JPH0237758B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0237758B2 JPH0237758B2 JP57044712A JP4471282A JPH0237758B2 JP H0237758 B2 JPH0237758 B2 JP H0237758B2 JP 57044712 A JP57044712 A JP 57044712A JP 4471282 A JP4471282 A JP 4471282A JP H0237758 B2 JPH0237758 B2 JP H0237758B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon
- hydrogen
- cathode
- plate
- acoustic diaphragm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 14
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 14
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
- 229910003481 amorphous carbon Inorganic materials 0.000 claims description 8
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 19
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 8
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 3
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 3
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 229910021397 glassy carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- -1 amorphous carbon Chemical compound 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 125000001475 halogen functional group Chemical group 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- 238000010849 ion bombardment Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000007750 plasma spraying Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
一般に、音響用振動板としては(イ)比重が小さい
こと(ロ)弾性定数が大きいことが要求され、一般に
は比弾性率Ｅ／ρ（Ｅ：弾性定数、ρ：密度）で
評価され、これが大きいことが望ましい。
こと(ロ)弾性定数が大きいことが要求され、一般に
は比弾性率Ｅ／ρ（Ｅ：弾性定数、ρ：密度）で
評価され、これが大きいことが望ましい。
従来、高音用ツイターやスコーカー用振動板に
は、高周波の振動を忠実に発生させるために、
Ｅ／ρの大きい振動板が種々開発されて居り、代
表的なものとしては、蒸着により作成されている
Be薄板、AlやTiの薄板の表面にTiC、Al2O3、
B4C、Ｂ等を蒸着やスパツタリング、プラズマス
プレー等の方法で析出させ硬化させた薄板、発泡
金属やハニカム構造等で構造的に軽くて強度を増
大させた薄板等がある。
は、高周波の振動を忠実に発生させるために、
Ｅ／ρの大きい振動板が種々開発されて居り、代
表的なものとしては、蒸着により作成されている
Be薄板、AlやTiの薄板の表面にTiC、Al2O3、
B4C、Ｂ等を蒸着やスパツタリング、プラズマス
プレー等の方法で析出させ硬化させた薄板、発泡
金属やハニカム構造等で構造的に軽くて強度を増
大させた薄板等がある。
本発明者等は、これら上記材料以外の炭素に注
目し、種々検討を行なつた。既存の炭素には無定
形炭素、グラフアイト、ダイヤモンド等その比重
と弾性定数も大きく変化する各種のものがある
が、いずれも音響用振動板には適さない。例えば
ガラス状炭素、いわゆるグラシーカーボンは弾性
定数は僅か3000〜7000Kg／mm2であり、Beの28000
Kg／mm2やＢの42000Kg／mm2に比べはるかに劣る。
グラフアイト繊維は30000〜52000Kg／mm2で高い弾
