JPS60251405A - 計測装置の群管理制御システム - Google Patents
計測装置の群管理制御システムInfo
- Publication number
- JPS60251405A JPS60251405A JP59108787A JP10878784A JPS60251405A JP S60251405 A JPS60251405 A JP S60251405A JP 59108787 A JP59108787 A JP 59108787A JP 10878784 A JP10878784 A JP 10878784A JP S60251405 A JPS60251405 A JP S60251405A
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- JP
- Japan
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- self
- diagnosis
- measurement
- program
- measuring device
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- Granted
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-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
- G05B23/0264—Control of logging system, e.g. decision on which data to store; time-stamping measurements
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- Automation & Control Theory (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Control By Computers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野］
この発明は、複数台の半導体用計測装置を１台のホスト
コンピュータで集中群管理する計測装置の群管理制御
システムに関する。
コンピュータで集中群管理する計測装置の群管理制御
システムに関する。
［発明の技術的前１１］
半導体用計測装置における測定の大きな単位がロットと
呼ばれ、ロットは複数のウェハにより構成され、ざらに
ウェハは測定の最少単位であるチップによって構成され
ている。 半導体用計測装置では、測定の最少単位であ
るチップの測定中に測定異常たとえば連続フェイルが発
生したり、ウェハ単位での不良たとえば基準イールド範
囲外や測定治具類の異常等が発生した場合にこれを検出
している。一方、計測装置はある頻度で故障が発生する
。この故障発生の際には被測７定物が不良品なのに良品
であると判別されたり、あるいはこの反対に良品である
のに不良品であると判別されたりすることがある。この
ため、計測装置の故障を事前に予知するとともに、誤っ
て判別がなされた場合に・ば、測定の確からしさが保証
できる再測定の判断基準を明確にする必要がある。この
ため、従来では、一定の時期がくると人間が計測装置の
空き時間を確認した後に、あるいは計測の途中では計測
装置を一時的に停止させた後に、自己診断プログラムを
起動させて計測装置が正常動作していることを確認し、
しかもそのときの日付を人間が管理することによって副
側装置の故障状況を把握し、自己診断開始時期を決定し
ている。しかも、計測装置が複数の場合には、自己診断
の期日、時間等を計測装置毎に管理し、測定中の異常発
生の頻度にあった自己診断プログラムの実行を人間が管
理している。
呼ばれ、ロットは複数のウェハにより構成され、ざらに
ウェハは測定の最少単位であるチップによって構成され
ている。 半導体用計測装置では、測定の最少単位であ
るチップの測定中に測定異常たとえば連続フェイルが発
生したり、ウェハ単位での不良たとえば基準イールド範
囲外や測定治具類の異常等が発生した場合にこれを検出
している。一方、計測装置はある頻度で故障が発生する
。この故障発生の際には被測７定物が不良品なのに良品
であると判別されたり、あるいはこの反対に良品である
のに不良品であると判別されたりすることがある。この
ため、計測装置の故障を事前に予知するとともに、誤っ
て判別がなされた場合に・ば、測定の確からしさが保証
できる再測定の判断基準を明確にする必要がある。この
