。

また、上記強磁性金５Ａ薄膜（２）を被着形成する手段
としては、金属磁性材料を１０′４〜１０″＠Ｔｏｒｒ
の真空下で抵抗加熱、高周波加熱、電子ビーム加熱等に
より蒸発させ、非磁性支持体上に蒸発全屈を斜め方向あ
るいは垂直方向から沈着させる蒸着法や、１０”１０’
　Ｔｏ　ｒ　ｒの不活性ガス（通常はアルゴンガス）雰
囲気中でＤＣグロー放電、ＲＣグロー放電を起こし放電
中で金属を蒸発させるイオンブレーティング法、１０４
〜１０’Ｔｏｒｒのアルゴンを主成分とする雰囲気中で
グロー放電を起こしたアルゴンイオンでターゲット表面
の原子をたたき出すスパッタ法、等が挙げられる。

次に、リール等に巻き取られた磁気記録媒体（３）に対
して、第２図に示すような巻直し装置（４）で、磁気記
録媒体（３）を巻戻しながら、上記磁気記録媒体（３）
に熱風を吹きつけてカールを取り除く。

上記巻直し装置（４）において、ハウジング（５）内に
は、巻出しリール（６）と巻取リリール（７）が配設さ
れている。そして、上記巻出しリール（６″）に巻回さ
れた磁気記録媒体（３）は、ガイドロール（８）及びガ
イドロール（９）を介して巻取りリール（７）に巻き取
られる。上記磁気記録媒体（３）の走行は、例えば、巻
取りリール（７）の回転軸に結合されたサーボモータ（
図示せず）等を駆動源として行れ、この走行速度は所定
の一定値となるようにコントロールされている。

さらに、このようにして表面処理や硬化処理等が終了し
た磁気記録媒体（３）を所定の幅、長さに裁断して完成
する。

ここで、本発明にあっては、上記巻直し装置（４）にお
いて、例えばガイドロール（８）とガイドロール（９）
との間にエアー噴出用のノズル（１０）が配設されてい
る。このノズル（１０）は上記フィルム（３）の幅方向
に均一に吹き出されるように設計されている。

また、上記ノズル（１０）より噴出するエアーは、その
温度が１００〜５００℃の範囲で、しかもその風速が０
．５ｍ／ｓ以上に制御された熱風を使用することが好ま
しい。

上記熱風温度は、非磁性支持体（１）の材質により上記
範囲以内で適宜選択して使用すれば良い。

ここで、上記熱風温度が１００℃以下では磁性層（２）
の内部応力を十分に緩和することができず、また、５０
０℃以上ではフィルム（３）の熱収縮が大きくなってし
まい、カールを解消することができなくなる。

このように、磁気記録媒体（３）に対して、上述の条件
に設定された熱風を均一に吹きつけることにより、磁気
記録媒体（３）は適度に熱収縮しカールが除去され平坦
な磁気記録媒体（３）となる。

次に、具体的な実験例により本発明を説明する。

実験例１ まず、非磁性支持体（１）として幅方向の長さが５イン
チのポリエチレンテレフタレートフィルムを用い、連続
巻き取り式真空蒸着装置を使用して、この非磁性支持体
（１）上に膜厚ｔｏｏｏ人の強磁性金属材料を蒸着して
強磁性金属薄膜（２）を形成し、磁気記録媒体（３）を
得た６次いで、第２図に示す巻直し装置（４）を用い、
上記磁気記録媒体（３）の走行速度を１．３．２．５．
５．７．５ｍ／ｍｉｎに変え、下記の条件で熱風を吹き
つけた。

熱風温度・・・・・・・・・・１０５℃フィルム・ノズ
ル間距離・・・ｌＱｍｍ以上の熱風処理後の磁気記録媒
体（３）についてカール量を測定し、走行速度とカール
量との関係を調べた。結果を第３図中実線ａに示す。ま
た、比較のために蒸着直後の磁気記録媒体（３）におけ
るカール量を測定し、これを第３図中破線Ｃで示した。

