JP3288476B2 - 再剥離型粘着剤及びその粘着部材 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、再剥離時に被着体に残
存する糊成分等の汚染物質が極めて少なくてＩＣウエハ
等の種々の物品の表面保護等に好適な再剥離型粘着剤、
及びその粘着部材に関する。

【０００２】

【発明の背景】金属板や化粧板、ガラス板等の種々の物
品からなる被着体に仮着して、損傷や塵埃の付着、酸化
等の変質等を防止する表面保護などの目的で用いられる
再剥離が必須の粘着部材にあっては、仮着時に剥がれ等
を生じることのない充分な接着力を保持しつつ、再剥離
時に糊成分等の汚染物質が被着体に残存しないことが剥
離後の洗浄工程の省略等の点より強く望まれる。

【０００３】特に、半導体ウエハ上に回路パターンを形
成したＩＣウエハの場合には、汚染物質の残存が回路機
能を妨害するなどの重大な欠陥となるため高度な清澄さ
が要求される。またＩＣウエハでは、裏面研磨時や切断
によるチップ化時等でも粘着部材が使用され洗浄水の侵
入防止等の点よりもウエハに対し充分に密着する接着力
も要求される。

【０００４】

【従来の技術】従来、前記した再剥離用途に適する粘着
部材としては、粘着剤層を溶剤で抽出処理して低分子量
のポリマーやその他の物質、界面活性剤等の遊離成分を
除去したものが知られていた。しかしながらその場合に
は、粘着剤層の内部も含めて完全に抽出除去する必要が
あり製造効率に乏しい問題点があった。表面部の処理等
で内部に遊離成分が残存する不完全な抽出処理では、そ
の残存遊離成分が表面に析出集積してむしろ未処理物よ
りも著しい残存汚染を引き起こしやすくなる。

【０００５】一方、エマルジョン系の粘着剤を用いたも
のも提案されている。しかしながらこの場合には、界面
活性剤が遊離成分として粘着剤層中に残存して再剥離時
の汚染物質となり、洗浄除去が容易であるとしてもその
工程が必要となる。また乳化重合用の過硫酸アンモニウ
ムの如き無機塩系の重合開始剤も再剥離時の汚染物質と
なり、それが少量でも残存するとＩＣ回路に不良を来
し、金属板等の被着体の場合にも変質等の特に不都合な
汚染物質となる。

【０００６】さらに前記エマルジョン系の場合の如く、
水溶性の遊離成分が粘着剤層中に多く残存すると接着力
の耐水性が低下し、ＩＣウエハの裏面研磨時等に洗浄水
の侵入を招いて剥がれ問題を発生しやすくする。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、溶剤による
抽出処理をしなくても再剥離による汚染物質の残存が極
めて少ないエマルジョン系の再剥離型粘着剤、及びその
粘着部材の開発を課題とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】 本発明は、炭素数が４
〜１２のアルキル基を有するアクリル酸ないしメタクリ
ル酸のエステルからなるアクリル酸系アルキルエステル
と、下記の一般式で表される非イオン性界面活性剤を全
共重合成分の０．２〜１０重量％と、併用の架橋剤と反
応する官能基を有する官能性モノマーを全共重合成分の
０．０１〜１０重量％とを少なくとも用いて、全共重合
成分の０．００５〜０．１モル％の水溶性有機ラジカル
重合開始剤により乳化共重合させて形成したアクリル系
ポリマーを含有するエマルジョンに、その固形分１００
重量部あたり０．００１〜５重量部の架橋剤を配合して
なり、ＴＨＦ不溶分が９０％以上でＴＨＦによる膨潤度
が１０倍以上の粘着剤層を形成することを特徴とする再
剥離型粘着剤を提供するものである。一般式： （ただし、Ｒは水素又はアルキル基、ｎは１０〜７０で
ある。）