ため、従来では、一定の時期がくると人間が計測装置の
空き時間を確認した後に、あるいは計測の途中では計測
装置を一時的に停止させた後に、自己診断プログラムを
起動させて計測装置が正常動作していることを確認し、
しかもそのときの日付を人間が管理することによって副
側装置の故障状況を把握し、自己診断開始時期を決定し
ている。しかも、計測装置が複数の場合には、自己診断
の期日、時間等を計測装置毎に管理し、測定中の異常発
生の頻度にあった自己診断プログラムの実行を人間が管
理している。
［背景技術の問題点コ
このように従来では自己診断プログラムの起動、自己診
断の期日１時間等および測定中の異常発生の頻度にあっ
た自己診断プログラムの実行を人間が管理しているため
、その管理が極めて繁雑になる欠点がある。
断の期日１時間等および測定中の異常発生の頻度にあっ
た自己診断プログラムの実行を人間が管理しているため
、その管理が極めて繁雑になる欠点がある。
また、被測定物が測定中に連続的に良品と判別されたり
、あるいはこの反対に連続的に不良品と判別されたりす
る場合や、ある測定単位でのイールドが基準イールドの
範囲外となった場合には、計測装置が異常なのか、被測
定物が異常なのかを判別する必要がある。 従来では被
測定物の測定中の連続不良もしくは連続良品はモニタす
ることができるので、これを判定し、計測装置が外部に
この異常発生を通知するとともに、計測動作を停止する
だけである。また、ある単位でのイールドのモニタはそ
の単位の測定終了後、装置から出力されるイールドを見
て判断するが、測定前に計測装置に単位毎の設定イール
ド（最高イールドおよび最低イールド）を入力し、測定
終了後に計測装置からの判定で知ることができる。とこ
ろが、このような従来方法では、イールドをある単位毎
に人間が管理する必要があり、計測装置が正常な場合に
は問題はないが、異常の場合には計測装置からの判定に
より、測定の継続が可能であるのが、自己診断プログラ
ムの実行後に計測装置の確がらしさを確認して測定を継
続するのがといった行動基準を人間が判断する必要があ
り、煩わしさがある。
、あるいはこの反対に連続的に不良品と判別されたりす
る場合や、ある測定単位でのイールドが基準イールドの
範囲外となった場合には、計測装置が異常なのか、被測
定物が異常なのかを判別する必要がある。 従来では被
測定物の測定中の連続不良もしくは連続良品はモニタす
ることができるので、これを判定し、計測装置が外部に
この異常発生を通知するとともに、計測動作を停止する
だけである。また、ある単位でのイールドのモニタはそ
の単位の測定終了後、装置から出力されるイールドを見
て判断するが、測定前に計測装置に単位毎の設定イール
ド（最高イールドおよび最低イールド）を入力し、測定
終了後に計測装置からの判定で知ることができる。とこ
ろが、このような従来方法では、イールドをある単位毎
に人間が管理する必要があり、計測装置が正常な場合に
は問題はないが、異常の場合には計測装置からの判定に
より、測定の継続が可能であるのが、自己診断プログラ
ムの実行後に計測装置の確がらしさを確認して測定を継
続するのがといった行動基準を人間が判断する必要があ
り、煩わしさがある。
さらに、過去め計測装置の異常記録から適切な時期に診
断を行なうことができないという不都合もある。
断を行なうことができないという不都合もある。
［発明の目的コ
この発明は上記のような事情を考慮してなされたもので
あり、その目的は複数の計測装置の異常発生状態を自動
的にしかも最適な時期に診断することの出来る計測装置
の群管理制御システムを提供することにある。
あり、その目的は複数の計測装置の異常発生状態を自動
的にしかも最適な時期に診断することの出来る計測装置
の群管理制御システムを提供することにある。
［発明の概要］
この発明による計測装置の群惜理制御システムでは、複
数の計測装置とホスト コンピュータとを通信ケーブル
で接続し、このホスト コンピュータには計測プログラ
ムと自己診断プログラムなどのプログラムや各種ファイ
ルを格納している外部補助記憶装置を接続し、ホスト
コンピュータの指示に基づいて上記外部補助記憶装置か
ら上記複数の各計測装置に指定のプログラムを転送させ
、外部補助記憶装置に格納されている自己診断開始指示
ファイルの内容に基づいて、計測の最少単位で計測装置
を停止させ、特定の計測装置に自己診断プログラムを転
送し、これを実行させ、各計測装置はホスト コンピュ
ータからの指示に従って自己診断結果をホスト コンピ
ュータに転送し、ホスト コンピュータはその結果を外
