JPH08267668A - 研磨用ウエハ保持部材及びそのウエハ保持部材の研磨機定盤への脱着方法 - Google Patents

研磨用ウエハ保持部材及びそのウエハ保持部材の研磨機定盤への脱着方法

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JPH08267668A
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polishing
wafer holding
surface plate
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adhesive layer
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Hideyuki Ishii
秀幸 石井
Yoshitane Shigeta
好胤 繁田
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Nitta Corp
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 研磨用ウエハ保持部材の交換時において、定
盤および研磨用ウエハ保持部材の接着剤層を冷却するだ
けで、容易に定盤面から剥離することができる研磨用ウ
エハ保持部材とその研磨用ウエハ保持部材の定盤からの
脱着方法を提供すること。 【構成】 研磨用ウエハ保持部材は、ウエハを表面に取
り外し可能に吸着させ得る発泡層２と、該発泡層２を研
磨機の定盤７上に取り付けるための感圧接着剤層３と、
該感圧接着剤層３に離型可能に貼り付けられた離型シー
ト４と、を有する。該感圧接着剤層３を形成する接着剤
組成物に含有されるポリマーは、１５℃より狭い温度範
囲にわたって起こる第１次溶融転移を有する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウエハ等の被研
磨部材を研磨機の定盤に保持し、研磨加工するにあたっ
て、その被研磨部材の保持のために使用される保持部
材、並びに該研磨用ウエハ保持部材を研磨機定盤に装着
および定盤から取り外す方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】近年、半導体業界においては、ＩＣの集
積度が飛躍的に増大し、４Ｍ、１６Ｍ、さらには６４Ｍ
へと進行中である。
【０００３】このような状況下では、ＩＣの基盤である
ウエハの表面の品位の向上に対する要求がますます高度
化して来ている。ウエハの化学的性状、電気的性状も当
然のことであるが、ＩＣの集積度を高めるためには、ウ
エハ上に設けられるデバイスを構成する最小線幅がます
ます小さくなり、０．５ミクロンから０．３５ミクロン
へと要求は高度化しつつある。
【０００４】このような高精細な処理を可能ならしめる
為に、ウエハ表面の平坦性すなわち厚み精度に対する要
求はますます強くなってきている。すなわち最終の鏡面
仕上げ研磨後のウエハは、全面積にわたる厚み不同（Ｔ
ｏｔａｌ ｔｈｉｃｋｎｅｓｓ ｖａｒｉａｔｉｏｎ）
（ＴＴＶ）が１ミクロン以下、１個のＩＣチップとなる
べき２０ｍｍ平方にわたる厚み不同（Ｌｏｃａｌ ｔｈ
ｉｃｋｎｅｓｓ ｖａｒｉａｔｉｏｎ）（ＬＴＶ）が
０．２ミクロン以下、が要求されるようになって来てい
る。
【０００５】この要求精度を達成するために、ウエハの
研磨工程において、ウエハを研磨機の定盤上に、該定盤
面に対して正確に平行に装着する事が必要となる。一般
にウエハを研磨機定盤に装着する方法には、従来より以
下の２通りの方法が使用されている。
【０００６】１つは定盤を加熱して表面に溶融したワッ
クスを塗布し、これを介してウエハを定盤面に固着させ
る方法である。
【０００７】この方法によれば、ウエハを定盤面に固着
させて研磨作業を行い、研磨作業が終わった後、再び定
盤を加熱してワックスを溶融して、ウエハを定盤面から
取り外し、ウエハを有機溶剤で洗浄して付着したワック
スを除去する方法である。
【０００８】この方法は研磨されたウエハの厚み不同は
少ないので満足されるものであるが、工程内に定盤の加
