JPS58162194A - 音響用振動板 - Google Patents
音響用振動板Info
- Publication number
- JPS58162194A JPS58162194A JP4471282A JP4471282A JPS58162194A JP S58162194 A JPS58162194 A JP S58162194A JP 4471282 A JP4471282 A JP 4471282A JP 4471282 A JP4471282 A JP 4471282A JP S58162194 A JPS58162194 A JP S58162194A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon
- plate
- negative plate
- cathode
- hydrogen
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
一般に、音響用振動板としては■比重が小さいこと＠弾
性定数が大きいことが要求され、一般には比弾性率１ｃ
／Ｐ （Ｍ ｉ弾性定数、Ｐ：密度）で評価され、これ
が大きいことが望ましい。
性定数が大きいことが要求され、一般には比弾性率１ｃ
／Ｐ （Ｍ ｉ弾性定数、Ｐ：密度）で評価され、これ
が大きいことが望ましい。
従来、高音用ライターやスコーカ−用振動板には、高周
波の振動を忠実に発生させるために、１ｉ／Ｐの大きい
振動板が種々開発されて居り、代表的なものとしては、
蒸着により作成されているＢθ薄板、Ａ１や〒１の薄板
の表面にＴ１０１Ａｌ、 ｏ８、Ｂ２Ｏ、Ｂ等を蒸着や
スパッタリング、プラズマスプレー等の方法で析出させ
硬化させた薄板１発泡金属やハニカム構造等で構造的に
軽くて強度を増大させた薄板等がある。
波の振動を忠実に発生させるために、１ｉ／Ｐの大きい
振動板が種々開発されて居り、代表的なものとしては、
蒸着により作成されているＢθ薄板、Ａ１や〒１の薄板
の表面にＴ１０１Ａｌ、 ｏ８、Ｂ２Ｏ、Ｂ等を蒸着や
スパッタリング、プラズマスプレー等の方法で析出させ
硬化させた薄板１発泡金属やハニカム構造等で構造的に
軽くて強度を増大させた薄板等がある。
本発明者等は、これら上記材料以外の炭素に注目し１種
々検討を行なった。既存の炭素には無定形炭素、グラフ
ァイト、ダイヤモンド等その比重と弾性定数も大きく変
化する各種のものがあるが、いずれも音響用振動板には
適さない。
々検討を行なった。既存の炭素には無定形炭素、グラフ
ァイト、ダイヤモンド等その比重と弾性定数も大きく変
化する各種のものがあるが、いずれも音響用振動板には
適さない。
例えばガラス状炭素、いわゆるグラジ−カーボンは弾性
定数は僅か３．０［１０〜７．０００〜であり、Ｂｅの
２８．０００ ％やＢの４２．０００ ％に比べはるか
に劣桑。グラファイト繊維は、３０，０００〜５２．０
００〜で高弾性率であるが、薄膜には製造しにくい。
定数は僅か３．０［１０〜７．０００〜であり、Ｂｅの
２８．０００ ％やＢの４２．０００ ％に比べはるか
に劣桑。グラファイト繊維は、３０，０００〜５２．０
００〜で高弾性率であるが、薄膜には製造しにくい。
本発明者等は、炭化水素ガスをグロー放電させて析出す
る水素を含有する非晶質炭素膜が１弾性定数が５５，０
００〜７０．０００〜と非常に高く、比重は１．５〜２
．０であり、従って比弾性率の大きい音響用振動板とし
て適したものであること、又その硬度はビッカース硬さ
で２，０００〜３，０００〜で、ＴｉＯや非晶質Ｂと同
程度かそれより大きく、実用に適していることを知見し
た。
る水素を含有する非晶質炭素膜が１弾性定数が５５，０
００〜７０．０００〜と非常に高く、比重は１．５〜２
．０であり、従って比弾性率の大きい音響用振動板とし
て適したものであること、又その硬度はビッカース硬さ
で２，０００〜３，０００〜で、ＴｉＯや非晶質Ｂと同
程度かそれより大きく、実用に適していることを知見し
た。
即ち、本発明は、］］＋／Ｐの大きい新規な音響用振動
板を提供するもので、水素を含有する非晶質炭素析出膜
単独又はこれと他の音響用振動板との積層体から成る。
板を提供するもので、水素を含有する非晶質炭素析出膜
単独又はこれと他の音響用振動板との積層体から成る。
本発明は、上記の振動板の製造法を提供する−ので、少
くとも炭素原子と水素原子から成るガスを含む真空中で
グ四−放電を行ない陰極板に又は板状等の陰極の近傍に
設けた薄板に水素を含有する非晶質炭素を析出させその