部補助記憶装置の自己診断開始指示ファイルに格納し、
計測装置の計測中に異常が発生した場合にホスト コン
ピュータは計測装置からの通報を受け、その後、計測装
置に自己診断プログラムを転送し、異常の確認後、外部
補助記憶装置の自己診断開始指示ファイルにその結果を
格納するようにしている。
数の計測装置とホスト コンピュータとを通信ケーブル
で接続し、このホスト コンピュータには計測プログラ
ムと自己診断プログラムなどのプログラムや各種ファイ
ルを格納している外部補助記憶装置を接続し、ホスト
コンピュータの指示に基づいて上記外部補助記憶装置か
ら上記複数の各計測装置に指定のプログラムを転送させ
、外部補助記憶装置に格納されている自己診断開始指示
ファイルの内容に基づいて、計測の最少単位で計測装置
を停止させ、特定の計測装置に自己診断プログラムを転
送し、これを実行させ、各計測装置はホスト コンピュ
ータからの指示に従って自己診断結果をホスト コンピ
ュータに転送し、ホスト コンピュータはその結果を外
部補助記憶装置の自己診断開始指示ファイルに格納し、
計測装置の計測中に異常が発生した場合にホスト コン
ピュータは計測装置からの通報を受け、その後、計測装
置に自己診断プログラムを転送し、異常の確認後、外部
補助記憶装置の自己診断開始指示ファイルにその結果を
格納するようにしている。
［発明の実施例］
以下、図面を参照してこの発明の一実施例を説明する。
第１図はこの発明の計測装置の群管理制御システムの構
成を示すブロック図である。図において１１はホスト
コンピュータであり、このホストコンピュータ１１には
通信ケーブルを介して複数の計測装置１２が接続されて
いる。さらに上記ホストコンピュータ１１には外部補助
記憶装［１３が接続されている。この外部補助記憶装置
１３には上記複数の計測装置１２に供給すべき計測プロ
グラムと自己診断プログラム、各計測装［１２の異常履
歴結果を記録するファイル、自己診断開始指示ファイル
、設定イールド ファイル等が格納されている。
成を示すブロック図である。図において１１はホスト
コンピュータであり、このホストコンピュータ１１には
通信ケーブルを介して複数の計測装置１２が接続されて
いる。さらに上記ホストコンピュータ１１には外部補助
記憶装［１３が接続されている。この外部補助記憶装置
１３には上記複数の計測装置１２に供給すべき計測プロ
グラムと自己診断プログラム、各計測装［１２の異常履
歴結果を記録するファイル、自己診断開始指示ファイル
、設定イールド ファイル等が格納されている。
上記外部補助記憶装置１３に格納されている各種プログ
ラムは、ホスト コンピュータ１１の制御に基づいて各
計測装置１２に転送されるようになっており、各計測装
置１２は、計測プログラムが転送された場合にはこのプ
ログラムに基づいて計測を実行し、自己診断プログラム
が転送された場合にはこのプログラムに基づいて自己診
断を実行し、それぞれの結果をホスト コンピュータ１
１に転送する。
ラムは、ホスト コンピュータ１１の制御に基づいて各
計測装置１２に転送されるようになっており、各計測装
置１２は、計測プログラムが転送された場合にはこのプ
ログラムに基づいて計測を実行し、自己診断プログラム
が転送された場合にはこのプログラムに基づいて自己診
断を実行し、それぞれの結果をホスト コンピュータ１
１に転送する。
また各計測装置１２は、上記ホスト コンピュータ１１
に上記測定結果、自己診断結果を転送するためのプログ
ラムを持つとともに、ホスト コンピュータ１１の制御
に基づいて計測プログラムと自己診断プログラムとの切
り換えが実行できる機能を持っている。
に上記測定結果、自己診断結果を転送するためのプログ
ラムを持つとともに、ホスト コンピュータ１１の制御
に基づいて計測プログラムと自己診断プログラムとの切
り換えが実行できる機能を持っている。
一方、上記ホスト コンピュータ１１は、各計測装置１
２から転送される計測結果、自己診断結果、測定中の測
定異常状態を受信しこれを外部補助記憶装置［１３に格
納するためのプログラム、各計測装置１２に上記計測プ
ログラムと自己診断プログラムを転送するためのプログ
ラムおよび上記タイマの制御出力と外部補助記憶装置１
３に格納されている自己診断開始指示）−？イルに基づ
いて自己診断の開始を指示するプログラムを持っている
。さらにホスト コンピュータ１１は、各計測装置１２
の平均故障ＦＲ開を算出するプログラムを必要に応じて
持っている。またこのホスト コンピュータ１１はタイ
マ１４からの出力により一定期間毎に自己診断開始指示
プログラムを実行するように制御される。
