JPH04215880A - 固体表面の洗浄装置 - Google Patents
固体表面の洗浄装置Info
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- JPH04215880A JPH04215880A JP3039834A JP3983491A JPH04215880A JP H04215880 A JPH04215880 A JP H04215880A JP 3039834 A JP3039834 A JP 3039834A JP 3983491 A JP3983491 A JP 3983491A JP H04215880 A JPH04215880 A JP H04215880A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、固体油脂の洗浄装置及
び方法に係り、特に金属加工部品やプリント基板などの
表面形状の複雑な部品の洗浄装置及び方法に関する。
び方法に係り、特に金属加工部品やプリント基板などの
表面形状の複雑な部品の洗浄装置及び方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術として、粒子を用いた洗浄装
置及び方法には、特開昭６３−２６６８３６号公報に記
載されたドライアイス粒子を用いた洗浄装置及び方法、
特開昭６３−２８３１３３号公報に記載された氷の微粒
子を用いた氷微粒子発生装置を挙げることができる。こ
れらの原理はドライアイス粒子、氷の微粒子をノズルか
ら吹出し、空気中で被洗浄物に吹付け、被洗浄物表面の
汚染除去を行なったものである。
置及び方法には、特開昭６３−２６６８３６号公報に記
載されたドライアイス粒子を用いた洗浄装置及び方法、
特開昭６３−２８３１３３号公報に記載された氷の微粒
子を用いた氷微粒子発生装置を挙げることができる。こ
れらの原理はドライアイス粒子、氷の微粒子をノズルか
ら吹出し、空気中で被洗浄物に吹付け、被洗浄物表面の
汚染除去を行なったものである。
【０００３】また、従来から、金属加工部品やプリント
基板などに付着した固体油脂の洗浄法には、トリクロロ
エチレン等の塩素系有機溶剤、フロン１１３などが一般
的に使用されている。
基板などに付着した固体油脂の洗浄法には、トリクロロ
エチレン等の塩素系有機溶剤、フロン１１３などが一般
的に使用されている。
【０００４】しかしながら、上記従来技術のうち前者に
ついては、ガラス基板、Ｓｉウェハ等の平面基板の洗浄
については効果を発揮するものであり、電子部品を多数
搭載したプリント基板、表面の凹凸が大きいもの、穴を
有するもの等の複雑な構造の部品については、洗浄に用
いるドライアイス粒子、氷の微粒子の運動方向が一定で
あるために吹き付け不能な部分が生じてしまい全面をく
まなく均等に洗浄することはできず、複雑な構造の部品
の洗浄については考慮されていなかったものである。
ついては、ガラス基板、Ｓｉウェハ等の平面基板の洗浄
については効果を発揮するものであり、電子部品を多数
搭載したプリント基板、表面の凹凸が大きいもの、穴を
有するもの等の複雑な構造の部品については、洗浄に用
いるドライアイス粒子、氷の微粒子の運動方向が一定で
あるために吹き付け不能な部分が生じてしまい全面をく
まなく均等に洗浄することはできず、複雑な構造の部品
の洗浄については考慮されていなかったものである。
【０００５】また、上記従来技術のうち後者については
、トリクロロエチレン等の塩素系有機溶剤を用いること
による地球の環境に与える影響として地下水の汚染が考
えられ、フロンを用いることによる地球の環境に与える
影響としてオゾン層の破壊は避けられないものである。
、トリクロロエチレン等の塩素系有機溶剤を用いること
による地球の環境に与える影響として地下水の汚染が考
えられ、フロンを用いることによる地球の環境に与える
影響としてオゾン層の破壊は避けられないものである。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記従来技
