JPS63241086A

JPS63241086A - 研摩用粘着シ−ト

Info

Publication number: JPS63241086A
Application number: JP62073487A
Authority: JP
Inventors: Kazuyoshi Ebe; 和義江部; Hiroaki Narita; 博昭成田; Katsuhisa Taguchi; 田口　克久; Yoshitaka Akeda; 明田　好孝; Takanori Saito; 斉藤　隆則
Original assignee: F S K KK; FSK Corp
Current assignee: F S K KK; FSK Corp
Priority date: 1987-03-27
Filing date: 1987-03-27
Publication date: 1988-10-06

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】発明の技術分野本発明は研摩用粘着シートに関し、ざらに詳しくは、半
導体ウェハの裏面あるいはセラミックス、ガラスなどを
研摩する際に用いられる研摩用粘着シートに関する。

発明の技術的背景ならびにその問題点 ”　シリコン、ガリウムヒ素などの半導体ウェハの表面
には、エツチングおるいはリフトオフ法などによってパ
ターンが形成される。次いで表面にパターンが形成され
たウェハは、通常、その表面に粘着シートが貼着された
状態で、その裏面にグラインダーなどにより研摩処理が
加えられる。パターンが形成されたウェハの表面に研摩
を加える目的は、第１にエツチング工程時にウェハ裏面
に酸化物皮膜が形成されることが必るため、この酸化物
皮膜を除去することにあり、第２にパターンが形成され
たウェハの厚みを調節することにある。

ところで、表面にパターンが形成されたウェハの裏面に
研摩処理を加えるに際しては、前述のように基材上に粘
着剤層が設けられてなる研摩用粘着シートが用いられて
いる。このような研摩用粘着シートの基材としては、従
来ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポ
リ塩化ビニルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフ
ィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジェンフィルム
、エチレン酢酸ビニルフィルムなどが用いられてきた。

上記のような研摩用粘着シートを用いて表面にパターン
が形成されたウェハの裏面を研摩しようとすると、研摩
時にウェハに加わる外力は、おる程度粘着剤層および基
材フィルムに吸収される。

しかしながらウェハの表面には凹凸が形成されているた
め、該粘着シートをウェハ表面に貼着したのでは充分に
凹凸を埋めることができず、ウェハに加わる外力を充分
には吸収することはできない。

このため、ウェハに加わる外力によって、ウェハが破損
してしまうことがおるという問題点がめった。

またポリブタジェンフィルムなどの柔軟性の大きすぎる
基材を用いると、表面にパターンが形成されたウェハの
裏面に研摩用粘着シートを貼着する際あるいは剥離する
際の作業性に劣るという問題点もあった。

このようなウェハが研摩時に破損してしまうという問題
点を解決するため、たとえば特開昭６１−２６０６２９
号公報には、ショアーＤ型硬度が４０以下でおる基材フ
ィルムの片側表面上にショアーＤ型硬度が４０より大き
い補助フィルムが積層されてなる基材フィルムと、この
基材フィルムの他方の表面上に設けられた粘着層とから
なる粘着シートが開示されている。

しかしながら、このような積層タイプの基材フィルムで
は、基材フィルムに補助フィルムを積層しなければなら
ないという問題点がおった。

また上記のようなウェハの研摩時に認められる問題点は
、たとえばセラミックスを研摩する際あるいはレンズな
どを製造するためにガラスを研摩する際にも認められて
いる。

発明の目的本発明は、上記のような従来技術に伴なう問題点を一挙
に解決しようとするものであって、表面にパターンが形
成されたウェハなどの被研摩物を研摩処理する際に、ウ
ェハなどの被研摩物に破損が生ずることかなく、しかも
被研摩物に粘着シートを貼着する際あるいは剥離する際
の作業性にも優れているような研摩用粘着シートを提供
することを目的としている。

及用り呈亘本発明に係る研摩用粘着シートは、表面にパターンが形
成されたウェハなどの被研摩物を研摩処理する際に被研
摩物に貼着される、基材面上に粘着剤が設けられてなる
粘着シートであって、基材として発泡フィルムが用いら
れていることを特徴としている。

