JPS60186194A - 電気音響変換器用振動板の製造方法 - Google Patents
電気音響変換器用振動板の製造方法Info
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- JPS60186194A JPS60186194A JP4267784A JP4267784A JPS60186194A JP S60186194 A JPS60186194 A JP S60186194A JP 4267784 A JP4267784 A JP 4267784A JP 4267784 A JP4267784 A JP 4267784A JP S60186194 A JPS60186194 A JP S60186194A
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- Japan
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- base
- diaphragm
- silicon nitride
- deposited layer
- vapor
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- Pending
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04R—LOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
- H04R7/00—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
- H04R7/02—Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Signal Processing (AREA)
- Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は電気音響変換器用撮動板の製造方法に関する
ものである。
ものである。
一般に、スピーカにおいて高忠実度な再生音を得るため
には、なるべく広い周波数帯域にわたって振動板が分割
振動せず、ピストン振動な持腐することが要求される。
には、なるべく広い周波数帯域にわたって振動板が分割
振動せず、ピストン振動な持腐することが要求される。
この分割振動が発生しはじめる周波数は振動板材料のヤ
ング率（Ｅ、）と密度（ρ）の比である比弾性率（Ｅ／
ρ）に依存するため比弾性率の大きい材料を選定するこ
とがスピーカの再生忠実度を高める要因となる。
ング率（Ｅ、）と密度（ρ）の比である比弾性率（Ｅ／
ρ）に依存するため比弾性率の大きい材料を選定するこ
とがスピーカの再生忠実度を高める要因となる。
しかしながら、従来振動板材料、として使用されていた
天然繊維又は合成樹脂繊維、合成樹脂フィルムおよび金
属箔等では比弾性率が充分でない。
天然繊維又は合成樹脂繊維、合成樹脂フィルムおよび金
属箔等では比弾性率が充分でない。
従って近年金属箔面上にセラミック材層を成層したり、
表面を窒化、炭化して表面に高弾性率層を成層すること
により比弾性率を高める試みが種々なされている。
表面を窒化、炭化して表面に高弾性率層を成層すること
により比弾性率を高める試みが種々なされている。
しかしながら、このように表面処理した振動板の総合的
な比弾性率は表面の高弾性重層自体が有するものに比へ
て極しく低下してしまう。
な比弾性率は表面の高弾性重層自体が有するものに比へ
て極しく低下してしまう。
又、金属箔と表面層との密着性の問題や、表面層の成層
手段として用いられている真空蒸着、スパッタリンク、
イオンブレーティング等の物理気相成長法や溶射法では
表面層の形成速度、層の厚さ、層の質等の均一性におい
てそれぞれ充分に解決されているとは言えなかった。
手段として用いられている真空蒸着、スパッタリンク、
イオンブレーティング等の物理気相成長法や溶射法では
表面層の形成速度、層の厚さ、層の質等の均一性におい
てそれぞれ充分に解決されているとは言えなかった。
この発明は極めて高い比弾性率を有する窒化ケイ素から
なる電気音響変換器用振動板の製造方法であって以下実
施例について詳細に説明する。
なる電気音響変換器用振動板の製造方法であって以下実
施例について詳細に説明する。
実施例
第１図に示すように
（１）Ｉ”−Ｊｔ状等の振動板形状に形成した銅等のエ
ツチング可能な材料よりなる振動板基体１を真空容器２
内の基体ボルダ−２ａに配置し、真空容器２内を真空ポ
ンプにより１〇４ 〜１０Ｔｏｒｒ程度に排気する。
ツチング可能な材料よりなる振動板基体１を真空容器２
内の基体ボルダ−２ａに配置し、真空容器２内を真空ポ
ンプにより１〇４ 〜１０Ｔｏｒｒ程度に排気する。
（２）基体１をヒーター２ｂて３００〜３５０°Ｃに加
熱し、その温度を保持する。
熱し、その温度を保持する。
（３）一方シリコンクロライトカスをアルゴン（純度９
９．９９９％）をキャリアガスとして、又反応カスとし
て窒素カス５〜ｌ０ｖ０１％、水素カス１０〜１５ｖｏ
１％をそれぞれ容器２内に導入する。
９．９９９％）をキャリアガスとして、又反応カスとし
て窒素カス５〜ｌ０ｖ０１％、水素カス１０〜１５ｖｏ
１％をそれぞれ容器２内に導入する。
この際、窒素ガス／シリコンクロライＩ・カスの流量比
は２〜４とする。
は２〜４とする。
（４）容器２内の総合カス圧を０．５〜ｌ、ＯＴ ｏ
ｒ ｒにし、基体ボルダ−２ａとプレート２ｃとの間に
高周波電力（１３，５６ＭＨ２，６００Ｗ）を印加し、
基体１−ヒにクロー放電を発生せ−しめ、約１０時間反
応させることにより、基体１上に厚さ０．４ｍｍの窒化
ケイ素蒸着層を形成した。
ｒ ｒにし、基体ボルダ−２ａとプレート２ｃとの間に
高周波電力（１３，５６ＭＨ２，６００Ｗ）を印加し、
基体１−ヒにクロー放電を発生せ−しめ、約１０時間反
応させることにより、基体１上に厚さ０．４ｍｍの窒化
ケイ素蒸着層を形成した。
（５）容器２から取り出した前記蒸着層が形成された基
体を塩化第２鉄溶液に浸漬し、基体１を除去して蒸着層
である窒化ケイ素振動板を得た。
体を塩化第２鉄溶液に浸漬し、基体１を除去して蒸着層
である窒化ケイ素振動板を得た。
上記実施例で得られた振動板の密度、およびヤング率を
測定し、従来例のチタンお゛よひアルミニウム振動板と
の比較を次表に示す。
測定し、従来例のチタンお゛よひアルミニウム振動板と
の比較を次表に示す。
）
上記表から明白なようにこの発明のの製造方法により得
られた振動板は従来例の振動板に比較して比弾性率を約
５倍程度にまてＪ−昇ぜしめることかできた。
られた振動板は従来例の振動板に比較して比弾性率を約
５倍程度にまてＪ−昇ぜしめることかできた。
この発明の製造方法によれば従来例の物理的蒸着法に比
較し、ビンボールの無い密な蒸着層を形成でき、着きま
わりが良いので複雑な形状の基体でも均一な層が形成で
き品質の良好な蒸着層が得られるとともに、蒸着層の組
