JPS60186196A - 電気音響変換器用振動板とその製造方法 - Google Patents
電気音響変換器用振動板とその製造方法Info
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- JPS60186196A JPS60186196A JP4267984A JP4267984A JPS60186196A JP S60186196 A JPS60186196 A JP S60186196A JP 4267984 A JP4267984 A JP 4267984A JP 4267984 A JP4267984 A JP 4267984A JP S60186196 A JPS60186196 A JP S60186196A
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- boron
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- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
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- Signal Processing (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は電気音響変換器用振動板の改良およびその製
造方法に関するものである。
造方法に関するものである。
一般に、スピーカにおいて高忠実度な再生音を得るため
には、なるべく広い周波数帯域にわたって振動板が分割
振動せず、ピストン振動を持続することが要求される。
には、なるべく広い周波数帯域にわたって振動板が分割
振動せず、ピストン振動を持続することが要求される。
この分Ａす振動が発生しはじ、める周波数は振動板材料
のヤング率（Ｅ）と密度（ρ）の比である比弾性率（Ｅ
／ρ）に依存するため比弾性率の大きい材料を選定する
ことがスピーカの再生忠実度を高める要因となる。
のヤング率（Ｅ）と密度（ρ）の比である比弾性率（Ｅ
／ρ）に依存するため比弾性率の大きい材料を選定する
ことがスピーカの再生忠実度を高める要因となる。
しかしながら、従来振動板材料として使用されていた天
然ｍ維又は合成樹脂線１１）、合成樹脂フィルムおよび
金属箔等では比弾性率が充分でない。
然ｍ維又は合成樹脂線１１）、合成樹脂フィルムおよび
金属箔等では比弾性率が充分でない。
従って近年金属箔面上にセラミック材層を成層したり、
表面を窒化、炭化して表面に高弾性重層を成層すること
により比弾ｆ）率を高める試みが種々なされている。
表面を窒化、炭化して表面に高弾性重層を成層すること
により比弾ｆ）率を高める試みが種々なされている。
しかしながら、このように表面処理した振動板の総合的
な比弾性率は表面の高弾性重層自体が有するものに比へ
て極しく低下してしまう。
な比弾性率は表面の高弾性重層自体が有するものに比へ
て極しく低下してしまう。
又、金属箔と表面層との密着性の問題や、表面層の成層
手段として用いられている真空蒸着、スパッタリング、
イオンブレーティンク等の物理気相成長法や溶射法では
表面層の形成速度、層の厚さ、層の質等の均一性におい
てそれぞれ充分に解決されているとは看°えなかった。
手段として用いられている真空蒸着、スパッタリング、
イオンブレーティンク等の物理気相成長法や溶射法では
表面層の形成速度、層の厚さ、層の質等の均一性におい
てそれぞれ充分に解決されているとは看°えなかった。
この発明は゛極めて高い比弾性率をイｌする炭化チタン
、窒化チタン、炭化ホウ素又は窒化ホウ素より選ばれた
単独材料もしくは２挿置 。
、窒化チタン、炭化ホウ素又は窒化ホウ素より選ばれた
単独材料もしくは２挿置 。
北の複合材料より形成された電気音響変換器用振動板お
よびその製造方法Ｃあって以下実施例について詳細に説
明する。
よびその製造方法Ｃあって以下実施例について詳細に説
明する。
実施例１
第１図に示すように
（１）ドーム状等の振動板形状に形成した銅等のエツチ
