JPS63207556A - ダイヤモンドワイヤ−の製造方法 - Google Patents
ダイヤモンドワイヤ−の製造方法Info
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- JPS63207556A JPS63207556A JP3677187A JP3677187A JPS63207556A JP S63207556 A JPS63207556 A JP S63207556A JP 3677187 A JP3677187 A JP 3677187A JP 3677187 A JP3677187 A JP 3677187A JP S63207556 A JPS63207556 A JP S63207556A
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Links
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Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明は、金属酸化物（例えばアルミナセラミックス
）、岩石類１石英、半導体製品などの硬くて脆い材料の
切断に用いられているダイヤモンドワイヤーの製造方法
に関するものである。
）、岩石類１石英、半導体製品などの硬くて脆い材料の
切断に用いられているダイヤモンドワイヤーの製造方法
に関するものである。
本発明の製造方法は、生産性の向上、長寿命化を目的と
して、従来の電着方法によるワイヤーへのダイヤモンド
粒の固定にかえ、プラズマＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法等の人
工ダイヤモンドの気相合成によりワイヤーへ直接人工ダ
イヤモンド膜をコーティングするダイヤモンドワイヤー
の製造方法に関するものである。
して、従来の電着方法によるワイヤーへのダイヤモンド
粒の固定にかえ、プラズマＣＶＤ法、熱ＣＶＤ法等の人
工ダイヤモンドの気相合成によりワイヤーへ直接人工ダ
イヤモンド膜をコーティングするダイヤモンドワイヤー
の製造方法に関するものである。
従来、ダイヤモンドワイヤーの製造には、金属メッキの
一種である電着方法がとられている。具体的には、ダイ
ヤモンド粒を混在させたメッキ液の中にワイヤーである
ピアノ線とダイヤモンド粒の固定物となる金属（例えば
銅）を設置し、前記ピアノ線を巻き取りながら両者に電
界をかけ、ピアノ線に金属をメッキしなからメ・７キ層
にダイヤモンド粒を取り込む方法が用いられている。こ
の電着方法によって製造されたダイヤモンドワイヤーの
断面図を第３図に示す。第３図において、１はワイヤー
、２はダイヤモンド粒、３は固定用の金属メッキ層であ
る。
一種である電着方法がとられている。具体的には、ダイ
ヤモンド粒を混在させたメッキ液の中にワイヤーである
ピアノ線とダイヤモンド粒の固定物となる金属（例えば
銅）を設置し、前記ピアノ線を巻き取りながら両者に電
界をかけ、ピアノ線に金属をメッキしなからメ・７キ層
にダイヤモンド粒を取り込む方法が用いられている。こ
の電着方法によって製造されたダイヤモンドワイヤーの
断面図を第３図に示す。第３図において、１はワイヤー
、２はダイヤモンド粒、３は固定用の金属メッキ層であ
る。
しかし、従来の電着方法によるダイヤモンドワイヤーの
製造方法では１例えば粒径１０μｍのダイヤモンド粒を
ワイヤーに固定する為には２メ。
製造方法では１例えば粒径１０μｍのダイヤモンド粒を
ワイヤーに固定する為には２メ。
キ層は粒径の２分の１すなわち５μｍ以上の厚みが必要
となる。これは２通常のメッキ速度、毎時１μｍからメ
ッキ液中に５時間以上浸せきしておく必要があり生産性
の面で問題があった。又、ダイヤモンド粒の固定強度が
弱い為、切断加工時にダイヤモンド粒が脱落し、寿命が
短いという欠点があった。そこで本発明は、従来のこの
ような問題点を解決し生産性のすぐれた。長寿命のダイ
ヤモンドワイヤーを製造する事を目的としている。
となる。これは２通常のメッキ速度、毎時１μｍからメ
ッキ液中に５時間以上浸せきしておく必要があり生産性
の面で問題があった。又、ダイヤモンド粒の固定強度が
弱い為、切断加工時にダイヤモンド粒が脱落し、寿命が
短いという欠点があった。そこで本発明は、従来のこの