性定数であるが、薄板には製造しにくい。
目し、種々検討を行なつた。既存の炭素には無定
形炭素、グラフアイト、ダイヤモンド等その比重
と弾性定数も大きく変化する各種のものがある
が、いずれも音響用振動板には適さない。例えば
ガラス状炭素、いわゆるグラシーカーボンは弾性
定数は僅か3000〜7000Kg／mm2であり、Beの28000
Kg／mm2やＢの42000Kg／mm2に比べはるかに劣る。
グラフアイト繊維は30000〜52000Kg／mm2で高い弾
性定数であるが、薄板には製造しにくい。
本発明者等は、炭素水素ガスをグロー放電させ
て析出する水素を含有する非晶質炭素膜が、弾性
定数が35000〜70000Kg／mm2と非常に高く、比重は
1.5〜2.0であり、従つて比弾性率Ｅ／ρの大きい
音響用振動板として適したものであること、又そ
の硬度はビツカース硬さで2000〜3000Kg／mm2で、
TiCや非晶質Ｂと同程度かそれより大きく、実用
に適していることを知見した。
て析出する水素を含有する非晶質炭素膜が、弾性
定数が35000〜70000Kg／mm2と非常に高く、比重は
1.5〜2.0であり、従つて比弾性率Ｅ／ρの大きい
音響用振動板として適したものであること、又そ
の硬度はビツカース硬さで2000〜3000Kg／mm2で、
TiCや非晶質Ｂと同程度かそれより大きく、実用
に適していることを知見した。
即ち、本発明は、Ｅ／ρの大きい新規な音響用
振動板を提供するもので、水素を含有する非晶質
炭素析出膜単独又はこれと他の音響用振動板との
積層体から成る。
振動板を提供するもので、水素を含有する非晶質
炭素析出膜単独又はこれと他の音響用振動板との
積層体から成る。
本発明の振動板は、少なくとも炭素原子と水素
原子から成るガスを含む真空中でグロー放電を行
ない陰極板に又は板状等の陰極の近傍に設けた薄
板に水素を含有する非晶質炭素を析出させその膜
を生成せしめて積層体を得ることにより製造さ
れ、場合により、次で陰極板又は薄板を除去して
該炭素析出膜を得ることが出来る。
原子から成るガスを含む真空中でグロー放電を行
ない陰極板に又は板状等の陰極の近傍に設けた薄
板に水素を含有する非晶質炭素を析出させその膜
を生成せしめて積層体を得ることにより製造さ
れ、場合により、次で陰極板又は薄板を除去して
該炭素析出膜を得ることが出来る。
次に本発明の実施例を添付図面につき説明す
る。第１図は、本発明の振動板を製造する装置の
１例を示し、該装置は、真空容器１と該容器１内
に設けた陰極板２とこれに接続する直流電源３と
から成り、更にその容器１内に導入された炭素水
素ガス供給用導管４と不活性ガス供給用導管５と
を併設して有する。６，７は夫々導管４，５に介
入した調節可能バルブ、８は真空ポンプ（図示し
ない）に接続する排気口を示す。前記陰極板２
は、例えば厚さ0.5mmの肉厚銅板とする。本装置
により、水素を含有する非晶質炭素析出膜単独か
ら成る音響用振動板を下記のように製造する。
る。第１図は、本発明の振動板を製造する装置の
１例を示し、該装置は、真空容器１と該容器１内
に設けた陰極板２とこれに接続する直流電源３と
から成り、更にその容器１内に導入された炭素水
素ガス供給用導管４と不活性ガス供給用導管５と
を併設して有する。６，７は夫々導管４，５に介
入した調節可能バルブ、８は真空ポンプ（図示し
ない）に接続する排気口を示す。前記陰極板２
は、例えば厚さ0.5mmの肉厚銅板とする。本装置
により、水素を含有する非晶質炭素析出膜単独か
ら成る音響用振動板を下記のように製造する。
真空ポンプにより真空容器１内を１×10-5トー
ルまで排気真空とした後導管５よりアルゴンガス
を５×10-2トールになるように導入し、この状態
から電源３により陰極板２に−1KVの直流電圧
を印加し、10分間イオンボンバードし、陰極板２
面を浄化した後、アルゴンの導入を止め、該導管
４より例えばC2H2を８×10-2トールになるよう
に導入し、この状態で陰極板２に−5KVの直流
電圧を印加させたグロー放電を生ぜしめ、プラズ
マによりC2H2を分解し、炭素を析出させ、該陰
極板２両面に夫々厚さ20μｍの炭素膜を生成せし
めた。析出速度は0.05μｍ／minであつた。次で
該陰極板を取り出し、酸液に浸漬する等により陰
極板を溶解除去して、２枚の炭素膜を分取し、次
でこれを水洗して２枚の本発明音響用振動板を１
度に製造した。この各膜は、比重1.55、弾性定数
40000Kg／mm2、ビツカース硬度2400Kg／mm2であつ
た。
ルまで排気真空とした後導管５よりアルゴンガス
を５×10-2トールになるように導入し、この状態
から電源３により陰極板２に−1KVの直流電圧
を印加し、10分間イオンボンバードし、陰極板２
面を浄化した後、アルゴンの導入を止め、該導管