術の考慮されていなかった問題点を解決するものであり
、本発明の第１の目的は、洗浄液中に混合した微粒子の
運動方向を変化させ、簡単な構造を有する部品だけでな
く、複雑な構造を有する部品に対しても全面をくまなく
均等に洗浄することが可能な洗浄装置及び方法を提供す
ることである。
術の考慮されていなかった問題点を解決するものであり
、本発明の第１の目的は、洗浄液中に混合した微粒子の
運動方向を変化させ、簡単な構造を有する部品だけでな
く、複雑な構造を有する部品に対しても全面をくまなく
均等に洗浄することが可能な洗浄装置及び方法を提供す
ることである。
【０００７】また、本発明の第２の目的は、固体表面の
被洗浄物が固体油脂の場合に、洗浄液中に混合した微粒
子の運動方向を変化させ、簡単な構造を有する部品だけ
でなく、複雑な構造を有する部品に対しても全面をくま
なく均等に洗浄することが可能な洗浄装置及び方法を提
供することである。
被洗浄物が固体油脂の場合に、洗浄液中に混合した微粒
子の運動方向を変化させ、簡単な構造を有する部品だけ
でなく、複雑な構造を有する部品に対しても全面をくま
なく均等に洗浄することが可能な洗浄装置及び方法を提
供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】前記本発明の第１の目的
の洗浄装置は、（１）洗浄液を入れた洗浄層を具備する
洗浄装置において、不溶性の粒子を液体に混合した洗浄
液と、洗浄液を乱流状態にするための手段とを具備する
固体表面の洗浄装置で達成できるものである。更に好ま
しくは、次の（２）〜（６）により達成できるものであ
る。（２）は、（１）記載の固体表面の洗浄装置におい
て、不溶性の粒子がガラス、シリコン、アルミナ、炭酸
カルシウム、酸化セリウムのうちから選ばれた少なくと
も１種類である固体表面の洗浄装置である。（３）は、
（１）記載の固体表面の洗浄装置において、液体が純水
、洗剤、有機溶剤のうちから選ばれた少なくとも１種類
である固体表面の洗浄装置である。（４）は、（１）記
載の固体表面の洗浄装置において、洗浄液を乱流状態に
するための手段が撹拌装置である固体表面の洗浄装置で
ある。（５）は、（１）記載の固体表面の洗浄装置にお
いて、洗浄液を乱流状態にするための手段が振動発生装
置である固体表面の洗浄装置である。（６）は、（１）
記載の固体表面の洗浄装置において、気泡を混入させる
手段を具備する固体表面の洗浄装置である。
の洗浄装置は、（１）洗浄液を入れた洗浄層を具備する
洗浄装置において、不溶性の粒子を液体に混合した洗浄
液と、洗浄液を乱流状態にするための手段とを具備する
固体表面の洗浄装置で達成できるものである。更に好ま
しくは、次の（２）〜（６）により達成できるものであ
る。（２）は、（１）記載の固体表面の洗浄装置におい
て、不溶性の粒子がガラス、シリコン、アルミナ、炭酸
カルシウム、酸化セリウムのうちから選ばれた少なくと
も１種類である固体表面の洗浄装置である。（３）は、
（１）記載の固体表面の洗浄装置において、液体が純水
、洗剤、有機溶剤のうちから選ばれた少なくとも１種類
である固体表面の洗浄装置である。（４）は、（１）記
載の固体表面の洗浄装置において、洗浄液を乱流状態に
するための手段が撹拌装置である固体表面の洗浄装置で
ある。（５）は、（１）記載の固体表面の洗浄装置にお
いて、洗浄液を乱流状態にするための手段が振動発生装
置である固体表面の洗浄装置である。（６）は、（１）
記載の固体表面の洗浄装置において、気泡を混入させる
手段を具備する固体表面の洗浄装置である。
【０００９】また、前記本発明の第１の目的の洗浄方法
は、（８）洗浄物を被洗浄物である固体の表面に接触さ
せて洗浄する方法において、不溶性の粒子を液体に混合
した洗浄液の流動状態を洗浄槽中で乱流状態とする固体
表面の洗浄方法で達成できるものである。更に好ましく
は、次の（９）〜（１２）により達成できるものである
。（９）は、（８）記載の固体表面の洗浄方法において
、不溶性の粒子としてガラス、シリコン、アルミナ、炭
酸カルシウム、酸化セリウムのうちから選ばれた少なく