【０００９】 また本発明は、炭素数が４〜１２のアル
キル基を有するアクリル酸ないしメタクリル酸のエステ
ルからなるアクリル酸系アルキルエステルと、上記の一
般式で表される非イオン性界面活性剤を全共重合成分の
０．２〜１０重量％と、２個以上の結合手を有して自己
架橋性を示す架橋性モノマーを全共重合成分の０．０１
〜５重量％とを少なくとも用いて、全共重合成分の０．
００５〜０．１モル％の水溶性有機ラジカル重合開始剤
により乳化共重合させて形成してなる、ＴＨＦ不溶分が
９０％以上でＴＨＦによる膨潤度が１０倍以上の架橋ア
クリル系ポリマーを含有するエマルジョンからなること
を特徴とする再剥離型粘着剤を提供するものである。

【００１０】さらに本発明は、支持基材上に前記した再
剥離型粘着剤からなる、ＴＨＦ不溶分が９０％以上でＴ
ＨＦによる膨潤度が１０倍以上の粘着剤層を有すること
を特徴とする粘着部材を提供するものである。

【００１１】

【作用】アルキル基の炭素数が４〜１２のアクリル酸系
アルキルエステルを主成分に用い、かつ乳化重合を可能
とする界面活性剤として共重合性不飽和基を有する非イ
オン性のものを用いることにより、その界面活性剤を共
重合成分としてアクリル系ポリマー中に取り込むことが
でき、その遊離物質化を回避することができると共に、
接着密着性と再剥離性等の接着特性に優れるものとする
ことができる。

【００１２】また少量の水溶性有機ラジカル重合開始剤
を用いて重合反応を緩やかに進めることにより、遊離物
質となりやすい低分子量のポリマー、例えば重量平均分
子量が１万以下のポリマーの生成を抑制できると共に、
開始剤自体が遊離物質として残存することも抑制でき、
かつ有機系の開始剤は無機塩系のものよりも変質等の被
着体に対する影響が少ない。さらに最終的に架橋処理し
た構造とすることで分子量が増大して遊離物質となるポ
リマーをより低減することができる。

【００１３】加えてＴＨＦ（テトラヒドロフラン）不溶
分が９０％以上でＴＨＦによる膨潤度が１０倍以上の粘
着剤層が形成されるようにすることで、被着体に対する
接着密着性と遊離物質の低減とを良好にバランスさせる
ことができる。従って前記により、遊離物質が少なくて
再剥離時の非汚染性に特段に優れる粘着剤を抽出処理の
必要なく得ることができる。

【００１４】

【発明の構成要素の例示】本発明の再剥離型粘着剤は、
乳化共重合方式により形成したアクリル系ポリマーを含
有するエマルジョンをベースとするものであり、そのア
クリル系ポリマーはアルキル基の炭素数が４〜１２のア
クリル酸系アルキルエステルと、共重合性不飽和基を有
する非イオン性界面活性剤を少なくとも成分とするもの
である。

【００１５】前記のアクリル酸系アルキルエステルとし
ては、例えばブチル基、イソブチル基、アミル基、イソ
アミル基、２−エチルヘキシル基、オクチル基、イソオ
クチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、ドデシ
ル基の如き炭素数が４〜１２のアルキル基を有するアク
リル酸、ないしメタクリル酸のエステルなどが用いられ
る。

【００１６】炭素数が４〜１２のアルキル基を有するア
クリル酸系アルキルエステルは、目的とするアクリル系
ポリマーの主成分モノマーとして１種又は２種以上が用
いられ、その使用割合は、全共重合成分の通常５０重量
％以上、就中７０重量％以上である。

【００１７】共重合性不飽和基を有する非イオン性界面
活性剤としては、例えば一般式 （ただし、Ｒは水素又はアルキル基、ｎは１０〜７０で
ある。）で表されるポリオキシエチレンアルキルフェニ
ルエーテルにおける疎水性基部としてのフェニル基にラ
ジカル重合性のプロペニル基を導入したものなどがあげ
られる。

【００１８】 非イオン性界面活性剤は、その共重合性
不飽和基を介して目的のアクリル系ポリマーに共重合成
分として取り込まれるものであるが、本発明においては
乳化重合用の乳化剤として用いるものであり、ＨＬＢが
１４〜１８のものが好ましく用いうる。その使用量は、
全共重合成分の０．２〜１０重量％、就中１〜５重量％
が用いられる。