４より例えばC2H2を８×10-2トールになるよう
に導入し、この状態で陰極板２に−5KVの直流
電圧を印加させたグロー放電を生ぜしめ、プラズ
マによりC2H2を分解し、炭素を析出させ、該陰
極板２両面に夫々厚さ20μｍの炭素膜を生成せし
めた。析出速度は0.05μｍ／minであつた。次で
該陰極板を取り出し、酸液に浸漬する等により陰
極板を溶解除去して、２枚の炭素膜を分取し、次
でこれを水洗して２枚の本発明音響用振動板を１
度に製造した。この各膜は、比重1.55、弾性定数
40000Kg／mm2、ビツカース硬度2400Kg／mm2であつ
た。
上記実施例に於いて、グロー放電には、直流に
代え、RF、マイクロ波等を使用できる。又ガス
導入は、排気を10-3〜10-5トール以下まで行なつ
た後、炭素水素を10-3〜１トール好ましくは10-2
〜10-1トール導入するのが一般であり、炭素水素
ガスとして、C2H2の他、C2H4、CH4、C6H6等の
全ての炭素水素ガスを用いることができる。
代え、RF、マイクロ波等を使用できる。又ガス
導入は、排気を10-3〜10-5トール以下まで行なつ
た後、炭素水素を10-3〜１トール好ましくは10-2
〜10-1トール導入するのが一般であり、炭素水素
ガスとして、C2H2の他、C2H4、CH4、C6H6等の
全ての炭素水素ガスを用いることができる。
アルゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガス
は、前記のように、ボンバードクリーニングの
他、グロー放電の安定化のために導入することが
好ましいが、必ずしも導入する必要はない。
は、前記のように、ボンバードクリーニングの
他、グロー放電の安定化のために導入することが
好ましいが、必ずしも導入する必要はない。
又、上記第１図の装置に於いて、該陰極板２と
して、音響用振動板として例えば30μｍ厚のAl等
の金属薄板を用い、上記と同様な方法でその両面
に20μｍ厚の水素を少量含有の炭素の析出膜を生
成せしめた積層体から成る厚さ70μｍの音響用振
動板を製造することも出来る。この振動板の比重
は2.1、弾性定数27000Kg／mm2、表面のビツカース
硬度3000Kg／mm2であつた。
して、音響用振動板として例えば30μｍ厚のAl等
の金属薄板を用い、上記と同様な方法でその両面
に20μｍ厚の水素を少量含有の炭素の析出膜を生
成せしめた積層体から成る厚さ70μｍの音響用振
動板を製造することも出来る。この振動板の比重
は2.1、弾性定数27000Kg／mm2、表面のビツカース
硬度3000Kg／mm2であつた。
上記の各炭素析出膜をＸ線回析したところ、非
晶質のハローパターンが認識され、又赤外分光に
より水素の存在が確認された。
晶質のハローパターンが認識され、又赤外分光に
より水素の存在が確認された。
上記の２つの実施例はいずれも、極板自体に炭
素析出膜を生成せしめたものであるが、陰極板の
近傍に金属性又はガラス、セラミツク、合成樹脂
等の非金属性の適宜厚さの基板を設置し、その両
者に同時に炭素析出膜を生成でき、又陰極が線状
等の場合は、その基板のみに炭素析出膜を生成で
きる。
素析出膜を生成せしめたものであるが、陰極板の
近傍に金属性又はガラス、セラミツク、合成樹脂
等の非金属性の適宜厚さの基板を設置し、その両
者に同時に炭素析出膜を生成でき、又陰極が線状
等の場合は、その基板のみに炭素析出膜を生成で
きる。
第２図はその１例を実施する装置を示し、上記
装置とは次の点で相異する。即ち、陰極は、針状
又は環状の線状陰極２′とし、外部のRF電源３′
と接続する。陰極２′の近傍に回転基板ホルダー
９を対向して設け、その陰極２′と対面する面に
多数のセラミツクス等の厚さ50μｍの肉厚Al等の
基板１０を支持せしめる。かくして、前記第１図
の装置と同様に排気して真空容器１内を１×10-5
トールの真空となし、不活性ガスを２×10-2トー
ル導入し、次で炭化水素ガスを８×10-2トール導
入し、RF電源３′より該陰極２′に−5KVの電圧
を印加しグロー放電を行ないプラズマにより炭化
水素を分解してホルダー９を回転し乍ら、その各
基板１０に厚さ20μｍの水素を少量含有の炭素析
出膜を生成した。
装置とは次の点で相異する。即ち、陰極は、針状
又は環状の線状陰極２′とし、外部のRF電源３′
と接続する。陰極２′の近傍に回転基板ホルダー
９を対向して設け、その陰極２′と対面する面に
多数のセラミツクス等の厚さ50μｍの肉厚Al等の
基板１０を支持せしめる。かくして、前記第１図
の装置と同様に排気して真空容器１内を１×10-5
トールの真空となし、不活性ガスを２×10-2トー
ル導入し、次で炭化水素ガスを８×10-2トール導
入し、RF電源３′より該陰極２′に−5KVの電圧
を印加しグロー放電を行ないプラズマにより炭化