２から転送される計測結果、自己診断結果、測定中の測
定異常状態を受信しこれを外部補助記憶装置［１３に格
納するためのプログラム、各計測装置１２に上記計測プ
ログラムと自己診断プログラムを転送するためのプログ
ラムおよび上記タイマの制御出力と外部補助記憶装置１
３に格納されている自己診断開始指示）−？イルに基づ
いて自己診断の開始を指示するプログラムを持っている
。さらにホスト コンピュータ１１は、各計測装置１２
の平均故障ＦＲ開を算出するプログラムを必要に応じて
持っている。またこのホスト コンピュータ１１はタイ
マ１４からの出力により一定期間毎に自己診断開始指示
プログラムを実行するように制御される。
なお上記ホスト コンピュータ１１、計測装置１２がそ
れぞれ持つプログラムおよび外部補助記憶装置１３に格
納されているプログラム、ファイルをまとめると次のよ
うになる。
れぞれ持つプログラムおよび外部補助記憶装置１３に格
納されているプログラム、ファイルをまとめると次のよ
うになる。
ホスト コンピューター１内のプログラム１、計測結果
、自己診断結果、異常状態検出結果の受信格納プログラ
ム ２、計測装置プログラムの転送用プログラム（ただし、
計測装置プログラムとは、計測装置で使用する計測プロ
グラムと自己診断プログラムの総称である） ３、自己診断開始指示プログラム ４、平均故障時間算用プログラム 計測装置１２内のプログラム １８計測結果、自己診断結果、異常状態検出結果の転送
プログラム ２、計測装置プログラムの受信用プログラム３、計測装
置プログラムの切り換えプログラム 外部補助記憶装置１３内のファイル １、計測プログラム ２、自己診断プログラム ３、計測装置異常履歴結果ファイル ４、自己診断開始指示ファイル ５、設定イールド ファイル 次に動作を説明する。各計測装Ｈ１２は通信ケーブルを
介してホスト コンピュータ１１に接続されると′、予
め持つているプログラムが実行可能となる。そこで計測
装置プログラムの受信用プログラムを実行することによ
り、各計測装置１２はホストコンピュータ１１を介して
外部補助記憶装置１３から転送される計測プログラムを
受信し、これを実行して計測を行なう。一方、ホスト
コンピュータ１１は、タイマ１４および自己診ｌｌｉ開
始指示ファイルの内容に基づき、計測装置１２に自己診
断を開始させる必要が生じたら、通信ケーブルを通して
該当する計測装置１２に自己診断プログラムを転送する
とともに計測プログラムの実行から自己診断プログラム
の実行に切り換える指示を出す。この指示により、該当
する計測装置１２は自己診断を開始してホスト コンピ
ュータ１１にその結果を転送する。そしてこの後、ホス
ト コンピュータ１１はこの自己診断結果を外部補助記
憶装置１４内の計測装置異常履歴ファイルに格納する。
、自己診断結果、異常状態検出結果の受信格納プログラ
ム ２、計測装置プログラムの転送用プログラム（ただし、
計測装置プログラムとは、計測装置で使用する計測プロ
グラムと自己診断プログラムの総称である） ３、自己診断開始指示プログラム ４、平均故障時間算用プログラム 計測装置１２内のプログラム １８計測結果、自己診断結果、異常状態検出結果の転送
プログラム ２、計測装置プログラムの受信用プログラム３、計測装
置プログラムの切り換えプログラム 外部補助記憶装置１３内のファイル １、計測プログラム ２、自己診断プログラム ３、計測装置異常履歴結果ファイル ４、自己診断開始指示ファイル ５、設定イールド ファイル 次に動作を説明する。各計測装Ｈ１２は通信ケーブルを
介してホスト コンピュータ１１に接続されると′、予
め持つているプログラムが実行可能となる。そこで計測
装置プログラムの受信用プログラムを実行することによ
り、各計測装置１２はホストコンピュータ１１を介して
外部補助記憶装置１３から転送される計測プログラムを
受信し、これを実行して計測を行なう。一方、ホスト
コンピュータ１１は、タイマ１４および自己診ｌｌｉ開
始指示ファイルの内容に基づき、計測装置１２に自己診
断を開始させる必要が生じたら、通信ケーブルを通して
該当する計測装置１２に自己診断プログラムを転送する
とともに計測プログラムの実行から自己診断プログラム
の実行に切り換える指示を出す。この指示により、該当
する計測装置１２は自己診断を開始してホスト コンピ
ュータ１１にその結果を転送する。そしてこの後、ホス
ト コンピュータ１１はこの自己診断結果を外部補助記
憶装置１４内の計測装置異常履歴ファイルに格納する。
なお、この自己診断時に異常でないことがわかれば、そ
の旨が同様に計測装置異常履歴ファイルに格納される。
の旨が同様に計測装置異常履歴ファイルに格納される。