【００１９】本発明においては最終的に架橋状態のアク
リル系ポリマーの形成を目的とするが、その形成に際し
ては種々の方式を選択することができる。その一は、ア
クリル系ポリマーに架橋剤と反応する官能基を有する官
能性モノマーを共重合させて別途添加の架橋剤により架
橋処理する方式である。他の方式は、自己架橋性を有す
る架橋性モノマーの併用下に共重合させて目的とする架
橋アクリル系ポリマーを直接調製する方式である。なお
本発明においては、前記の各方式を併用して最終的に目
的とする架橋アクリル系ポリマーを形成することもでき
る。

【００２０】前記の官能性モノマーとしては、併用する
架橋剤と反応する適宜な官能基を有するモノマーが用い
られる。好ましくは、カルボキシル基を含有するモノマ
ーが用いられる。その例としては、アクリル酸、メタク
リル酸、無水マレイン酸、イタコン酸、クロトン酸など
があげられる。

【００２１】官能性モノマーとして用いうる他のモノマ
ーの例としては、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒド
ロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルアク
リレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、ヒドロ
キシブチルアクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレ
ートの如き水酸基含有モノマー、ジアミノエチルアクリ
レート、ジアミノエチルメタクリレートの如きアミノ基
含有モノマー、アクリルアミド、メタクリルアミド、
Ｎ，Ｎ−ジメチルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ−ジメチルメ
タクリルアミドの如きアミド基含有モノマーなどがあげ
られる。

【００２２】 官能性モノマーの使用量は、全共重合成
分の１０重量％以下、就中０．０１〜５重量％が用いら
れる。その使用量が１０重量％を超えるとアクリル系ポ
リマーの共重合成分として過剰の導入割合となり、架橋
剤で架橋した場合に架橋過多のアクリル系ポリマーが形
成されて接着力に乏しくなる場合がある。

【００２３】なおカルボキシル基の含有は、金属等から
なる被着体を変質させる原因となりやすいことからカル
ボキシル基含有のアクリル系ポリマーの場合、カルボキ
シル基で変質されにくいプラスチック等からなる被着体
や変質が問題とならない被着体に使用する粘着部材の形
成に一般に適用されるが、その場合においてもカルボキ
シル基単位の含有量が５モル％以下の含有割合となるよ
うに調製することが好ましい。

【００２４】一方、前記の架橋性モノマーとしては、２
個以上の結合手を有する適宜なモノマーを用いてよい。
好ましく用いうる架橋性モノマーは、被着体を変質させ
る原因となりやすいカルボキシル基を含有しないもので
ある。

【００２５】好ましく用いうる架橋性モノマーの例とし
ては、エチレングリコールジアクリレート、ネオペンチ
ルジアクリレート、ヘキサンジオールジアクリレート、
プロピレングリコールジアクリレート、トリメチロール
プロパントリアクリレート、テトラメチロールメタント
リアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリ
レート、グリシジルアクリレート、ないしそれらのアク
リル酸成分をメタクリル酸に置換したものの如き多官能
性アクリル酸系エステルなどがあげられる。

【００２６】また、Ｎ−メチロールアクリルアミド、Ｎ
−メトキシメチルアクリルアミド、Ｎ−ブトキシメチル
アクリルアミド、ないしそれらのアクリルアミド成分を
メタクリルアミドに置換したものの如きアクリルアミド
系化合物なども架橋性モノマーとして好ましく用いう
る。

【００２７】さらに、アクリル酸プロピルトリメトキシ
シラン、アクリル酸プロピルジメトキシシラン、アクリ
ル酸プロピルトリエトキシシラン、ないしそれらのアク
リル酸成分をメタクリル酸に置換したものの如き多官能
性アルコキシシラン、その他ジビニルベンゼンなども架
橋性モノマーとして好ましく用いうる。

【００２８】架橋性モノマーを共重合させて架橋アクリ
ル系ポリマーを直接調製する方式の場合、その架橋性モ
ノマーの使用量は全共重合成分の０．０１〜５重量％、
就中０．０２〜３重量％が用いられる。その使用量が
０．０１重量％以下では架橋不足で遊離成分となりやす
い低分子量のポリマーが生成しやすいし、５重量％を超
えると架橋過多のアクリル系ポリマーが形成されて接着
力に乏しくなる場合がある。