熱冷却が一研磨の前後に各一回行われるので、ワックス
の加熱溶融という熱工程の存在、ワックスの洗浄除去の
ために有害な有機溶剤を使用する等の欠点がある。
【０００９】もう１つは本発明で述べる研磨用ウエハ保
持部材を用い、該保持部材を上定盤に粘着しておき、こ
の表面に水等の液体を介してウエハを吸着させる方法で
ある。この方法によれば、研磨作業の工程において定盤
へのウエハの装着及び取り外しが容易であり、従って能
率が良く、自動化にも適している。研磨用ウエハ保持部
材は粘着強度の強い感圧接着剤（Ｐｒｅｓｓｕｒｅ ｓ
ｅｎｓｉｔｉｖｅ ａｄｈｅｓｉｖｅｓ：ＰＳＡ）を使
用して上定盤に固定するのが普通である。
【００１０】ところが、本方式の問題点は、研磨用ウエ
ハ保持部材の基材裏面の接着剤層が定盤面に馴染んで密
着するため、研磨機定盤に貼り付けた研磨用ウエハ保持
部材を通常に剥離しようとする場合には、約２Ｋｇ／イ
ンチ幅から３ｋｇ／インチ幅程度の粘着強度が必要とな
る。従って、４８５ｍｍ径の研磨機定盤から該研磨用ウ
エハ保持部材を剥離する場合には、最大５７ｋｇの力が
必要となり研磨用ウエハ保持部材を使用後、新たなもの
と交換する場合には非常な労力が必要となっていた。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の研磨
用ウエハ保持部材を研磨機定盤から剥離する際の問題点
を解決するものであり、その目的は、ウエハの研磨時に
は強力にしかも安定的に研磨機定盤に高精細に粘着し、
研磨機定盤から剥離する際には該定盤から容易に剥離す
ることができる研磨用ウエハ保持部材と、その研磨用ウ
エハ保持部材の研磨機定盤への脱着方法を提供すること
にある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明の研磨用ウエハ保
持部材は、ウエハを表面に取り外し可能に吸着させ得る
発泡層と、該発泡層を研磨機の定盤上に取り付けるため
の感圧接着剤層と、該感圧接着剤層に離型可能に貼り付
けられた離型シートと、を有する研磨用ウエハ保持部材
において、該感圧接着剤層を形成する接着剤組成物に含
有されるポリマーが、１５℃より狭い温度範囲にわたっ
て起こる第１次溶融転移を有することを特徴とし、その
ことにより上記目的が達成される。
【００１３】上記接着剤組成物には、２０℃以下では上
記圧接着剤層が該研磨機の定盤面に対して実質的に非粘
着性となり、かつそれより上の温度では該感圧接着剤層
が該研磨機の定盤面に対して実質的に粘着性を有するよ
うに、側鎖結晶可能ポリマーが配合されていることが好
ましい。
【００１４】本発明の研磨用ウエハ保持部材の定盤への
脱着方法は、上記研磨用ウエハ保持部材の離型シートを
感圧接着剤層から除去した後、該研磨用ウエハ保持部材
の該感圧接着剤層を、適宜温度Ｔ1の研磨機の定盤面に
粘着させることにより該研磨用ウエハ保持部材を装着
し、研磨用ウエハ保持部材の使用後は、該温度Ｔ1より
低い温度Ｔ2に該研磨機の定盤を冷却した状態で該研磨
用ウエハ保持部材を該研磨機の定盤面から取り外すこと
を特徴とし、そのことにより上記目的が達成される。
以下本発明を詳細に説明する。
【００１５】本発明の研磨用ウエハ保持部材は、ウエハ
を表面に取り外し可能に吸着させ得る発泡層と、該発泡
層を研磨機の定盤上に取り付けるための感圧接着剤層
と、該感圧接着剤層に離型可能に貼り付けられた離型シ
ートと、を少なくとも有するものである。研磨用ウエハ
保持部材の層構成は、上記のように３層からなっていて
もよく、あるいはさらに他の層が積層されていてもよ
い。例えば、４層構成の研磨用ウエハ保持部材の場合に
は、発泡層と接着剤層との間にシート状基材が積層され
る。
【００１６】上記シート状基材としては、ポリエチレン
テレフタレート、ポリエーテルイミド、ポリウレタン
等、種々の合成樹脂シートを使用することができ、例え
ば、ポリエステルフィルム（商品名、ルミラー、東レ社
製）等が挙げられる。
【００１７】上記発泡層は、例えば、ウレタン重合体
と、塩化ビニル重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合
