JPS60185489A - 電気音響変換器用振動板 - Google Patents
電気音響変換器用振動板Info
- Publication number
- JPS60185489A JPS60185489A JP4092484A JP4092484A JPS60185489A JP S60185489 A JPS60185489 A JP S60185489A JP 4092484 A JP4092484 A JP 4092484A JP 4092484 A JP4092484 A JP 4092484A JP S60185489 A JPS60185489 A JP S60185489A
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- JP
- Japan
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- diaphragm
- titanium
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- substrate
- vacuum
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は電気音響変換器用振動板の改良に関するもの
である。
である。
一般に、スピーカにおいて高忠実度な再生音を得るため
には、なるべく広い周波数帯域にわたって振動板が分割
振動せず、ピストン振動を持続することが要求される。
には、なるべく広い周波数帯域にわたって振動板が分割
振動せず、ピストン振動を持続することが要求される。
この分割振動が発生しはじめる周波数は振動板材料のヤ
ング率（Ｅ）と密度（ρ）の比である比弾性率（Ｅ／ρ
）に依存するため比弾性率の大きい材料を選定すること
がスピーカの再生忠実度を高める要因となる。
ング率（Ｅ）と密度（ρ）の比である比弾性率（Ｅ／ρ
）に依存するため比弾性率の大きい材料を選定すること
がスピーカの再生忠実度を高める要因となる。
しかしながら、従来振動板材料として使用されていた天
然繊維又は合成樹脂繊維、合成樹脂フィルムおよび金属
箔等では比弾性率が充分でない。
然繊維又は合成樹脂繊維、合成樹脂フィルムおよび金属
箔等では比弾性率が充分でない。
従って近年金属箔を振動板基体とし、当該基体面」−に
高弾性率層を成層することにより比弾性率を高める試み
が種々なされている。
高弾性率層を成層することにより比弾性率を高める試み
が種々なされている。
従来このような高弾性率層の成層手段として真空蒸着、
スパッタリング、イオンプレ−テング等の物理気相成長
法や溶射法が多用されている。
スパッタリング、イオンプレ−テング等の物理気相成長
法や溶射法が多用されている。
しかるに、真空蒸着やスパッタリングでは基体との密着
性が比較的小さいので激しい振動状態で使用する振動板
においては基体との剥離が発生する恐れがある。
性が比較的小さいので激しい振動状態で使用する振動板
においては基体との剥離が発生する恐れがある。
又イオンプレーテングでは着きまわりが悪いため基体全
体にわたって均一な蒸着層が形成しにくい。
体にわたって均一な蒸着層が形成しにくい。
更に、溶射法では層の形成温度が高いため基体に熱変形
が生じやすく歩留が大きい。
が生じやすく歩留が大きい。
この発明は１−記従来例の種々の欠点を解決【７た、金
属材料よりなる振動板基体の少なくとも一面に直流グロ
ー放電化学蒸着法による高弾性率層を形成した電気音響
変換器用振動板であって以下実施例について詳細に説明
する。
属材料よりなる振動板基体の少なくとも一面に直流グロ
ー放電化学蒸着法による高弾性率層を形成した電気音響
変換器用振動板であって以下実施例について詳細に説明
する。
実施例１
第１図に示めずように
（１）１ζ−Ｊ１状等の振動板形状に形成した５０７ｚ
ｍ厚さのチタンを振動板基体１とし、これを真空容器２
内の基体ボルダ−２ａ、（陰極（２）基体１をヒーター
２ｂにより３５０℃〜４５０℃に加熱し、その温度を保
持する。
ｍ厚さのチタンを振動板基体１とし、これを真空容器２
内の基体ボルダ−２ａ、（陰極（２）基体１をヒーター
２ｂにより３５０℃〜４５０℃に加熱し、その温度を保
持する。
（３）次にアルゴン（純度９９．９９９％）を真空容器
２内に導入し真空容器２内を１゜０〜２．０Ｔｏｒｒに
し前記基体ボルダ−２ａと陽極２ｃとの間に、放電電流
密度が０゜３〜Ｏ、／］、 ｍ Ａ ／ ｃ ｍとなる
Ｊ、うに直流電圧を約１０分間印加し、基体１表面に形
成されている化合物層および吸着ガスを除去する。
２内に導入し真空容器２内を１゜０〜２．０Ｔｏｒｒに
し前記基体ボルダ−２ａと陽極２ｃとの間に、放電電流
密度が０゜３〜Ｏ、／］、 ｍ Ａ ／ ｃ ｍとなる
Ｊ、うに直流電圧を約１０分間印加し、基体１表面に形
成されている化合物層および吸着ガスを除去する。
この工程は次以下の工程で形成される蒸着層と基体１と
の密着性と要覧の向１−を図るためのものである。
の密着性と要覧の向１−を図るためのものである。
