JPH0385100A - スピーカ用振動板及びその製造法 - Google Patents

スピーカ用振動板及びその製造法

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JPH0385100A
JPH0385100A JP22044289A JP22044289A JPH0385100A JP H0385100 A JPH0385100 A JP H0385100A JP 22044289 A JP22044289 A JP 22044289A JP 22044289 A JP22044289 A JP 22044289A JP H0385100 A JPH0385100 A JP H0385100A
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JP
Japan
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diaphragm
layer
diamond film
base material
thermal plasma
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Pending
Application number
JP22044289A
Other languages
English (en)
Inventor
Masakatsu Sakamoto
坂本 政勝
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Kenwood KK
Original Assignee
Kenwood KK
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野] 本発明はスピーカ用振動板及びその製造法に係り、音響
特性を改善すると共に優れた音響特性の振動板を容易に
製造することができる方法に関するものである。 [従来の技術] 従来よりスピーカ用振動板やセンターキャップに使用さ
れる金属材料としてはアルミニウムやジュラルミン等が
多く用いられており、表面処理によってセラミックス等
を付着させることにより音響特性を改善する方法がとら
れている。 、
【発明が解決しようとする課題】
しかしアルミニウムやジュラルミンによる基材の表面に
セラミックスを付着させた従来のものにおいてはパウダ
ーを溶射して表面処理を行なうものであるため、多孔質
となって低密度となり、満足すべき音響特性が得られな
い、という欠点があり、この欠点を解消するために熱間
静水圧法や冷間静水圧法でプレスして密度を高めること
が行なわれているが、この手法では概してコストアップ
となる欠点があった。 本発明の第1の目的は上記した従来のスピーカ用振動板
の欠点を解消し、音響特性の優れたスピーカ用振動板を
提供することにあり、本発明の第2の目的は上記した従
来の製造法の欠点を解消し、優れた音響特性のスピーカ
用振動板を容易に、しかも安価に製造することができる
方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段1 本発明のスピーカ用振動板は、金属又は耐熱性合成樹脂
で形成された振動根基村上に熱プラズマ溶射法によりセ
ラミックスもしくは金属のパウダーを堆積させて溶射層
を形成し、その表面に熱プラズマCVD法(熱プラズマ
化学輸送法)により結晶質ダイヤモンド膜層を形成した
ものである。 この場合、モリブデン箔をプレス成形する等の手段によ
って金属製の振動板基材とし、溶射層をセラミックスと
したり、合成樹脂フィルムを成形して振動板基材とし、
溶射層を金属とすることができる。 本発明に係るスピーカ用振動板の製造法は、振動根基村
上に熱プラズマ溶射法によりセラミックス又は金属のパ
ウダーを堆積させて溶射層を形成し、その表面に熱プラ
ズマCVD法により結晶質ダイヤモンド膜層を形成した
後、振動板基材を溶解又は剥離して、溶射層とダイヤモ
ンド膜層とからなる振動板を製造する。 [作  用] 振動板基材としては、モリブデン箔又は耐熱性合成樹脂
フィルムを振動板形状に成形して簡単に得られるから、
熱プラズマ溶射法によりセラミックス又は金属のパウダ
ーを上記振動板基材の表面に堆積させて溶射層を形成し
、更にその表面に熱プラズマCVD法により結晶質のダ
イヤモンド膜層を形成する。 この場合、上記パウダーを堆積させて溶射層を形成する
熱プラズマ溶射法とその表面にダイヤモンド膜層を形成
する熱プラズマCVD法とは、供給すべき材料を変える
だけで同一の熱プラズマ発生装置で実施できる。 このようにして得られたスピーカ用振動板は溶射層が多
孔質となっていてもその表面にダイヤモンド膜層が形成
されるから、そのポーラス部がダイヤモンドで埋められ
て滑らかな表面となると共に音速が著しく増大する。 スピーカ用振動板の製造方法として、上記した振動板基
材と溶射層とダイヤモンド膜層とからなるものを製造し
た後、振動板基材を溶解又は剥離することにより、溶射
層とダイヤモンド膜層とからなる振動板が得られる。 この振動板は従来のようにアルミニウムやチタンの表面
にセラミックス処理したものに比してその音速が著しく
向上する。 【実 施 例】 先ず、本発明において使用される熱プラズマ発生装置を
第3図に基づいて説明する。 この熱プラズマ発生装置は、熱プラズマを発生するプラ
ズマトーチ(ガン) 11及びチャンバー12内は真空
排気15によって真空状態におかれており、原料ガス1
3又はパウダー14が供給される。被着物である振動板
基材1は冷却水16が循環する放熱器17上にセットさ
れ、この放熱器17は回転するようになっている。 プラズマトーチ11はアノード(陽極)18とカソード
(陰極) 19で構成した電極間に直流放電するように
なっており、パウダー14が供給されるとこれを熱プラ
ズマによって溶射して被着物上に堆積付着させるように
なっている。 また、後に示す原料ガス13が供給されると上記電極間
の直流放電によって炭化水素ガスのメタンと水素が分解
したプラズマをトーチから放出し、化学輸送法(CVD
)によって被着物上に結晶粒のダイヤモンド膜が堆積す
るようになっている。 実施例1 第1図のように厚さ14ミクロンのモリブデン箔を用い
て金型成形し、直径25ミリ、球状半径19ミリのドー
ム形の振動板基材1を得る。 金属モリブデンは密度がチタンの2倍であるが、成形技
術の向上により、薄い箔でもスピーカ用振動板形状に成
形することができるようになった。 この振動板基材1の表面に第3図の熱プラズマ発生装置
を用いて熱プラズマ溶射法により酸化アルミニウムのパ
ウダー(粒径10ミクロン)を溶射して厚さ25ミクロ
ンを堆積させた。これによりセラミックスパウダーは融
着して多孔質の溶射層2が形成された。セラミックスパ
ウダーの溶解に必要な高温は上記電極間の直流放電によ
って得られるが、放電の安定と電極保護のためにアルゴ
ンガスを流入する。 次に、上記装置を用いて所定の原料ガスを供給すること
により熱プラズマCVD法により上記溶射層2の表面に
結晶質ダイヤモンド膜を蒸着し、厚さ3ミクロンのダイ
ヤモンド膜層3を付着形成して第1図のようなスピーカ
用振動板Slを得た。 このダイヤモンド膜層3の蒸着に際しては下記の条件で
実施した。 供給原料ガス比率 ガス流量 真空度 蒸着速度 表面温度 アルゴン  100% メタン   0.1% 水   素    7 % 50リットル/分 20 Torr 30ミクロン/時間 800℃ 実施例2 ポリイミド樹脂フィルムをドーム形に成形して振動板基
材1を得、パウダー14として金属モリブデンを用いて
実施例1と同様にして厚さ14ミクロンの溶射層2を形
成した後、その表面にダイヤモンド膜層3を形成した。 実施例3 実施例1によって得られたものを弗可水素と発煙硝酸1
:1の割合による溶液中に浸漬してモリブデンを溶解し
、第2図に示すような溶射層2とダイヤモンド膜層3と
によるドーム形振動板S2を得た。 実施例4 実施例2によって得られたものを一25℃以下に冷却し
、収縮時に生じる応力差により樹脂フィルムによる振動
板基材1を剥離して第2図に示すような溶射層2とダイ
アモンド膜層3とからなるスピーカ用振動板S2を得た
。 上記実施例1〜4によって得られたスピーカ用振動板の
音響定数は、振動板基材1及び溶射層2の材料たるモリ
ブデンが5500m / sec、、アルミナが900
0m / sec、の音速があり、従来使用されている
アルミニウムの5080m / sec、、チタンの4
983m/sec、の音速に比していずれも大きく、性
能を大幅に向上させることができる。 ・そして表面にダイヤモンド膜層3が形成されているか
ら、実施例2のスピーカ用振動板においては10000
m / sec、、実施例3のものにおいては9000
m / sec、の音速が得られた。 第4図に示す写真図は、実施例1及び2によるダイヤモ
ンド生成膜をSEM(走査型電子顕微鏡)で観察した倍
率5,010のダイヤモンド膜の表面を表し、2〜3ミ
クロンの結晶粒が生成されており、多結晶になっている
ことが観察される。 第5図はラマン分光特性を表わし、1332cm−’に
ダイヤモンド特有のピークが得られている。 [発明の効果] 本発明に係るスピーカ用振動板によれば、振動板基材の
表面に溶射層が形成されると共にその上にダイヤモンド
膜層が形成されているから、十分な強度が得られると共
に音速を著しく向上させることができ、溶射層がポーラ
スになっていてもダイヤモンド膜層で埋められて滑らか
なものとすることができる。 本発明に係るスピーカ用振動板の製造法によれば、振動
根基村上に溶射層を形成する熱プラズマ溶射法と該溶射
層の表面にダイヤモンド膜層を形成する熱プラズマCV
D法とを供給すべき原料を変えるだけで同一の熱プラズ
マ発生装置で実施することができ、製造効率がよくコス
トダウンが可能となる。 また、振動板基材を溶解し又は剥離する工程が簡単であ
り、しかもその際に振動板基材が金属又は合成樹脂であ
るから衝撃に強く、作業中に破損したりするおそれはな
い。得られた振動板は裏面側に金属又はセラミックスの
溶射層が形成されると共にその表面側にダイヤモンド膜
層が形成されているから、剛性及び音速に優れたスピー
カ用振動板とてることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図及び第2図はスピーカ用振動板を示す断面図、第
3図は熱プラズマ発生装置を示す機構図、第4図は生成
されたダイヤモンド膜の表面を示す写真図、第5図はラ
マン分光特性図である。 Sl、S2:スピーカ用振動板 l:振動板基材、2:溶射層、 3:ダイヤモンド膜層