本発明に係る研摩用粘着シートは、基材として発泡フィ
ルムが用いられているため、ウェハなどの被研摩物に破
損が生ずることがなく、しかも被研摩物に粘着シートを
貼着する際などの作業性にも優れている。

発明の詳細な説明以下本発明に係る研摩用粘着シートを具体的に説明する
。

本発明に係る研摩用粘着シート１は、その断面図が第１
図に示されるように、基材２とこの表面に塗着された粘
着剤層３とからなっており、使用前にはこの粘着剤層３
を保護するため、第２図に示すように粘着剤３の上面に
剥離性シート４を仮粘着しておくことが好ましい。

本発明に係る研摩用粘着シートの形状は、テープ状、ラ
ベル状など必らゆる形状をとりうる。

本発明では、基材２として発泡フィルムが用いられてい
る。発泡フィルムとしては、発泡ポリエステルフィルム
、発泡ポリカーボネートフィルム、発泡ポリブテンフィ
ルム、発泡ＡＢＳフィルム、発泡ポリエチレンフィルム
、発泡ポリプロピレンフィルム、発泡エチレン−酢酸ビ
ニル共重合体フィルム、発泡ポリスチレンフィルム、発
泡ポリウレタンフィルムなどが用いられる。

基材２の膜厚は、２０〜’１０００μｍ好ましくは１０
０〜３００μ瓦であることが望ましい。また、発泡倍率
は１．１〜５程度であることが好ましい。

本発明で用いられる発泡フィルムの硬度（ショアーＤ型
硬）度は１０〜６０であることが好ましく、また柔軟性
（ガーレ式柔軟性）は、２０ｍ３〜１０００／１１ｇ程
度であることが好ましい。

発泡フィルムの硬度が１０未満では、研摩時の圧力に抗
しきれないため好ましくなく、一方該硬度が６０を越え
ると充分にウェハの凹凸を埋めることができないため好
ましくない。

また発泡フィルムの柔軟性が２０ｍ’ｊ未満では柔らか
すぎて作業性に劣るため好ましくなく、一方該柔軟性が
１０００ｍｇを越えると被研摩物を貼り合せる際空気を
巻き込みやすくなるため好ましくない。

たとえば、基材２として発泡ポリプロピレンフィルムあ
るいは発泡ポリエチレンフィルムを用いると、クッショ
ン性に優れるとともに、基材自体が柔らかすぎないため
貼着時あるいは剥離時の作業性に優れている。ところが
たとえば基材２としてポリエチレンテレフタレートフィ
ルム、ポリプロピレンフィルムなどを用いると、基材自
体は固く柔らかすぎないため作業性には優れているが、
クッション性に劣るためウェハなどの破壊が生じてしま
う。また一方基材２としてエチレン酢酸ビニル共重合体
フィルムあるいはポリブタジェンフィルムなどを用いる
と、基材自体は柔らかいためクッション性に優れてウェ
ハなどの破壊は生じないが、基材が柔らかすぎるため作
業性に劣ってしまう。

本発明では、上記のような基材面上に、粘着剤層３とし
て粘着剤が塗布されている。

このような粘着剤としては、アクリル系、エステル系、
ウレタン系あるは合成ゴム系の粘着剤を用いることがで
きるが、被研摩物がウェハである場合には、このうち水
膨潤性粘着剤を用いることが好ましい。

この水膨潤性粘着剤とは、不飽和カルボン酸含有モノマ
ーとアクリル酸エステル系モノマーを構成単位とする共
重合体において、その共重合体同士がからみ合ったり、
架橋していて、水と接触すると有限膨潤する粘着剤であ
る。また実用上、その粘着剤の水溶性あるいは粘着特性
を変化させる必要がある場合には、通常使用される親水
性可塑剤あるいは親水性エポキシ化合物を上記水膨潤性
粘着剤と組み合せて用いてもよい。

