JP2700787B2 - 電気音響変換器用振動板 - Google Patents

電気音響変換器用振動板

Info

Publication number
JP2700787B2
JP2700787B2 JP59207280A JP20728084A JP2700787B2 JP 2700787 B2 JP2700787 B2 JP 2700787B2 JP 59207280 A JP59207280 A JP 59207280A JP 20728084 A JP20728084 A JP 20728084A JP 2700787 B2 JP2700787 B2 JP 2700787B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
titanium
substrate
electroacoustic transducer
layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Lifetime
Application number
JP59207280A
Other languages
English (en)
Other versions
JPS6184995A (ja
Inventor
利秀 井上
三千三 佐伯
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Onkyo Corp
Original Assignee
Onkyo Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Onkyo Corp filed Critical Onkyo Corp
Priority to JP59207280A priority Critical patent/JP2700787B2/ja
Publication of JPS6184995A publication Critical patent/JPS6184995A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP2700787B2 publication Critical patent/JP2700787B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04RLOUDSPEAKERS, MICROPHONES, GRAMOPHONE PICK-UPS OR LIKE ACOUSTIC ELECTROMECHANICAL TRANSDUCERS; DEAF-AID SETS; PUBLIC ADDRESS SYSTEMS
    • H04R7/00Diaphragms for electromechanical transducers; Cones
    • H04R7/02Diaphragms for electromechanical transducers; Cones characterised by the construction

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Multimedia (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • Diaphragms For Electromechanical Transducers (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] この発明は、電気音響変換器の分野における変換器用
の改良された振動板に関する。 [従来の技術] 一般に、スピーカーにおいて高忠実度な再生音を得る
ためには、なるべく広い周波数帯域にわたって振動板が
分割振動せず、ピストン振動を持続することが要求され
る。 この分割振動が発生しはじめる周波数は、振動板材料
のヤング率(E)と密度(ρ)の比である比弾性率(E/
ρ)に依存するため、比弾性率の大きい材料を選定する
ことがスピーカーの再生忠実度を高める要因となる。 しかしながら、従来振動板材料として使用されていた
天然繊維又は合成樹脂繊維、合成樹脂フィルムおよび金
属箔等では比弾性率が充分でない。 したがって、近年金属箔面上にセラミック材層を成層
して表面に高弾性率層を成層することにより比弾性率を
高める試みが種々なされている。 [解決すべき課題] しかるにこのような複合化振動板は、一つの界面を境
に、結晶構造その他の物性が極端に異なるため、無機化
合物層を形成する際に生じる内部応力が界面に集中しや
すく、熱的変化や振動などにより無機化合物層にクラッ
クが生じたり、剥離するなどの欠点を有していた。 [課題を解決するための手段] 本発明にかかる電気音響変換器用振動板は、上記従来
の欠点を除くため、チタン、もしくはチタン合金よりな
る振動板の基体1の両面に、組成がTiCXNY(0≦X≦0.
5,0≦Y≦1)で表現される炭窒化チタンが形成され、
前記基体1の表面からその深部に向かって前記X及びY
の値が小さくなるように炭素及び窒素が拡散しているこ
とを特徴とする。 [作用] 本発明による振動板は、上述したごとく金属基体と表
面の炭窒化チタン層との間で、深部に至るほど炭窒化チ
タン成分が減少するように構成してあるので、見掛けの
剛性値が上昇すると共に、基体と表面層との間に剛性の
違いにより応力が集中するような明確な境界が存在しな
いので、従来例に見られたような表面層のクラックや剥
離の発生を防止できる。 [実施例] 本発明の実施例を図面を用いて詳細に説明する。第1
図は本発明振動板の一部拡大断面図、第2図は製造装置
の概略説明図であり、図中1は振動板の基体、2は炭窒
化層、3は真空容器、4,4′はガス容器、5は温度計、
6は電源、7は制御装置である。 厚さ20μmのチタン箔をドーム形状に成形した振動板
の基体1を第2図に示したイオン窒化装置の真空容器3
内に、該基体1の表面が完全に雰囲気に露出されるよう
に設置し、真空容器3内を、まず0.1Torrまで排気した
後、メタンガスと窒素ガスとを約1:2の割合で混合した
混合気体をガス容器4,4′から真空容器3内に流入し、
混合気体の圧力が約3.0Torrとなるよう流量を調節しな
がら、前記基体1を負極として直流グロー放電を開始
し、基体1温度を約700℃に保って1時間処理すること
により基体1の金属表面から炭素原子と窒素原子とが浸
透し、第1図に示すごとく基体の深部から表面に向って
連続的に成分組成が変化する炭窒化層を有する振動板が
得られる。 上記炭窒化の条件としては、実験結果によると、上記
数値を中心とし、混合気体圧力は1.0〜5.0Torr、基体温
度は600℃〜850℃、処理時間は基体温度が低いほど長時
間となるので約2時間〜10分の範囲が良好な結果を与え
る。 また、この実施例の製造方法によれば、従来の塩浴窒
化法、ガス窒化法に比較して、 1)プラズマエネルギーにより反応が進むため、短時間
の処理が可能。 2)表面の清浄化当と、金属表面からの深部への浸透拡
散が同時に進行し、炭窒化チタン成分が表面から深部に
いたり連続的に減少するため、炭窒化層と金属基体との
密着性が優れている。 3)ガス窒化法に比べて、チタンの変態点以下の低温で
処理するため、熱変形が少なく生産性が良好である。 4)化合物の組成コントロールが容易。 5)有毒物質を使用しないので、公害問題が生じない。 等の特徴を有する。 [効果] 上記実施例により得られた振動板の密度、およびヤン
グ率を測定し、従来例のアルミニウム、チタン及び窒化
チタン振動板との比較を次表に示す。 (但し、実施例のヤング率,密度,比弾性率はそれぞれ
見掛けの値を示す。) 上記表から明白なように、この発明の振動板は従来例
の金属振動板に比較して比弾性率で約2倍、また窒化チ
タンのみの表面層を有する振動板に比較して低密度であ
りながらより以上の比弾性率を得ることができる。
【図面の簡単な説明】 第1図は本発明振動板の一部拡大断面図、第2図は製造
装置の概略説明図である。 1は振動板の基体、2は炭窒化層、3は真空容器であ
る。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭51−12130(JP,A) 特開 昭52−65419(JP,A) 特開 昭56−71399(JP,A) 特開 昭57−11598(JP,A) 特開 昭57−190495(JP,A) 特開 昭60−125099(JP,A) 特開 昭60−185489(JP,A) 特開 昭61−54798(JP,A)