（／ｌ）次に、基体１を前記温度に保持し、真空容器２
内に四塩化チタン（アルゴンガスをギヤリアガスとし）
と、反応ガスとして三塩化ホウ素（アルゴンガスをキャ
リアガスとし、三塩化ホウ素／四塩化チタン流量比１．
８〜２．２の割合）および水素を容器２内が１〜２Ｔｏ
ｒｒとなるように導入する。
内に四塩化チタン（アルゴンガスをギヤリアガスとし）
と、反応ガスとして三塩化ホウ素（アルゴンガスをキャ
リアガスとし、三塩化ホウ素／四塩化チタン流量比１．
８〜２．２の割合）および水素を容器２内が１〜２Ｔｏ
ｒｒとなるように導入する。
（５）Ｉ−記雰囲気状態で基体ボルダ−２ａと陽極２ｃ
との間に放電電流密度がＯ１３〜０．４．ｍＡ、／ｃｍ
となるように直流電圧を印加しグロー放電を発生せしめ
、３．５時間反応せしめた。
との間に放電電流密度がＯ１３〜０．４．ｍＡ、／ｃｍ
となるように直流電圧を印加しグロー放電を発生せしめ
、３．５時間反応せしめた。
上記工程により基体１面上に厚さ約４． ｇ、 ｍ厚さ
のボウ化チタンよりなる蒸着層が形成された。
のボウ化チタンよりなる蒸着層が形成された。
実施例２
実施例１の（１）〜（３）の工程を行なう。（，４５シ
工程（２）において基体１を４５０℃に加熱保持する。
工程（２）において基体１を４５０℃に加熱保持する。
）
（４）次に、基体１を前記温度に保持し、真空容器２内
に三塩化ホウ素（アルゴンガスなキャリアカスとし）と
、反応カスとしてメタン（三塩化ホウ素／メタン流量比
３．８〜４．２の割合）および水素を容器２内が１．５
Ｔｏｒｒとなるように導入する。
に三塩化ホウ素（アルゴンガスなキャリアカスとし）と
、反応カスとしてメタン（三塩化ホウ素／メタン流量比
３．８〜４．２の割合）および水素を容器２内が１．５
Ｔｏｒｒとなるように導入する。
（５）上記雰囲気状態で基体ボルダ−２ａと陽極２ｃと
の間に放電電流密度が０．３〜０．４ｍＡ／ｃｍとなる
ように直流電圧を印加しグロー放電を発生せしめ、６．
５時間反応せしめる。
の間に放電電流密度が０．３〜０．４ｍＡ／ｃｍとなる
ように直流電圧を印加しグロー放電を発生せしめ、６．
５時間反応せしめる。
上記工程により基体１面−Ｌに厚さ約４μｍ厚さの炭化
ホウ素よりなる蒸着層が形成された。
ホウ素よりなる蒸着層が形成された。
実施例３
実施例１の（１）〜（３）の工程を行なう。（イロし二
［程（２）において基体１を４００〜６００℃に加熱保
持する。） （４）次に、基体１を前記温度に保持し、真空容器２内
に四塩化チタン（アルゴンカスをキャリアガスとし）と
、反応ガスとしてメタ５− ン約１５〜２５ｖｏ １％とを容器２内が１゜０〜２．
０Ｔｏｒｒとなるように導入する。
［程（２）において基体１を４００〜６００℃に加熱保
持する。） （４）次に、基体１を前記温度に保持し、真空容器２内
に四塩化チタン（アルゴンカスをキャリアガスとし）と
、反応ガスとしてメタ５− ン約１５〜２５ｖｏ １％とを容器２内が１゜０〜２．
０Ｔｏｒｒとなるように導入する。
（５）Ｊ−記雰囲気状態で基体ボルダ−２ａと陽極２ｃ
との間に放電電流密度が０．３〜０．４．ｍＡ／ｃｍと
なるように直流電圧を印加しグロー放電を発生せしめ、
５時間反応せしめる。
との間に放電電流密度が０．３〜０．４．ｍＡ／ｃｍと
なるように直流電圧を印加しグロー放電を発生せしめ、
５時間反応せしめる。
上記工程により基体１面上に厚さ約５ノＬｍ厚さの炭化
チタンよりなる蒸着層が形成された。
チタンよりなる蒸着層が形成された。
実施例４
実施例１の（１）〜（３）の工程を行なう。（但し工程
（２）において基体ｌを４００〜６００℃に加熱保持す
る。） （４）次に、基体１を前記温度に保持し、真空容器２因
に四塩化チタン約１０ｖｏ １％（アルゴンガスをキャ
リアガスとし）と、反応ガスとして水素および窒素とを
容器２内が１．０〜２．０Ｔｏｒｒとなるように導入す
る（５）上記雰囲気状態で基体ホルダー２ａと陽極２ｃ
との間に放電電流密度が０．３〜〇−６＝ 、４ｍＡ／ｃｍとなるように直流電圧を印加しグロー放
電を発生せしめ、５時間反応せしめる。
（２）において基体ｌを４００〜６００℃に加熱保持す
る。） （４）次に、基体１を前記温度に保持し、真空容器２因
に四塩化チタン約１０ｖｏ １％（アルゴンガスをキャ
リアガスとし）と、反応ガスとして水素および窒素とを
容器２内が１．０〜２．０Ｔｏｒｒとなるように導入す
る（５）上記雰囲気状態で基体ホルダー２ａと陽極２ｃ
との間に放電電流密度が０．３〜〇−６＝ 、４ｍＡ／ｃｍとなるように直流電圧を印加しグロー放
電を発生せしめ、５時間反応せしめる。
−１−記工程により基体１面上に厚さ約３ ｌ１ｍ厚さ
の窒化チタンよりなる蒸着層が形成された。
の窒化チタンよりなる蒸着層が形成された。
実施例５
実施例１の（１）〜（３）の工程を行なう。（但し工程
（２）において基体１を／１００〜６００℃に加熱保持
する。） （４）次に、基体１を前記温度に保持し、真空容器２因
に四塩化ケイ素（アルゴンカスなキャリアカスとし）と
、反応ガスとして水素１０〜１５ ｖ ０１％および窒
