JPH0577632B2 - - Google Patents

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JPH0577632B2
JPH0577632B2 JP1503867A JP50386789A JPH0577632B2 JP H0577632 B2 JPH0577632 B2 JP H0577632B2 JP 1503867 A JP1503867 A JP 1503867A JP 50386789 A JP50386789 A JP 50386789A JP H0577632 B2 JPH0577632 B2 JP H0577632B2
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silicon nitride
compression
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strontium
oxide
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    • C04CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
    • C04BLIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
    • C04B35/00Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
    • C04B35/515Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
    • C04B35/58Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
    • C04B35/584Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride
    • C04B35/593Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicon nitride obtained by pressure sintering

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Description

請求の範囲 1 約0.7〜8.6wt.%のストロンチウムカーボネー
ト並びに約1.8〜12.0%のイツトリウム酸化物と
をシリコン窒化物を混合して混合物を得る混合工
程と、混合物を成形したグリーン品に形成するグ
リーン品成形工程と、ストロンチウムカーボネー
トをグリーン品内で分解しストロンチウム酸化物
を形成する分解工程と、グリーン品を圧縮して製
品を形成する圧縮工程とを包有してなる圧縮され
たシリコン窒化物製品を製造するシリコン窒化物
の製造法。 2 混合工程には更に混合物に十分な量の有機結
合剤を加えてグリーン品の成形保持を助ける工程
が包有されてなる特許請求の範囲第1項記載のシ
リコン窒化物の製造法。 3 グリーン品成形工程がイソスタチツク圧縮
法、ダイ圧縮法、射出成型法、圧縮成型法、押出
法、並びにスリツプ鋳造法からなる群から選択さ
れた一によつて行つてなる特許請求の範囲第1項
記載のシリコン窒化物の製造法。 4 分解工程には約3〜10時間、約1100〜1250℃
で且つ真空下においてグリーン品を加熱する工程
が包有されてなる特許請求の範囲第1項記載のシ
リコン窒化物の製造法。 5 圧縮工程には焼結しその後熱間イソスタチツ
ク圧縮する焼結工程が含有されてなる特許請求の
範囲第1項記載のシリコン窒化物の製造法。 6 焼結工程がシリコン窒化物、イツトリウム酸
化物、アルミニウム酸化物からなる群から選択さ
れた一の粉末の混合物内でグリーン品を焼結し、
2〜6時間約1800〜1900℃で且つ不活性雰囲気内
で混合物を加熱することにより実行してなる特許
請求の範囲第5項記載のシリコン窒化物の製造
法。 7 圧縮工程には真空封入しその後10〜200MPa
で1〜8時間、1600〜1900℃の温度で熱間イソス
タチツク圧縮する工程が包有されてなる特許請求
の範囲第1項記載のシリコン窒化物の製造法。 8 真空封入を金属カン内にグリーン品を封入す
ることにより実施してなる特許請求の範囲第7項
記載のシリコン窒化物の製造法。 9 真空封入をガラス層内にグリーン品を封入す
ることにより実施してなる特許請求の範囲第7項
記載のシリコン窒化物の製造法。 (技術分野) 本発明は新規な組成の、密度の高いシリコン窒
化物、特に未処理状態材料としてのストロンチウ
ムカーボネートとイツトリウム酸化物とを焼結剤