Claims (1)

  1. (57)【特許請求の範囲】 1.チタン、もしくはチタン合金よりなる振動板の基体
    (1)の両面に、組成がTiCXNY(0≦X≦0.5,0≦Y≦
    1)で表現される炭窒化チタンが形成され、前記基体
    (1)の表面からその深部に向かって前記X及びYの値
    が小さくなるように炭素及び窒素が拡散していることを
    特徴とする電気音響変換器用振動板。
JP59207280A 1984-10-02 1984-10-02 電気音響変換器用振動板 Expired - Lifetime JP2700787B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59207280A JP2700787B2 (ja) 1984-10-02 1984-10-02 電気音響変換器用振動板

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP59207280A JP2700787B2 (ja) 1984-10-02 1984-10-02 電気音響変換器用振動板

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS6184995A JPS6184995A (ja) 1986-04-30
JP2700787B2 true JP2700787B2 (ja) 1998-01-21

Family

ID=16537177

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP59207280A Expired - Lifetime JP2700787B2 (ja) 1984-10-02 1984-10-02 電気音響変換器用振動板

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2700787B2 (ja)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003022395A1 (en) 2001-09-10 2003-03-20 The Procter & Gamble Company Method for processing a lipophilic fluid

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5112130A (ja) * 1974-07-19 1976-01-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Supiikayoshindoban
JPS5711598A (en) * 1980-06-26 1982-01-21 Sony Corp Acoustic diaphragm
JPS5821999A (ja) * 1981-08-01 1983-02-09 Sharp Corp 圧電型発音体の製造法

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6184995A (ja) 1986-04-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0638295A (ja) スピ−カ−用振動板及びその製造方法
JP2700787B2 (ja) 電気音響変換器用振動板
JPH03145900A (ja) スピーカー用振動板
CN116761117A (zh) 一种扬声器振膜、制备方法及扬声器
CN115589562A (zh) 一种复合扬声器振膜的制备方法及其相关设备
US4410408A (en) Method of preparing zinc oxide film
JPS61244195A (ja) 音響用振動板
JPS59143498A (ja) スピ−カ−用振動板およびその製造法
JPH07101957B2 (ja) スピーカー用振動板
JPS6184994A (ja) 電気音響変換器用振動板とその製造方法
JPS60186195A (ja) 電気音響変換器用振動板の製造方法
JPS60186194A (ja) 電気音響変換器用振動板の製造方法
US4996119A (en) Speaker cone plate and method of forming
JPS6192096A (ja) 電気音響変換器用振動板の製造方法
JPS60178800A (ja) スピ−カ用振動板の製造法
JPS61244194A (ja) 音響用振動板
JPS59143499A (ja) スピ−カ−振動板
JPH04124283A (ja) 窒化ほう素膜のコーティング方法
JPS62245900A (ja) 電気音響変換器用振動板
JPS60186197A (ja) 電気音響変換器用振動板とその製造方法
JPH04287498A (ja) 音響機器用振動板
JPS58100655A (ja) 音響機器用振動板
JPS6154798A (ja) スピ−カ用振動板
JPS6083495A (ja) 電気音響変換器用振動板およびその製造方法
CN115724396A (zh) 一种用于制备mems芯片的材料及其制备工艺

Legal Events

Date Code Title Description
EXPY Cancellation because of completion of term