【００２９】本発明においてアクリル系ポリマーの形成
に際し接着力の改良等を目的に必要に応じて用いられる
ことのある他の改質用モノマーとしては、例えばメチル
基やエチル基、プロピル基等の炭素数が３以下のアルキ
ル基を有するアクリル酸やメタクリル酸のエステル、ア
クリロニトリル、メタクリロニトリル、スチレンないし
その誘導体、酢酸ビニル、Ｎ−ビニルピロリドン、アク
リル酸メトキシエチルなどがあげられる。

【００３０】本発明においては少量の水溶性有機ラジカ
ル重合開始剤による乳化重合方式で調製したアクリル系
ポリマーのエマルジョンが粘着剤の形成に用いられる。
水溶性有機ラジカル重合開始剤としては、例えば水溶性
の有機過酸化物やアゾ系化合物などがあげられ、易腐食
性の被着体に使用する場合には後者が好ましく用いう
る。

【００３１】水溶性の有機過酸化物の例としては、ｔ-
ブチルパーオキシマレイン酸、ｔ-ブチルハイドロパー
オキサイド、過酸化水素などがあげられ、適宜な還元剤
を併用することもできる。

【００３２】水溶性のアゾ系化合物の例としては、２，
２'−アゾビス〔２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエ
チル）プロピオンアミド〕、２，２'−アゾビス（２−
メチルプロピオンアミド）ジハイドレート、２，２'−
アゾビス（Ｎ，Ｎ'−ジメチレンイソブチルアミジ
ン）、２−（カルバモイルアゾ）イソブチロニトリルな
どがあげられる。

【００３３】 水溶性有機ラジカル重合開始剤の使用量
は、遊離成分となりやすい低分子量ポリマーの生成を防
止する点より可及的に少量が好ましく、全共重合成分の
０．００５〜０．１モル％が用いられる。この場合に
は、重合開始剤を一括添加しても反応が緩慢に進行して
安定に重合しやすく、得られるアクリル系ポリマーの特
性も良好である。

【００３４】乳化重合処理は、適宜な方式で行ってよ
い。その例としては、原料モノマー等の共重合成分の混
合液を反応容器内で所定量の脱イオン水等の水中に加え
て混合乳化させ、反応容器を窒素置換して撹拌下に所定
の反応温度に加熱し乳化重合を進行完了させて目的のア
クリル系ポリマーを含有するエマルジョンを調製する方
式などがあげられる。

【００３５】前記において、水溶性有機ラジカル重合開
始剤は共重合成分の混合乳化時に加えてもよいし、反応
温度に加熱した際に加えてもよい。またその添加は、一
括でもよいし、分割して加えてもよい。

【００３６】さらに沸点が１５０℃以下のアルコール性
化合物を加えてもよい。かかる化合物は、重合安定化剤
や塗工性改良剤などとして機能する。添加量は、全共重
合成分の３０重量％以下が適当である。アルコール性化
合物の具体例としては、メタノール、ｎ-プロパノー
ル、ｎ-ブタノール、ｔ-ブタノール、メトキシエタノー
ルなどがあげられる。

【００３７】重合温度は、２０〜８０℃が一般的である
が、本発明においては可及的に低温で行わせることが重
合度を上げて低分子量ポリマーの生成を防止する点より
好ましく、例えば１０時間半減温度が４０〜９０℃の水
溶性有機ラジカル重合開始剤の場合、３０〜５０℃の温
度で重合処理する方式が特に好ましいが、前記に限定す
るものではない。

【００３８】なお、共重合成分の混合液の一部を水中に
添加して乳化させ、それを重合処理して微細な重合粒子
を生成させ、それを種粒子として残る混合液を徐々に添
加して粒径を生長させる重合方式（シードフィード方
式）も粒径が揃った重合体が得られやすい点より好まし
く適用することができる。