膜を生成せしめて積層体を得ることを特徴とし、場合に
より、次で陰極板又は薄板を除去して該炭素析出膜を得
ることを特徴とする。
くとも炭素原子と水素原子から成るガスを含む真空中で
グ四−放電を行ない陰極板に又は板状等の陰極の近傍に
設けた薄板に水素を含有する非晶質炭素を析出させその
膜を生成せしめて積層体を得ることを特徴とし、場合に
より、次で陰極板又は薄板を除去して該炭素析出膜を得
ることを特徴とする。
次に本発明の実施例を添付図面につき説明する。
第１図は、本発明を実施する１例の装置を示し、該装置
は、真空容器（１１と該容器（１）内に設けた陰極板（
２）とこれに接続する直流電源（３）とから成り、更に
その容器（１）内に導入された炭化水素ガス供給用導管
（４）と不活性ガス供給用導管（５）とを併設して有す
る。（６１（７１は夫々導管ｆ４Ｊ （５）に介入した
調節可能パルプ、（８）は真空ポンプ（図示しない）に
接続する排気口を示す。前記陰極板（２）は１例えば厚
さ０．５ｍの肉薄銅板とする。本装置により、水素を含
有する非晶質炭素析出膜単独から成る音響用振動板を下
記のように製造する。
は、真空容器（１１と該容器（１）内に設けた陰極板（
２）とこれに接続する直流電源（３）とから成り、更に
その容器（１）内に導入された炭化水素ガス供給用導管
（４）と不活性ガス供給用導管（５）とを併設して有す
る。（６１（７１は夫々導管ｆ４Ｊ （５）に介入した
調節可能パルプ、（８）は真空ポンプ（図示しない）に
接続する排気口を示す。前記陰極板（２）は１例えば厚
さ０．５ｍの肉薄銅板とする。本装置により、水素を含
有する非晶質炭素析出膜単独から成る音響用振動板を下
記のように製造する。
真空ポンプにより真空容器（１）内をｌＸ１０）−ルま
で排気真空とした後導管（５）よりアルゴンガスを５Ｘ
１０ ）−ルになるように導入し、この状態から電源
（３）により陰極板＋２１に］ｆｆの直流電圧を印加し
、１０分間イオンボンバードし陰極板（２）面を浄化し
た後、アルゴンの導入を止め、該導管（４）より例えば
Ｏ，Ｈｌを８Ｘ１０ ）−ルになるように導入し、こ
の状態で陰極板（２）に−３ＸＶの直流電圧を印加させ
てグロー放電を生ぜしめ、プラズマによりＣ４Ｈ！を分
解し、炭素を析出させ、該陰極板（２）両面に夫々厚さ
２０μｍの炭素原を生成せしめた。析出速度は０．０５
μｍ汐であった。次で該陰極板を取り出し一酸液に浸漬
する等により陰極板を溶解除去して、２枚の炭素膜を分
取し、次でこれを水洗して２枚の本発明音響用振動板を
１度に製造した。この６膜は１比重ｉ、 ５５ 、弾性
定数４０，０００〜、ビッカース硬度２，４００〜であ
った。
で排気真空とした後導管（５）よりアルゴンガスを５Ｘ
１０ ）−ルになるように導入し、この状態から電源
（３）により陰極板＋２１に］ｆｆの直流電圧を印加し
、１０分間イオンボンバードし陰極板（２）面を浄化し
た後、アルゴンの導入を止め、該導管（４）より例えば
Ｏ，Ｈｌを８Ｘ１０ ）−ルになるように導入し、こ
の状態で陰極板（２）に−３ＸＶの直流電圧を印加させ
てグロー放電を生ぜしめ、プラズマによりＣ４Ｈ！を分
解し、炭素を析出させ、該陰極板（２）両面に夫々厚さ
２０μｍの炭素原を生成せしめた。析出速度は０．０５
μｍ汐であった。次で該陰極板を取り出し一酸液に浸漬
する等により陰極板を溶解除去して、２枚の炭素膜を分
取し、次でこれを水洗して２枚の本発明音響用振動板を
１度に製造した。この６膜は１比重ｉ、 ５５ 、弾性
定数４０，０００〜、ビッカース硬度２，４００〜であ
った。
上記実施例に、於て１グロー放電には、直流に代え、Ｒ
ＩＰ１マイクロ波等を使用できる。又ガス導入は、排気
を１０−〜１０ トール以下まで０、Ｈ６等の全ての炭
化水素ガスを用いることができる。
ＩＰ１マイクロ波等を使用できる。又ガス導入は、排気
を１０−〜１０ トール以下まで０、Ｈ６等の全ての炭
化水素ガスを用いることができる。
アルゴンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスは、前記の
ように、ボンバードクリーニングの他、グロー放電の安
定化のために導入することが好ましいが、必ずしも導入
する必要はない。
ように、ボンバードクリーニングの他、グロー放電の安
定化のために導入することが好ましいが、必ずしも導入
する必要はない。
又、上記第１図の装置に於て、該陰極板（２）として、
音響用振動板として例えば３０μｍ厚のＡ１等の金属薄
板を用い１上記と同様な方法でその両面に２０μｍ厚の
