JPH065686B2 - 圧接型半導体装置 - Google Patents
圧接型半導体装置Info
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- JPH065686B2 JPH065686B2 JP19374785A JP19374785A JPH065686B2 JP H065686 B2 JPH065686 B2 JP H065686B2 JP 19374785 A JP19374785 A JP 19374785A JP 19374785 A JP19374785 A JP 19374785A JP H065686 B2 JPH065686 B2 JP H065686B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、ゲートターンオフサイリスタ(以下GTOサ
イリスタ)、サイリスタ又はトランジスタ等の圧接型半
導体装置に係り、特に半導体基体に隣接され、熱膨張係
数が近似した金属板と金属ポスト電極の位置決めに好適
な樹脂リングに関する。
イリスタ)、サイリスタ又はトランジスタ等の圧接型半
導体装置に係り、特に半導体基体に隣接され、熱膨張係
数が近似した金属板と金属ポスト電極の位置決めに好適
な樹脂リングに関する。
一般にトランジスタ、サイリスタ、GTOサイリスタ等
の半導体基体に金属ポスト電極等を加圧接触する圧接型
半導体装置は電力用として知られている。従来の圧接型
半導体装置をGTOサイリスタを例にして、第3図にて
説明する。樹脂16により端部を保護された半導体基体
3の両側に、熱膨張係数の近い金属板4,8,9を介し
て、熱電気伝導率の高い金属ポスト電極5,10を設
け、この金属ポスト5,10を加圧圧接する構造となっ
ている。また、ゲート電極環7は金属ポスト電極10に
絶縁体11を介して挿入されており、バネ系6により加
圧される構造となっている。このゲート電極環7の金属
ポスト電極10により半導体基体3のゲート電極部に対
応する様に位置決めされている。ところで金属ポスト電
極10はフランジ13、セラミツク12、フランジ14
とろう材で固定しており、また他方の金属ポスト電極5
はフランジ15とろう材で固定されている。さらにフラ
ンジ15と14は溶接にて固定される為、金属ポスト電
極5と10は正確に位置決めされる。半導体基体3は合
金された金属板4は樹脂リング1によって金属ポスト電
極5に位置決めされているが、樹脂リング1の寸法の設
定によっては第2図に示す様な間隙Δl2が発生して正
確な位置決めが出来なくなる事が起る点については配慮
されていなかった。なおこの種の装置として関連するも
のは例えば実開昭55−144845号公報が挙げられ
る。
の半導体基体に金属ポスト電極等を加圧接触する圧接型
半導体装置は電力用として知られている。従来の圧接型
半導体装置をGTOサイリスタを例にして、第3図にて
説明する。樹脂16により端部を保護された半導体基体
3の両側に、熱膨張係数の近い金属板4,8,9を介し
て、熱電気伝導率の高い金属ポスト電極5,10を設
け、この金属ポスト5,10を加圧圧接する構造となっ
ている。また、ゲート電極環7は金属ポスト電極10に
絶縁体11を介して挿入されており、バネ系6により加
圧される構造となっている。このゲート電極環7の金属
ポスト電極10により半導体基体3のゲート電極部に対
応する様に位置決めされている。ところで金属ポスト電
極10はフランジ13、セラミツク12、フランジ14
とろう材で固定しており、また他方の金属ポスト電極5
はフランジ15とろう材で固定されている。さらにフラ
ンジ15と14は溶接にて固定される為、金属ポスト電
極5と10は正確に位置決めされる。半導体基体3は合
金された金属板4は樹脂リング1によって金属ポスト電
極5に位置決めされているが、樹脂リング1の寸法の設
定によっては第2図に示す様な間隙Δl2が発生して正
確な位置決めが出来なくなる事が起る点については配慮
されていなかった。なおこの種の装置として関連するも
のは例えば実開昭55−144845号公報が挙げられ
る。
本発明の目的は半導体基体が合金された金属板と金属ポ
スト電極を精度良く位置決めして信頼性を向上させた圧
接型半導体装置を提供する事にある。
スト電極を精度良く位置決めして信頼性を向上させた圧
接型半導体装置を提供する事にある。
本発明圧接型半導体装置の特徴とするところは、金属板
及び金属ポスト電極の外周側に装置する樹脂リングの金
属板に装着する部分の内径は金属板の外径より、金属ポ
スト電極に装着する部分の内径は金属ポスト電極の外径
よりそれぞれ僅かに小さくし、かつ樹脂リングを装着す
るときの金属板に装着する部分の変形及び金属ポスト電
極に装着する部分の変形が相互に影響しないようにした
点にある。
及び金属ポスト電極の外周側に装置する樹脂リングの金
属板に装着する部分の内径は金属板の外径より、金属ポ
スト電極に装着する部分の内径は金属ポスト電極の外径
よりそれぞれ僅かに小さくし、かつ樹脂リングを装着す
るときの金属板に装着する部分の変形及び金属ポスト電