【００３９】本発明の再剥離型粘着剤は、ＴＨＦ不溶分
が９０％以上でＴＨＦによる膨潤度が１０倍以上の粘着
剤層を形成するために、必要に応じ架橋剤を配合してア
クリル系ポリマーを架橋処理するものである。架橋剤配
合による架橋は、前記の接着特性の調節のほか、粘着部
材を形成する支持基材への投錨性ないし密着性の改良の
ためなどに用いることもできる。

【００４０】架橋剤としては、例えば水溶性の多官能エ
ポキシ系化合物、多官能エポキシ系化合物の水分散液、
水溶性メラミン系化合物、メラミン系化合物の水分散
液、水溶性多官能イソシアネート系化合物、多官能イソ
シアネート系化合物の水分散液などが好ましく用いう
る。

【００４１】 架橋剤の添加量は、ＴＨＦ不溶分が９０
％以上でＴＨＦによる膨潤度が１０倍以上の粘着剤層の
形成を目的に、アクリル系ポリマー含有のエマルジョン
の固形分１００重量部あたり、０．００１〜５重量部、
就中０．０１〜０．５重量部が用いられる。

【００４２】本発明の粘着部材は、支持基材の片面又は
両面に厚さ５〜５００μm程度の粘着剤層を設けたもの
である。その支持基材としては、ポリ塩化ビニルやエチ
レン・ビニルアルコール、エチレン・酢酸ビニル、ポリ
エステルの如き適宜なプラスチックフィルム、紙、織
布、不織布、金属箔等からなる薄葉体などが一般に用い
られる。

【００４３】支持基材上への粘着剤層の付設は、流延方
式や塗布方式などの適宜な方式で粘着剤を支持基材上に
直接塗布し、それに乾燥処理や架橋処理などの必要な処
理を施してＴＨＦ不溶分が９０％以上でＴＨＦによる膨
潤度が１０倍以上の粘着剤層とする方式、あるいはセパ
レータ、例えば薄葉体を剥離剤で表面処理したものや、
ポリプロピレン、ポリエステルの如き弱接着性のフィル
ム等の上に前記に準じて形成した粘着剤層を支持基材上
に転着する方式などの適宜な方式で行うことができる。
なお支持基材と粘着剤層との密着性の向上が望まれる場
合には、コロナ処理や下塗剤による表面処理などの必要
な処理を支持基材に施してもよい。

【００４４】前記において粘着剤層におけるＴＨＦ不溶
分が９０％未満では、遊離成分の含有量が多くて再剥離
時に被着体を汚染しやすくなる。またＴＨＦによる膨潤
度が１０倍未満の粘着剤層では硬すぎて被着面に対する
密着性に乏しい場合がある。この密着力不足は、ＩＣウ
エハの回路パターン面における段差部分に隙間が生じて
洗浄水等の侵入を招き、洗浄汚濁水による汚染等を誘発
する原因などとなる。なお前記のＴＨＦ不溶分が増大す
ると膨潤度は低下するのが一般的傾向である。

【００４５】前記のＴＨＦ不溶分は、粘着剤をガラス板
上に１００μmの厚さで塗工後１０５℃で５分間乾燥し
た粘着剤層をナイフでかき集めて２０℃のＴＨＦに１週
間浸漬したのち、ＴＨＦ不溶分を分離回収してその乾燥
直後の重量（Ｂ）を測定し、ＴＨＦに浸漬する前の重量
（Ａ）を用いて下式により算出される。ＴＨＦ不溶分
（架橋分率：％）＝Ｂ／Ａ×１００

【００４６】また膨潤度は、前記ＴＨＦ不溶分の乾燥重
量（Ｂ）と、その乾燥前の、ＴＨＦ不溶分を２０℃のＴ
ＨＦに１週間浸漬させたものにおけるＴＨＦの吸収重量
（Ｃ）を用いて下式により算出される。 膨潤度＝（Ｂ＋Ｃ）／Ｂ

【００４７】本発明の粘着部材は、例えば損傷や塵埃の
付着、酸化等の変質等を防止する表面保護の目的や、Ｉ
Ｃウエハの裏面研磨時や切断によるチップ化時の固定保
持の目的などのように、仮着後に再剥離することが必須
の用途などに好ましく用いることができる。被着体とし
ては、例えば金属、シリコンの如き半導体、ガラスの如
きセラミック、プラスチックなどからなる板や化粧板等
の種々の物品を対象とすることができる。

