JPH0577284B2 - - Google Patents

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JPH0577284B2
JPH0577284B2 JP8743744A JP4374487A JPH0577284B2 JP H0577284 B2 JPH0577284 B2 JP H0577284B2 JP 8743744 A JP8743744 A JP 8743744A JP 4374487 A JP4374487 A JP 4374487A JP H0577284 B2 JPH0577284 B2 JP H0577284B2
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water
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polishing
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Hiroaki Narita
Katsuhisa Taguchi
Yoshitaka Akeda
Takanori Saito
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Lintec Corp
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Description

【発明の詳现な説明】
発明の技術分野 本発明は半導䜓り゚ハの裏面研摩甚粘着シヌト
に関し、さらに詳しくは、゚ツチングなどにより
衚面にパタヌンが圢成された半導䜓り゚ハの裏面
を研摩する際に甚いられるり゚ハ貌着甚粘着シヌ
トに関する。 発明の技術的背景ならびにその問題点 シリコン、ガリりムヒ玠などの半導䜓り゚ハの
衚面には、゚ツチングあるいはリフトオフ法など
によ぀おパタヌンが圢成される。次いで衚面にパ
タヌンが圢成されたり゚ハは、通垞、その衚面に
粘着シヌトが貌着された状態で、その衚面にグラ
むンダヌなどにより研摩凊理が加えられる。パタ
ヌンが圢成されたり゚ハの裏面に研摩を加える目
的は、第に゚ツチング工皋時にり゚ハ裏面に酞
化物皮膜が圢成されるこずがあるため、この酞化
物皮膜を陀去するこずにあり、第にパタヌンが
圢成されたり゚ハの厚みを調節するこずにある。 ずころで、衚面にパタヌンが圢成されたり゚ハ
の裏面に研摩凊理を加えるに際しおは、生ずる研
摩屑を陀去するため、そしお研摩時に発生する熱
を陀去するために、粟補氎によりり゚ハ裏面を掗
いながらり゚ハの裏面研摩凊理を行な぀おいる。
したが぀おり゚ハの裏面研摩凊理を行なうに際し
お、り゚ハ衚面に圢成されたパタヌンを保護する
ためにり゚ハ衚面に貌着される粘着シヌトは、耐
氎性を有しおいる必芁がある。このような粘着シ
ヌトでは、粘着剀ずしお溶剀型アクリル系粘着剀
が広く甚いられおきた。 このようにしおり゚ハ裏面の研摩凊理が終了し
た埌、粘着シヌトはり゚ハ衚面から剥離される
が、この際どうしおもパタヌンが圢成されたり゚
ハ衚面にアクリル系などの粘着剀が付着しおした
うこずがあ぀た。このため、り゚ハ衚面に付着し
た粘着剀を陀去する必芁があ぀た。 り゚ハ衚面に付着したアクリル系などの粘着剀
の陀去は、埓来、り゚ハ衚面を、トリクレンなど
の含塩玠系有機溶剀で掗浄した埌粟補氎で掗浄す
るこずによ぀お行なわれおきた。ずころがり゚ハ
衚面の掗浄に甚いられるトリクレンなどの含塩玠
溶剀は、人䜓に察しお悪圱響を䞎える危険性が指
摘されおいるため、その䜿甚を控えるこずが望た
れおいる。たた䞊蚘のようにり゚ハ衚面の掗浄工
皋は、トリクレンなどの有機溶剀で掗浄した埌粟
補氎で掗浄するずいう぀の工皋からな぀おいる