とも１種類を用いる固体表面の洗浄方法である。（１０
）は、（８）記載の固体表面の洗浄方法において、液体
として純水、洗剤、有機溶剤のうちから選ばれた少なく
とも１種類を用いる固体表面の洗浄方法である。（１１
）は、（８）記載の固体表面の洗浄方法において、不溶
性の粒子を液体に混合した洗浄液の流動状態を洗浄槽中
で乱流状態とするために、洗浄液に気泡を混入する固体
表面の洗浄方法である。（１２）は、（８）記載の固体
表面の洗浄方法において、不溶性の粒子を液体に混合し
た洗浄液の流動状態を洗浄槽中で乱流状態とするために
、気相と洗浄液とから成り、密閉された洗浄槽内を振動
させる固体表面の洗浄方法である。
は、（８）洗浄物を被洗浄物である固体の表面に接触さ
せて洗浄する方法において、不溶性の粒子を液体に混合
した洗浄液の流動状態を洗浄槽中で乱流状態とする固体
表面の洗浄方法で達成できるものである。更に好ましく
は、次の（９）〜（１２）により達成できるものである
。（９）は、（８）記載の固体表面の洗浄方法において
、不溶性の粒子としてガラス、シリコン、アルミナ、炭
酸カルシウム、酸化セリウムのうちから選ばれた少なく
とも１種類を用いる固体表面の洗浄方法である。（１０
）は、（８）記載の固体表面の洗浄方法において、液体
として純水、洗剤、有機溶剤のうちから選ばれた少なく
とも１種類を用いる固体表面の洗浄方法である。（１１
）は、（８）記載の固体表面の洗浄方法において、不溶
性の粒子を液体に混合した洗浄液の流動状態を洗浄槽中
で乱流状態とするために、洗浄液に気泡を混入する固体
表面の洗浄方法である。（１２）は、（８）記載の固体
表面の洗浄方法において、不溶性の粒子を液体に混合し
た洗浄液の流動状態を洗浄槽中で乱流状態とするために
、気相と洗浄液とから成り、密閉された洗浄槽内を振動
させる固体表面の洗浄方法である。
【００１０】前記本発明の第２の目的の洗浄装置は、（
７）洗浄液を入れた洗浄層を具備する洗浄装置において
、不溶性の粒子を液体に混合した洗浄液と、洗浄液を乱
流状態にするための手段と、洗浄液を加熱するための手
段とを具備する固体表面の洗浄装置で達成できるもので
ある。
７）洗浄液を入れた洗浄層を具備する洗浄装置において
、不溶性の粒子を液体に混合した洗浄液と、洗浄液を乱
流状態にするための手段と、洗浄液を加熱するための手
段とを具備する固体表面の洗浄装置で達成できるもので
ある。
【００１１】前記本発明の第２の目的の洗浄方法は、（
１３）洗浄液を被洗浄物である固体の表面に接触させて
洗浄する方法において、固体表面の固体油脂を含有する
被洗浄物に対し、この固体油脂の軟化点付近まで昇温さ
せ、不溶性の粒子を液体に混合した洗浄液の流動状態を
洗浄槽中で乱流状態とすることにより、軟化した固体油
脂を除去する固体表面の洗浄方法で達成できるものであ
る。
１３）洗浄液を被洗浄物である固体の表面に接触させて
洗浄する方法において、固体表面の固体油脂を含有する
被洗浄物に対し、この固体油脂の軟化点付近まで昇温さ
せ、不溶性の粒子を液体に混合した洗浄液の流動状態を
洗浄槽中で乱流状態とすることにより、軟化した固体油
脂を除去する固体表面の洗浄方法で達成できるものであ
る。
【００１２】
【作用】洗浄槽中に被洗浄物を入れ、微粒子を含んだ洗
浄液に浸し、この洗浄液を撹拌することにより、液中の
微粒子は被洗浄物に対し、相互に流動し、被洗浄物表面
と衝突し、汚染物質を液中に取り込み、再び表面から離
れることによって、被洗浄物の汚染除去ができるもので
ある。そして、撹拌装置として、流動方向、流速などを
変化できる調整機能を有する撹拌装置を用いることによ
り、液流を時々刻々に変化させることができ、洗浄物が
、凹凸、穴等の複雑な表面形状を有する場合でも、微粒
子は細部まで回り込み汚染物と衝突するので、被洗浄物
を万偏なく洗浄して、洗浄化することができ、洗浄効果
は大幅に向上する。更に、撹拌装置の他に、超音波振動
を与える装置、気泡発生装置を加えれば、洗浄作用は著
しく向上する。このような流体力学的作用のほかに、温