上記のような水膨潤性粘着剤としては、たとえば特公昭
４９−２３２９４号公報に記載されているような粘着剤
を用いることができる。

すなわち、（Ａ＞エチレンオキシド基を親水性成分とす
る非イオン界面活性剤の１種または２種以上、および（
Ｂ）下記式（Ｉ＞で示される構成単位の１種または２種
以上４０〜９９モル％と、下記式（Ｉ）で示される構成
単位の１種または２種以上６０〜１モル％とで構成され
る共重合体の１種または２種以上からなり、必要に応じ
て、成分（Ｂ）の有するカルボキシル基を酢酸亜鉛ある
いは塩化マグネシウムなどのカルボキシル基と反応する
架橋剤で架橋させて得られる粘着剤を用いることができ
る。なお架橋剤による架橋時に水酸化カリウムなどのア
ルカリ性化合物を共存させてもよい。

（式中Ｒ１は水素、塩素または低級アルキル基であり、
Ｒ２は水素、塩素、低級アルキル、またはＨ４０Ｈ１−
ＯＨ，ＮＯＳであり、ここでＲ３は炭素数１〜８のアル
キル基である。）×７（式中、Ｘ、Ｙ、Ｚは、同一であっても互いに異なって
いてもよく、水素、塩素、低級アルキルま、たは−ＣＯ
ＯＲ４、−ＣＯＯＨ，−Ｃ１−（２Ｃ００Ｈ１−ＣＨ２
ＣＯＯＲ４であり、ここでＲ４は炭素数１〜４のアルキ
ル基である。）成分（Ａ＞であるエチレンオキシド基を親水性成分とす
る非イオン界面活性剤としては、具体的には下記のよう
なものが用いられる。

（ｉ　）ＯＨ（Ｃ２Ｈ４０）　ａ　（Ｃ３Ｈ６０）　ｂ
（０２ト１４０）　ＣＨ（式中、ａ、　ｂ、　ｃは２０〜８０の整数テアル。）
（ｉｉ　）　ＲＡ　（Ｃ’２　Ｒ４０）。Ｈ（式中、Ｒ
は炭素数６〜１８のアルキル基、炭素数４〜２０のアル
キル基を有するアルキルフェニル基、またはＡは酸素、硫黄または−Ｃｏｏ、−ＣＯＮＨ。

Ｃ０Ｎ（Ｃ２Ｈ４０）。Ｈ１ＰＯ４Ｈ１Ｐｏ４（Ｃ２Ｈ
４０）。Ｈでおり、ｅは２〜８０の整数でおる。）０−（Ｃ２Ｈ４のｙｌ−１（式中、Ｒは炭素数６〜１８のアルキル基であり、ｘ、
　ｙ、　ｚは２〜４０の整数である。）上記のような（
Ａ＞非イオン界面活性剤とじては、具体的には、ポリエ
チレングリコールノニルフェニルエーテル、ポリエチレ
ングリコールソルビタンモノオレイルエステル、ポリエ
チレングリコールラウリルエーテル、ポリエチレングリ
コールとポリプロピレングリコールのブロックポリマー
、ポリエチレングリコールラウリルフェニルエーテル、
ポリエチレングリコールｔ−ブチルフェニルエーテルな
どが用いられる。

成分（Ｂ）における上記式（Ｉ＞で示される構成単位は
、たとえば酢酸ビニルなどのビニルエステル、アクリル
酸エチルなどのアクリル酸エステル、メタクリル酸エチ
ルなどのメタクリル酸エステル、エチレン、スチレン、
メチルビニルエーテル、塩化ビニル、アクリロニトリル
などのモノマーから導入される。また成分（Ｂ）におけ
る上記式（ＩＩ）で示される構成単位は、カルボキシル
基を有する七ツマ−１たとえばアクリル酸、メタクリル
酸、クロトン酸、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、
アコニット酸、モノアルキルマレイン酸、モノアルキル
フマル酸、モノアルキルイタコン酸などから導入される
。

上記成分（Ａ＞と成分（Ｂ）とは、相溶しなければなら
ず、しかも得られる粘着剤が水膨潤性でなければならな
い。このため、成分（Ａ）と成分（Ｂ）との母的な関係
が定められている。