なお、上記カール量の測定において、各試料のサンプリ
ングは、磁気記録媒体走行方向の長さが１６ｍｍ、磁気
記録媒体幅方向の長さが８ｍｒｎとなるような略矩形状
の試料を切り出して行った。

また、上記カール量（ｍ　ｍ　）は、磁気記録媒体幅方
向の平坦度を示す指標であり、第４図に示すように、磁
気記録媒体の中央部の深さｈとして表す。

この第４図において、（２１）は非磁性支持体、（２２
）は強磁性金属薄膜を示すものとする。

実験例２ 先の実験例と同様にして磁気記録媒体（３）を形成した
後、熱風の処理温度を１２０℃に変え、先の実験例と同
様にして熱風処理を施した。

以上の熱風処理後の磁気記録媒体（３）についてカール
量を測定し、走行速度とカール量との関係を調べた。結
果を第３図中実線すに示す。

この第３図より、強磁性金属材料を蒸着した直後では、
カール量が２．５ｍｍあったものが、熱風処理を施すこ
とにより改善されたことがわがった。

すなわち、上記熱風処理の処理温度が１０５℃（実線ａ
）の時には、磁気記録媒体走行速度を１．３ｍ／ｍｉｎ
とすればカールが無くなり、また、上記処理温度を１２
０℃（実線ｂ）とした時には、上記走行速度を１．３〜
５ｍ／ｍｉｎの範囲に設定すればカールが無くなること
が判明した。したがって、生産性を考慮すると、本実施
例では熱風温度を略１２０℃に設定した方が好ましいこ
とがわかった。

なお、上述の結果は、非磁性支持体（１）の材料として
ポリエチレンテレフタレートを用いた場合に適用され、
他の材料を使用する場合には他の処理条件に設定する必
要があることは言うまでもない。

次に、本発明による磁気記録媒体（３）に対して、熱風
処理後の強磁性金属薄膜（２）の表面粗さを測定した。

結果を第１表に示す。この第１表において、熱ロール法
とあるのは、強磁性金属薄膜（２）を被着した後、磁気
記録媒体（３）を熱ロールに密着走行させることにより
カールを解消する方法である。

第１表 この第１表より、本発明よれば、カール解消後の強磁性
金属薄１ｆ！１（２）の表面粗さが改善されることがわ
かった。すなわち、従来、熱ロール法によりカールを解
消しようとすると、熱ロールの表面性（鏡面状態）保持
するための研磨工程が必要であったが、本発明により、
上記研磨工程が不要となり生産性が向上するとともに、
表面粗さが改善され信頼性に優れた磁気記録媒体が得ら
れことがわかった。

〔発明の効果〕

以上の説明からも明らかなように、非磁性支持体上に強
磁性金属薄膜を形成後、熱風を吹きつけて上記強磁性金
属薄膜の内部応力を緩和しているで、カールのない平坦
な磁気記録媒体が得られる。

また、上記強磁性金属薄膜に接触することなくカールを
解消しているので、強磁性金属７Ｊ膜の表面粗度が減少
し、電磁変換特性が改善され、信頼性に優れた磁気記録
媒体となるとともに、生産性が向上する。

【図面の簡単な説明】

第１図は強磁性金属薄成型磁気記録媒体の断面図、第２
図は本発明において熱風処理のために使用される巻直し
装置の概略的な断面図である。 第３図は本発明の実験例におけるカール量と磁気記録媒
体走行速度との関係を示す特性図、第４図はカール量を
説明する磁気記録媒体の断面図である。 １．２１・・・・非磁性支持体 ２．２２・・・・強磁性金屈薄膜 応虜紀鉄媒・く吟も図 第１図 在 ＃ｉＬＬ装！Ｐ壜成口 第２図 慮久記銖科疋行社（−ｉｎ）− 第３図 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 非磁性支持体上に強磁性金属薄膜を形成後、熱風を吹き
   つけることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。