ような問題点を解決し生産性のすぐれた。長寿命のダイ
ヤモンドワイヤーを製造する事を目的としている。
上記問題点を解決する為にこの発明は、プラズマＣＶＤ
法、熱ＣＶＤ法等の人工ダイヤモンドの気相合成方法を
用いて、ワイヤーとなるピアノ線に直接、ダイヤモンド
膜をコーティングするようにした。
法、熱ＣＶＤ法等の人工ダイヤモンドの気相合成方法を
用いて、ワイヤーとなるピアノ線に直接、ダイヤモンド
膜をコーティングするようにした。
上記の合成方法により、ワイヤーとなるピアノ線に直接
コーティングしたダイヤモンド膜は密着性に優れ、長時
間の切断加工に対しても脱落が少なく、長寿命化が可能
となる。又、気相合成におけるダイヤモンド膜の成長速
度は毎時５〜１０μｍと金属メッキ法の５〜１０倍の速
度の為、生産性の向上をも可能とする事が出来るのであ
る。
コーティングしたダイヤモンド膜は密着性に優れ、長時
間の切断加工に対しても脱落が少なく、長寿命化が可能
となる。又、気相合成におけるダイヤモンド膜の成長速
度は毎時５〜１０μｍと金属メッキ法の５〜１０倍の速
度の為、生産性の向上をも可能とする事が出来るのであ
る。
本発明のダイヤモンドワイヤーの製造方法として、マイ
クロ波プラズマＣＶＤ法による実施例を第１図に示す。
クロ波プラズマＣＶＤ法による実施例を第１図に示す。
第１図は特公昭５９−３０９８のマイクロ波プラズマ装
置にワイヤーの巻き取り装置を付加したものである。原
料ガスたとえば炭化水素と水素の混合ガスを供給しなが
ら石英反応管４を真空ポンプ５により換気を行い、所定
のガス圧力に設定後、２．４５ＧＨｚマイクロ波発振器
６によりマイクロ波を与えて、放電プラズマ７を発生さ
せる。ここで前記放電プラズマ７中に巻き取り装置８の
よりワイヤー１を設置１巻き取っていくとワイヤーの表
面にダイヤモンド膜をコーティングする事ができるので
ある。この製造方法により得られたダイヤモンドワイヤ
ー断面を第２図に示す。気相合成によるダイヤモンド膜
の成長速度は毎時５〜１０μｍであり、従来の電着方法
にくらべ５〜１０倍の生産性の向上が認められた。又。
置にワイヤーの巻き取り装置を付加したものである。原
料ガスたとえば炭化水素と水素の混合ガスを供給しなが
ら石英反応管４を真空ポンプ５により換気を行い、所定
のガス圧力に設定後、２．４５ＧＨｚマイクロ波発振器
６によりマイクロ波を与えて、放電プラズマ７を発生さ
せる。ここで前記放電プラズマ７中に巻き取り装置８の
よりワイヤー１を設置１巻き取っていくとワイヤーの表
面にダイヤモンド膜をコーティングする事ができるので
ある。この製造方法により得られたダイヤモンドワイヤ
ー断面を第２図に示す。気相合成によるダイヤモンド膜
の成長速度は毎時５〜１０μｍであり、従来の電着方法
にくらべ５〜１０倍の生産性の向上が認められた。又。
９９％アルミナセラミックス（厚み２ｍｍ）を用いて毎
分３００ｍ１の切断加工を行ったところ、４〜７回（平
均的には５回）の使用が可能であった。
分３００ｍ１の切断加工を行ったところ、４〜７回（平
均的には５回）の使用が可能であった。
同じ加工条件で、従来の電着方法によるダイヤモンドワ
イヤーを用いた場合は、切断加工中でのダイヤモンド粒
の脱落により、１〜３回（平均的には２回）の使用が限
界であった。人工ダイヤモンド膜の気相合成方法として
代表的なもう一つの方法である熱ＣＶＤ法により製造し
たダイヤモンドワイヤーにおいても同様の結果が得られ
る事は勿論である。
イヤーを用いた場合は、切断加工中でのダイヤモンド粒
の脱落により、１〜３回（平均的には２回）の使用が限
界であった。人工ダイヤモンド膜の気相合成方法として
代表的なもう一つの方法である熱ＣＶＤ法により製造し
たダイヤモンドワイヤーにおいても同様の結果が得られ
る事は勿論である。
以上、述べてきた様に本発明の、気相合成法でワイヤー
に直接ダイヤモンド膜をコーティングする製造方法によ
り得られたダイヤモンドワイヤーは、従来の電着方法に
より製造したものに較べ生産性の向上、長寿命化を可能
としたものである。
に直接ダイヤモンド膜をコーティングする製造方法によ
り得られたダイヤモンドワイヤーは、従来の電着方法に
より製造したものに較べ生産性の向上、長寿命化を可能
としたものである。
第１図は本発明によるマイクロ波プラズマＣＶＤ法によ
る製造装置の概略図であり、第２図は。 得られたダイヤモンドワイヤーの断面図、第３図は従来