度効果及び洗浄液中に混合する微粒子の特性作用が加わ
るため、本発明の表面部分の洗浄効果は極めて大きい。
浄液に浸し、この洗浄液を撹拌することにより、液中の
微粒子は被洗浄物に対し、相互に流動し、被洗浄物表面
と衝突し、汚染物質を液中に取り込み、再び表面から離
れることによって、被洗浄物の汚染除去ができるもので
ある。そして、撹拌装置として、流動方向、流速などを
変化できる調整機能を有する撹拌装置を用いることによ
り、液流を時々刻々に変化させることができ、洗浄物が
、凹凸、穴等の複雑な表面形状を有する場合でも、微粒
子は細部まで回り込み汚染物と衝突するので、被洗浄物
を万偏なく洗浄して、洗浄化することができ、洗浄効果
は大幅に向上する。更に、撹拌装置の他に、超音波振動
を与える装置、気泡発生装置を加えれば、洗浄作用は著
しく向上する。このような流体力学的作用のほかに、温
度効果及び洗浄液中に混合する微粒子の特性作用が加わ
るため、本発明の表面部分の洗浄効果は極めて大きい。
【００１３】また、特に、油脂汚れを含む被洗浄物の洗
浄に関しては、加熱した洗浄液中に油脂汚れを含む被洗
浄物を入れ、粒子を含んだ洗浄液を流動させる。そして
、油脂汚れを含む被洗浄物は洗浄液により加温され、表
面に付着している油脂汚れは常温に比べ軟化する。これ
は、被洗浄物が固体油脂の場合には特に顕著である。 更に、粒子を含んだ洗浄液を流動させることにより、洗
浄液中の粒子は油脂汚れを含む被洗浄物と相互に流動す
るので、その結果、粒子は被洗浄物表面に衝突し軟らか
くなった油脂汚れを被洗浄物表面から引き剥がして液中
に取り込み、再び表面から離れることによって被洗浄物
の汚染除去を行なう。この時、特に固体油脂の場合には
洗浄液の液温を付着している固体油脂の軟化点近傍以上
に加熱しておけば、固体油脂の硬度は極めて軟らかくな
り、粒子による引き剥がしが容易に行なわれるため、そ
の結果、粒子による洗浄作用は大幅に向上する。
浄に関しては、加熱した洗浄液中に油脂汚れを含む被洗
浄物を入れ、粒子を含んだ洗浄液を流動させる。そして
、油脂汚れを含む被洗浄物は洗浄液により加温され、表
面に付着している油脂汚れは常温に比べ軟化する。これ
は、被洗浄物が固体油脂の場合には特に顕著である。 更に、粒子を含んだ洗浄液を流動させることにより、洗
浄液中の粒子は油脂汚れを含む被洗浄物と相互に流動す
るので、その結果、粒子は被洗浄物表面に衝突し軟らか
くなった油脂汚れを被洗浄物表面から引き剥がして液中
に取り込み、再び表面から離れることによって被洗浄物
の汚染除去を行なう。この時、特に固体油脂の場合には
洗浄液の液温を付着している固体油脂の軟化点近傍以上
に加熱しておけば、固体油脂の硬度は極めて軟らかくな
り、粒子による引き剥がしが容易に行なわれるため、そ
の結果、粒子による洗浄作用は大幅に向上する。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。
【００１５】（実施例１）図１は、本発明に係る固体表
面の洗浄装置の模式図である。図１において、１は洗浄
液、２は洗浄槽、３は被洗浄部品、４は被洗浄部品を入
れる治具、５は撹拌装置、６は微粒子、７は汚染物、８
は被洗浄部品３の穴、９はガス供給系、１０は気泡発生
器である。
面の洗浄装置の模式図である。図１において、１は洗浄
液、２は洗浄槽、３は被洗浄部品、４は被洗浄部品を入
れる治具、５は撹拌装置、６は微粒子、７は汚染物、８
は被洗浄部品３の穴、９はガス供給系、１０は気泡発生
器である。
【００１６】次に動作について説明する。微粒子６を含
む洗浄液１の入った洗浄層２中に、表面形状の複雑な被
洗浄部品３を、メッシュ構造など洗浄液１の流れを妨げ
ない治具４に入れ、洗浄液中に浸漬する。洗浄槽２には
、洗浄液１を流動させるための回転羽を有する撹拌装置
５が具備されており、回転により液流を調整できる。 洗浄液１中の微粒子６は液流と共に移動し、慣性により
被洗浄部品３の表面に衝突し、該表面に付着する汚染物
７を剥ぎ取り、洗浄液中に取り込み除去する。また、被
洗浄部品３の穴８などの複雑な構造部内の汚染物７に対