ング可能な材料よりなる振動板基体１を真空容器２内の
基体ホルダー２ａに配置し、真空容器２内を真空ポンプ
により１０′４ 〜１０ ′ｒ’ ｏ ｒ ｒ程度に排気する。
ング可能な材料よりなる振動板基体１を真空容器２内の
基体ホルダー２ａに配置し、真空容器２内を真空ポンプ
により１０′４ 〜１０ ′ｒ’ ｏ ｒ ｒ程度に排気する。
（２）基体１をヒーター２ｂで３５０〜４００℃に加熱
し、その温度を保持する。
し、その温度を保持する。
（３）−万四塩化チタンカスをアルゴン（純度≦３９．
９９９％）をキャリアカスとして、又反応ガスとしてメ
タン（メタン／四塩化チタン流量比１〜３）および水素
をそれぞれ容器２因に導入する。
９９９％）をキャリアカスとして、又反応ガスとしてメ
タン（メタン／四塩化チタン流量比１〜３）および水素
をそれぞれ容器２因に導入する。
（４）容器２内の総合カス圧を０．５〜１゜０１’ ｏ
ｒ ｒ程度にし、基体ボルダ−２ａとプレー）２ｃと
の間に高周波電力（１：３．５６Ｍ Ｈｚ、６００Ｗ）
を印加し、基体１Ｆにグロー放電を発生せしめ、約８時
間反応させることにより、基体ｌ上に厚さ０．３０ｒｎ
ｒｎの炭化チタン蒸着層を形成した。
ｒ ｒ程度にし、基体ボルダ−２ａとプレー）２ｃと
の間に高周波電力（１：３．５６Ｍ Ｈｚ、６００Ｗ）
を印加し、基体１Ｆにグロー放電を発生せしめ、約８時
間反応させることにより、基体ｌ上に厚さ０．３０ｒｎ
ｒｎの炭化チタン蒸着層を形成した。
（５）容器２から取り出した前記蒸着層が形成された基
体ｌを塩化第２鉄溶液に浸消し、基体１を除去して炭化
チタンのみよる振動板を得た。
体ｌを塩化第２鉄溶液に浸消し、基体１を除去して炭化
チタンのみよる振動板を得た。
実施例２
（１）ドーム状等の振動板形状に形成した銅等のエツチ
ング可能な材料よりなる振動板基体ｌを真空容器２内の
基体ボルダ−２ａに配置し、真空容器２内を真空ポンプ
によりｌ〇４ 〜１０ Ｔ ｏ ｒ ｒ程度に排気する。
ング可能な材料よりなる振動板基体ｌを真空容器２内の
基体ボルダ−２ａに配置し、真空容器２内を真空ポンプ
によりｌ〇４ 〜１０ Ｔ ｏ ｒ ｒ程度に排気する。
（２）基体ｌをヒーター２ｂで７３００℃前後に加熱し
、その温度を保持する。
、その温度を保持する。
（３）一方四塩化チタンカスをアルゴン（純Ｊ、ρ９９
．９９９％）をキャリアガスとして、又反応カスとして
窒素ガス（四塩化チタン／？素カス流歌比０．５〜２．
５）および水素カスをそれぞれ容器２内に導入する。
．９９９％）をキャリアガスとして、又反応カスとして
窒素ガス（四塩化チタン／？素カス流歌比０．５〜２．
５）および水素カスをそれぞれ容器２内に導入する。
（４，）容器２内の総合ガス圧を０．５〜１６０ Ｔ
ａ ｒ ｒ程度にし、基体ボルダ−２ａとプレート２ｃ
との間に高周波電力（１３，５６ＭＨｚ、５００Ｗ）を
印加し、基体１上、にグロー放電を発生せしめ、約１０
時間反応させることにより、基体１上に厚さ０．２７ｍ
ｍの窒化チタン蒸着層を形成した。
ａ ｒ ｒ程度にし、基体ボルダ−２ａとプレート２ｃ
との間に高周波電力（１３，５６ＭＨｚ、５００Ｗ）を
印加し、基体１上、にグロー放電を発生せしめ、約１０
時間反応させることにより、基体１上に厚さ０．２７ｍ
ｍの窒化チタン蒸着層を形成した。
（５）容器２から取り出した前記蒸着層が形成された基
体ｌを塩化第２鉄溶液に浸漬し、基体１を除去して窒化
チタンのみよる振動板を得た。
体ｌを塩化第２鉄溶液に浸漬し、基体１を除去して窒化
チタンのみよる振動板を得た。
実施例３
（１）ドーム状等の振動板形状に形成した銅等のエツチ
ング可能な材料よりなる振動板基体１を真空容器２内の
基体ホルダー２ａに配置し、真空容器２内を真空ポンプ
によりｌ〇４ 〜１０Ｔｏｒｒ程度に排気する。。
ング可能な材料よりなる振動板基体１を真空容器２内の
基体ホルダー２ａに配置し、真空容器２内を真空ポンプ
によりｌ〇４ 〜１０Ｔｏｒｒ程度に排気する。。
（２）基体ｌをヒーター２ｂで３５０℃前後ζこ加熱し
、その温度を保持する。
、その温度を保持する。
（３）一方圧塩化ボ’７素カスをアルゴン（純度９９．
９９９％）をキャリアガスとして、又反応ガスとしてメ