極に装着する部分の変形が相互に影響しないようにした
点にある。
具体的には、金属板の外径と金属ポスト電極の外径とは
いずれか一方が他方より大きくなっていて、大きい方の
外径をφA、小さい方の外径をφD、樹脂リングの上記外
径φAを有する部材に装着する部分の内径をφB、上記外
径φDを有する部材に装着する部分の内径をφC、樹脂リ
ングの内径φBを有する部分及び内径φCを有する部分の
金属板と金属ポスト電極との積層方向の厚さをそれぞれ
t1及びt2とするとき、 φA>φB φD>φC φC>φD−(φA−φB) t1>t2 にる関係を満たしている点にある。
いずれか一方が他方より大きくなっていて、大きい方の
外径をφA、小さい方の外径をφD、樹脂リングの上記外
径φAを有する部材に装着する部分の内径をφB、上記外
径φDを有する部材に装着する部分の内径をφC、樹脂リ
ングの内径φBを有する部分及び内径φCを有する部分の
金属板と金属ポスト電極との積層方向の厚さをそれぞれ
t1及びt2とするとき、 φA>φB φD>φC φC>φD−(φA−φB) t1>t2 にる関係を満たしている点にある。
本発明の実施例を第1図、第2図により説明する。半導
体基体3が合金された金属板4は樹脂リング1により金
属ポスト電極5に位置決めされているが、この時樹脂リ
ング1は金属ポンプ5が挿入される部分の影響で金属板
4が挿入される部分の一部がΔl1だけ押広げられてい
る。しかし樹脂リングの金属板の挿入される部分に厚み
t1がある為、金属ポスト電極5より離れた部分ではほ
とんど影響が無く、金属板4を押えている。これは第1
図に示す様な構成で、φB<φA、φC<φD、t2<
t1である場合、樹脂リング1のφBの部分にφAの金
属板4を挿入した場合、樹脂リング1の縦弾性係数は小
さい為、φBの部分はφAの寸法まで広げられる。さら
にt2<t1である為、t2の部分のφCも(φA−φ
B)の寸法だけ広がる。ここでφCの寸法を金属ポスト
電極5のφDに対し、φC<φD−(φA−φB)とな
る様設定すれば金属ポスト電極5が挿入された時φCは
φDの大きさに広げらる。ところがφCの部分の厚みt
2はt2<t1であるので、この影響はt1の部分全体
に及ばず、結局第2図の様にt2の部分付近の変形のみ
にとどまる。従って本実施例によれば、樹脂リング1を
効果的に変形させる事により金属板4上の半導体基体1
と金属ポスト電極5を正確に位置決めできる。尚第1図
では部品の構成を示すために、半導体基体3の端部保護
用の樹脂16は省略している。
体基体3が合金された金属板4は樹脂リング1により金
属ポスト電極5に位置決めされているが、この時樹脂リ
ング1は金属ポンプ5が挿入される部分の影響で金属板
4が挿入される部分の一部がΔl1だけ押広げられてい
る。しかし樹脂リングの金属板の挿入される部分に厚み
t1がある為、金属ポスト電極5より離れた部分ではほ
とんど影響が無く、金属板4を押えている。これは第1
図に示す様な構成で、φB<φA、φC<φD、t2<
t1である場合、樹脂リング1のφBの部分にφAの金
属板4を挿入した場合、樹脂リング1の縦弾性係数は小
さい為、φBの部分はφAの寸法まで広げられる。さら
にt2<t1である為、t2の部分のφCも(φA−φ
B)の寸法だけ広がる。ここでφCの寸法を金属ポスト
電極5のφDに対し、φC<φD−(φA−φB)とな
る様設定すれば金属ポスト電極5が挿入された時φCは
φDの大きさに広げらる。ところがφCの部分の厚みt
2はt2<t1であるので、この影響はt1の部分全体
に及ばず、結局第2図の様にt2の部分付近の変形のみ
にとどまる。従って本実施例によれば、樹脂リング1を
効果的に変形させる事により金属板4上の半導体基体1
と金属ポスト電極5を正確に位置決めできる。尚第1図
では部品の構成を示すために、半導体基体3の端部保護
用の樹脂16は省略している。
樹脂リング1としては弾性を有する4フッ化エチレン樹
脂、シリコン樹脂からなるシリコンゴムの如き材質のも
のが好適である。
脂、シリコン樹脂からなるシリコンゴムの如き材質のも
のが好適である。
本発明は樹脂リングの変形を積極的に利用して半導体基
体を載置した金属板と金属ポスト電極の位置決め精度を
向上させたものであり、それによって樹脂リング以外の
部品の構造を変える事無く信頼性を向上する事が出来
る。
体を載置した金属板と金属ポスト電極の位置決め精度を
向上させたものであり、それによって樹脂リング以外の
部品の構造を変える事無く信頼性を向上する事が出来
る。
第1図は本発明装置の一実施例を示し、構成部材の寸法
関係を示す断面図、第2図は第1図に示す本発明装置の
具体的状況を示す要部断面図、第3図は従来装置を示す
断面図、第4図は第3図に示す従来装置の問題点を示す
要部断面図である。 1…樹脂リング、3…半導体基体、4,8,9…金属
板、5,10…金属ポスト電極。
関係を示す断面図、第2図は第1図に示す本発明装置の
具体的状況を示す要部断面図、第3図は従来装置を示す
断面図、第4図は第3図に示す従来装置の問題点を示す
要部断面図である。 1…樹脂リング、3…半導体基体、4,8,9…金属