素５〜１０ｖ０１％とを容器２内が１．０〜２．０Ｔｏ
ｒｒとなるように導入する。
（２）において基体１を／１００〜６００℃に加熱保持
する。） （４）次に、基体１を前記温度に保持し、真空容器２因
に四塩化ケイ素（アルゴンカスなキャリアカスとし）と
、反応ガスとして水素１０〜１５ ｖ ０１％および窒
素５〜１０ｖ０１％とを容器２内が１．０〜２．０Ｔｏ
ｒｒとなるように導入する。
（５）−上記雰囲気状態で基体ボルダ−２ａと陽極２ｃ
との間に放電電流密度が０．３〜０．４ｍＡ／ｃｍとな
るように直流電圧を印加しグロー放電を発生せしめ、６
時間反応せしめる。
との間に放電電流密度が０．３〜０．４ｍＡ／ｃｍとな
るように直流電圧を印加しグロー放電を発生せしめ、６
時間反応せしめる。
−１−記工程により基体１面一１−に厚さ約５７ｚｍ厚
さの窒化ケイ素よりなる蒸着層が形成された。
さの窒化ケイ素よりなる蒸着層が形成された。
−１−記各実施例で得られた振動板の密度、およびヤン
グ率を測定し、従来例のチタンおよびアルミニウム振動
板との比較を次表に示す） −１−記表から明白なようにこの発明の振動板は従来例
のチタン振動板の比弾性率を１として比較すると比弾性
率を約１．３倍〜２．５倍にまで上昇せしめることがで
きた。
グ率を測定し、従来例のチタンおよびアルミニウム振動
板との比較を次表に示す） −１−記表から明白なようにこの発明の振動板は従来例
のチタン振動板の比弾性率を１として比較すると比弾性
率を約１．３倍〜２．５倍にまで上昇せしめることがで
きた。
したがって、この発明の振動板は前述のごとく比弾性率
が極めて高いので分割振動発生周波数を高め、もってピ
ストン振動領域を拡大する結果スピーカの高域再生限界
周波数を高め、より忠実度を向−１−せしめることがで
きる。
が極めて高いので分割振動発生周波数を高め、もってピ
ストン振動領域を拡大する結果スピーカの高域再生限界
周波数を高め、より忠実度を向−１−せしめることがで
きる。
更に、この発明の振動板は従来例の物理的蒸着法又は溶
射法で得られる振動板に比べて、蒸着層にピンホールが
無く密な層を形成でき、着きまわりが良いので複雑な形
状の基体でも均一な層が形成でき、かつ基体との密着性
の良好な蒸着層が得られるとともに、蒸着層の組成の調
整が容易であり、層の形成速度が物理的蒸着法に比較し
て極めて早く、かつ基体温度が比較的低温（４００〜６
００℃）でも蒸着が可能であるので大量生産に極めて適
しているものである。
射法で得られる振動板に比べて、蒸着層にピンホールが
無く密な層を形成でき、着きまわりが良いので複雑な形
状の基体でも均一な層が形成でき、かつ基体との密着性
の良好な蒸着層が得られるとともに、蒸着層の組成の調
整が容易であり、層の形成速度が物理的蒸着法に比較し
て極めて早く、かつ基体温度が比較的低温（４００〜６
００℃）でも蒸着が可能であるので大量生産に極めて適
しているものである。
なお、上記実施例において金属基体としてチタンを例示
して説明したが、その他にチタン合金、アルミニウムお
よびその合金、マグネシウムおよびその合金等の金属１
料が適用できる。
して説明したが、その他にチタン合金、アルミニウムお
よびその合金、マグネシウムおよびその合金等の金属１
料が適用できる。
以上に説明したようにこの発明は金属材料９−
よりなる振動板基体の少なくとも一面に直流グロー放電
化学蒸着法によるホウ化チタン、炭化チタン、窒化チタ
ン、窒化ケイ素、炭化ホウ素から選ばれた材料まりなる
蒸着層が形成されていることを特徴とする電気音響変換
器用振動板であって、スピーカの高域再生限界周波数を
高め、より忠実度を向上せしめることができとともに良
質の振動板を比較的安価に提供することができる等の効
果を有するものである。
化学蒸着法によるホウ化チタン、炭化チタン、窒化チタ
ン、窒化ケイ素、炭化ホウ素から選ばれた材料まりなる
蒸着層が形成されていることを特徴とする電気音響変換
器用振動板であって、スピーカの高域再生限界周波数を
高め、より忠実度を向上せしめることができとともに良
質の振動板を比較的安価に提供することができる等の効
果を有するものである。
第１図は′％ｈｗｈこの発明の振動板の製造装置の概略
図である。 特許出願人 オンキヨー株式会社 −１〇−
図である。 特許出願人 オンキヨー株式会社 −１〇−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、金属材料よりなる振動板基体の少なくとも一面に直
流グロー放電化学蒸着法によるボウ化チタン、炭化チタ
ン、窒化チタン、窒化ケイ素、炭化ホウ素から選ばれた
材料よりなる蒸着層が形成されていることを特徴とする
電気音響変換器用振動板。 ２、振動板基体がチタンであることを特徴とする特許請