体、塩化ビニル−酢酸ビニル−ビニルアルコール三元共
重合体等のビニル重合体と、ジメチルホルムアミドとを
有する発泡層組成物を、上記基材上に設けて湿式凝固法
により形成することができる。この発泡層の表面部、特
にその表面に形成されたスキン層はバフされて、ウエハ
が容易に吸着され得るようにするのがよい。
【００１８】本発明に使用される上記接着剤層は、上記
発泡層の裏面に設けられ、研磨用ウエハ保持部材が上記
基材を有する場合には、その基材の裏面（研磨機上定盤
側）に設けられる。
【００１９】該接着剤層を形成する接着剤組成物には、
約１５℃より狭い温度範囲にわたって起こる第１次溶融
転移を持つポリマーを含有する。該接着剤組成物は、約
５℃と５０℃との間に第１次溶融転移をもつポリマー組
成物であり、この転移は約１５℃より低い溶融範囲にお
いて、さらに好ましくは約１０℃より低い温度範囲にお
いて起こる。
【００２０】このポリマーの第１次溶融転移は、粘弾性
測定機によって測定することができる。
【００２１】該接着剤組成物には特公表平４−５０７４
２５号に開示されているように、側鎖結晶可能ポリマー
が、該接着剤層を２０℃以下の温度で研磨機の定盤面に
対して実質的に非粘着性にし、かつそれより上の温度で
は感圧接着剤層が該研磨機の定盤面に対して実質的に粘
着性を有するように、十分な量だけ接着剤組成物中に存
在するものである。
【００２２】研磨用ウエハ保持部材の研磨作業時の温度
は２５〜３５℃が好ましく、さらに好ましくは２５〜３
０℃である。研磨用ウエハ保持部材の定盤面からの剥離
する時の温度は１５〜２５℃が好ましく、さらに好まし
くは１５〜２０℃である。
【００２３】上記側鎖結晶可能ポリマーポリマーの具体
例としては、米国 ランデック ラブス インコーポレ
ーテッドより販売されている側鎖結晶化可能および主鎖
結晶化可能ポリマーを用いるのが好的であり、これら
は、温度依存接着特性を示すポリマーを含むもので、接
着性組成物に使用され得る結晶化可能ポリマーは、側鎖
結晶化可能および主鎖結晶化可能ポリマーを共に含む。
側鎖結晶化可能ポリマーは、結晶化可能側鎖部分を含
み、主鎖結晶化可能ポリマーはその骨格構造により結晶
化可能とされることである。該ポリマーは単一の立体規
則性のポリオレフィン、アルキルアクリレート、および
アルキルメタクリレートよりなる群から選択されるポリ
マーであり得る。
【００２４】本発明に使用される側鎖結晶化可能ポリマ
ーは、以下に述べるように２つ以上の異なるポリマーの
混合物を含有するように処方され得る。
【００２５】一般に、これらポリマーは下式のモノマー
ユニットＸを含む。
【００２６】
【化１】
【００２７】式中、Ｍはポリマーの主鎖を形成し得る２
価の基（もしくは骨格原子）、Ｓはスペーサー基、Ｃは
結晶化可能な基である。これらのポリマーは通常は少な
くとも約２０ジュール／ｇの、好ましくは少なくとも約
４０ジュール／ｇの溶融熱（△Ｈｆ）をもつ。
【００２８】ポリマーは「Ｘ」により表される５０から
１００ｖｔ．％モノマーユニットを含有する。ポリマー
が１００％より少ないＸを含有する場合は、「Ｙ」また
は「Ｚ」またはその両者により表され得るモノマーユニ
ットをさらに含有する。ここでＹは、ＸまたはＺと重合
化可能な極性のまたは無極性のモノマー、もしくは極性
のまたは無極性のモノマーの混合物であり、Ｚは極性の
または無極性のモノマーの混合物である。
【００２９】上記極性のモノマーとしては、例えばポリ
オキシアルキレン、ヒドロキシエチルアクリレートを含
有するアクリレート、アクリルアミド、およびメタクリ
ルアミド等が挙げられ、これらはほとんどの基材に対し
て接着性を増大させる。
【００３０】ポリマーの骨格（「Ｍ」により定義され
る）は、有機構造体（脂肪族または芳香属の炭化水素、
エステル、エーテル、アミドなど）であり得、または無
機構造体（スルファイド、ホスファジン、シリコンな
ど）であり得、また適切な有機または無機のユニット、
例えばエステル、アミド、炭化水素、フェニール、エー
テル、またはイオン塩（例えばカーボキシル−アルキル
アンモニウムまたはスルフォニウムまたはホスホニウム
イオンペア、またはその他既知のイオン塩ペア）であり