水素を少量含有の炭素の析出膜を生成せしめた積層体か
ら成る厚さ７０μｍの音−用振動板ご製造することも出
来る。この振動板の比重は２．１、弾性定数２７，００
０〜、表面のビッカース硬度３，０００〜であった。
音響用振動板として例えば３０μｍ厚のＡ１等の金属薄
板を用い１上記と同様な方法でその両面に２０μｍ厚の
水素を少量含有の炭素の析出膜を生成せしめた積層体か
ら成る厚さ７０μｍの音−用振動板ご製造することも出
来る。この振動板の比重は２．１、弾性定数２７，００
０〜、表面のビッカース硬度３，０００〜であった。
上記の各炭素析出ＭをＸ線回析により、非晶質のハル−
パターンが確認され、又赤外分光により水素の存在が確
認された。
パターンが確認され、又赤外分光により水素の存在が確
認された。
上記の２つの実施例はいづれも、極板自体に炭素析出膜
を生成せしめたものであるが、陰極板の近傍に金属性又
はガラス１セラミツク、合成樹脂等の非金属性の適宜厚
さの基板を設置し、その両者に同時に炭素析出膜を生成
でき−又陰極が線状等の場合は、その基板のみに炭素析
出膜を生成できる。
を生成せしめたものであるが、陰極板の近傍に金属性又
はガラス１セラミツク、合成樹脂等の非金属性の適宜厚
さの基板を設置し、その両者に同時に炭素析出膜を生成
でき−又陰極が線状等の場合は、その基板のみに炭素析
出膜を生成できる。
第２図はその１例を実施する装置を示し、上記装置とは
次の点で相異する０即ち、陰極は、針と接続する。陰極
（２）の近傍に回転基板ホルダー（９）を対面して設け
、その陰極（２）と対面する面に多数のセラミックス等
の厚さ５０μｍの肉薄Ａ１等の基板ＧＯ＋を支持せしめ
る。かくして、前記第１図示の装置と同様に排気し真空
容器（１）内′ｆ：１×１０ トールの真空となし、不
活性ガスを２Ｘ１０−）−ル導入し、次で炭化水素ガス
を８に−５ＫＶの電圧を印加しグロー放電を行ないプラ
ズマにより炭化水素を分解してホルダー（９）を回転し
乍ら、その各基板００）に厚さ２０μｍの水素を少量含
有の炭素析出膜を生成した。
次の点で相異する０即ち、陰極は、針と接続する。陰極
（２）の近傍に回転基板ホルダー（９）を対面して設け
、その陰極（２）と対面する面に多数のセラミックス等
の厚さ５０μｍの肉薄Ａ１等の基板ＧＯ＋を支持せしめ
る。かくして、前記第１図示の装置と同様に排気し真空
容器（１）内′ｆ：１×１０ トールの真空となし、不
活性ガスを２Ｘ１０−）−ル導入し、次で炭化水素ガス
を８に−５ＫＶの電圧を印加しグロー放電を行ないプラ
ズマにより炭化水素を分解してホルダー（９）を回転し
乍ら、その各基板００）に厚さ２０μｍの水素を少量含
有の炭素析出膜を生成した。
かくして、積層体から成る本発明音響用振動板を得た。
この振動板の比重は２．６＼弾性定数３２、０００〜、
ビッカース硬度２．６００〜であった。
ビッカース硬度２．６００〜であった。
製造する炭素析出膜の比重や、弾性定数【適当異なるも
のを得るためには、上記の各種の条件を適当に変えるこ
とにより得られる。
のを得るためには、上記の各種の条件を適当に変えるこ
とにより得られる。
而して従来の音響用振動板面に本発明の水素を含有する
炭素析出膜を積層したものをつくるときは、比重を小さ
くし且比弾性率を大きくしたものが得られる。
炭素析出膜を積層したものをつくるときは、比重を小さ
くし且比弾性率を大きくしたものが得られる。
このように本発明によるときは、炭素原子と水素原子を
少くとも含むガスを真空容器内に導入し、グ四−放電せ
しめるときは、比弾性率の比較的大きい水素原子を含有
する炭素析出膜が得られ、新規な優れた音１用振動板が
得られる効果を有する。
少くとも含むガスを真空容器内に導入し、グ四−放電せ
しめるときは、比弾性率の比較的大きい水素原子を含有
する炭素析出膜が得られ、新規な優れた音１用振動板が
得られる効果を有する。
第１図及び第２図は本発明方法を実施する装置の側面線
図を示す。 （１）・・・・・・真空容器 （２）・・・・・・板状陰極 （２）・・・・・・線状陰極 （３）・・・・・・直流電源 ＋ｉ＋・・・・・・ＲＦ電源 （４）・・・・・・炭化水素ガス導管 （５）・・・・・・不活性ガス導管 Ｑ（ｎ・・・・・・基 板 外２名
図を示す。 （１）・・・・・・真空容器 （２）・・・・・・板状陰極 （２）・・・・・・線状陰極 （３）・・・・・・直流電源 ＋ｉ＋・・・・・・ＲＦ電源 （４）・・・・・・炭化水素ガス導管 （５）・・・・・・不活性ガス導管 Ｑ（ｎ・・・・・・基 板 外２名