の電着方法によるダイヤモンドワイヤーの断面図である
。 １・・・ワイヤー ２・・・ダイヤモンド ４・・・石英反応管 ６・・・マイクロ波発振器 ８・・・巻き取り装置 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 マイクロン皮フ゛ウス゛マＣ ヅＤｔｔ！／１４哩略図 第１： 本宛明１：、ｊ６′ｃｉイ”ｖｔレト ワイヤーの萌面図 弔２図 ］ も３図
る製造装置の概略図であり、第２図は。 得られたダイヤモンドワイヤーの断面図、第３図は従来
の電着方法によるダイヤモンドワイヤーの断面図である
。 １・・・ワイヤー ２・・・ダイヤモンド ４・・・石英反応管 ６・・・マイクロ波発振器 ８・・・巻き取り装置 以上 出願人 セイコー電子工業株式会社 マイクロン皮フ゛ウス゛マＣ ヅＤｔｔ！／１４哩略図 第１： 本宛明１：、ｊ６′ｃｉイ”ｖｔレト ワイヤーの萌面図 弔２図 ］ も３図
Claims (1)
- ワイヤーに人工ダイヤモンド膜を直接コーティングする
事を特徴とするダイヤモンドワイヤーの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3677187A JPS63207556A (ja) | 1987-02-19 | 1987-02-19 | ダイヤモンドワイヤ−の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3677187A JPS63207556A (ja) | 1987-02-19 | 1987-02-19 | ダイヤモンドワイヤ−の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63207556A true JPS63207556A (ja) | 1988-08-26 |
Family
ID=12479026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3677187A Pending JPS63207556A (ja) | 1987-02-19 | 1987-02-19 | ダイヤモンドワイヤ−の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS63207556A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03104555A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 単結晶インゴット切断用薄板ブレード |
| JP2007203417A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Nagasaki Univ | ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法、半導体インゴットの切断方法及びワイヤソー |
| CN107900927A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-04-13 | 郑州元素工具技术有限公司 | 环形超硬磨料线绳及其制作方法 |
-
1987
- 1987-02-19 JP JP3677187A patent/JPS63207556A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03104555A (ja) * | 1989-09-19 | 1991-05-01 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 単結晶インゴット切断用薄板ブレード |
| JP2007203417A (ja) * | 2006-02-02 | 2007-08-16 | Nagasaki Univ | ソーワイヤ、ソーワイヤの製造方法、半導体インゴットの切断方法及びワイヤソー |
| CN107900927A (zh) * | 2017-11-17 | 2018-04-13 | 郑州元素工具技术有限公司 | 环形超硬磨料线绳及其制作方法 |
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