タン（三塩化ホウ素／メタン流量比；３．８〜４．２）
および水素カスをそれぞれ容器内に導入する。
９９９％）をキャリアガスとして、又反応ガスとしてメ
タン（三塩化ホウ素／メタン流量比；３．８〜４．２）
および水素カスをそれぞれ容器内に導入する。
（４）容器２内の総合ガス圧を１．７Ｔｏｒｒ程度にし
、基体ボルダ−２ａとブーレート２ｃとの間に高周波電
力（１３、５６ＭＨｚ、６００Ｗ）を印加し、基体ｌ」
二にグロー放電を発生せしめ、約１３時間反応させるこ
とにより、基体ｌ上に厚さ０．３２ｍｍの炭化ホウ索然
着層を形成した。
、基体ボルダ−２ａとブーレート２ｃとの間に高周波電
力（１３、５６ＭＨｚ、６００Ｗ）を印加し、基体ｌ」
二にグロー放電を発生せしめ、約１３時間反応させるこ
とにより、基体ｌ上に厚さ０．３２ｍｍの炭化ホウ索然
着層を形成した。
（５）容器２から取り出した前記！Ａ着層が形成された
基体１を塩化第２鉄溶液に浸消し、ノル体１を除去して
炭化ホウ素のみよる振動板を得た。
基体１を塩化第２鉄溶液に浸消し、ノル体１を除去して
炭化ホウ素のみよる振動板を得た。
実施例４
（１）ｌ’−ム状等の振動板形状に形成した銅等のエツ
チンク可能な材料よりなる振動板基体１を真空容器２内
の基体ボルダ−２ａに配−チ 〜１ （Ｉ Ｔ ｏ ｒ ｒ程度に排気する。
チンク可能な材料よりなる振動板基体１を真空容器２内
の基体ボルダ−２ａに配−チ 〜１ （Ｉ Ｔ ｏ ｒ ｒ程度に排気する。
（２）基体ｌをヒーター２ ｂ テ３５０ ℃前後に加
熱し、その温度を保持する。
熱し、その温度を保持する。
（３）−ガミ塩化ホウ素カスをアルゴン（純度９９．、
ｇｇｇ％）をギヤリアガスとして、又反応ガスとして窒
素ガス（三塩化ボ１り素／窒素カス流昂比０．８〜１．
２）および水素ガスをそれぞれ容器２因に導入する。
ｇｇｇ％）をギヤリアガスとして、又反応ガスとして窒
素ガス（三塩化ボ１り素／窒素カス流昂比０．８〜１．
２）および水素ガスをそれぞれ容器２因に導入する。
（４）容器２内の総合ガス圧を１．７Ｔ＜ｚｒ程度にし
、基体ホルダー２ａとプレート２Ｃとの間に高周波電力
（１３、５（３Ｍ １１ ｚ 。
、基体ホルダー２ａとプレート２Ｃとの間に高周波電力
（１３、５（３Ｍ １１ ｚ 。
６００ Ｗ ）を印加し、基体１−１−にグロー放′亀
を発生せしめ、約１５時間反応させることにより、基体
１−ヒに厚さ０ 、４．１ ｍｔｎの窒化ホウ素蒸着層
を形成した。
を発生せしめ、約１５時間反応させることにより、基体
１−ヒに厚さ０ 、４．１ ｍｔｎの窒化ホウ素蒸着層
を形成した。
（５）容器２から取り出した前記蒸着層か形成された基
体ｌを塩化第２鉄溶液に浸漬し、基体ｌを除去して窒化
ホウ素のみよる振動板を得た。
体ｌを塩化第２鉄溶液に浸漬し、基体ｌを除去して窒化
ホウ素のみよる振動板を得た。
」−記実施例で得られた振動板の密度、およＵＡ−ンク
率を）ｖす定し、従来例のチタンおよびアルミニウム振
動板との比較を次表に示す。
率を）ｖす定し、従来例のチタンおよびアルミニウム振
動板との比較を次表に示す。
）
ＪＺ記表から明白なようにこの発明の振動板はｉｒｅ来
例の振動板に比較して比弾性率を約２〜６倍程度によて
上昇せしめることができた又この発明の製造方法によれ
ｉ；ｊ’ ｆｉＹ来例の物理的Ｈ（＋法に比較し、ピン
ホールの無い密なｉＡ着層を形成でき、着きまわりが良
いので複り１［な形状の基体でも均一な層が形成でき品
質の良好なＦＡ着層が得られるとともに、）本贅層のキ
１１成の調整が容易であり、たとえば実施例１において
反応カスとして窒素ガスを附加することにより、炭化チ
タンと窒化チタン混合物よりなる振動板を得することが
でき、層の形成速度が物理的蒸着法に比較して極めで早
く（数十倍〜数百倍）、かつ基体ｌ温度が比較的低温で
も７Ａ着が可能であるので大屯生産に極めて適している
ものである。
例の振動板に比較して比弾性率を約２〜６倍程度によて
上昇せしめることができた又この発明の製造方法によれ
ｉ；ｊ’ ｆｉＹ来例の物理的Ｈ（＋法に比較し、ピン
ホールの無い密なｉＡ着層を形成でき、着きまわりが良
いので複り１［な形状の基体でも均一な層が形成でき品
