JPH0351306B2 - - Google Patents
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- JPH0351306B2 JPH0351306B2 JP59209236A JP20923684A JPH0351306B2 JP H0351306 B2 JPH0351306 B2 JP H0351306B2 JP 59209236 A JP59209236 A JP 59209236A JP 20923684 A JP20923684 A JP 20923684A JP H0351306 B2 JPH0351306 B2 JP H0351306B2
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- JP
- Japan
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- chip
- output
- signal
- terminal
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/3185—Reconfiguring for testing, e.g. LSSD, partitioning
- G01R31/318505—Test of Modular systems, e.g. Wafers, MCM's
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/26—Testing of individual semiconductor devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/42—Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/47—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
- H01L2224/48—Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
- H01L2224/4805—Shape
- H01L2224/4809—Loop shape
- H01L2224/48091—Arched
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/13—Discrete devices, e.g. 3 terminal devices
- H01L2924/1304—Transistor
- H01L2924/1306—Field-effect transistor [FET]
- H01L2924/13091—Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor [MOSFET]
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/30—Technical effects
- H01L2924/301—Electrical effects
- H01L2924/3011—Impedance
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- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Testing Of Individual Semiconductor Devices (AREA)
- Tests Of Electronic Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は半導体チツプの上に半導体チツプを搭
載してなるChip on Chipの半導体装置に係り、
チツプ単体で、または両方のチツプを結線した後
の試験ができるようにした構成に関する。
載してなるChip on Chipの半導体装置に係り、
チツプ単体で、または両方のチツプを結線した後
の試験ができるようにした構成に関する。
大規模集積回路(LSI)の高機能化、高集積化
により、近年各種機能の回路を同一LSI内に構成
する場合が多くなつてきた。例えばCMOSと
TTL、またはアナログとCMOSのデイジタル、
さらにインタフエイス回路を設けてCMOSと
ECL等の構成を有するLSIの要求に対し、同一チ
ツプ内に構成することは困難である。無理をして