また場合によっては、上記のような成分（Ａ＞および成
分（Ａ）とともに、グリシジルエーテル系のエポキシ化
合物を用いることもできる。

また水膨潤性粘着剤として、特開昭５９−１５７１６２
号公報に記載されているような粘着剤を用いることもで
きる。

すなわら、（Ａ＞水溶性ポリマーと、（Ｂ）重合して得
られるポリマーが水溶性あるいは水膨潤性でおる（メタ
）アクリル酸エステルモノマーとからなる粘着剤を用い
ることができる。

具体的には成分（Ａ＞としては、式は炭素数２〜４のアルキレン基であり、Ｒ３は炭素数１
以上のアルキル基であり、ｎは１以上の整数である）で
表わされる（メタ）アクリル酸エステルモノマー、アク
リル酸、ビニルピロリドン、アクリルアミド、ジメチル
アミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエ
チル（メタ）アクリレート、ビニルメチルエーテルなど
が用いられる。また場合によっては、水溶性ポリマーと
して、上記のような七ツマ−にアクリル酸エステル、酢
酸ビニル、スチレン等を３０重量部までの但で共重合さ
せて得られるポリマーも用いることができる。

また成分（Ｂ）としては、具体的には、（メタ）アクル
酸エステルモノマー、ジメチルアミノエチル（メタ）ア
クリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレー
トが用いられる。

ざらに水膨潤性粘着剤として、特開昭５６−７００７７
号公報に記載されているような粘着剤を用いることもで
きる。

すなわち、（Ａ）カルボキシル基含有上ツマー１０〜４
０モル％、アルキル基の炭素数が４以上である（メタ）
アクリル酸アルキルエステル６０〜９０モル％および上
記以外のビニル七ツマーＯ〜２０モル％よりなる共重合
体中のカルボキシル基を中和した共重合体塩および（Ｂ
）式Ｒ，０（Ｒ２０＞　ｎＲ３（式中、Ｒ１は炭素数１
〜４のアルキル基であり、Ｒ２は炭素数２〜４のアルキ
レン基であり、Ｒ３は水素、炭素数１〜４のアルキル基
またはアセチル基であり、ｎは１〜６の整数である）で
表わされる親水性化合物からなる水膨潤性粘着剤を用い
ることができる。

このような水膨潤性粘着剤が塗布されてなる粘着シート
１は、ウェハＡなどの被研摩物を研摩する際には、ウェ
ハに精製水が吹き付けられた場合、含水後、膨潤平衡に
達して、パターン部分ま・での浸水を防ぐ効果により、
ウェハ表面と粘着シートとの間にウェハ研摩屑が入り込
むことはなくウェハ表面に形成されたパターンを十分保
護しうる。

なお上記の説明では、主として被研摩物としてウェハが
用いられる場合について説明したが、本発明に係る研摩
用粘着シートはウェハの研摩時以外に、セラミック製品
あるいはレンズなどのガラス製品などを研摩する際に用
いることもできる。

次に本発明に係る研摩用粘着シート１の使用方法を、被
研摩物として表面にパターンが形成されたウェハを用い
る場合について説明する。

本発明に係る研摩用粘着シート１の上面に剥離性シート
４が設けられている場合には、該シート４を除去し、次
いでこの粘着剤層３に、裏面に研摩処理をすべきウェハ
Ａを貼着する。この際粘着剤層３上に、第３図に示すよ
うにパターン５が形成されたウェハ表面が接するように
して貼着する。

このような状態で、ウェハ裏面６をグラインダー７など
によって研摩して、ウェハ裏面６に形成された酸化物皮
膜などを除去するとともに、ウェハＡの厚みを所望の厚
さに調節する。この際精製水をウェハＡに吹ぎ付けるな
どしてウェハ研摩屑を洗い去るとともに、研摩時に発生
する熱を除去する。

次に研摩が終了した後に、ウェハＡから粘着シート１を
剥離する。この際ウェハＡのパターン５が形成された表
面に、水溶性粘着剤などが付着することもある。この付
着した粘着剤Ｂは、充分な親水性を有しているため、こ
の付着した粘着剤は、精製水Ｃで簡単に洗い去ることが
できる。