板、5,10…金属ポスト電極。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 阪上 正 茨城県日立市幸町3丁目1番1号 株式会 社日立製作所日立工場内 (72)発明者 小野 政文 茨城県日立市弁天町3丁目10番2号 日立 原町電子工業株式会社内 (56)参考文献 実開 昭57−69240(JP,U) 実開 昭56−58872(JP,U) 実開 昭55−132945(JP,U)
Claims (2)
- 【請求項1】半導体基体と、その一方の面に接着された
半導体基体に近い熱膨張係数を有する一方の金属板と、
一方の金属板を介して半導体基体を押圧し、その外径が
一方の金属板のそれと異なる一方の金属ポスト電極と、
半導体基体の他方の面に対向配置された半導体基体に近
い熱膨張係数を有する他方の金属板と、他方の金属板を
介して半導体基体を押圧する他方の金属ポスト電極と、
一方の金属板と一方の金属ポスト電極との外周側に装着
された両者の相互位置関係を決める弾性を有する樹脂リ
ングとを具備し、一方の金属板の外径と一方の金属ポス
ト電極の外径のうち大きい方の外径をφA、小さい方の
外径をφD、樹脂リングの上記外径φAを有する部材に装
着する部分の内径をφB、上記外径φDを有する部材に装
着する部分の内径をφC、樹脂リングの内径φBを有する
部分及び内径φCを有する部分の一方の金属板と一方の
金属ポスト電極との積層方向の厚さをそれぞれt1及び
t2とするとき、 φA>φB φD>φC φC<φD−(φA−φB) t1>t2 を満していることを特徴とする圧接型半導体装置。 - 【請求項2】前記樹脂リングは、4フッ化エチレン樹脂
またはシリコンゴムから選ばれた材料で作られているこ
とを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の圧接型半導
体装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19374785A JPH065686B2 (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 圧接型半導体装置 |
US06/898,597 US4775916A (en) | 1985-09-04 | 1986-08-21 | Pressure contact semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19374785A JPH065686B2 (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 圧接型半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6254958A JPS6254958A (ja) | 1987-03-10 |
JPH065686B2 true JPH065686B2 (ja) | 1994-01-19 |
Family
ID=16313137
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19374785A Expired - Lifetime JPH065686B2 (ja) | 1985-09-04 | 1985-09-04 | 圧接型半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4775916A (ja) |
JP (1) | JPH065686B2 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3880730D1 (de) * | 1987-03-25 | 1993-06-09 | Bbc Brown Boveri & Cie | Halbleiterbauelement mit einer steuerelektrode. |
US4914812A (en) * | 1987-12-04 | 1990-04-10 | General Electric Company | Method of self-packaging an IC chip |
JPH0668237B2 (ja) * | 1988-03-16 | 1994-08-31 | 株式会社間組 | コンクリート型枠装置 |
JP2739970B2 (ja) * | 1988-10-19 | 1998-04-15 | 株式会社東芝 | 圧接型半導体装置 |
JP2502386B2 (ja) * | 1989-04-11 | 1996-05-29 | 富士電機株式会社 | 半導体装置 |
US5210601A (en) * | 1989-10-31 | 1993-05-11 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Compression contacted semiconductor device and method for making of the same |