質の良好なＦＡ着層が得られるとともに、）本贅層のキ
１１成の調整が容易であり、たとえば実施例１において
反応カスとして窒素ガスを附加することにより、炭化チ
タンと窒化チタン混合物よりなる振動板を得することが
でき、層の形成速度が物理的蒸着法に比較して極めで早
く（数十倍〜数百倍）、かつ基体ｌ温度が比較的低温で
も７Ａ着が可能であるので大屯生産に極めて適している
ものである。
又この発明による振動板は前述のことく比弾性率が極め
て高いので分割振動発生周波数を高め、もってピストン
振動領域を拡大する結果、スピーカの高域再生限界周波
数を高め、より忠実度を向上せしめることができる。
て高いので分割振動発生周波数を高め、もってピストン
振動領域を拡大する結果、スピーカの高域再生限界周波
数を高め、より忠実度を向上せしめることができる。
以北に説明したようにこの発明は炭化チタン、窒化チタ
ン、炭化ホウ素又は窒化ホウ素より選ばれた単独材料も
しくは２種以上の複合材料より形成された電気音響変換
器用振動板と振動板形状の基体を真空容器内に配置し、
当該基体を２００℃〜４００℃に保持した後、チタンお
よびホウ素のそれぞれのハロゲン化物カスと、炭素、窒
素および水木から選はれた１装置Ｅのガスと、アルゴン
カスな前記真空容器内に導入し、総合カス圧が１０〜２
Ｔｏ ｒ ｒになるようにした後、交流グロー放電を発
生ぜ１ノめ、前記基体に炭化チタン、窒化チタン、炭化
ホウ素又は窒化ホウ素より選ばれた却独材お１もしくは
２種以−にの複合４Ａ料の蒸着層を形成した後、蒸着層
と基体を分離し、炭化チタン、窒化チタン、炭化ホウ素
又は窒化ホウ素より選ばれた単独相ト１もしくは２種以
上の複合材料からなる振動板を得ることを特徴とする電
気音響変換器用振動板の製造方法であって、極めて品質
の良い振動板を簡便に提供することができる利点を有し
、この発明製造方法によって得られた振動板を用いたス
ピーカはその高域再生限界周波数を高め、より忠実度を
向上せしめることができる。
ン、炭化ホウ素又は窒化ホウ素より選ばれた単独材料も
しくは２種以上の複合材料より形成された電気音響変換
器用振動板と振動板形状の基体を真空容器内に配置し、
当該基体を２００℃〜４００℃に保持した後、チタンお
よびホウ素のそれぞれのハロゲン化物カスと、炭素、窒
素および水木から選はれた１装置Ｅのガスと、アルゴン
カスな前記真空容器内に導入し、総合カス圧が１０〜２
Ｔｏ ｒ ｒになるようにした後、交流グロー放電を発
生ぜ１ノめ、前記基体に炭化チタン、窒化チタン、炭化
ホウ素又は窒化ホウ素より選ばれた却独材お１もしくは
２種以−にの複合４Ａ料の蒸着層を形成した後、蒸着層
と基体を分離し、炭化チタン、窒化チタン、炭化ホウ素
又は窒化ホウ素より選ばれた単独相ト１もしくは２種以
上の複合材料からなる振動板を得ることを特徴とする電
気音響変換器用振動板の製造方法であって、極めて品質
の良い振動板を簡便に提供することができる利点を有し
、この発明製造方法によって得られた振動板を用いたス
ピーカはその高域再生限界周波数を高め、より忠実度を
向上せしめることができる。
第１図はこの発明の振動板の製造装νＪの概略図である
。 特許出願人 オンキヨー株式会社 第 １ 図
。 特許出願人 オンキヨー株式会社 第 １ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、炭化チタン、窒化チタン、炭化ホウ素又は窒化ホウ
素より選ばれた単独材料もしくは２秤以上の複合材料よ
り形成された電気音響変換器用振動板。 ２、 振動板形状の基体を真空容器内に配置し、当該基
体を２００℃〜４００℃に保持した後、チタンおよびホ
ウ素のそれぞれのハロゲン化物ガスと、炭素、窒素およ
び水素から選ばれた１種以上のガスと、アルゴンガスな
前記真空容器内に導入し、総合ガス圧が１２ ０〜２Ｔｏ ｒ ｒになるようにした後、交流グロー放
電を発生せしめ、前記基体に炭化チタン、窒化チタン、
炭化ホウ素又は窒化ホウ素より選ばれた単独材料もしく
は２種以上の複合材料の蒸着層を形成した後、蒸着層と
基体を分離し、炭化チタン、窒化チタン、炭化ホウ素又
は窒化ホウ素より選ばれた単独材料もしくは２種以上の