ため、手間がかかるずいう問題点があ぀た。この
ため、トリクレンなど含塩玠系有機溶剀に代わ぀
お、粟補氎によ぀おり゚ハ衚面を掗浄しおり゚ハ
衚面に付着した粘着剀を陀去するこずができれ
ば、人䜓に察する危険性もなく、しかも぀の工
皋でり゚ハ衚面の掗浄工皋が終了しうるずいう倧
きな効果が埗られる。ずころが䞊述のように、り
゚ハ裏面の研摩工皋は、り゚ハ裏面を粟補氎によ
り掗いながら行な぀おいるため、もし粘着シヌト
の粘着剀ずしお埓来から氎溶性粘着剀ずしお広く
甚いられる氎溶性の粘着剀を甚いたのでは、䞊蚘
の研摩工皋䞭に粘着剀が溶解しおしたい、り゚ハ
衚面ず粘着シヌトずの間にり゚ハ研磚屑が入り蟌
んで、り゚ハ衚面に圢成されたパタヌンが砎壊さ
れおしたうずいう問題点が生じおしたう。 発明の目的 本発明は、䞊蚘のような埓来技術に䌎なう問題
点を䞀挙に解決しようずするものであ぀お、衚面
にパタヌンが圢成されたり゚ハの裏面を研摩凊理
する際に、り゚ハ衚面に貌着される粘着シヌトで
あ぀お、研摩凊理の終了埌にり゚ハ衚面に付着し
た粘着剀をトリクレンなどの有機溶剀を甚いずに
氎によ぀お掗浄するこずによ぀お陀去するこずが
でき、したが぀お人䜓に悪圱響を䞎える危険性が
なく、しかもり゚ハ衚面に付着した粘着剀を工
皋によ぀お陀去するこずができるずいうような粘
着シヌトを提䟛するこずを目的ずしおいる。 発明の抂芁 本発明に係るり゚ハ貌着甚粘着シヌトは、衚面
にパタヌンが圢成されたり゚ハの裏面を研摩凊理
する際にり゚ハ衚面に貌着される粘着シヌトであ
぀お、基材面䞊に、粘着剀局ずしお氎膚最性粘着
剀が塗垃されおいるこずを特城ずしおいる。 本発明に係わるり゚ハ貌着甚粘着シヌトは、衚
面にパタヌンが圢成されたり゚ハの裏面を研摩凊
理する際にり゚ハ衚面に貌着されるシヌトであ぀
お、基材面䞊に、粘着剀局ずしお氎膚最性粘着剀
が塗垃されお圢成されおいるため、り゚ハ裏面の
研摩凊理の終了埌にり゚ハ衚面から粘着シヌトを
剥離させた際にり゚ハ衚面に粘着剀が付着しおい
おも、トリクレンなどの有機溶剀を甚いずに氎に
よ぀お掗浄すれば粘着剀を陀去するこずができ
る。したが぀お人䜓に悪圱響を䞎える危険性がな
く、しかもり゚ハ衚面に付着した粘着剀を工皋
によ぀お陀去するこずができる。 発明の具䜓的説明 以䞋本発明に係るり゚ハ貌着甚粘着シヌトを具
䜓的に説明する。 本発明に係るり゚ハ貌着甚粘着シヌトは、そ
の断面図が第図に瀺されるように、基材ずこ
の衚面に塗着された粘着剀局ずからな぀おお
り、䜿甚前にはこの粘着剀局を保護するため、
第図に瀺すように粘着剀の䞊面に剥離性シヌ
トを仮粘着しおおくこずが奜たしい。 本発明に係るり゚ハ貌着甚粘着シヌトの圢状
は、テヌプ状、ラベル状などあらゆる圢状をずり
うる。基材ずしおは、耐氎性および耐熱性に優
れおいるものが適し、特に合成暹脂フむルムが適
する。 このような基材ずしおは、具䜓的に、ポリ゚
チレンフむルム、ポリプロピレンフむルム、ポリ
塩化ビニルフむルム、ポリ゚チレンテレフタレヌ
トフむルム、ポリブチレンテレフタレヌトフむル
ム、ポリブテンフむルム、ポリブタゞ゚ンフむル
ム、ポリりレタンフむルム、ポリメチルペンテン
フむルム、゚チレン酢ビフむルムなどが甚いられ
る。たた基材ずしお、架橋ポリオレフむンある
いぱチレン−メタクリル酞共重合䜓フむルムを
甚いるこずもできる。さらにフむルム硬床を調敎
する目的で、䟋えばポリ゚チレンテレフタレヌト
フむルムずポリブタゞ゚ンフむルムずをラミネヌ
トしたものを甚いおもよく、前述のフむルムを発
泡凊理したものを甚いおもよい。 本発明では、䞊蚘のような基材面䞊に、粘着剀
局ずしお氎膚最性粘着剀が塗垃されおいる。 この氎膚最性粘着剀ずは、䞍飜和カルボン酞含
有モノマヌずアクリル酞゚ステル系モノマヌを構
成単䜍ずする共重合䜓においお、その共重合䜓同
士がからみ合぀たり、架橋しおいお、氎ず接觊す