【００４８】

【発明の効果】本発明によれば、界面活性剤の共重合
化、低分子量ポリマーの生成や重合開始剤の残存の抑制
などで遊離物質の含有量が少なく、溶剤による抽出処理
をしなくても再剥離時の汚染物質の残存が極めて少ない
エマルジョン系の再剥離型粘着剤ないしその粘着部材を
得ることができる。またその粘着剤層は、耐水性、被着
体の変質防止性、接着密着性と再剥離性の接着力バラン
スなどにも優れている。

【００４９】

【実施例】

実施例１ 温度計、還流冷却管、窒素導入口及び撹拌機を備えた容
器に、脱イオン水２２５部（重量部、以下同じ）を入
れ、それにアクリル酸ブチル２１２．５部、アクリロニ
トリル２５部、アクリル酸ヒドロキシエチル１２．５
部、トリメチロールプロパントリアクリレート０．０５
部及びＨＬＢが１７のプロペニル基導入ポリオキシエチ
レンアルキルフェニルエーテル（上記一般式の化合物、
以下同じ）８部の混合液の全量を加えて窒素置換し、撹
拌下に混合乳化させたのち４０℃に昇温して２，２'−
アゾビス（Ｎ，Ｎ'−ジメチレンイソブチルアミジン）
０．１２部を添加し、４０℃に６時間保持したのち４５
℃に３時間保持して反応させ、室温に冷却させて２５０
メッシュのナイロン布で濾過してアクリル系ポリマー含
有のエマルジョンを得、その１００部に水溶性メラミン
０．５部を加えて撹拌し、再剥離型粘着剤を得た。

【００５０】次に前記の再剥離型粘着剤を、二軸延伸し
た厚さ３８μmのポリエステルフィルム上にバーコータ
にて塗布し、８０℃で２０分間乾燥して厚さ２０μmの
粘着剤層を付設し、その粘着剤層を厚さ１５０μmのエ
チレン・酢酸ビニルフィルムのコロナ処理面に貼り合わ
せ５０℃で７日間キュアさせて粘着部材を得た。

【００５１】実施例２ 実施例１で得たエマルジョン１００部にヘキサメチレン
ジイソシアネート系多官能化合物の水分散（乳化）液
（固形分２５重量％）０．４部を加えて撹拌し、再剥離
型粘着剤を得た。次に、前記の再剥離型粘着剤を厚さ１
５０μmのエチレン・酢酸ビニルフィルムのコロナ処理
面にバーコータにて塗布し、８０℃で２０分間乾燥して
厚さ２０μmの粘着剤層を付設しそれを５０℃で７日間
キュアさせて粘着部材を得た。

【００５２】実施例３ アクリル酸ブチル２１７．５部、メタクリル酸メチル２
０部、アクリル酸メチル１２．５部、Ｎ−ｎ-ブトキシ
メチルアクリルアミド７部、ＨＬＢが１７のプロペニル
基導入ポリオキシエチレンアルキルフェニルエーテル８
部、及びｎ−プロピルアルコール２０部の混合液を用い
て実施例１に準じ重合処理して、架橋アクリル系ポリマ
ー含有のエマルジョンからなる再剥離型粘着剤を得、そ
れを用いて実施例１に準じ粘着部材を得た。

【００５３】実施例４ 温度計、還流冷却管、窒素導入口及び撹拌機を備えた容
器に、脱イオン水２２５部を入れ、それにアクリル酸ブ
チル１９５部、アクリル酸２−メトキシエチル３０部、
Ｎ−ビニルピロリドン２５部、γ−メタクリロキシプロ
ピルトリメトキシシラン０．５部、ＨＬＢが１７のプロ
ペニル基導入ポリオキシエチレンアルキルフェニルエー
テル８部、及びメタノール２０部とｔ-ブチルアルコー
ル１０部の混合液の全量を加えて窒素置換し、撹拌下に
混合乳化させたのち５５℃に昇温して２，２'−アゾビ
ス〔２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピ
オンアミド〕０．１部を添加し、５５℃に６時間保持し
たのち６５℃に３時間保持して反応させ、室温に冷却さ
せて２５０メッシュのナイロン布で濾過して架橋アクリ
ル系ポリマー含有のエマルジョンからなる再剥離型粘着
剤を得、それを用いて実施例１に準じ粘着部材を得た。