その後、ホスト コンピュータ１１は計測プログラムを
各計測装置１２に転送し、計測を開始させる。
各計測装置１２に転送し、計測を開始させる。
この時、計測装置１２のプログラムエリアが十分に大き
くて、既に自己診断プログラムおよび計測プログラムが
転送済みであれば、外部補助記憶装置１３からプログラ
ムを改めて転送する必要はなく、単にプログラムの切り
換え指示のみで済む。
くて、既に自己診断プログラムおよび計測プログラムが
転送済みであれば、外部補助記憶装置１３からプログラ
ムを改めて転送する必要はなく、単にプログラムの切り
換え指示のみで済む。
また、測定中、各計測装置１２はホスト コンピュータ
１１に対してその測定結果を転送しているので、ホスト
コンピュータ１１は測定異常状態の検出を行なうとと
もに、それぞれのイールドが設定イールドの範囲外にあ
る場合にはその計測装置１２に対して自己診断プログラ
ムの実行指示を行ない、その結果を外部補助記憶装置１
４の計測装置異常履歴結果ファイルに記録するとともに
、自己診断開始指示ファイルの内容を変更する。
１１に対してその測定結果を転送しているので、ホスト
コンピュータ１１は測定異常状態の検出を行なうとと
もに、それぞれのイールドが設定イールドの範囲外にあ
る場合にはその計測装置１２に対して自己診断プログラ
ムの実行指示を行ない、その結果を外部補助記憶装置１
４の計測装置異常履歴結果ファイルに記録するとともに
、自己診断開始指示ファイルの内容を変更する。
第２図は外部補助記憶装置１４の計測装置異常履歴結果
ファイルの内容の一例を示す図である。このファイル内
のａは計測装置１２の番号であり、ｂは前回診断を実行
しときの日時であり、Ｃは今回のすなわち最後の診断を
実行した日時であり、ｄは前記平均故障時間算出プログ
ラムを用いて算出される平均故障時間であり、ｅは故障
ログ インデックスすなわち計測装置異常履歴結果ファ
イルの中のインデックスである。
ファイルの内容の一例を示す図である。このファイル内
のａは計測装置１２の番号であり、ｂは前回診断を実行
しときの日時であり、Ｃは今回のすなわち最後の診断を
実行した日時であり、ｄは前記平均故障時間算出プログ
ラムを用いて算出される平均故障時間であり、ｅは故障
ログ インデックスすなわち計測装置異常履歴結果ファ
イルの中のインデックスである。
このようにこのシステムでは、各計測装置１２に対して
指定期日が来ると計測装置１１の空き時間をホスト コ
ンピュータ１１がモニタできるので、実行可能状態にな
れば、ホスト コンピュータ１１ｈ１ら各計測装置１２
に対して自動的に自己診断開始指示を行なうことができ
る。したがって、計測装置が複数設けられていても煩わ
しさを伴わずに診断の実行が可能である。また、各計測
装置１２の測定状況をホスト コンピュータ１１がモニ
タしているので、測定異常状態の検出と異常時に自己診
断プログラムの実行が早急に対応できるとともに異常時
の記録が可能であり、外部補助記憶装置１４の計測装置
異常履歴結果ファイルの内容は各計測装置毎に更新され
ているので、これらの記録から適切な時期に各計測装置
１２の自己診断を行なうことができる。このため、各計
測装置１２の群管理を自動的に、しかも最適な時期で行
なうことができる。
指定期日が来ると計測装置１１の空き時間をホスト コ
ンピュータ１１がモニタできるので、実行可能状態にな
れば、ホスト コンピュータ１１ｈ１ら各計測装置１２
に対して自動的に自己診断開始指示を行なうことができ
る。したがって、計測装置が複数設けられていても煩わ
しさを伴わずに診断の実行が可能である。また、各計測
装置１２の測定状況をホスト コンピュータ１１がモニ
タしているので、測定異常状態の検出と異常時に自己診
断プログラムの実行が早急に対応できるとともに異常時
の記録が可能であり、外部補助記憶装置１４の計測装置
異常履歴結果ファイルの内容は各計測装置毎に更新され
ているので、これらの記録から適切な時期に各計測装置
１２の自己診断を行なうことができる。このため、各計
測装置１２の群管理を自動的に、しかも最適な時期で行
なうことができる。
［発明の効果］
以上説明したようにこの発明によれば、複数の計測装置
の異常発生状態を自動的にしかも最適な時期に診断する
ことの出来る計測装置の群管理制御システムを提供する
ことができる。
の異常発生状態を自動的にしかも最適な時期に診断する
ことの出来る計測装置の群管理制御システムを提供する
ことができる。
第１図はこの発明にかかる計測装置の群管理制御システ
ムの構成を示すブロック図、第２図は上記実施例の外部
補助記憶装置におけるファイルの内容の一例を示す図で
