JPS62171911A - モリプデン或いはタングステンシリサイドの製造方法 - Google Patents

モリプデン或いはタングステンシリサイドの製造方法

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Iwao Kyono
京野　巌
Masataka Sugano
菅野　正崇
Ryuichi Nagase
隆一 長瀬
Koji Hosaka
広司 保坂
Akira Kato
晃 加藤
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Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6158866A (ja) * 1984-08-30 1986-03-26 三菱マテリアル株式会社 高融点金属珪化物基複合材料の製造法
JPS6176664A (ja) * 1984-09-05 1986-04-19 Hitachi Metals Ltd スパツタリング装置用タ−ゲツト及びその製造方法
JPS6270270A (ja) * 1985-09-25 1987-03-31 日本鉱業株式会社 高融点金属シリサイド製ターゲットの製造方法

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