しては、上記撹拌装置５に回転速度、回転方向、被洗浄
部品３に対する角度を制御する機能をつけることにより
、液流を乱流とでき、被洗浄部品３の穴８内部などに流
れを生じさせ、更に、被洗浄部品３の穴８内部の表面も
微粒子６を万偏なく衝突が起こり、被洗浄部品３の表面
全体を洗浄できるものである。さらにまた、撹拌装置５
と共に、或いは代替手段として、洗浄液１中に気泡を供
給するためのガス供給系９とガスを微小な気泡にするた
め、超音波などによる気泡発生器１０を具備した洗浄装
置とすることで、被洗浄部品の穴８などの内部の洗浄効
率をより一層向上することができる。
む洗浄液１の入った洗浄層２中に、表面形状の複雑な被
洗浄部品３を、メッシュ構造など洗浄液１の流れを妨げ
ない治具４に入れ、洗浄液中に浸漬する。洗浄槽２には
、洗浄液１を流動させるための回転羽を有する撹拌装置
５が具備されており、回転により液流を調整できる。 洗浄液１中の微粒子６は液流と共に移動し、慣性により
被洗浄部品３の表面に衝突し、該表面に付着する汚染物
７を剥ぎ取り、洗浄液中に取り込み除去する。また、被
洗浄部品３の穴８などの複雑な構造部内の汚染物７に対
しては、上記撹拌装置５に回転速度、回転方向、被洗浄
部品３に対する角度を制御する機能をつけることにより
、液流を乱流とでき、被洗浄部品３の穴８内部などに流
れを生じさせ、更に、被洗浄部品３の穴８内部の表面も
微粒子６を万偏なく衝突が起こり、被洗浄部品３の表面
全体を洗浄できるものである。さらにまた、撹拌装置５
と共に、或いは代替手段として、洗浄液１中に気泡を供
給するためのガス供給系９とガスを微小な気泡にするた
め、超音波などによる気泡発生器１０を具備した洗浄装
置とすることで、被洗浄部品の穴８などの内部の洗浄効
率をより一層向上することができる。
【００１７】以上の洗浄方法は、主として洗浄液の流体
力学的な作用を利用したものである。
力学的な作用を利用したものである。
【００１８】この他に、洗浄液の温度効果及び洗浄液中
の微粒子の特性による作用が考えられる。
の微粒子の特性による作用が考えられる。
【００１９】温度効果については、例えば、ガラス基板
上に融着したロジン系ワックスに対し、洗浄液の温度を
６０〜８０℃にすると除去効率は数倍に上昇する。
上に融着したロジン系ワックスに対し、洗浄液の温度を
６０〜８０℃にすると除去効率は数倍に上昇する。
【００２０】なお、洗浄液中に混合する微粒子の種類、
混合状態、粒径、比重、硬さなどについては、以下のよ
うな結果となった。例えば、ガラスビ−ンズ、ケイ素粉
末、炭酸カルシウム粒子等が有効である。
混合状態、粒径、比重、硬さなどについては、以下のよ
うな結果となった。例えば、ガラスビ−ンズ、ケイ素粉
末、炭酸カルシウム粒子等が有効である。
【００２１】（実施例２）図２は、本発明に係る固体表
面の被洗浄物が固体油脂を含む場合に有効な固体表面の
洗浄装置の模式図である。図２において、１は洗浄液、
２は洗浄槽、３は被洗浄部品、４は被洗浄部品を入れる
治具、５は撹拌装置、６は微粒子、７は汚染物、８は被
洗浄部品の穴、１１は加熱ヒ−タ、１２は温度測定器、
１３は温度コントロ−ラ、１４は固体油脂汚染物である
。
面の被洗浄物が固体油脂を含む場合に有効な固体表面の
洗浄装置の模式図である。図２において、１は洗浄液、
２は洗浄槽、３は被洗浄部品、４は被洗浄部品を入れる
治具、５は撹拌装置、６は微粒子、７は汚染物、８は被
洗浄部品の穴、１１は加熱ヒ−タ、１２は温度測定器、
１３は温度コントロ−ラ、１４は固体油脂汚染物である
。
【００２２】次に動作について説明する。微粒子６を含
む洗浄液１の入った洗浄層２中に、表面形状の複雑な被
洗浄部品３を、メッシュ構造など洗浄液１の流れを妨げ
ない治具４に入れ、洗浄液中に浸漬する。洗浄槽２には
、洗浄液１を流動させるための回転羽を有する撹拌装置
５が具備されており、回転により液流を調整できる。 このとき、洗浄液１は加熱ヒ−タ１１により所望の温度
まで昇温する。更に、洗浄液１の液温は温度測定器１２
によって測定される。また、加熱ヒ−タ１１は温度測定