強行しても製造工程上、またその歩留りの上から
も極めて不利である。
により、近年各種機能の回路を同一LSI内に構成
する場合が多くなつてきた。例えばCMOSと
TTL、またはアナログとCMOSのデイジタル、
さらにインタフエイス回路を設けてCMOSと
ECL等の構成を有するLSIの要求に対し、同一チ
ツプ内に構成することは困難である。無理をして
強行しても製造工程上、またその歩留りの上から
も極めて不利である。
従つて回路機能別に独立のチツプを用いれば、
それぞれに最適なプロセスが適用でき、各機能毎
の特徴が生かせることになり、そのため2チツプ
よりなる、所謂Chip on ChipのLSIが検討され
るようになつた。
それぞれに最適なプロセスが適用でき、各機能毎
の特徴が生かせることになり、そのため2チツプ
よりなる、所謂Chip on ChipのLSIが検討され
るようになつた。
この場合LSIは、各チツプ単独で、および両チ
ツプ結線後の試験ができるような回路構成である
ことが望まれる。
ツプ結線後の試験ができるような回路構成である
ことが望まれる。
入力端子に入力バツフアとして、相補型金属−
酸化物−半導体(CMOS)構造のインバータが
接続される場合が多いが、この場合は片方のチツ
プ、例えば第1のチツプを単独で試験する際に、
入力がフローテイングになると、インバータと電
源端子(VDD)と接地端子(VSS)間に電流が流
れ、内部回路に論理的不定状態を伝播し、試験が
できなくなる。
酸化物−半導体(CMOS)構造のインバータが
接続される場合が多いが、この場合は片方のチツ
プ、例えば第1のチツプを単独で試験する際に、
入力がフローテイングになると、インバータと電
源端子(VDD)と接地端子(VSS)間に電流が流
れ、内部回路に論理的不定状態を伝播し、試験が
できなくなる。
またCMOSは基本的に電流を流さないため、
DC電流は1μA以下であるが、テスタに接続しな
いフローテイングの入力端子が増えると、過大電
流が流れて内部回路を破壊することがある。
DC電流は1μA以下であるが、テスタに接続しな
いフローテイングの入力端子が増えると、過大電
流が流れて内部回路を破壊することがある。
また片方のチツプ、例えば第1のチツプを単独
で試験する際に、第2のチツプが結線されていな
いため、この第1のチツプが正常に動作している
かどうかは分からない。即ち第1のチツプの出力
信号が正常に出ているかどうかは不明である。
で試験する際に、第2のチツプが結線されていな
いため、この第1のチツプが正常に動作している
かどうかは分からない。即ち第1のチツプの出力
信号が正常に出ているかどうかは不明である。
つぎにこれらの問題を解決するため第1のチツ
プにデータ選択回路を設け、第1のチツプ単独で
試験する際に、第1のチツプの出力信号を選択す
るためその制御端子の電位を固定してしまうと、
両チツプを結線後試験をする際には第2のチツプ
からの選択信号を第1のチツプの制御端子に伝え
ることはできなかつた。
プにデータ選択回路を設け、第1のチツプ単独で
試験する際に、第1のチツプの出力信号を選択す
るためその制御端子の電位を固定してしまうと、
両チツプを結線後試験をする際には第2のチツプ
からの選択信号を第1のチツプの制御端子に伝え
ることはできなかつた。
上記問題点の解決は、
(1) 2個の半導体チツプが結線されてなり、第2
のチツプへ送る第1のチツプの出力信号を出す
出力端子と、第2チツプよりくる第1チツプの
入力信号を受ける入力端子と、該出力信号と該
入力信号を選択するデータ選択回路とを第1の
チツプに設け、第1のチツプ単独時は、第1の
チツプの出力信号を選択して第1のチツプに戻
すことにより第1のチツプの出力信号を試験で
きるようにし、また両チツプ結線時は第1チツ
プの入力信号を選択してデータ選択回路の出力
より内部に送るようにした本発明による半導体
装置、 (2) 2個の半導体チツプが結線されてなり、第2
のチツプへ送る第1のチツプの出力信号を出す
出力端子と、第2チツプよりくる第1チツプの
入力信号を受ける入力端子と、該出力信号と該
入力信号を選択するデータ選択回路とを第1の
チツプに設け、第1のチツプ単独時は、第1の
チツプの出力信号を選択して第1のチツプに戻
すことにより第1のチツプの出力信号を試験で
きるようにし、また両チツプ結線時は第1チツ
プの入力信号を選択してデータ選択回路の出力
より内部に送るようにし、つぎに第1のチツプ
の該データ選択回路の制御端子と電源電位また
は接地電位間にインピーダンスを挿入して該制
御端子の電位を固定し、かつ該制御端子に接続