ある。 １１・・・ホスト コンピュータ、１２・・・計測装置
、１３・・・外部補助記憶装置、１４・・・タイマ。 第１図 第２図
ムの構成を示すブロック図、第２図は上記実施例の外部
補助記憶装置におけるファイルの内容の一例を示す図で
ある。 １１・・・ホスト コンピュータ、１２・・・計測装置
、１３・・・外部補助記憶装置、１４・・・タイマ。 第１図 第２図
Claims (1)
- 計測プログラムおよび自己診断プログラム等を格納する
プログラム格納手段と、上記プログラム格納手段から計
測プログラムおよび自己診断プログラムが転送され、こ
れらのプログラムを実行することにより所定の計測およ
び自己診断を行なう複数の計測装置と、上記各計測装置
に対し、任意の時期および上記計測装置の測定異常時に
上記プログラム格納手段から上記計測プログラムもしく
は自己診断プログラムを転送させ、かつ上記各計測装置
において上記計測プログラムの実行によって得られる計
測結果および自己診断プログラムの実行によって得られ
る診断結果が通報され、この診断結果に応じて各計測装
置における自己診断プログラムの再起動時期を制御する
制御手段とを具備したことを特徴とする計測装置の群管
理制御システム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59108787A JPS60251405A (ja) | 1984-05-29 | 1984-05-29 | 計測装置の群管理制御システム |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59108787A JPS60251405A (ja) | 1984-05-29 | 1984-05-29 | 計測装置の群管理制御システム |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60251405A true JPS60251405A (ja) | 1985-12-12 |
| JPH0512722B2 JPH0512722B2 (ja) | 1993-02-18 |
Family
ID=14493467
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59108787A Granted JPS60251405A (ja) | 1984-05-29 | 1984-05-29 | 計測装置の群管理制御システム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60251405A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63252417A (ja) * | 1987-04-09 | 1988-10-19 | Tokyo Electron Ltd | 半導体処理装置 |
| JPH01214745A (ja) * | 1988-02-24 | 1989-08-29 | Rigaku Denki Kk | Ｘ線回折装置のための情報利用装置 |
| WO1993004416A1 (en) * | 1991-08-16 | 1993-03-04 | Hitachi Seiko, Ltd. | Cnc system for controlling a plurality of machines |
| JP2005317848A (ja) * | 2004-04-30 | 2005-11-10 | Toshiba Corp | 計測システム |
Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
| JPS57188340U (ja) * | 1981-05-25 | 1982-11-30 | ||
| JPS5918722A (ja) * | 1982-06-29 | 1984-01-31 | ソシエテ・カルボシミツク | ポリイソシアヌレ−ト塩類とその製法 |
| JPS5945559A (ja) * | 1982-09-08 | 1984-03-14 | Toshiba Corp | 制御装置 |
-
1984
- 1984-05-29 JP JP59108787A patent/JPS60251405A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0512722B2 (ja) | 1993-02-18 |
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