器１２の測定結果を受けた温度コントロ−ラ１３によっ
てＯＮ、ＯＦＦされる。被洗浄部品３に付着した固体油
脂汚染物１４は加熱ヒ−タ１１によって昇温された洗浄
液１によって加熱され軟化する。洗浄液１中に含まれる
微粒子６は、液の流動と共に移動して、慣性により被洗
浄部品３の表面に衝突し、該表面に軟化した固体油脂汚
染物１４を剥ぎ取り、洗浄液１中に取り込み除去する。 また、被洗浄部品３の穴８などの複雑な構造部内の汚染
物７に対しては、上記撹拌装置５に回転速度、回転方向
、被洗浄部品３に対する角度を制御する機能をつけるこ
とにより、液流を乱流とでき、被洗浄部品３の穴８内部
などに流れを生じさせ、更に、被洗浄部品３の穴８内部
の表面も微粒子６を万偏なく衝突が起こり、被洗浄部品
３の表面全体を洗浄できる。
む洗浄液１の入った洗浄層２中に、表面形状の複雑な被
洗浄部品３を、メッシュ構造など洗浄液１の流れを妨げ
ない治具４に入れ、洗浄液中に浸漬する。洗浄槽２には
、洗浄液１を流動させるための回転羽を有する撹拌装置
５が具備されており、回転により液流を調整できる。 このとき、洗浄液１は加熱ヒ−タ１１により所望の温度
まで昇温する。更に、洗浄液１の液温は温度測定器１２
によって測定される。また、加熱ヒ−タ１１は温度測定
器１２の測定結果を受けた温度コントロ−ラ１３によっ
てＯＮ、ＯＦＦされる。被洗浄部品３に付着した固体油
脂汚染物１４は加熱ヒ−タ１１によって昇温された洗浄
液１によって加熱され軟化する。洗浄液１中に含まれる
微粒子６は、液の流動と共に移動して、慣性により被洗
浄部品３の表面に衝突し、該表面に軟化した固体油脂汚
染物１４を剥ぎ取り、洗浄液１中に取り込み除去する。 また、被洗浄部品３の穴８などの複雑な構造部内の汚染
物７に対しては、上記撹拌装置５に回転速度、回転方向
、被洗浄部品３に対する角度を制御する機能をつけるこ
とにより、液流を乱流とでき、被洗浄部品３の穴８内部
などに流れを生じさせ、更に、被洗浄部品３の穴８内部
の表面も微粒子６を万偏なく衝突が起こり、被洗浄部品
３の表面全体を洗浄できる。
【００２３】次に、図３は、本発明に係る固体表面の洗
浄装置を用いて固体油脂を含む被洗浄物を洗浄した場合
の洗浄温度と洗浄時間との関係を示す図であり、洗浄対
象物である固体油脂汚れにはステッキワックス（軟化点
６１℃）を用いた。ステッキワックスをガラス板に０．
１ｇ程度塗布し、洗浄用汚染物とした。不溶性粒子には
¢１ｍｍのガラスビ−ズを用い、洗浄液は純粋とした。 不溶性粒子を含む洗浄液を所望の温度に加熱した後、粒
子及び洗浄液を１４００ｒｐｍで回転させながら、洗浄
液中にステッキワックスを浸漬し、ステッキワックスが
洗浄除去されるまでの所要時間を測定した。但し、洗浄
時間は２０分を限度した。その結果、洗浄液温が５８℃
以上になるとステッキワックスが洗浄除去できることが
わかった。洗浄液温５６℃以下では、２０分洗浄しても
ステッキワックスは除去できず、洗浄効果がなかった。 このことから、洗浄液温を固体油脂の軟化点近傍以上ま
で加温すれば、固体油脂の洗浄除去が可能であるとわか
る。
浄装置を用いて固体油脂を含む被洗浄物を洗浄した場合
の洗浄温度と洗浄時間との関係を示す図であり、洗浄対
象物である固体油脂汚れにはステッキワックス（軟化点
６１℃）を用いた。ステッキワックスをガラス板に０．
１ｇ程度塗布し、洗浄用汚染物とした。不溶性粒子には
¢１ｍｍのガラスビ−ズを用い、洗浄液は純粋とした。 不溶性粒子を含む洗浄液を所望の温度に加熱した後、粒
子及び洗浄液を１４００ｒｐｍで回転させながら、洗浄
液中にステッキワックスを浸漬し、ステッキワックスが
洗浄除去されるまでの所要時間を測定した。但し、洗浄
時間は２０分を限度した。その結果、洗浄液温が５８℃
以上になるとステッキワックスが洗浄除去できることが
わかった。洗浄液温５６℃以下では、２０分洗浄しても
ステッキワックスは除去できず、洗浄効果がなかった。 このことから、洗浄液温を固体油脂の軟化点近傍以上ま
で加温すれば、固体油脂の洗浄除去が可能であるとわか
る。