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 水素を含有する非晶質炭素析出膜単独又はこれと
他の音響用振動板との積層体から成る音響用振動板。 ２ 少くとも炭素原子と水素原子から成るガスを含む真
空中でグロー放電を行ない陰極板に又は板状等の陰極の
近傍に設けた薄板に水素を含有する非晶質炭素を析出さ
せその膜を生成せしめて積層体を得ることを特徴とし、
場合により、次で陰極板又は薄板を除去して該炭素析出
膜を得ることを特徴とする音響用振動板の製造法。 五 少くとも炭素原子と水素原子から成るガスは、炭化
水素ガスであり、これに必要に応じ、不活性ガスを含有
せしめたものである特許請求の範囲（２）項に記載の製
造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4471282A JPS58162194A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 音響用振動板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4471282A JPS58162194A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 音響用振動板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58162194A true JPS58162194A (ja) | 1983-09-26 |
| JPH0237758B2 JPH0237758B2 (ja) | 1990-08-27 |
Family
ID=12699028
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4471282A Granted JPS58162194A (ja) | 1982-03-23 | 1982-03-23 | 音響用振動板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58162194A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5464667A (en) * | 1994-08-16 | 1995-11-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Jet plasma process and apparatus |
| US6203898B1 (en) | 1997-08-29 | 2001-03-20 | 3M Innovatave Properties Company | Article comprising a substrate having a silicone coating |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53106025A (en) * | 1977-02-28 | 1978-09-14 | Pioneer Electronic Corp | Acoustic vibrator and making method thereof |
| JPS5533237A (en) * | 1978-08-30 | 1980-03-08 | Toshiba Corp | Microprogram controller |
| JPS5671399A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-13 | Mitsubishi Metal Corp | Composite layer diaphragm plate for sound converter and its manufacture |
-
1982
- 1982-03-23 JP JP4471282A patent/JPS58162194A/ja active Granted
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53106025A (en) * | 1977-02-28 | 1978-09-14 | Pioneer Electronic Corp | Acoustic vibrator and making method thereof |
| JPS5533237A (en) * | 1978-08-30 | 1980-03-08 | Toshiba Corp | Microprogram controller |