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、金属又は耐熱性合成樹脂で形成された振動板基材上
    に熱プラズマ溶射法によりセラミックスもしくは金属の
    パウダーを堆積させて溶射層を形成し、その表面に熱プ
    ラズマCVD法により結晶質ダイヤモンド膜層を形成し
    たことを特徴とするスピーカ用振動板。 2、振動板基材がモリブデン箔をプレス成形したもので
    あり、溶射層がセラミックスであることを特徴とする請
    求項1記載のスピーカ用振動板。 3、振動板基材が合成樹脂フィルムを成形したものであ
    り、溶射層が金属パウダーを堆積させたものであること
    を特徴とする請求項1記載のスピーカ用振動板。 4、振動板基材上に熱プラズマ溶射法によりセラミック
    ス又は金属のパウダーを堆積させて溶射層を形成し、そ
    の表面に熱プラズマCVD法により結晶質ダイヤモンド
    膜層を形成した後、振動板基材を溶解して溶射層とダイ
    ヤモンド膜層とからなる振動板を得ることを特徴とする
    スピーカ用振動板の製造法。 5、振動板基材上に熱プラズマ溶射法によりセラミック
    ス又は金属のパウダーを堆積させて溶射層を形成し、そ
    の表面に熱プラズマCVD法により結晶質ダイヤモンド
    膜層を形成した後、これを冷却して振動板基材を剥離す
    ることにより溶射層とダイヤモンド膜層とからなる振動
    板を得ることを特徴とするスピーカ用振動板の製造法。
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