【００２４】また、固体油脂として、ステッキワックス
の他にスカイワックス、ホックワックス、アピエゾンワ
ックス、ホットメルトの５種類のワックスを用いたもの
についても、各々の軟化点以下と軟化点以上の２通りの
洗浄液温で洗浄したときの洗浄除去に要した時間を（表
１）に示す。
の他にスカイワックス、ホックワックス、アピエゾンワ
ックス、ホットメルトの５種類のワックスを用いたもの
についても、各々の軟化点以下と軟化点以上の２通りの
洗浄液温で洗浄したときの洗浄除去に要した時間を（表
１）に示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】この表１で洗浄結果が「×」で表示したも
のは、２０分洗浄しても除去できなかったことを示すも
のである。表１の洗浄結果から明らかなように、５種類
のワックスは各々の軟化点近傍の洗浄液温で洗浄すれば
、１分前後の洗浄時間で洗浄除去できることがわかる。 更に、軟化点近傍より下の洗浄液温では洗浄時間が長く
かかることがわかる。
のは、２０分洗浄しても除去できなかったことを示すも
のである。表１の洗浄結果から明らかなように、５種類
のワックスは各々の軟化点近傍の洗浄液温で洗浄すれば
、１分前後の洗浄時間で洗浄除去できることがわかる。 更に、軟化点近傍より下の洗浄液温では洗浄時間が長く
かかることがわかる。
【００２７】
【発明の効果】本発明の洗浄装置及び方法によれば、被
洗浄物表面に強固に付着した汚染物のうち、簡単な構造
を有する部品だけでなく、穴、凹凸などの複雑な形状、
構造の被洗浄物に対しても、容易に効率よく洗浄除去す
ることができる。
洗浄物表面に強固に付着した汚染物のうち、簡単な構造
を有する部品だけでなく、穴、凹凸などの複雑な形状、
構造の被洗浄物に対しても、容易に効率よく洗浄除去す
ることができる。
【００２８】また、本発明の洗浄装置及び方法によれば
、特に、被洗浄物表面に強固に付着した固体油脂を含む
汚染物についても、簡単な構造を有する部品だけでなく
、穴、凹凸などの複雑な形状、構造の被洗浄物に対し、
容易に短時間で効率よく洗浄除去することができる。
、特に、被洗浄物表面に強固に付着した固体油脂を含む
汚染物についても、簡単な構造を有する部品だけでなく
、穴、凹凸などの複雑な形状、構造の被洗浄物に対し、
容易に短時間で効率よく洗浄除去することができる。
【００２９】更に、環境破壊の面で問題となる洗浄方法
に比較し極めて有用である。現時点では、全世界にて環
境破壊の面で問題視されているフロン、塩素系有機溶剤
等を用いる洗浄方法の代替えとして有用である。
に比較し極めて有用である。現時点では、全世界にて環
境破壊の面で問題視されているフロン、塩素系有機溶剤
等を用いる洗浄方法の代替えとして有用である。
【図１】図１は、本発明に係る固体表面の洗浄装置の模
式図である。
式図である。
【図２】図２は、本発明に係る固体表面の被洗浄物が固
体油脂を含む場合に有効な固体表面の洗浄装置の模式図
である。
体油脂を含む場合に有効な固体表面の洗浄装置の模式図
である。
【図３】図３は、本発明に係る固体表面の洗浄装置を用
いて固体油脂を含む被洗浄物を洗浄した場合の洗浄温度
と洗浄時間との関係を示す図。
いて固体油脂を含む被洗浄物を洗浄した場合の洗浄温度
と洗浄時間との関係を示す図。
１は洗浄液、２は洗浄槽、３は被洗浄部品、４は被洗浄
部品を入れる治具、５は撹拌装置、６は微粒子、７は汚
染物、８は被洗浄部品３の穴、９はガス供給系、１０は
気泡発生器、１１は加熱ヒ−タ、１２は温度測定器、１
３は温度コントロ−ラ、１４は固体油脂汚染物である。
部品を入れる治具、５は撹拌装置、６は微粒子、７は汚
染物、８は被洗浄部品３の穴、９はガス供給系、１０は
気泡発生器、１１は加熱ヒ−タ、１２は温度測定器、１
３は温度コントロ−ラ、１４は固体油脂汚染物である。
Claims (13)
- 【請求項１】洗浄液を入れた洗浄層を具備する洗浄装置
において、不溶性の粒子を液体に混合した洗浄液と、洗
浄液を乱流状態にするための手段とを具備することを特