JPH0831606B2 (ja) * | 1989-11-17 | 1996-03-27 | 株式会社東芝 | 大電力用半導体装置 |
GB8928492D0 (en) * | 1989-12-18 | 1990-02-21 | Westinghouse Brake & Signal | Housings for semiconductor devices |
EP0520592B1 (de) * | 1991-06-27 | 1995-08-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Wasserstoffspeicher für einen Plasmaschalter |
US5371386A (en) * | 1992-04-28 | 1994-12-06 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Semiconductor device and method of assembling the same |
JP3259599B2 (ja) * | 1995-06-20 | 2002-02-25 | 三菱電機株式会社 | 圧接型半導体装置 |
JP3319569B2 (ja) * | 1996-05-31 | 2002-09-03 | 株式会社東芝 | 圧接型半導体装置 |
US7132698B2 (en) * | 2002-01-25 | 2006-11-07 | International Rectifier Corporation | Compression assembled electronic package having a plastic molded insulation ring |
JP4866048B2 (ja) * | 2005-10-06 | 2012-02-01 | 株式会社フジシールインターナショナル | オーバーラップ包装体 |
EP2447988B1 (en) | 2010-11-02 | 2015-05-06 | GE Energy Power Conversion Technology Limited | Power electronic device with edge passivation |
US20220336300A1 (en) * | 2019-07-31 | 2022-10-20 | Hitachi Energy Switzerland Ag | Power Semiconductor Device |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5318266Y2 (ja) * | 1973-01-25 | 1978-05-16 | ||
DE2630320A1 (de) * | 1976-07-06 | 1978-01-12 | Licentia Gmbh | Scheibenfoermige halbleiterzelle mit einem ringfoermigen gehaeuse |
US4099201A (en) * | 1977-04-11 | 1978-07-04 | General Electric Company | Semiconductor rectifier assembly having an insulating material therein that evolves gases when exposed to an arc |
JPS55132945U (ja) * | 1979-03-13 | 1980-09-20 | ||
JPS5658872U (ja) * | 1979-10-13 | 1981-05-20 | ||
JPS5769240U (ja) * | 1980-10-13 | 1982-04-26 | ||
JPS57100737A (en) * | 1980-12-16 | 1982-06-23 | Toshiba Corp | Semiconductor device |
DE3308661A1 (de) * | 1983-03-11 | 1984-09-20 | SEMIKRON Gesellschaft für Gleichrichterbau u. Elektronik mbH, 8500 Nürnberg | Halbleiterelement |
-
1985
- 1985-09-04 JP JP19374785A patent/JPH065686B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
1986
- 1986-08-21 US US06/898,597 patent/US4775916A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US4775916A (en) | 1988-10-04 |
JPS6254958A (ja) | 1987-03-10 |
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