得るスペーサ結合を含み得る。
【００３１】側鎖（「Ｓ」および「Ｃ」により定義され
る）は、脂肪族または芳香族、もしくは脂肪族と芳香族
の組合せであり得るが、ポリマーが結晶状態になり得る
ものでなければならない。通常の例としては、少なくと
も１０個の炭素原子を有する線形の脂肪族側鎖、例えば
Ｃ14−Ｃ22のアクリレートまたはメタクリレート、アク
リルアミドまたはメタクリルアミド、ビニルエーテルま
たはエステル、シロキサンまたはアルファオレフィン、
少なくとも６個の炭素原子を有するフッ素化脂肪族側
鎖、およびアルキルが８から２４個の炭素原子よりなる
ｐ−アルキルスチレン側鎖がある。
【００３２】側鎖部分の長さは、通常は、アクリレー
ト、メタクリレート、ビニルエステル、アクリルアミ
ド、メタクリアミド、ビニルエーテル、およびα−オレ
フィンの場合の側鎖間の距離の５倍より大である。
【００３３】側鎖ユニットはポリマーの容積の５０％よ
り大きい、好ましくは容積の６５％より大きい部分を形
成する。
【００３４】このような温度依存接着特性を示すポリマ
ーを含む接着性組成物は、発泡層またはシート状基材に
直接均一な厚さに塗布して接着剤層を形成してもよく、
また他の薄いシート基材に予め均一な厚みに薄く塗布し
ておき、発泡層または発泡層を有するシート基材にラミ
ネート加工を施し接着しても良い。
【００３５】上記接着剤層の裏面側には、離型シート
（もしくは離型フィルム）が添着されており、本発明の
研磨用ウエハ保持部材が使用される時まで、該接着剤層
が該離型シートにより保護される。
【００３６】このようにして構成される研磨用ウエハ保
持部材を、研磨機定盤に装着するに当たっては、まず研
磨機定盤を取り外して清浄に為し、常温（通常は約２５
℃）において、装着面を上にして水平に設置し、研磨用
ウエハ保持部材を包装より取り出して、粘着面の離型シ
ートを除去して粘着面を定盤面に合わせて静置する。こ
の際、研磨用ウエハ保持部材は軽く湾曲させてその中央
部から先に定盤面に接触するように静置させることが望
ましい。次いで、静置した研磨用ウエハ保持部材の上面
から全面を均一に加圧する。その方法としては適宜な方
法にてよいが、押圧力は１ｋｇ／ｃｍ2を超えない範囲
がよく、加圧方法としては充分な厚みの弾性材を介して
平板でプレスする等、或いは最も望ましくは、静置した
研磨用ウエハ保持部材の上からプラスチックシートで覆
い、その下の空気を吸引して負圧とする事により加圧す
る、等の方法で良い。
【００３７】このようにする事により、研磨用ウエハ保
持部材の基材裏面の接着剤層が定盤面に馴染んで密着す
る。このようにして研磨機定盤に貼り付けた研磨用ウエ
ハ保持部材を、通常に定盤面から剥離しようとする場合
には、約２ｋｇ／インチ幅から３ｋｇ／インチ幅程度の
粘着強度を示す。
【００３８】上記のような方法で研磨用ウエハ保持部材
を研磨機に供し、ウエハの加工を行った後、研磨用ウエ
ハ保持部材を取り外す際には、定盤を常温より約５℃程
度冷却することで、即ち約２０℃とすることで、研磨用
ウエハ保持部材の背面に取付けられた温度活性の感圧接
着剤の粘着性が急速に低下し、剥離強度は約０．２から
０．５ｋｇ／インチ幅程度に低下するため、容易に定盤
面から剥離できる。
【００３９】
【作用】本発明の研磨用ウエハ保持部材は、接着剤層を
形成する接着剤組成物が、１５℃より狭い温度範囲にわ
たって起こる第１次溶融転移を有するポリマーを含有し
ている。このように接着剤組成物は温度活性を有する感
圧接着剤にて形成されていることにより、研磨用ウエハ
保持部材の交換時において、定盤および研磨用ウエハ保
持部材の接着剤層を冷却してその接着剤層の定盤面に対
する粘着性を大きく低下させることで、容易に定盤面か
ら該研磨用ウエハ保持部材を剥離することができる。
【００４０】この第１次溶融転移とは、ポリマーの粘弾
性率に関して温度を順次上げて測定するとき、ガラス転
移点と融点との中間に位置し、任意に設定した温度から
温度を若干変化させることにより（例えば、２〜５
℃）、ポリマーが結晶と非結晶との間を可逆的に変化す
ることで、上記したように定盤面に対する粘着性が大き
く変化するものである。