水素を分解してホルダー９を回転し乍ら、その各
基板１０に厚さ20μｍの水素を少量含有の炭素析
出膜を生成した。
かくして、積層体から成る本発明音響用振動板
を得た。この振動板の比重は2.6、弾性定数32000
Kg／mm2、ビツカース硬度2600Kg／mm2であつた。製
造する炭素析出膜の比重や、弾性定数を適当異な
るものを得るためには、上記の各種の条件を変え
ることにより得られる。
を得た。この振動板の比重は2.6、弾性定数32000
Kg／mm2、ビツカース硬度2600Kg／mm2であつた。製
造する炭素析出膜の比重や、弾性定数を適当異な
るものを得るためには、上記の各種の条件を変え
ることにより得られる。
而して従来の音響用振動板面に本発明の水素を
含有する炭素析出膜を積層したものをつくるとき
は、比重を小さくし且つ比弾性率を大きくしたも
のが得られる。
含有する炭素析出膜を積層したものをつくるとき
は、比重を小さくし且つ比弾性率を大きくしたも
のが得られる。
このように本発明によるときは、音響用振動板
を水素を含有する非晶質炭素析出膜単独又はこれ
と他の音響用振動板との積層体で構成したので、
音響用振動板を非晶質炭素析出膜単独又はこれと
他の音響用振動板との積層体で構成した従来のも
のに比して弾性定数の大きい音響用振動板が得ら
れ、さらに非晶質炭素質膜に水素を含有させたの
で、非晶質炭素質膜に水素を含有させないものに
比して密度の小さい音響用振動板が得られ、クラ
ツクもはいりにくく大面積の振動板が得られ、そ
の結果、非弾性率の大きい新規な優れた音響振動
板が得られる効果を有する。
を水素を含有する非晶質炭素析出膜単独又はこれ
と他の音響用振動板との積層体で構成したので、
音響用振動板を非晶質炭素析出膜単独又はこれと
他の音響用振動板との積層体で構成した従来のも
のに比して弾性定数の大きい音響用振動板が得ら
れ、さらに非晶質炭素質膜に水素を含有させたの
で、非晶質炭素質膜に水素を含有させないものに
比して密度の小さい音響用振動板が得られ、クラ
ツクもはいりにくく大面積の振動板が得られ、そ
の結果、非弾性率の大きい新規な優れた音響振動
板が得られる効果を有する。
第１図及び第２図は本発明を実施する装置の側
面線図を示す。 １……真空容器、２……板状陰極、２′……線
状陰極、３……直流電源、３′……RF電源、４…
…炭化水素ガス導管、５……不活性ガス導管、１
０……基板。
面線図を示す。 １……真空容器、２……板状陰極、２′……線
状陰極、３……直流電源、３′……RF電源、４…
…炭化水素ガス導管、５……不活性ガス導管、１
０……基板。
Claims (1)
- １ 水素を含有する非晶質炭素析出膜単独又はこ
れと他の音響用振動板との積層体から成る音響用
振動板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4471282A JPS58162194A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 音響用振動板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4471282A JPS58162194A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 音響用振動板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58162194A JPS58162194A (ja) | 1983-09-26 |
| JPH0237758B2 true JPH0237758B2 (ja) | 1990-08-27 |
Family
ID=12699028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4471282A Granted JPS58162194A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 音響用振動板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58162194A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5464667A (en) * | 1994-08-16 | 1995-11-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Jet plasma process and apparatus |
