JPH0512722B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の技術分野］ この発明は、複数台の半導体用計測装置を１台
ホストコンピユータで集中群管理する計測装置の
群管理制御システムに関する。

［発明の技術的背景］ 半導体用計測装置における測定の大きな単位が
ロツトと呼ばれ、ロツトは複数のウエハにより構
成され、さらにウエハは測定の最少単位であるチ
ツプによつて構成されている。半導体用計測装置
では、測定の最少単位であるチツプの測定中に測
定異常たとえば連続フエイルが発生したり、ウエ
ハ単位での不良たとえば基準イールド範囲外や測
定治具類の異常等が発生した場合にこれを検出し
ている。一方、計測装置はある頻度で故障が発生
する。この故障発生の際には被測定物が不良品な
のに良品であると判別されたり、あるいはこの反
対に良品であるのに不良品であると判別されたり
することがある。このため、計測装置の故障を事
前に予知するとともに、誤つて判別がなされた場
合には、測定の確からしさが保証できる再測定の
判断基準を明確にする必要がある。このため、従
来では、一定の時期がくると人間が計測装置の空
き時間を確認した後に、あるいは計測の途中では
計測装置を一時的に停止させた後に、自己診断プ
ログラムを起動させて計測装置が正常動作してい
ることを確認し、しかもそのときの日付を人間が
管理することによつて計測装置の故障状況を把握
し、自己診断開始時期を決定している。しかも、
計測装置が複数の場合には、自己診断の期日、時
間等を計測装置毎に管理し、測定中の異常発生の
頻度にあつた自己診断プログラムが実行を人間が
管理している。

［背景技術の問題点］ このように従来では自己診断プログラムの起
動、自己診断の期日、時間等および測定中の異常
発生の頻度にあつた自己診断プログラムの実行を
人間が管理しているため、その管理が極めて繁雑
になる欠点がある。

また、被測定物が測定中に連続的に良品と判別
されたり、あるいはこの反対に連続的に不良品と
判別されたりする場合や、ある測定単位でのイー
ルドが基準イールドの範囲外となつた場合には、
計測装置が異常なのか、被測定物が異常なのかを
判別する必要がある。従来では被測定物の測定中
の連続不良もしくは連続良品はモニタすることが
できるので、これを判定し、計測装置が外部にこ
の異常発生を通知するとともに、計測動作を停止
するだけである。また、ある単位でのイールドの
モニタはその単位の測定終了後、装置から出力さ
れるイールドを見て判断するか、測定前に計測装
置に単位毎の設定イールド（最高イールドおよび
最低イールド）を入力し、測定終了後に計測装置
からの判定で知ることができる。ところが、この
ような従来方法では、イールドをある単位毎に人
間が管理する必要があり、計測装置が正常な場合
には問題はないが、異常の場合には計測装置から
の判定により、測定の継続が可能であるのか、自
己診断プログラムの実行後に計測装置の確からし
さを確認して測定を継続するのかといつた行動基
準を人間が判断する必要があり、煩わしさがあ
る。

さらに、過去の計測装置の異常記録から適切な
時期に診断を行なうことができないという不都合
もある。

［発明の目的］ この発明は上記のような事情を考慮してなされ
たものであり、その目的は複数の計測装置の異常
発生状態を自動的にしかも最適な時期に診断する
ことの出来る計測装置の群管理制御システムを提
供することにある。

［発明の概要］ この発明による計測装置の群管理制御システム
では、複数の計測装置とホストコンピユータとを
通信ケーブルで接続し、このホストコンピユータ
には計測プログラムと自己診断プログラムなどの
プログラムや各種フアイルを格納している外部補
助記憶装置を接続し、ホストコンピユータの指示
に基づいて上記外部補助記憶装置から上記複数の
各計測装置に指定のプログラムを転送させ、外部
補助記憶装置に格納されている自己診断開始指示
フアイルの内容に基づいて、計測の最少単位で計
測装置を停止させ、特定の計測装置に自己診断プ
ログラムを転送し、これを実行させ、各計測装置
はホストコンピユータからの指示に従つて自己診
断結果をホストコンピユータに転送し、ホストコ
ンピユータはその結果を外部補助記憶装置の自己
診断開始指示フアイルに格納し、計測装置の計測
中に異常が発生した場合にホストコンピユータは
計測装置からの通報を受け、その後、計測装置に
自己診断プログラムを転送し、異常の確認後、外
部補助記憶装置の自己診断開始指示フアイルにそ
の結果を格納するようにしている。