本発明に係る研摩用粘着シート１では、基材として発泡
フィルムが用いられているため、ウェハなどの被研摩物
に外力が加わっても、被研摩物に破壊が生ずることがな
い。しかも基材としての発泡フィルムは柔らかすぎない
ため、被研摩物に粘着シートを貼着する際の作業性にも
優れている。

発明の効果本発明に係る研摩用粘着シートは、表面にパターンが形
成されたウェハなどの被研摩物をｒｔｌ摩処理する際に
被研摩物に貼着されるシートにおいて、基材として発泡
フィルムが用いられているため、ウェハなどの被研摩物
に外力が加わっても、被研摩物に破壊が生ずることがな
い。しかも基材としての発泡フィルムは柔らかすぎない
ため、被研摩物に粘着シートを貼着する際あるいは剥離
する際の作業性にも優れている。

以下実施例により本発明を説明するが、本発明はこれら
実施例に限定されるものではない。

実施例１ショアーＤ型硬度が４５で、ガーレ式柔軟性のＭＤ力方
向３６０ｍｆｆ、ＣＤ方向が１２０ｍ３であり、発泡倍
率が１．６でおるポリプロピレン発泡フィルム（厚さ２
００μｍ）上にアクリル酸エチルと酢酸ビニルとメタク
リル酸との共重合体およびポリエチレングリコールラウ
リルエーテルからなり、水酸化カリウムの存在下で酢酸
亜鉛により架橋してなるアクリル系水膨潤性粘着剤「モ
ビニール」　（ヘキスト合成（株）製）を乾燥後の塗イ
５量が３０　ｃｙ／ｒｄになるように塗布し、ＪＩＳ　
　Ｚ−０２３７による１８０°接着力が８０ＣＪ／２５
ｍである粘着シートを得た。

この粘着シートの粘着剤面をパターン形成後のシリコン
ウェハ（５インチ）表面に半自動貼合せ機（ディスコ社
製）を用いて貼着した。その後、ウェハ表面が上となる
ようにグラインド装置（ディスコ社製）に正確に固定し
、５分間研摩した。

研摩加工後、粘着シートを全自動剥離機（日東電気工業
（株）製）を用いて剥離し、純粋で洗浄し、ざらに乾燥
して１００枚の実間加工済みウェハを製造した。このと
きのウェハの破損数は皆無であり、その作業性（貼り、
剥し適性）も良好であった。

比較例１ショアーＤ型硬度が６３で、ガーレ式柔軟性のＭＤ力方
向１６５η、ＣＤ方向が１８０Ｉｒ１ｇのポリプロピレ
ンフィルム（厚さ１５０μｍ）上に実施例２と同様な粘
着剤を塗布し同様な加工を行なったところ作業性は良好
であったが、破損による不良品が約３割も発生した。

ル校■２ショアーＤ型硬度が３０で、ガーレ式柔軟性のＭＤ力方
向７ｒｒｔｇ、ＣＤ方向が１０＃２！ｊのエチレン−酢
酸ビニル共重合体フィルム（厚さ１２０μｍ）に実施例
２と同様な粘着剤を塗布し同様な加工を行なったところ
、ウェハの破損数は皆無であったが柔らかいため粘着シ
ートのウェハへの貼着時、一部にシワの発生や気泡の混
入が認められ作業性が非常に悪かった。

！塵４Ｍ２実施例１と同じ基材に、アクリル系粘着剤「オリパイン
」　（東洋インキ製造（株）製）を同様に塗布し、１８
０°接着力が８００／２５ｍである粘着シートを得た。

この粘着シートを用いて実施例１と同様な加工を行った
ところ、同様にウェハの破損数は皆無であり、その作業
性も良好であった。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は、本発明に係る粘着シートの断面
図であり、第３図および第４図は本発明に係る粘着シー
トを用いてウェハ裏面を研摩する際の説明図である。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）被研摩物を研摩処理する際に被研摩物の非研摩面
に貼着される、基材面に粘着剤が設けられてなる粘着シ
ートにおいて、基材として発泡フィルムが用いられてい
ることを特徴とする研摩用粘着シート。