| US6203898B1 (en) | 1997-08-29 | 2001-03-20 | 3M Innovatave Properties Company | Article comprising a substrate having a silicone coating |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53106025A (en) * | 1977-02-28 | 1978-09-14 | Pioneer Electronic Corp | Acoustic vibrator and making method thereof |
| JPS5533237A (en) * | 1978-08-30 | 1980-03-08 | Toshiba Corp | Microprogram controller |
| JPS5671399A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-13 | Mitsubishi Metal Corp | Composite layer diaphragm plate for sound converter and its manufacture |
-
1982
- 1982-03-23 JP JP4471282A patent/JPS58162194A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53106025A (en) * | 1977-02-28 | 1978-09-14 | Pioneer Electronic Corp | Acoustic vibrator and making method thereof |
| JPS5533237A (en) * | 1978-08-30 | 1980-03-08 | Toshiba Corp | Microprogram controller |
| JPS5671399A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-13 | Mitsubishi Metal Corp | Composite layer diaphragm plate for sound converter and its manufacture |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58162194A (ja) | 1983-09-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3660866B2 (ja) | 硬質炭素膜の形成方法並びにその装置 | |
| JPS58221271A (ja) | イオンプレ−テイング法による被膜形成方法 | |
| CN106637207A (zh) | 一种石墨基材上的耐高温类金刚石涂层方法 | |
| JPH0237758B2 (ja) | ||
| JP2004156057A (ja) | 炭素薄膜の形成方法および得られた炭素薄膜 | |
| JP2978023B2 (ja) | 合成ダイヤモンドフィルムの製造方法 | |
| JPH0380190A (ja) | ダイヤモンド様薄膜を形成する方法 | |
| JP3083008B2 (ja) | 被膜形成装置および被膜形成方法 | |
| JPS63274295A (ja) | 音響機器用振動板の製造方法 | |
| JPS6358798B2 (ja) | ||
| JPH062944B2 (ja) | ダイヤモンド様カ−ボン成膜装置 | |
| JPS5915983B2 (ja) | ホウ素被膜の形成方法 | |
| JPH02115379A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPH0445580B2 (ja) | ||
| JP2567843B2 (ja) | ハイブリツドイオンプレ−テイング方法とその装置 | |
| JPH0280556A (ja) | 複合材料膜の製造方法 | |
| JPH0247252A (ja) | 複合材料膜の製造方法 | |
| JPS6124466B2 (ja) | ||
| JPH04103777A (ja) | カーボン硬質膜を形成した基材 | |
| Ishiwatari et al. | The Boron Dome Diaphragm for Loudspeakers | |
| JPS63226198A (ja) | 音響用振動板 | |
| JPS60186195A (ja) | 電気音響変換器用振動板の製造方法 | |
| JPH01201463A (ja) | 硬質炭素膜の製造方法 | |
| JPS61285896A (ja) | 音響用振動板の製造方法 | |
| JPS63475A (ja) | ハイブリツドイオンプレ−テイング装置 |