| JPS5671399A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-13 | Mitsubishi Metal Corp | Composite layer diaphragm plate for sound converter and its manufacture |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5464667A (en) * | 1994-08-16 | 1995-11-07 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Jet plasma process and apparatus |
| US6203898B1 (en) | 1997-08-29 | 2001-03-20 | 3M Innovatave Properties Company | Article comprising a substrate having a silicone coating |
| US6348237B2 (en) | 1997-08-29 | 2002-02-19 | 3M Innovative Properties Company | Jet plasma process for deposition of coatings |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0237758B2 (ja) | 1990-08-27 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN1023329C (zh) | 在制品上形成保护层的化学气相沉积方法 | |
| JPS58221271A (ja) | イオンプレ−テイング法による被膜形成方法 | |
| DE3750470T2 (de) | Plasmaverfahren zur Herstellung mittels einer Plasmaentladung hergestellter Schichten bei niedriger Temperatur. | |
| RU98119152A (ru) | Способ получения гомоэпитаксиальной алмазной тонкой пленки и устройство для его осуществления | |
| US5176791A (en) | Method for forming carbonaceous films | |
| CN106637207A (zh) | 一种石墨基材上的耐高温类金刚石涂层方法 | |
| JPS58162194A (ja) | 音響用振動板 | |
| JP2978023B2 (ja) | 合成ダイヤモンドフィルムの製造方法 | |
| JPH0380190A (ja) | ダイヤモンド様薄膜を形成する方法 | |
| JP3083008B2 (ja) | 被膜形成装置および被膜形成方法 | |
| JPH0526867B2 (ja) | ||
| JPH04329879A (ja) | ダイヤモンド状カーボン膜形成方法 | |
| JP3699504B2 (ja) | 真空処理装置 | |
| JPS5915983B2 (ja) | ホウ素被膜の形成方法 | |
| JPH062944B2 (ja) | ダイヤモンド様カ−ボン成膜装置 | |
| JP2001107246A (ja) | 炭素または炭素を主成分とする被膜の形成方法 | |
| JPS62174383A (ja) | 薄膜堆積装置 | |
| JPH0280556A (ja) | 複合材料膜の製造方法 | |
| JPS6383271A (ja) | ダイヤモンド状炭素膜の製造法 | |
| JPH04341558A (ja) | ダイヤモンド様炭素保護膜を有する物品とその製造方法 | |
| JPH0247252A (ja) | 複合材料膜の製造方法 | |
| JP2000068208A (ja) | プラズマｃｖｄ装置 | |
| CN116695064A (zh) | 散热型塑料外壳的制作方法 | |
| JPS619577A (ja) | プラズマ化学気相成長法 | |
| JPH04122199A (ja) | スピーカー用振動板およびその製造方法 |