【００５４】実施例５ 温度計、還流冷却管、窒素導入口及び撹拌機を備えた容
器に、脱イオン水２２５部を入れ、それにアクリル酸ブ
チル２０５部、アクリル酸メチル３８部、アクリル酸２
−ヒドロキシエチル８部、アクリル酸０．５部、ＨＬＢ
が１８のプロペニル基導入ポリオキシエチレンアルキル
フェニルエーテル５部、及びメタノール３５部の混合液
の全量を加えて窒素置換し、撹拌下に混合乳化させたの
ち４０℃に昇温して０．０３部の２，２'−アゾビス
（Ｎ，Ｎ'−ジメチレンイソブチルアミジン）を加え４
０℃に６時間保持後０．０１部を追加して４５℃に３時
間保持して反応させ、室温に冷却させて２５０メッシュ
のナイロン布で濾過してアクリル系ポリマー含有のエマ
ルジョンを得、その１００部に２５重量％アンモニア水
０．１部と水溶性多官能エポキシ系化合物０．０１部を
加えて撹拌し、再剥離型粘着剤を得、それを用いて実施
例２に準じ粘着部材を得た。

【００５５】実施例６ 温度計、還流冷却管、窒素導入口及び撹拌機を備えた容
器に、脱イオン水２２５部を入れてＬ−アスコルビン酸
０．２部を加え、それにアクリル酸ブチル２１２．５
部、アクリロニトリル２５部、アクリル酸ヒドロキシエ
チル１２．５部、トリメチロールプロパントリアクリレ
ート０．０５部及びＨＬＢが１７のプロペニル基導入ポ
リオキシエチレンアルキルフェニルエーテル８部の混合
液の全量を加えて窒素置換し、撹拌下に混合乳化させた
のち４０℃に昇温して保持しつつ、ｔ-ブチルハイドロ
パーオキサイド０．５部を溶解させた脱イオン水５０部
を５時間かけて滴下したのち４５℃に３時間保持して反
応させ、室温に冷却させて２５０メッシュのナイロン布
で濾過してアクリル系ポリマー含有のエマルジョンを
得、その１００部に水溶性メラミン０．５部を加えて撹
拌し、再剥離型粘着剤を得、それを用いて実施例１に準
じ粘着部材を得た。

【００５６】比較例１ プロペニル基導入ポリオキシエチレンアルキルフェニル
エーテルに代えて、そのプロペニル基を有しないものを
用いたほかは実施例１に準じて粘着剤とその粘着部材を
得た。

【００５７】比較例２ ２，２'−アゾビス（Ｎ，Ｎ'−ジメチレンイソブチルア
ミジン）の使用量を０．６部としてそれを添加後、６０
℃に４間保持したのち７０℃に２時間保持したほかは実
施例１に準じて粘着剤とその粘着部材を得た。

【００５８】比較例３ 重合開始剤として、過硫酸アンモニウム０．５部を用い
たほかは比較例２に準じて粘着剤とその粘着部材を得
た。

【００５９】比較例４ トリメチロールプロパントリアクリレートの使用量を
１．２部としたほかは実施例１に準じて粘着剤とその粘
着部材を得た。

【００６０】評価試験 実施例、比較例で得た粘着部材について次の特性を調べ
た。 接着力 幅２０mmの粘着部材をステンレス板（SUS 304 BA仕上）
に１kgのゴムローラを一往復させて圧着し、剥離に要す
る力を測定した(１８０度ピール、剥離速度３００mm／
分)。