［発明の実施例］ 以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説
明する。

第１図はこの発明の計測装置の群管理制御シス
テムの構成を示すブロツク図である。図において
１１はホストコンピユータであり、このホストコ
ンピユータ１１には通信ケーブルを介して複数の
計測装置１２が接続されている。さらに上記ホス
トコンピユータ１１には外部補助記憶装置１３が
接続されている。この外部補助記憶装置１３には
上記複数の計測装置１２に供給すべき計測プログ
ラムと自己診断プログラム、各計測装置１２の異
常履歴結果を記録するフアイル、自己診断開始指
示フアイル、設定イールドフアイル等が格納され
ている。

上記外部補助記憶装置１３に格納されている各
種プログラムは、ホストコンピユータ１１の制御
に基づいて各計測装置１２に転送されるようにな
つており、各計測装置１２は、計測プログラムが
転送された場合にはこのプログラムに基づいて計
測を実行し、自己診断プログラムが転送された場
合にはこのプログラムに基づいて自己診断を実行
し、それぞれの結果をホストコンピユータ１１に
転送する。

また各計測装置１２は、上記ホストコンピユー
タ１１に上記測定結果、自己診断結果を転送する
ためのプログラムを持つとともに、ホストコンピ
ユータ１１の制御に基づいて計測プログラムと自
己診断プログラムとの切り換えが実行できる機能
を持つている。

一方、上記ホストコンピユータ１１は、各計測
装置１２から転送される計測結果、自己診断結
果、測定中の測定異常状態を受信しこれを外部補
助記憶装置１３に格納するためのプログラム、各
計測装置１２に上記計測プログラムと自己診断プ
ログラムを転送するためのプログラムおよび上記
タイマの制御出力と外部補助記憶装置１３に格納
されている自己診断開始指示フアイルに基づいて
自己診断の開始を指示するプログラムを持つてい
る。さらにホストコンピユータ１１は、各計測装
置１２の平均故障時間を算出するプログラムを必
要に応じて持つている。またこのホストコンピユ
ータ１１はタイマ１４からの出力により一定期間
毎に自己診断開始指示プログラムを実行するよう
に制御される。なお上記ホストコンピユータ１
１、計測装置１２がそれぞれ持つプログラムおよ
び外部補助記憶装置１３に格納されているプログ
ラム、フアイルをまとめると次のようになる。

ホストコンピユータ１１内のプログラム １ 計測結果、自己診断結果、異常状態検出結果
の受信格納プログラム ２ 計測装置プログラムの転送用プログラム （ただし、計測装置プログラムとは、計測装
置で使用する計測プログラムと自己診断プログ
ラムの総称である） ３ 自己診断開始指示プログラム ４ 平均故障時間算出プログラム 計測装置１２内のプログラム １ 計測結果、自己診断結果、異常状態検出結果
の転送プログラム ２ 計測装置プログラムの受信用プログラム ３ 計測装置プログラムの切り換えプログラム 外部補助記憶装置１３内のフアイル １ 計測プログラム ２ 自己診断プログラム ３ 計測装置異常履歴結果フアイル ４ 自己診断開始指示フアイル ５ 設定イールドフアイル 次に動作を説明する。各計測装置１２は通信ケ
ーブルを介してホストコンピユータ１１に接続さ
れると、予め持つているプログラムが実行可能と
なる。そこで計測装置プログラムの受信用プログ
ラムを実行することにより、各計測装置１２はホ
ストコンピユータ１１を介して外部補助記憶装置
１３から転送される計測プログラムを受信し、こ
れを実行して計測を行なう。一方、ホストコンピ
ユータ１１は、タイマ１４および自己診断開始指
示フアイルの内容に基づき、計測装置１２に自己
診断を開始させる必要が生じたら、通信ケーブル
を通して該当する計測装置１２に自己診断プログ
ラムを転送するとともに計測プログラムの実行か
ら自己診断プログラムの実行に切り換える指示を
出す。この指示により、該当する計測装置１２は
自己診断を開始してホストコンピユータ１１にそ
の結果を転送する。そしてこの後、ホストコンピ
ユータ１１はこの自己診断結果を外部補助記憶装
置１４内の計測装置異常履歴フアイルに格納す
る。なお、この自己診断時に異常でないことがわ
かれば、その旨が同様に計測装置異常履歴フアイ
ルに格納される。