として使用して形成される広範囲に亙り高い強度
を有する密度の高いシリコン窒化物材料に関す
る。 (背景技術) 焼結シリコン窒化物材料は当業者には周知であ
るが、シリコン窒化物材料は通常高温(100℃以
上)環境下で使用されるとき強度を高くとれず、
また応力破断寿命が長くないので使用に制限を受
ける。焼結材の密度を増加し機械的強度を向上す
るために焼結剤を用いることも知られている。ま
たイツトリウム酸化物(Y2O3)と残部を最汎用
の焼結剤の1つとした焼結シリコン窒化物材料も
その特性が向上されることが知られている。更
に、焼結剤としてストロンチウム酸化物(SrO)
をシリコン窒化と共に用いることも知られている
が、ストロンチウム酸化物は不安定であり、大気
と反応するため最終的なシリコン窒化物材料を形
成する前に劣化する。またストロンチウム酸化物
は安定なストロンチウムカーボネートより高価で
ある。 (発明の開示) 従つて本発明の目的は高温下でも機械的強度及
び応力破断寿命が向上され得る密度の高いシリコ
ン窒化物材料を形成することにある。 本発明の他の目的は開始焼結剤としてストロン
チウムカーボネートとイツトリウム酸化物を公的
に組み合わせて処理したシリコン窒化物材料を生
成することにある。 更に詳述するに、本発明によれば、最終組成と
して()82.0〜97.5%のシリコン窒化物、()
0.5〜6.0%のストロンチウム酸化物及び()2.0
〜12.0%のイツトリウム酸化物からなる密度の高
いシリコン窒化物材料を提供する。シリコン窒化
物材料はシリコン窒化物とイツトリウム酸化物と
ストロンチウムカーボネート及び成形上必要なら
好適な有機結合剤を混合することにより生成し得
る。次にこの混合物は好適な方法、例えば熱間圧
縮、冷間イソスタチツク(isostatic)圧縮、射出
成型、押出、単軸ダイ圧縮(uiaxial die−
pressing)またはスリツプ鋳造(slip casting)
により成形する。その後成形品はストロンチウム
カーボネートを二酸化炭素またはストロンチウム
酸化物内に分解するために真空下で熱処理する。
次に真空下で室温まで冷却し、次に湿気の付着を
防止するデシケータ(dessicator)のような低湿
環境下で保存する。熱間イソスタチツク圧縮法に
含浸圧縮(densification)は、上述した処理品を
電子ビーム溶接あるいは他のカプセル封入法によ
り金属(例えばNb)缶内に真空封入し、不活性
雰囲気内で1600℃以上の温度まで加熱し、一方
192.9MPa(28ksi)まで加圧し(熱間イソスタチ
ツク圧縮)その後室温まで冷却し外気圧まで下げ
ることにより達成する。この処理品はまた、高温
ガラスフリツトシステムのような他の封入体を用
いて熱間イソスタチツク圧縮し得る。またこの処
理品は封入体を必要としない焼結/熱間イソスタ
チツク圧縮法により圧縮し得る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明により得られたシリコン窒化物
材料の一(Nbによりカプセル封入された8wt.%
のY2O3、2wt.%のSrO及び90wt.%のSi3N4)と
従来技術による最新シリコン窒化物材料とに対す
る曲げ強度の比較グラフである。 (発明を実施するための最良の形態) 本発明によれば、一群の密度の高いシリコン窒
化物材料をシリコン窒化物、イツトリウム酸化物
及びストロンチウム酸化物の混合物から作成す
る。得られたシリコン窒化物材料の機械的特性
は、約0.5〜6.0wt.%のストロンチウム酸化物、
2.0〜12.0wt.%のイツトリウム酸化物及びシリコ
ン窒化物から作成され、向上される。また圧縮率
が高く高温下での機械的曲げ強度が向上される。
第1図に示すように、本発明のシリコン窒化物材
料の曲げ強度は高範囲の温度条件に亙り大幅に向
上される。
【表】
【表】 表は13個の異なる圧縮組成品と対応する圧縮
特性の結果を示している。これらの圧縮組成品は
全てNbカプセル封入法及びHIP法により圧縮し
た。個々の圧縮組成品は0.5〜6.0wt.%(ストロン
チウムカーボネートから分解後)のストロンチウ
ム酸化物、1.8〜12.0wt.%のイツトリウム酸化物
及び残りがシリコン窒化物の未処理(green−
body)品を用いて作成された。ストロンチウム
酸化物の開始材は0.7〜8.6wt.%のストロンチウム
カーボネートである。ストロンチウムカーボネー
トはグリーン形成段で焼結剤を安定化して最終シ
リコン窒化物材料全体に亙り均一な一体性質を与
えるのに用いる。
【表】 *:得られなかつた。
表に示す成分の未処理(green−body)品は
以下に説明する2方法の一で圧縮処理する。第1
の圧縮処理法は封入体を必要とし、第2の圧縮処
理法は実質的に成形時に使用できる。 第1の圧縮処理法はカプセル封入/熱間イソス