複合材料からなる振動板を得ることを特徴とする電気音
響変換器用振動板の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4267984A JPS60186196A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | 電気音響変換器用振動板とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4267984A JPS60186196A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | 電気音響変換器用振動板とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60186196A true JPS60186196A (ja) | 1985-09-21 |
Family
ID=12642712
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4267984A Pending JPS60186196A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | 電気音響変換器用振動板とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60186196A (ja) |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5217012A (en) * | 1975-07-30 | 1977-02-08 | Toshiba Corp | Manufacturing method of dome diaphragm |
| JPS5265419A (en) * | 1975-11-26 | 1977-05-30 | Denki Kagaku Kogyo Kk | Method of producing speaker vibrator plate |
| JPS5671399A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-13 | Mitsubishi Metal Corp | Composite layer diaphragm plate for sound converter and its manufacture |
| JPS5711598A (en) * | 1980-06-26 | 1982-01-21 | Sony Corp | Acoustic diaphragm |
| JPS5755698A (en) * | 1980-09-20 | 1982-04-02 | Sony Corp | Manufacture of acoustic vibrating material |
| JPS57190495A (en) * | 1981-05-19 | 1982-11-24 | Victor Co Of Japan Ltd | Manufacture of loudspeaker diaphragm |
-
1984
- 1984-03-05 JP JP4267984A patent/JPS60186196A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5217012A (en) * | 1975-07-30 | 1977-02-08 | Toshiba Corp | Manufacturing method of dome diaphragm |
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| JPS57190495A (en) * | 1981-05-19 | 1982-11-24 | Victor Co Of Japan Ltd | Manufacture of loudspeaker diaphragm |
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