JPH0413292B2 - - Google Patents

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JPH0413292B2
JPH0413292B2 JP61013887A JP1388786A JPH0413292B2 JP H0413292 B2 JPH0413292 B2 JP H0413292B2 JP 61013887 A JP61013887 A JP 61013887A JP 1388786 A JP1388786 A JP 1388786A JP H0413292 B2 JPH0413292 B2 JP H0413292B2
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JP
Japan
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silicide
molybdenum
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JP61013887A
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Iwao Kyono
Masataka Sugano
Ryuichi Nagase
Koji Hosaka
Akira Kato
Original Assignee
Nippon Mining Co
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Publication date
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JPS6158866A (ja) * 1984-08-30 1986-03-26 三菱マテリアル株式会社 高融点金属珪化物基複合材料の製造法
JPS6176664A (ja) * 1984-09-05 1986-04-19 Hitachi Metals Ltd スパツタリング装置用タ−ゲツト及びその製造方法
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