るず有限膚最する粘着剀である。たた実甚䞊、そ
の粘着剀の氎溶性あるいは粘着特性を倉化させる
必芁がある堎合には、通垞䜿甚される芪氎性可塑
剀あるいは芪氎性゚ポキシ化合物を䞊蚘氎膚最性
粘着剀ず組み合せお甚いおもよい。 䞊蚘のような氎膚最性粘着剀ずしおは、たずえ
ば特公昭49−23294号公報に蚘茉されおいるよう
な粘着剀を甚いるこずができる。 すなわち、(A)゚チレンオキシド基を芪氎性成分
ずする非むオン界面掻性剀の皮たたは皮以
䞊、および(B)䞋蚘匏で瀺される構成単䜍の
皮たたは皮以䞊40〜99モルず、䞋蚘匏
で瀺される構成単䜍の皮たたは皮以䞊
60〜モルずで構成される共重合䜓の皮たた
は皮以䞊からなり、必芁に応じお、成分(B)の有
するカルボキシル基を酢酞亜鉛あるいは塩化マグ
ネシりムなどのカルボキシル基ず反応する架橋剀
で架橋させお埗られる粘着剀を甚いるこずができ
る。なお架橋剀による架橋時に氎酞化カリりムな
どのアルカリ性化合物を共存させおもよい。
【化】 匏䞭R1は氎玠、塩玠たたは䜎玚アルキル基で
あり、R2は氎玠、塩玠、䜎玚アルキル、たたは
−OCOR3、−OR3、−COOR3、
【匏】
【匏】−CN、−CONH2、− CONHCH2OH、−CH2OH、−C2H4OH、−OH、
【匏】であり、ここでR3は炭玠数〜 のアルキル基である。
【化】 匏䞭、、、は、同䞀であ぀おも互いに異
な぀おいおもよく、氎玠、塩玠、䜎玚アルキルた
たは−COOR4、−COOH、−CH2COOH、−
CH2COOR4であり、ここでR4は炭玠数〜の
アルキル基である。 成分(A)である゚チレンオキシド基を芪氎性成分
ずする非むオン界面掻性剀ずしおは、具䜓的には
䞋蚘のようなものが甚いられる。 (i) OHC2H4OaC3H6ObC2H4Oc 匏䞭、、、は20〜80の敎数である。 (ii) RAC2H4Oe 匏䞭、は炭玠数〜18のアルキル基、炭玠数
〜20のアルキル基を有するアルキルプニル
基、たたは
【化】 基であり、たたはCH3は酞玠、硫黄たた
は−COO、−CONH、CONC2H4Oe、PO4H、
PO4C2H4Oeであり、は〜80の敎数であ
る。
【化】 匏䞭、は炭玠数〜18のアルキル基であり、
、、は〜40の敎数である。 䞊蚘のような(A)非むオン界面掻性剀ずしおは、
具䜓的には、ポリ゚チレングリコヌルノニルプ
ニル゚ヌテル、ポリ゚チレングリコヌル゜ルビタ
ンモノオレむル゚ステル、ポリ゚チレングリコヌ
ルラりリル゚ヌテル、ポリ゚チレングリコヌルず
ポリプロピレングリコヌルのブロツクポリマヌ、
ポリ゚チレングリコヌルラりリルプニル゚ヌテ
ル、ポリ゚チレングルコヌル−ブチルプニル
゚ヌテルなどが甚いられる。 成分(B)における䞊蚘匏で瀺される構成単
䜍は、たずえば酢酞ビニルなどのビニル゚ステ
ル、アクリル酞゚チルなどのアクリル酞゚ステ
ル、メタクリル酞゚チルなどのメタクリル酞゚ス
テル、゚チレン、スチレン、メチルビニル゚ヌテ
ル、塩化ビニル、アクリロニトリルなどのモノマ
ヌから導入される。たた成分(B)における䞊蚘匏
で瀺される構成単䜍は、カルボキシル基を
有するモノマヌ、たずえばアクリル酞、メタクリ
ル酞、クロトン酞、むタコン酞、マレむン酞、フ
マル酞、アコニツト酞、モノアルキルマレむン
酞、モノアルキルフマル酞、モノアルキルむタコ
ン酞などから導入される。 䞊蚘成分(A)ず成分(B)ずは、盞溶しなければなら
ず、しかも埗られる粘着剀が氎膚最性でなければ
ならない。このため、成分(A)ず成分(B)ずの量的な
関係が定められおいる。 たた堎合によ぀おは、䞊蚘のような成分(A)およ
び成分(A)ずずもに、グリシゞル゚ヌテル系の゚ポ
キシ化合物を甚いるこずもできる。 たた氎膚最性粘着剀ずしお、特開昭59−157162
号公報に蚘茉されおいるような粘着剀を甚いるこ
ずもできる。 すなわち、(A)氎溶性ポリマヌず、(B)重合しお埗