する出力端子と、該出力端子に出力を接続した
前記インピーダンスより低い出力インピーダン
スを有するドライバとを第2にチツプに設け、
第2のチツプよりの選択信号を第1のチツプに
伝えられるようにした本発明による半導体装
置、 により達成される。
のチツプへ送る第1のチツプの出力信号を出す
出力端子と、第2チツプよりくる第1チツプの
入力信号を受ける入力端子と、該出力信号と該
入力信号を選択するデータ選択回路とを第1の
チツプに設け、第1のチツプ単独時は、第1の
チツプの出力信号を選択して第1のチツプに戻
すことにより第1のチツプの出力信号を試験で
きるようにし、また両チツプ結線時は第1チツ
プの入力信号を選択してデータ選択回路の出力
より内部に送るようにした本発明による半導体
装置、 (2) 2個の半導体チツプが結線されてなり、第2
のチツプへ送る第1のチツプの出力信号を出す
出力端子と、第2チツプよりくる第1チツプの
入力信号を受ける入力端子と、該出力信号と該
入力信号を選択するデータ選択回路とを第1の
チツプに設け、第1のチツプ単独時は、第1の
チツプの出力信号を選択して第1のチツプに戻
すことにより第1のチツプの出力信号を試験で
きるようにし、また両チツプ結線時は第1チツ
プの入力信号を選択してデータ選択回路の出力
より内部に送るようにし、つぎに第1のチツプ
の該データ選択回路の制御端子と電源電位また
は接地電位間にインピーダンスを挿入して該制
御端子の電位を固定し、かつ該制御端子に接続
する出力端子と、該出力端子に出力を接続した
前記インピーダンスより低い出力インピーダン
スを有するドライバとを第2にチツプに設け、
第2のチツプよりの選択信号を第1のチツプに
伝えられるようにした本発明による半導体装
置、 により達成される。
入力端子にCMOSインバータの代わりにデー
タ選択回路を接続し、その制御端子に外部より制
御信号を与えて、チツプ単独の場合にはデータ選
択回路はこのチツプの出力信号を選んでチツプ内
に戻してダミー回路(接続される他方のチツプの
回路に相当する)に入れ、出力信号が正常に出て
いるかどうかを試験することができ、またこの場
合入力端子が開放になつても論理的に不定状態を
発生しない。
タ選択回路を接続し、その制御端子に外部より制
御信号を与えて、チツプ単独の場合にはデータ選
択回路はこのチツプの出力信号を選んでチツプ内
に戻してダミー回路(接続される他方のチツプの
回路に相当する)に入れ、出力信号が正常に出て
いるかどうかを試験することができ、またこの場
合入力端子が開放になつても論理的に不定状態を
発生しない。
つぎにチツプ単独の場合に、データ選択回路が
入力信号を選ぶため制御端子にプルアツプまたは
プルダウン抵抗を入れてその電位に固定してしま
つても、両チツプ結線時において前記プルアツプ
またはプルダウン抵抗より低い出力インピーダン
スを有する駆動力の大きいドライバで駆動するこ
とにより選択信号のレベルを変え、データ選択回
路が入力信号を選べるようにしたものである。
入力信号を選ぶため制御端子にプルアツプまたは
プルダウン抵抗を入れてその電位に固定してしま
つても、両チツプ結線時において前記プルアツプ
またはプルダウン抵抗より低い出力インピーダン
スを有する駆動力の大きいドライバで駆動するこ
とにより選択信号のレベルを変え、データ選択回
路が入力信号を選べるようにしたものである。
第1図は第1の発明によるChip on Chip LSI
の試験回路図である、 図において、2点鎖線より右側は第1のチツ
プ、左側は第2のチツプを示す。
の試験回路図である、 図において、2点鎖線より右側は第1のチツ
プ、左側は第2のチツプを示す。
第1のチツプの入力端子をI1、出力端子をO1、
制御端子をC1、データ選択回路をS1とし、第2
のチツプのそれらをI2,O2,C2,S2とする。
制御端子をC1、データ選択回路をS1とし、第2
のチツプのそれらをI2,O2,C2,S2とする。
各チツプのデータ選択回路は入力信号Iまたは
出力信号Oを選択する。ここでI,O,Cは端子
記号と同時に入力信号、出力信号、制御信号を表
す。
出力信号Oを選択する。ここでI,O,Cは端子
記号と同時に入力信号、出力信号、制御信号を表
す。
1チツプ時は、各チツプの制御信号Cをハイレ
ベル“H”にすると、データ選択回路Sは出力信
号Oを選択して出力し、これをダミー回路に入れ
て試験することにより、両チツプを結線しなくと
も各チツプの出力信号Oが正常に出ているかどう
かが分かる。
ベル“H”にすると、データ選択回路Sは出力信