タチツク圧縮(HIP)法と呼ばれ、ミリングある
いは他の方法により所望の粒径を有した3成分を
混合する工程が包有される。得られた混合材料は
冷間イソスタチツク圧縮法、単軸ダイ圧縮、射出
成型、圧縮成型、押出、またはスリツプ鋳造によ
り所望の形状に成形される。冷間イソスタチツク
圧縮法、ミリングにより粉砕されたセラミツク粉
末はゴムダイ(またはポリマーエンベロツプ)内
に置かれ、室温で275.6〜413.4MPa(40〜60ksi)
の圧力を受ける。射出成型、圧縮成型または押出
法の場合、好適な割合の有機結合剤をセラミツク
粉末と混合して成型材料(成型混合物)を作成
し、次に射出成型機、圧縮成型機または押出機を
用いて所望の形状に成型する。含まれた有機結合
剤は好適な熱サイクルにより除去する。スリツプ
鋳造法の場合、ミリングにより粉砕したセラミツ
ク粉末を分散機により水中内に分散して低粘度の
スラリすなわちスリツプを作成する。このスリツ
プは次の型内に注ぎ込み所望の形状にして乾燥す
る。このようにして得られた成型品(green
body)を3〜10時間の間100〜1250℃の温度で真
空下で加熱する。この加熱工程の結果、ストロン
チウムカーボネートがストロンチウム酸化物に対
し分解される。その後、湿気の付着を防止するた
めこの成型品を真空下で室温まで冷却する。この
成型品は次に封入体(金属製カンやガラス)内に
真空を維持したまま封入する。一度封入体内に封
入すると、成型品は約1600〜1900℃の温度と10.3
〜206.7MPa(1.5〜30ksi)の圧力を1〜8時間、
不活性雰囲気内にさらされる。その後、この圧縮
品は室温まで冷却される。 表、には、ンカプセル封入/HIP法により
圧縮した所定の範囲内の13の組成物の曲げ強度が
示されている。13の組成物の1つ(8wt.%のY2
O3、2wt.%のSrO及び90wt.%のSi3N4)もまたニ
アネツトシエイプ(near−net−shape)法であ
るガラス封入/HIP法により圧縮した。この組成
物の強度はNbカプセル封入/HIP法により圧縮
した強度に相当する(表参照)。表にはガラ
スカプセル封入/HIP法による組成物の曲げ強度
及び他の特性が示される。
【表】 第2の圧縮法は焼結/熱間イソスタチツク圧縮
(焼結/HIP)法と呼ばれ、この方法は上述した
ように封入体を必要としないので経済的でありニ
アネツトシエイプ品の形成に好適である。且つこ
の圧縮法では、成型されたグリーンボデイを上述
した方法、即ちスリツプ鋳造、射出成型、圧縮成
型、冷間イソスタチツク圧縮法等により形成し、
真空熱処理してストロンチウムカーボネートをス
トロンチウム酸化物に対し分解し二酸化炭素を除
去する。 次にこれをるつぼあるいは容器内に置き、シリ
コン窒化物(Si3N4)、イツトリウム酸化物(Y2
O3)、アルミニウム酸化物(Al2O3)並びに硼素
(BN)の粉末混合物内で焼結する。このるつぼ
を炉内に置き1800〜1900℃の範囲内の温度並びに
約0.7〜2.1MPa(100〜300psi)の範囲内の圧力で
2〜6時間の間窒素雰囲気内で加熱される。その
後圧力は1〜8時間の間約10.3〜206.7MPa(1.5
〜30ksi)の範囲内のレベルにまで上昇される。
この焼結/HIP法の後、大気条件にさらして冷却
する。 表には各種のグリーン形成法(green−
forming process)、即ちスリツプ鋳造、射出成
型、または冷間イソスタチツク圧縮法により形成
し、カプセル封入/HIP法と焼結/HIP法のいず
れかの方法を用いて圧縮したニアネツトシエイプ
品が示される。既述したように多様な、最終的な
作成材料としてのニアネツトシエイプ品は簡単な
ビレツトから断面積が広範囲に亙る複雑な形状の
ターボチヤージヤ用ロータまでに及ぶ。
【表】 ここに使用した材料、即ちシリコン窒化物、イ
ツトリウム酸化物、及びストロンチウム酸化物に
還元されたストロンチウムカーボネートを所定の
割合で混合し、上述の方法で圧縮せしめ、曲げ強
度及びシリコン窒化物グレインに対する接着性の
優れたグレイン境界組成物を作成すると現在考え
られている。特に、81〜91wt.%のイツトリウム
酸化物、7〜10wt.%のイツトリウム酸化物、及
び1〜3wt.%のストロンチウム酸化物の混合物を
処理すると嵩曲げ強度が1400℃で560〜662MPa
が観察された。 多くのテスト組成物、処理法、ニアネツトシエ
イプ品を上述したが、これらは単に挙例したに過
ぎず、特許請求の範囲に含まれる他の各種の設計
変更お包有されることは理解されよう。
JP1503867A 1988-03-08 1989-03-03 高強度を有するシリコン窒化物 Granted JPH02504385A (ja)

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