徴とする固体表面の洗浄装置。 - 【請求項２】請求項１記載の固体表面の洗浄装置におい
て、不溶性の粒子がガラス、シリコン、アルミナ、炭酸
カルシウム、酸化セリウムのうちから選ばれた少なくと
も１種類であることを特徴とする固体表面の洗浄装置。 - 【請求項３】請求項１記載の固体表面の洗浄装置におい
て、液体が純水、洗剤、有機溶剤のうちから選ばれた少
なくとも１種類であることを特徴とする固体表面の洗浄
装置。 - 【請求項４】請求項１記載の固体表面の洗浄装置におい
て、洗浄液を乱流状態にするための手段が撹拌装置であ
ることを特徴とする固体表面の洗浄装置。 - 【請求項５】請求項１記載の固体表面の洗浄装置におい
て、洗浄液を乱流状態にするための手段が振動発生装置
であることを特徴とする固体表面の洗浄装置。 - 【請求項６】請求項１記載の固体表面の洗浄装置におい
て、気泡を混入させる手段を具備したことを特徴とする
固体表面の洗浄装置。 - 【請求項７】洗浄液を入れた洗浄層を具備する洗浄装置
において、不溶性の粒子を液体に混合した洗浄液と、洗
浄液を乱流状態にするための手段と、洗浄液を加熱する
ための手段とを具備することを特徴とする固体表面の洗
浄装置。 - 【請求項８】洗浄物を被洗浄物である固体の表面に接触
させて洗浄する方法において、不溶性の粒子を液体に混
合した洗浄液の流動状態を洗浄槽中で乱流状態とするこ
とを特徴とする固体表面の洗浄方法。 - 【請求項９】請求項８記載の固体表面の洗浄方法におい
て、不溶性の粒子としてガラス、シリコン、アルミナ、
炭酸カルシウム、酸化セリウムのうちから選ばれた少な
くとも１種類を用いることを特徴とする固体表面の洗浄
方法。 - 【請求項１０】請求項８記載の固体表面の洗浄方法にお
いて、液体として純水、洗剤、有機溶剤のうちから選ば
れた少なくとも１種類を用いることを特徴とする固体表
面の洗浄方法。 - 【請求項１１】請求項８記載の固体表面の洗浄方法にお
いて、不溶性の粒子を液体に混合した洗浄液の流動状態
を洗浄槽中で乱流状態とするために、洗浄液に気泡を混
入することを特徴とする固体表面の洗浄方法。 - 【請求項１２】請求項８記載の固体表面の洗浄方法にお
いて、不溶性の粒子を液体に混合した洗浄液の流動状態
を洗浄槽中で乱流状態とするために、気相と洗浄液とか
ら成り、密閉された洗浄槽内を振動させることを特徴と
する固体表面の洗浄方法。 - 【請求項１３】洗浄液を被洗浄物である固体の表面に接
触させて洗浄する方法において、固体表面の固体油脂を
含有する被洗浄物に対し、この固体油脂の軟化点付近ま
で昇温させ、不溶性の粒子を液体に混合した洗浄液の流
動状態を洗浄槽中で乱流状態とすることにより、軟化し
た固体油脂を除去することを特徴とする固体表面の洗浄
方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2-53573 | 1990-03-07 | ||
| JP5357390 | 1990-03-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04215880A true JPH04215880A (ja) | 1992-08-06 |
Family
ID=12946578
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3039834A Pending JPH04215880A (ja) | 1990-03-07 | 1991-03-06 | 固体表面の洗浄装置 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5226969A (ja) |
| EP (1) | EP0445728B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04215880A (ja) |
| DE (1) | DE69102311T2 (ja) |
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