号Oを選択して出力し、これをダミー回路に入れ
て試験することにより、両チツプを結線しなくと
も各チツプの出力信号Oが正常に出ているかどう
かが分かる。
両チツプ結線時は、各チツプの制御信号Cをロ
ウレベル“L”にすると、データ選択回路Sは入
力信号Iを選択して出力する。
ウレベル“L”にすると、データ選択回路Sは入
力信号Iを選択して出力する。
第2図は第2の発明によるChip on Chip LSI
の第1図に追加する部分を示す試験回路図であ
る。
の第1図に追加する部分を示す試験回路図であ
る。
図において、各チツプの制御端子CとVDD間に
挿入するインピーダンスとして、MΩ程度の高抵
抗のプルアツプ抵抗Rを挿入する。
挿入するインピーダンスとして、MΩ程度の高抵
抗のプルアツプ抵抗Rを挿入する。
またはRの代わりにゲート幅/ゲート長(W/
L)の小さい電界効果トランジスタ(FET)を
用いてもよい。
L)の小さい電界効果トランジスタ(FET)を
用いてもよい。
2チツプ結線時は、相手のチツプに設けられ
た、Rより低い出力インピーダンスをもつドライ
バDで駆動することにより、相手のチツプよりの
制御信号を、各チツプの制御端子Cに伝えること
ができる。即ち、プルアツプ抵抗Rにより“H”
に固定された各チツプの制御端子Cを、駆動力の
大きいドライバDにより“L”にして、入力信号
Iを内部に伝える。
た、Rより低い出力インピーダンスをもつドライ
バDで駆動することにより、相手のチツプよりの
制御信号を、各チツプの制御端子Cに伝えること
ができる。即ち、プルアツプ抵抗Rにより“H”
に固定された各チツプの制御端子Cを、駆動力の
大きいドライバDにより“L”にして、入力信号
Iを内部に伝える。
プルアツプ抵抗Rは拡散抵抗、多結晶珪素層を
用いた抵抗等が用いられるが、いまRの代わりに
FETを用いW/Lの値を、 プルアツプFET:W1/L1=5/50、 ドライバDのFET:W2/L2=50/5. とすれば、FETのβ値(伝達コンダクタンスgn
の電圧に依存しない因子)はW/Lに比例するの
で、ドライバDのFETのβ値はプルアツプFET
のそれの100倍となり、十分駆動ができることに
なる。
用いた抵抗等が用いられるが、いまRの代わりに
FETを用いW/Lの値を、 プルアツプFET:W1/L1=5/50、 ドライバDのFET:W2/L2=50/5. とすれば、FETのβ値(伝達コンダクタンスgn
の電圧に依存しない因子)はW/Lに比例するの
で、ドライバDのFETのβ値はプルアツプFET
のそれの100倍となり、十分駆動ができることに
なる。
第3図は本発明によるLSIに用いるデータ選択
回路の他の例を示す回路図である。
回路の他の例を示す回路図である。
この回路はトランスフアゲートを用いたスイツ
チによりデータ選択を行う。
チによりデータ選択を行う。
図において、pチヤネルFETとnチヤネル
FETを並列に接続してスイツチを構成し、FET
のゲートに制御信号Cによりスイツチの開閉を行
う。
FETを並列に接続してスイツチを構成し、FET
のゲートに制御信号Cによりスイツチの開閉を行
う。
このデータ選択回路の出力Sには、制御信号C
が“H”の場合は出力信号Oが選ばれ、制御信号
Cが“L”の場合は入力信号Iが選ばれる。
が“H”の場合は出力信号Oが選ばれ、制御信号
Cが“L”の場合は入力信号Iが選ばれる。
第4図は本発明によるLSIをパツケージに組込
んだ断面図である。
んだ断面図である。
図において、パツケージ8の上に第1のチツプ
1を搭載し、その上に第2のチツプ4をフエイス
アツプに載せ、パツド(ボンデイングするための
接続端子)3,5をワイヤ6でボンデイングして
両チツプを結線する。つぎに第1のチツプ1の周
辺のパツド2とパツケージ8にメタライズされた
内部リード9とをワイヤ7でボンデイングする。
内部リード9はパツケージの外部リード10に接
続されている。11はパツケージの蓋を示す。
1を搭載し、その上に第2のチツプ4をフエイス
アツプに載せ、パツド(ボンデイングするための
接続端子)3,5をワイヤ6でボンデイングして
両チツプを結線する。つぎに第1のチツプ1の周
辺のパツド2とパツケージ8にメタライズされた
内部リード9とをワイヤ7でボンデイングする。
内部リード9はパツケージの外部リード10に接
続されている。11はパツケージの蓋を示す。
実施例では両チツプの結線をボンデイングで行
つたが、バンプ(導電層の隆起部)、ビームリー
ドで行つてもよい。
つたが、バンプ(導電層の隆起部)、ビームリー
ドで行つてもよい。