【００４１】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて具体的に説
明する。
【００４２】（実施例１）図２に示すように、１８８ミ
クロンのポリエステルフィルム１（ルミラー、東レ社
製）上に、表１に示す配合物Ｉを７００ミクロンの厚み
にコーティングし、湿式凝固させ発泡層２を形成し、洗
浄、乾燥工程をへて、バッキングフィルムを作製した。
このバッキングフィルムの表層（図２の２ａ部分）１０
０ミクロンを研削し、図３に示すバッキングフィルムを
得た。
【００４３】厚み２５ミクロンのポリエステルフィルム
（ルミラー、東レ社製）の一方の面に、ランデック社製
の温度活性感圧接着剤を２０ミクロンの厚みにコーティ
ングし、他面には従来の粘着性組成物として三共化学製
アクリル接着剤ＡＲ−７９８を２０ミクロンの厚みにコ
ーティングして両面粘着テープを製作し、離型フィルム
付き粘着フィルムを製作した。
【００４４】前記バッキングフィルムのポリエステルフ
ィルム１側に、前記の接着フィルムを貼り合わせ、温度
活性感圧接着剤付きのバッキングフィルム５を製作した
（図１）。なお、図１において、３は接着剤層を示し、
４は離型シートを示す。
【００４５】前記バッキングフィルム５を直径４８５ｍ
ｍにカットし、この上にウエハを位置決め或は位置に保
持するためのリセス孔を設けたテンプレート６を装着し
プレスを用いて貼り合わせ、バッキングフィルム付きテ
ンプレートを製作した（図４）。
【００４６】上記両面テープ付きテンプレート６は、外
径４８５ｍｍ、６インチポケット７個付きのものであ
り、ガラスエポキシ製で片面に粘着剤および離型紙が貼
着されているものである。このようにしてウエハ保持具
を完成させた。
【００４７】次ぎに、図５に示すように、テンプレート
の離型紙４を剥がし研磨機のセラミック製上定盤７上に
該テンプレートを軽く貼り合わせた。その後、その上か
ら重量１０ｋｇ、外径４８５ｍｍの石英製フラットを均
一にのせ、３０分放置し、接着剤を上定盤７に馴染ませ
た。このときの接着温度は２５℃であった。
【００４８】不二越機械製ＳＰＭ−１９片面研磨機を用
いて前記のウエハ保持具の評価を行った。加工ウエハは
シリコン単結晶Ｐ（１００）ウエハ６インチ径、研磨条
件は表２に記載した。３０分の研磨を５０回繰り返して
使用した。使用後、寿命の達したテンプレートの付きセ
ラミック製上定盤を２０℃の純水中に浸せきし、温度活
性感圧接着剤付きのテンプレートを剥離した。この時の
剥離力は最大で７ｋｇで容易に剥離出来た。
【００４９】（実施例２）前記の工程と同様の方法で作
製したバッキングフィルムのポリエステルフィルム１側
の背面に温度活性感圧接着剤３を直接、２０ミクロンの
厚みにコーティングし、離型フィルム４を貼り付けて図
１に示すバッキングフィルムを製作した。
【００５０】セラミック定盤に、ガラスエポキシシート
から製作したテンプレート（外径４８５ｍｍ、６インチ
ポケット７個付き）を前記温度活性感圧粘着テープを用
いて接着した。このときの接着条件は２５℃、２分、
１．５ｋｇ／ｃｍ2の加重をかけて接着した。さらに、
前記バッキングフィルムを６インチ径にカットし離型紙
を剥離後、前記のガラスエポキシートのポケット部に挿
入し、セラミック定盤に貼り合わせた。
【００５１】不二越機械製ＳＰＭ−１９片面研磨機を用
いて前記のウエハ保持具の評価を行った。加工ウエハは
シリコン単結晶Ｐ（１００）ウエハ６インチ径、研磨条
件は表２に記載した。３０分の研磨を５０回繰り返して
使用した。使用後、寿命の達したテンプレートの付いた
セラミック製上定盤を２０℃の純水中に浸せきし、温度
活性感圧接着剤付きのバッキング材とテンプレートを剥
離した。この時の剥離力はバッキング材が最大で２．４
ｋｇ、テンプレートでは最大で２．８ｋｇで容易に剥離
出来た。
【００５２】（比較例）１８８ミクロンのポリエステル
フィルム１（ルミラー、東レ）に配合物Ｉを７００ミク
ロンの厚みにコーティングし、湿式凝固させ、洗浄、乾
燥工程をへて、図２に示すバッキングフィルムを製作し
た。このバッキングフィルムの表層（２ａ）１００ミク
ロンを研削し、図３に示す構造のバッキングフィルムを
製作した。