その後、ホストコンピユータ１１は計測プログ
ラムを各計測装置１２に転送し、計測を開始させ
る。この時、計測装置１２のプログラムエリアが
十分に大きくて、既に自己診断プログラムおよび
計測プログラムが転送済みであれば、外部補助記
憶装置１３からプログラムを改めて転送する必要
はなく、単にプログラムの切り換え指示のみで済
む。

また、測定中、各計測装置１２はホストコンピ
ユータ１１に対してその測定結果を転送している
ので、ホストコンピユータ１１は測定異常状態の
検出を行なうとともに、それぞれのイールドが設
定イールドの範囲外にある場合にはその計測装置
１２に対して自己診断プログラムの実行指示を行
ない、その結果を外部補助記憶装置１４の計測装
置異常履歴結果フアイルに記憶するとともに、自
己診断開始指示フアイルの内容を変更する。

第２図は外部補助記憶装置１４の計測装置異常
履歴結果フアイルの内容の一例を示す図である。
このフアイル内のａは計測装置１２の番号であ
り、ｂは前回診断を実行したときの日時であり、
ｃは今回のすなわち最後の診断を実行した日時で
あり、ｄは前記平均故障時間算出プログラムを用
いて算出される平均故障時間であり、ｅは故障ロ
グインデツクスすなわち計測装置異常履歴結果フ
アイルの中のインデツクスである。

このようにこのシステムでは、各計測装置１２
に対して指定期日が来ると計測装置１１の空き時
間をホストコンピユータ１１がモニタできるの
で、実行可能状態になれば、ホストコンピユータ
１１から各計測装置１２に対して自動的に自己診
断開始指示を行なうことができる。したがつて、
計測装置が複数設けられていても煩わしさを伴わ
ずに診断の実行が可能である。また、各計測装置
１２の測定状況をホストコンピユータ１１がモニ
タしているので、測定異常状態の検出と異常時に
自己診断プログラムの実行が早急に対応できると
ともに異常時の記録が可能であり、外部補助記憶
装置１４の計測装置異常履歴結果フアイルの内容
は各計測装置毎に更新されているので、これらの
記録から適切な時期に各計測装置１２の自己診断
を行なうことができる。このため、各計測装置１
２の群管理を自動的に、しかも最適な時期で行な
うことができる。

［発明の結果］ 以上説明したようにこの発明によれば、複数の
計測装置の異常発生状態を自動的にしかも最適な
時期に診断することの出来る計測装置の群管理制
御システムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明にかかる計測装置の群管理制
御システムの構成を示すブロツク図、第２図は上
記実施例の外部補助記憶装置におけるフアイルの
内容の一例を示す図である。 １１……ホストコンピユータ、１２……計測装
置、１３……外部補助記憶装置、１４……タイ
マ。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 計測プログラムおよび自己診断プログラム等
   を格納すると共に種々のデータが記憶可能な記憶
   装置と、 上記記憶装置から計測プログラムおよび自己診
   断プログラムが転送され、これらのプログラムを
   実行することにより所定の計測および自己診断を
   行なう複数の計測装置と、 上記各計測装置に対し、定期的におよび上記計
   測装置の測定異常時に上記記憶装置から計測プロ
   グラムもしくは自己診断プログラムを転送させ、
   かつ上記各計測装置において上記計測プログラム
   の実行によつて得られる計測結果および自己診断
   プログラムの実行によつて得られる診断結果が通
   報され、これら計測結果および診断結果を上記記
   憶装置に記憶させると共に診断結果に基づく故障
   履歴を上記記憶装置に記憶させ、この故障履歴に
   基づいて上記各計測装置における自己診断プログ
   ラムの再起動時期を独立に制御する制御手段と を具備したことを特徴とする計測装置の群管理制
   御システム。