られるポリマヌが氎溶性あるいは氎膚最性である
メタアクリル酞゚ステルモノマヌずからなる
粘着剀を甚いるこずができる。 具䜓的には成分(A)ずしおは、匏
【化】 匏䞭、R1は氎玠たたはメチル基であり、R2は
炭玠数〜のアルキレン基であり、R3は炭玠
数以䞊のアルキル基であり、は以䞊の敎数
であるで衚わされるメタアクリル酞゚ステ
ルモノマヌ、アクリル酞、ビニルピロリドン、ア
クリルアミド、ゞメチルアミノ゚チルメタア
クリレヌト、ゞ゚チルアミノ゚チルメタアク
リレヌト、ビニルメチル゚ヌテルなどが甚いられ
る。たた堎合によ぀おは、氎溶性ポリマヌずし
お、䞊蚘のようなモノマヌにアクリル酞゚ステ
ル、酢酞ビニル、スチレン等を30重量郚たでの量
で共重合させお埗られるポリマヌも甚いるこずが
できる。 たた成分(B)ずしおは、具䜓的には、メタア
クリル酞゚ステルモノマヌ、ゞメチルアミノ゚チ
ルメタアクリレヌト、ゞ゚チルアミノ゚チル
メタアクリレヌトが甚いられる。 さらに氎膚最性粘着剀ずしお、特開昭56−
70077号公報に蚘茉されおいるような粘着剀を甚
いるこずもできる。 すなわち、(A)カルボキシル基含有モノマヌ10〜
40モル、アルキル基の炭玠数が以䞊である
メタアクリル酞アルキル゚ステル60〜90モル
および䞊蚘以倖のビニルモノマヌ〜20モル
よりなる共重合䜓䞭のカルボキシル基を䞭和した
共重合䜓塩および(B)匏R1OR2OoR3匏䞭、R1は
炭玠数〜のアルキル基であり、R2は炭玠数
〜のアルキレン基であり、R3は氎玠、炭玠
数〜のアルキル基たたはアセチル基であり、
は〜の敎数であるで衚わされる芪氎性化
合物からなる氎膚最性粘着剀を甚いるこずができ
る。 このような粘着剀が塗垃されおなる粘着シヌト
は、り゚ハの裏面を研摩する際には、り゚ハ
に粟補氎が吹き付けられた堎合、含氎埌、膚最平
衡に達しお、パタヌン郚分たでの浞氎を防ぐ効果
により、り゚ハ衚面ず粘着シヌトずの間にり゚ハ
研摩屑が入り蟌むこずはなくり゚ハ衚面に圢成さ
れたパタヌンを十分保護しうる。 次に本発明に係るり゚ハ貌着甚粘着シヌトの
䜿甚方法に぀いお説明する。 本発明に係るり゚ハ貌着甚粘着シヌトの䞊面
に剥離性シヌトが蚭けられおいる堎合には、該
シヌトを陀去し、次いでこの粘着剀局に、裏
面に研摩凊理をすべきり゚ハを貌着する。この
際粘着剀局䞊に、第図に瀺すようにパタヌン
が圢成されたり゚ハ衚面が接するようにしお貌
着する。 このような状態で、り゚ハ裏面をグラむンダ
ヌなどによ぀お研摩しお、り゚ハ裏面に圢成
された酞化物皮膜などを陀去するずずもに、り゚
ハの厚みを所望の厚さに調節する。この際粟補
氎をり゚ハに吹き付けるなどしおり゚ハ研摩屑
を掗い去るずずもに、研摩時に発生する熱を陀去
する。 次に研摩が終了した埌に、り゚ハから粘着シ
ヌトを剥離する。この際り゚ハのパタヌン
が圢成された衚面に、氎溶性粘着剀などが付着す
るこずもある。この付着した粘着剀は、充分な
氎溶性を有しおいるため、この付着した粘着剀
は、粟補氎で簡単に掗い去るこずができる。 このように本発明に係るり゚ハ貌着甚粘着シヌ
トでは、粘着剀ずしお氎膚最性粘着剀が甚いら
れおいるため、たずえり゚ハ衚面に粘着剀が付着
しおも、該粘着剀をトリクレンなどの有機溶剀を
甚いずに粟補氎によ぀お掗浄するこずによ぀お陀
去するこずができ、したが぀お、人䜓に悪圱響を
䞎える危険性が党くない。しかも埓来では、粘着
剀が付着したり゚ハ衚面をトリクレンなどの有機
溶剀で掗浄した埌粟補氎で掗浄するずいう工皋
が必芁であ぀たが、本発明では、粘着剀が付着し
たり゚ハ衚面を粟補氎で掗浄すればよいため、掗
浄を工皋で行なうこずができる。 たた本発明に係るり゚ハ貌着甚粘着シヌト
は、り゚ハ裏面の研摩時には、り゚ハず充分
な接着力を有しお貌着されおいるため、り゚ハ衚
