JPH0481268B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は磁気記録媒体に関し、特に耐食性が著
しく改善された金属薄膜型磁気記録媒体に関す
る。

従来の磁気記録媒体の多くは、一般に塗布型と
称されているものに属し、通常、非磁性支持体上
に、γ−Fe₂O₃、Coをドープしたγ−Fe₂O₃、
Fe₃O₄、CoをドープしたFe₃O₄、γ−Fe₂O₃と
Fe₃O₄のベルトライド化合物、Coをドープしたベ
ルトライン化合物、CrO₂等の酸化物磁性粉末あ
るいはFe、Ni、Co等を主成分とする合金磁性粉
末等から成る磁性体粉末を塩化ビニル−酢酸ビニ
ル共重合体、スチレン−ブタジエン共重合体、エ
ポキシ樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機バインダ
ー中に分散して成る塗液を塗着、乾燥して磁性膜
を形成することによつて生産されたものである。

近年、記録すべき情報量の増加に伴い、高密度
記録に適する磁気記録媒体の実用化が一層強く望
まれるに至り、前述したバインダーを使用せずに
真空蒸着、スパツタリング、イオンプレーテイン
グ、メツキ等の方法により強磁性金属薄膜を前記
支持体上に形成した。所謂、薄膜型磁気記録媒体
が着目され、その開発、研究の推進に伴つて、実
用化のための諸提案がなされつつある。

しかしながら、強磁性金属薄膜での腐食が極め
て生じやすい。この欠点は媒体としての信頼性を
低下させる重要な問題であるが、これを解決する
方法は今の所見い出されていない。

本発明の目的は耐食性の改良された磁気記録媒
体を提供するにある。

本発明の上記の目的は、基体とその上に設けら
れた金属磁性薄膜上に、10Å〜200Åの薄膜で
Cr6〜40％、Ni0〜20％、残りFeから成る保護層
を設けることによつて達成される。

本発明による磁気記録媒体の構造を第１図〜第
３図を用いて説明する。本発明による磁気記録媒
体の構成は第２図及び第３図に示した。

図面において、従来の金属薄膜型磁気記録媒体
１は、第１図に示す如く、基体２と該基体上の金
属磁気薄膜３より成つているが、本発明の磁気記
録媒体１′は金属磁性薄膜３上に保護層４を有す
る。

本発明に用いられる基体としては、ポリエチレ
ンテレフタレート、ポリイミド、ポリアミド、ポ
リ塩化ビニル、三酢酸セルロース、ポリカーボネ
ート、ポリエチレンナフタレートのようなプラス
チツクベースが好ましい。更にAl、Cu、SUS等
の非磁性金属、又は、ガラス、セラミツクス等無
機質の基体も使用できる。

強磁性金属薄膜を形成する面と反対側の基体面
に無機物粒子（炭酸カルシウム、カーボン粒子な
ど）及び有機バインダー（ニトロセルロース、ポ
リウレタン、イソシアネート、ポリエステル又は
これらの混合物など）を含有している層が設けら
れていてもよい。

特に好ましい基体としては、表面粗さ（Ra）
が0.012μｍ以下である可撓性プラスチツクベース
がある。

本発明の金属薄膜に用いられる磁性金属材料と
しては、Fe、Co、Ni等の金属、あるいはFe−
Co、Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co−Ni、Fe−Rh、
Fe−Cu、Co−Cu、Co−Au、Co−Ｙ、Co−La、
Co−Pr、Co−Gd、Co−Sm、Co−Pt、Ni−Cu、
Mn−Bi、Mn−Sb、Mn−Al、Fe−Cr、Co−
Cr、Ni−Cr、Fe−Co−Cr、Ni−Co−Cr、Fe−
Co−Ni−Cr等を主成分とする強磁性合金であ
る。特に好ましいのは、CoあるいはCoを75wt％
以上含有するような合金である。更に添加物とし
て、Ｗ、Mo、Ta、Mg、Si、Al等を少量含んで
もよい。またＣ、Ｂ、Ｏ、Ｎ、Ｐ等の非金属成分
を少量含んでもよい。これらは薄膜形成用の母材
に含めてもよいし、また薄膜形成時のガス雰囲気
の成分として加えてもよい。磁性金属薄膜の膜厚
は、磁気記録媒体として充分な出力を与え得る厚
さおよび高密度記録の充分行なえる薄さを必要と
することから一般には約0.02μｍから2μｍ、好ま
しくは0.05μｍから1μｍである。

磁性金属薄膜層は単層でもよいし、２層以上の
多層膜から構成されていてもよい。多層構成の場
合、層間に非磁性の中間層を設けてもよい。非磁
性基体と磁性金属薄膜の間に非磁性の下地層を設
けてもよい。非磁性基体の両面に磁性金属薄膜を
設けてもよい。