【００６１】耐水性 厚さ０．５mmのステンレス板（SUS 304 BA仕上）からな
る直径１０cmの円板にその周縁より３mmを離して厚さ約
５０μmのＰＦＴ基材の粘着テープを接着し、その上か
ら円板と同面積で試験用の粘着部材を接着し３０分間経
過後に２３℃の蒸留水中に２４時間浸漬して取りだし、
周縁における粘着部材の剥がれ状態を調べ、次の基準で
評価した。 ○：全く剥がれ無し △：一部に剥がれ有り ×：周縁の半分以上に剥がれ有り

【００６２】銅板腐食性 ２８０番のサンドペーパで研磨した銅板面に、幅２cm、
長さ１２cmの粘着部材を接着したのち５０℃、湿度１０
０％Ｒ．Ｈ．中に２４時間放置したのち取りだし室温に
冷却後、粘着部材を剥がして変色の程度を調べ次の基準
で評価した。 ◎：褐色（変化無し）の状態 ○：こげ茶色の状態 △：緑色を帯びた状態 ×：緑色の状態

【００６３】パーティクル数 メタノールで洗浄したシリコンウエハに粘着部材を接着
し、６０分間室温で放置したのち再剥離してシリコンウ
エハの表面におけるパーティクル数を測定した（ＨＩＡ
Ｃ−ＲＯＹＣＯ社製、ＰＣ−３２０／ＬＡＳ３４６）。

【００６４】前記の結果を表１に示した。なお表にはＴ
ＨＦ不溶分と膨潤度を併記した。

【表１】

フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−298585（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−39328（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−50204（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−166156（ＪＰ，Ａ) 特表 平７−506128（ＪＰ，Ａ) ＹＯＫＯＴＡ，Ｋｉｎｙａ，ｅｔ．ａ ｌ．，Ｓｐｅｃ．Ｐｕｂ１．− Ｒ．Ｓ ｏｃ．Ｃｈｅｍ (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) C09J 133/00 C08F 20/18 C09J 7/02 ＣＡ（ＳＴＮ)

Claims (3)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 炭素数が４〜１２のアルキル基を有する
   アクリル酸ないしメタクリル酸のエステルからなるアク
   リル酸系アルキルエステルと、下記の一般式で表される
   非イオン性界面活性剤を全共重合成分の０．２〜１０重
   量％と、併用の架橋剤と反応する官能基を有する官能性
   モノマーを全共重合成分の０．０１〜１０重量％とを少
   なくとも用いて、全共重合成分の０．００５〜０．１モ
   ル％の水溶性有機ラジカル重合開始剤により乳化共重合
   させて形成したアクリル系ポリマーを含有するエマルジ
   ョンに、その固形分１００重量部あたり０．００１〜５
   重量部の架橋剤を配合してなり、ＴＨＦ不溶分が９０％
   以上でＴＨＦによる膨潤度が１０倍以上の粘着剤層を形
   成することを特徴とする再剥離型粘着剤。一般式： （ただし、Ｒは水素又はアルキル基、ｎは１０〜７０で
   ある。）
2. 【請求項２】 炭素数が４〜１２のアルキル基を有する
   アクリル酸ないしメタクリル酸のエステルからなるアク
   リル酸系アルキルエステルと、下記の一般式で表される
   非イオン性界面活性剤を全共重合成分の０．２〜１０重
   量％と、２個以上の結合手を有して自己架橋性を示す架
   橋性モノマーを全共重合成分の０．０１〜５重量％とを
   少なくとも用いて、全共重合成分の０．００５〜０．１
   モル％の水溶性有機ラジカル重合開始剤により乳化共重
   合させて形成してなる、ＴＨＦ不溶分が９０％以上でＴ
   ＨＦによる膨潤度が１０倍以上の架橋アクリル系ポリマ
   ーを含有するエマルジョンからなることを特徴とする再
   剥離型粘着剤。一般式： （ただし、Ｒは水素又はアルキル基、ｎは１０〜７０で
   ある。）
3. 【請求項３】 支持基材上に請求項１又は２に記載の再
   剥離型粘着剤からなる、ＴＨＦ不溶分が９０％以上でＴ
   ＨＦによる膨潤度が１０倍以上の粘着剤層を有すること
   を特徴とする粘着部材。