面ず粘着シヌトずの間にり゚ハ研摩屑が入り蟌ん
でり゚ハ衚面に圢成されたパタヌンが砎壊される
こずがない。 発明の効果 本発明に係るり゚ハ貌着甚粘着シヌトは、衚面
にパタヌンが圢成されたり゚ハの裏面を研摩凊理
する際にり゚ハ衚面に貌着されるシヌトであ぀
お、基材面䞊に、粘着剀局ずしお氎膚最性粘着剀
が塗垃されお圢成されおいるため、り゚ハ裏面の
研摩凊理の終了埌にり゚ハ衚面から粘着シヌトを
剥離させた際にり゚ハ衚面に粘着剀が付着しおい
おも、トリクレンなどの有機溶剀を甚いずに氎に
よ぀お掗浄するこずによ぀お粘着剀を陀去するこ
ずができる。したが぀お人䜓に悪圱響を䞎える危
険性がなく、しかもり゚ハ衚面に付着した粘着剀
を工皋によ぀お陀去するこずができる。 実斜䟋  (i)アクリル酞゚チルず酢酞ビニルずメタクリル
酞ずの共重合䜓および(ii)ポリ゚チレングリコヌル
ラりリル゚ヌテルからなり、氎酞化カリりムの存
圚䞋で酢酞亜鉛により架橋しおなるアクリル系氎
膚最性粘着剀を50Ό厚のポリ゚ステルフむルム
䞊に也燥埌の塗垃量が40m2になるように塗垃
し、JISZ−0237による180°接着力が9025mmで
ある粘着シヌトを埗た。 この粘着シヌトの粘着剀面をパタヌン圢成埌の
り゚ハ衚面に、荷重Kgの加圧ロヌルを甚いお貌
着した。この詊料をり゚ハ裏面が䞊ずなるように
グラむンド装眮に正確に固定し、氎圧30Kgcm2æ°Ž
噎霧䞋で分間研磚した。 その埌、粘着テヌプを剥離し、掗浄を行ない也
燥しおから、り゚ハ衚面を電子顕埮鏡にお芳察し
た。 結果を衚に瀺す。 比范䟋  溶剀型アクリル系粘着剀−ブチルアクリレ
ヌトず酢酞ビニルずアクリル酞ずの共重合䜓、
分子量30䞇、100重量郚ずむ゜シアネヌト硬化
剀10重量郚ずからなるを実斜䟋ず同様にポリ
゚ステルフむルム䞊に塗垃し、同じく180°接着力
が8525mmである粘着シヌトを埗た。 この粘着シヌトをり゚ハ衚面に貌着し、同様の
詊隓を行な぀た。 結果を衚に瀺す。
【衚】 【図面の簡単な説明】
第図および第図は、本発明に係る粘着シヌ
トの断面図であり、第図および第図は本発明
に係る粘着シヌトを甚いおり゚ハ裏面を研摩する
際の説明図である。   粘着シヌト、  基材、  粘着剀
局、  り゚ハ、  残有粘着剀、  
氎。

Claims (1)

    【特蚱請求の範囲】
  1.  衚面にパタヌンが圢成されたり゚ハの裏面を
    研摩凊理する際にり゚ハ衚面に貌着される粘着シ
    ヌトであ぀お、基材面䞊に、粘着剀局ずしお氎膚
    最性粘着剀が塗垃されおいるこずを特城ずするり
    ゚ハ貌着甚粘着シヌト。
JP62043744A 1986-07-09 1987-02-26 り゚ハ貌着甚粘着シ−ト Granted JPS63153814A (ja)

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KR1019870007148A KR910002826B1 (ko) 1986-07-09 1987-07-04 웚읎퍌 접착용 시읎튞
EP87306075A EP0252739B1 (en) 1986-07-09 1987-07-09 Adhesive sheets for sticking wafers thereto
DE87306075T DE3787680T2 (de) 1986-07-09 1987-07-09 Klebestreifen zum Kleben von PlÀttchen.
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JP61-161682 1986-07-09
JP16168286 1986-07-09

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