本発明の磁気記録媒体における磁性金属薄膜及
び保護層は、ベーパーデポジシヨン法により形成
される。

本発明におけるベーパーデポジシヨン法とは、
上記米国特許第3342632号等に述べられている通
常の真空蒸着の他、電界、磁界、あるいは電子ビ
ーム照射等により蒸気流のイオン化、加速化等を
行つて蒸発分子の平均自由行程の大きい雰囲気に
て支持基体上に薄膜を形成させる方法をも含むも
のであつて、例えば特開昭51−149008号に示され
ているような電界蒸着法、特公昭43−11525号、
特公昭46−20484号、特公昭47−26579号、特公昭
49−45439号、特開昭49−33890号、特開昭49−
34483号、特開昭49−54235号に示されているよう
なイオン化蒸着法も本発明に用いられ、その他ス
パツター法が適用できる。

金属薄膜上に形成される保護層は、Cr6〜40wt
％、Ni0〜20wt％、残りFeから成る組成を有す
る薄膜で、膜厚は10Å〜200Åである。これより
厚いと耐候特性は引き続き向上するが、スペース
ロスの増加による電磁変換特性の劣化が認めら
れ、実用上不適当となる。

また、本発明による磁気記録媒体上に更に、潤
滑層５を設けてもよい。潤滑層は走行特性、スチ
ル耐久特性を向上させる機能を持たせるものであ
る。保護層４上に更に形成される潤滑層５として
は、高級脂肪酸、脂肪酸エステル、又はこれらを
組み合せたものがよい。良好な高級脂肪酸として
は、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、
ステアリン酸、ベヘン酸、オレイン酸、リノール
酸、リノレン酸、アラキドン酸等がある。脂肪酸
エステルとしては、ステアリン酸メチル、パルミ
チン酸エチル、ステアリン酸モノグリセリド等が
ある。

潤滑層５は蒸着法、イオンプレーテイン法等の
ベーパーデイポジシヨン法、又は通常の塗布法を
用いて形成されても良い。

以上のように本発明では、金属磁性薄膜上に膜
厚10Å〜200Åの保護層を形成したものであり、
この結果、従来例に見られた様に他の欠点を生じ
ずに腐食を大巾に減少させることが可能となつ
た。

従来、このような金属磁性薄膜型記録媒体では
潤滑層等のオーバーコート層の間隙を通つて侵入
した水酸基OH^-が金属磁性薄膜に直接接触し、
腐食の進行に著しいものがあつた。

本発明では、Cr6〜40wt％、Ni0〜2wt％、残
りFeから成る保護層（薄膜）を設けると金属磁
性薄膜の腐食が著しく抑えられることを見い出し
た。これは保護層が金属磁性薄膜に強固にかつ緻
密にオーバーコートするとともに、膜自体が耐候
特性に勝れていることに起因するものと推定され
る。

実施例 １ ポリエチレンテレフタレートフイルム（厚さ
23μｍ）上に５×10^-5torrの真空下で組成Co_0.8
Ni_0.2の合金を入射角60℃で斜方入射蒸着を行な
い、厚み1400Åの金属磁性薄膜３を形成した。そ
の後、この上にCr20wt％、Ni3wt％、残りFeの
組成を有する保護層を３×10^-5torrの真空度下で
蒸着して、厚さ45Åの保護層を形成した。

この様にして得られた磁気記録媒体を用いて耐
候特性の評価を行なつた。評価は60℃、90％RH
のサーモ装置内に２週間保持した後の減磁率及び
腐食を観察することにより行なつた。同評価によ
りテストした結果、本発明による磁気記録媒体で
は、減磁率は３％であり、発錆部は認められなか
つた。また、同時に比較の為にテストした本発明
による保護層を設けていない磁気記録媒体では、
減磁率は15％であり、著しい発錆が認められた。

実施例 ２ ポリエチレンテレフタレートフイルム（厚さ
23μｍ）上に２×10^-4torrの酸素雰囲気下で組成
Co_0.8Ni_0.2の合金を入射角45°で斜方入射蒸着を行
ない、厚み1200Åの金属磁性薄膜層３を形成し
た。その後、この上にCr20％、Fe80％の組成の
保護層をArガスを導入して１×10^-3torrの真空下
にしスパツター法で厚30Å設けた。

この様にして得られた磁気記録媒体を用いて実
施例１と同様な耐候特性の評価を行なつたとこ
ろ、減磁率は５％であり、発錆部は認められなか
つた。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の金属薄膜型磁気記録媒体の構成
を示す説明図であり、第２図〜第３図は本発明の
磁気記録媒体の構成を示す説明図である。 １，１′……磁気記録媒体、２……基体、３…
…強磁性金属薄膜、４……保護層（薄膜）、５…
…潤滑層。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １ 非磁性基体上にペーパーデポジシヨン法によ
   り形成されたCoあるいはCoを75wt％以上含有す
   る合金である磁性金属薄膜とベーパーデポジシヨ
   ン法により形成されたCr6〜40wt％、Ni0〜20wt
   ％、Fe残部から成る厚さ10〜200Åの保護層を設
   けて成ることを特徴とする磁気記録媒体。