求の範囲第１項記載の電気音響変換器用振動板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4092484A JPS60185489A (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | 電気音響変換器用振動板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4092484A JPS60185489A (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | 電気音響変換器用振動板 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60185489A true JPS60185489A (ja) | 1985-09-20 |
Family
ID=12594045
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4092484A Pending JPS60185489A (ja) | 1984-03-02 | 1984-03-02 | 電気音響変換器用振動板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60185489A (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5265419A (en) * | 1975-11-26 | 1977-05-30 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Method of producing speaker vibrator plate |
| JPS5288016A (en) * | 1976-01-17 | 1977-07-22 | Foster Electric Co Ltd | Vibrator plate for electroacoustic transducer |
| JPS5350703A (en) * | 1976-10-19 | 1978-05-09 | Pioneer Electronic Corp | Method of producing acoustic transducer vibrator |
| JPS5671399A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-13 | Mitsubishi Metal Corp | Composite layer diaphragm plate for sound converter and its manufacture |
| JPS5755698A (en) * | 1980-09-20 | 1982-04-02 | Sony Corp | Manufacture of acoustic vibrating material |
| JPS57190495A (en) * | 1981-05-19 | 1982-11-24 | Victor Co Of Japan Ltd | Manufacture of loudspeaker diaphragm |
-
1984
- 1984-03-02 JP JP4092484A patent/JPS60185489A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5265419A (en) * | 1975-11-26 | 1977-05-30 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Method of producing speaker vibrator plate |
| JPS5288016A (en) * | 1976-01-17 | 1977-07-22 | Foster Electric Co Ltd | Vibrator plate for electroacoustic transducer |
| JPS5350703A (en) * | 1976-10-19 | 1978-05-09 | Pioneer Electronic Corp | Method of producing acoustic transducer vibrator |
| JPS5671399A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-13 | Mitsubishi Metal Corp | Composite layer diaphragm plate for sound converter and its manufacture |
| JPS5755698A (en) * | 1980-09-20 | 1982-04-02 | Sony Corp | Manufacture of acoustic vibrating material |
| JPS57190495A (en) * | 1981-05-19 | 1982-11-24 | Victor Co Of Japan Ltd | Manufacture of loudspeaker diaphragm |
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