成の調整が容易であり、層の形成速度が物理的蒸着法に
比較して極めて早く（数十倍〜数百倍）、かつ基体１温
度が比較的低温でも蒸着が可能であるので大量生産に極
めて適しているものである。
較し、ビンボールの無い密な蒸着層を形成でき、着きま
わりが良いので複雑な形状の基体でも均一な層が形成で
き品質の良好な蒸着層が得られるとともに、蒸着層の組
成の調整が容易であり、層の形成速度が物理的蒸着法に
比較して極めて早く（数十倍〜数百倍）、かつ基体１温
度が比較的低温でも蒸着が可能であるので大量生産に極
めて適しているものである。
又この製造方法による振動板は前述のことく比弾性率が
極めて高いので分割振動発生周波数を高め、もってピス
トン振動領域を拡大する結果、スピーカの高域再生限界
周波数を高め、より忠実度を向上せしめることができる
。
極めて高いので分割振動発生周波数を高め、もってピス
トン振動領域を拡大する結果、スピーカの高域再生限界
周波数を高め、より忠実度を向上せしめることができる
。
なお、上記実施例においてシリコンクロライドを用いた
例について説明したが、これに替えてシリコンハイドラ
イドを用いても路面様の工程で同様の物性を有する振動
板を提供することができる。
例について説明したが、これに替えてシリコンハイドラ
イドを用いても路面様の工程で同様の物性を有する振動
板を提供することができる。
以上に説明したようにこの発明は振動板形状の基体を真
空容器内に配置し、当該基体を３００’Ｃ〜４００℃に
保持した後、シリコンクロライド、もしくはシリコンハ
イドライド、窒素、水素およびアルゴンカスな前記真空
２ 容器内に導入し、総合ガス圧がｌＯ〜２Ｔ。
空容器内に配置し、当該基体を３００’Ｃ〜４００℃に
保持した後、シリコンクロライド、もしくはシリコンハ
イドライド、窒素、水素およびアルゴンカスな前記真空
２ 容器内に導入し、総合ガス圧がｌＯ〜２Ｔ。
ｒｒになるようにした後、交流グロー放電を発生せしめ
、前記基体に窒化ケイ素の蒸着層を形成した後、蒸着層
と基体を分離し、窒化ケイ素からなる振動板を得ること
を特徴とする電気音響変換器用振動板の製造方法であっ
て、極めて品質の良い窒化ケイ素よりなる振動板を簡便
に提供することかできる利点を有し、この発明製造方法
によって得られた１辰動板を用いたスピーカはその高域
再生限界周波数を高め、より忠実度を向」−せしめるこ
とができる。
、前記基体に窒化ケイ素の蒸着層を形成した後、蒸着層
と基体を分離し、窒化ケイ素からなる振動板を得ること
を特徴とする電気音響変換器用振動板の製造方法であっ
て、極めて品質の良い窒化ケイ素よりなる振動板を簡便
に提供することかできる利点を有し、この発明製造方法
によって得られた１辰動板を用いたスピーカはその高域
再生限界周波数を高め、より忠実度を向」−せしめるこ
とができる。
第１図はこの発明の振動板の製造装置の吸略図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 振動板形状の基体を真空容器内に配置し、当該基体を３
００６Ｃ−４’ＯＯ℃に保持した後、シリコンクロライ
ド、もしくはシリコンハイドライド、窒素、水素および
アルゴンガスを前記真空容器内に導入し、総合ガス圧が
１２ ０〜２Ｔｏｒｒになるようにした後、交流グロー放電を
発生せしめ、前記基体に窒化ケイ素の蒸着層を形成した
後、蒸着層と基体を分離し、窒化ケイ素からなる振動板
を得ることを特徴とする電気音響変換器用振動板の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4267784A JPS60186194A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | 電気音響変換器用振動板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4267784A JPS60186194A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | 電気音響変換器用振動板の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60186194A true JPS60186194A (ja) | 1985-09-21 |
Family
ID=12642658
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4267784A Pending JPS60186194A (ja) | 1984-03-05 | 1984-03-05 | 電気音響変換器用振動板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60186194A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6292835U (ja) * | 1985-12-03 | 1987-06-13 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5288016A (en) * | 1976-01-17 | 1977-07-22 | Foster Electric Co Ltd | Vibrator plate for electroacoustic transducer |
| JPS5671399A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-13 | Mitsubishi Metal Corp | Composite layer diaphragm plate for sound converter and its manufacture |
-
1984
- 1984-03-05 JP JP4267784A patent/JPS60186194A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5288016A (en) * | 1976-01-17 | 1977-07-22 | Foster Electric Co Ltd | Vibrator plate for electroacoustic transducer |
| JPS5671399A (en) * | 1979-11-14 | 1981-06-13 | Mitsubishi Metal Corp | Composite layer diaphragm plate for sound converter and its manufacture |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6292835U (ja) * | 1985-12-03 | 1987-06-13 |
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