【００５３】市販の住友スリーエム社製の両面テープＳ
Ｔ−４４２を前記バッキングフィルムのポリエステルフ
ィルム１側に貼り合わせ、通常の感圧接着剤付きのバッ
キングフィルムを製作した。
【００５４】前記バッキングフィルムを４８５ｍｍにカ
ットし、実施例１と同様に、この上にウエハを位置決め
或は位置に保持するためのリセス孔を設けたテンプレー
ト６を装着しプレスを用いて貼り合わせ、バッキングフ
ィルム付きテンプレートを製作した（図４）。
【００５５】上記両面テープ付きテンプレート６は、外
径４８５ｍｍ、６インチポケット７個付きのものであ
り、ガラスエポキシ製で片面に粘着剤および離型紙が貼
着されているものである。このようにしてウエハ保持具
を完成させた。
【００５６】このテンプレートの離型紙を剥がし研磨機
のセラミック製上定盤に軽く貼り合わせた。その後、そ
の上から重量１０ｋｇ、外径４８５ｍｍの石英製フラッ
トを均一にのせ、３０分放置し、接着剤を上定盤に馴染
ませた。このときの接着温度は２５℃であった。
【００５７】不二越機械製ＳＰＭ−１９片面研磨機を用
いて前記のウエハ保持具の評価を行った。加工ウエハは
シリコン単結晶Ｐ（１００）ウエハ６インチ径、研磨条
件は表２に記載した。３０分の研磨を５０回繰り返して
使用した。使用後、寿命の達したテンプレートの付きセ
ラミック製上定盤からテンプレートを剥離した。この時
の剥離力は最大で３４ｋｇで、容易には剥離出来きなか
った。
【００５８】
【表１】
【００５９】
【表２】
【００６０】
【発明の効果】本発明によれば、研磨用ウエハ保持部材
の交換時において、定盤および研磨用ウエハ保持部材の
接着剤層を冷却するだけで、容易に定盤面から剥離する
ことができるので、研磨作業終了後の段替え作業を格段
に容易ならしめることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の研磨用ウエハ保持部材の一実施例の断
面図である。
【図２】基材の上に発泡層を形成した状態を示す断面図
である。
【図３】図２で示すバッキングフィルムの発泡層の表層
をバフした状態を示す断面図である。
【図４】図３で示すバッキングフィルムの上面にテンプ
レートを載置した状態を示す断面図である。
【図５】本発明の研磨用ウエハ保持部材を、定盤上へ貼
り付けた状態を示す断面図である。
【符号の説明】
１…基材 ２…発泡層 ２ａ…スキン層 ３…接着剤層 ４…離型シート ５…バッキングフィルム ６…テンプレート ７…定盤

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ウエハを表面に取り外し可能に吸着させ
    得る発泡層と、該発泡層を研磨機の定盤上に取り付ける
    ための感圧接着剤層と、該感圧接着剤層に離型可能に貼
    り付けられた離型シートと、を有する研磨用ウエハ保持
    部材において、 該感圧接着剤層を形成する接着剤組成物に含有されるポ
    リマーが、１５℃より狭い温度範囲にわたって起こる第
    １次溶融転移を有することを特徴とする研磨用ウエハ保
    持部材。
  2. 【請求項２】 ２０℃以下では前記感圧接着剤層が該研
    磨機の定盤面に対して実質的に非粘着性となり、かつそ
    れより上の温度では該感圧接着剤層が該研磨機の定盤面
    に対して実質的に粘着性を有するように、該接着剤組成
    物には側鎖結晶可能ポリマーが配合されている請求項１
    記載の研磨用ウエハ保持部材。
  3. 【請求項３】 請求項１に記載の研磨用ウエハ保持部材
    の前記離型シートを前記感圧接着剤層から除去した後、
    該研磨用ウエハ保持部材の該感圧接着剤層を、適宜温度
    Ｔ1の研磨機の定盤面に粘着させることにより該研磨用
    ウエハ保持部材を装着し、該研磨用ウエハ保持部材の使
    用後は、該温度Ｔ1より低い温度Ｔ2に該研磨機の定盤を
    冷却した状態で該研磨用ウエハ保持部材を該研磨機の定
    盤面から取り外すことを特徴とする研磨用ウエハ保持部
    材の研磨機定盤への脱着方法。
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