以上説明したように本発明によれば、1チツプ
時は、両チツプを結線しなくとも、このチツプの
出力信号が正常に出ているかどうかが試験でき
る。また入力端子がフローテイングになつても、
内部回路に論理的不定状態を伝播しない。
時は、両チツプを結線しなくとも、このチツプの
出力信号が正常に出ているかどうかが試験でき
る。また入力端子がフローテイングになつても、
内部回路に論理的不定状態を伝播しない。
また両チツプ結線時は、相手のチツプよりの入
力信号を各チツプに伝えることができる。
力信号を各チツプに伝えることができる。
第1図は第1の発明によるChip on Chip LSI
の試験回路図、第2図は第1の発明によるChip
on Chip LSIの第1図に追加する部分を示す試験
回路図、第3図は本発明によるLSIに用いるデー
タ選択回路の他の例を示す回路図、第4図は本発
明によるLSIをパツケージに組込んだ断面図であ
る。 図において、Iは入力端子、または入力信号、
Oは出力端子、または出力信号、Cは制御端子、
または制御信号、Sはデータ選択回路、(以上の
記号に対する添字はチツプ番号を示す)、Rはプ
ルアツプ抵抗、1は第1のチツプ、2,3,5は
パツド、4は第2のチツプ、6,7はワイヤ、8
はパツケージ、9は内部リード、10は外部リー
ド、11は蓋を示す。
の試験回路図、第2図は第1の発明によるChip
on Chip LSIの第1図に追加する部分を示す試験
回路図、第3図は本発明によるLSIに用いるデー
タ選択回路の他の例を示す回路図、第4図は本発
明によるLSIをパツケージに組込んだ断面図であ
る。 図において、Iは入力端子、または入力信号、
Oは出力端子、または出力信号、Cは制御端子、
または制御信号、Sはデータ選択回路、(以上の
記号に対する添字はチツプ番号を示す)、Rはプ
ルアツプ抵抗、1は第1のチツプ、2,3,5は
パツド、4は第2のチツプ、6,7はワイヤ、8
はパツケージ、9は内部リード、10は外部リー
ド、11は蓋を示す。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 2個の半導体チツプが結線されてなり、第2
のチツプへ送る第1のチツプの出力信号を出す出
力端子と、第2チツプよりくる第1チツプの入力
信号を受ける入力端子と、該出力信号と該入力信
号を選択するデータ選択回路とを第1のチツプに
設け、第1のチツプ単独時は、第1のチツプの出
力信号を選択して第1のチツプに戻すことにより
第1のチツプの出力信号を試験できるようにし、
また両チツプ結線時は第1チツプの入力信号を選
択してデータ選択回路の出力より内部に送るよう
にしたことを特徴とする半導体装置。 2 2個の半導体チツプが結線されてなり、第2
のチツプへ送る第1のチツプの出力信号を出す出
力端子と、第2チツプよりくる第1チツプの入力
信号を受ける入力端子と、該出力信号と該入力信
号を選択するデータ選択回路とを第1のチツプに
設け、第1のチツプ単独時は、第1のチツプの出
力信号を選択して第1のチツプに戻すことにより
第1のチツプの出力信号を試験できるようにし、
また両チツプ結線時は第1チツプの入力信号を選
択してデータ選択回路の出力より内部に送るよう
にし、つぎに第1のチツプの該データ選択回路の
制御端子と電源電位または接地電位間にインピー
ダンスを挿入して該制御端子の電位を固定し、か
つ該制御端子に接続する出力端子と、該出力端子
に出力を接続した前記インピーダンスより低い出
力インピーダンスを有するドライバとを第2のチ
ツプに設け、第2のチツプよりの選択信号を第1
のチツプに伝えられるようにしたことを特徴とす
る半導体装置。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59209236A JPS6188538A (ja) | 1984-10-05 | 1984-10-05 | 半導体装置 |
US06/782,931 US4697095A (en) | 1984-10-05 | 1985-10-02 | Chip-on-chip semiconductor device having selectable terminal connections |
EP85112588A EP0180776B1 (en) | 1984-10-05 | 1985-10-04 | Chip-on-chip semiconductor device |
DE8585112588T DE3585309D1 (de) | 1984-10-05 | 1985-10-04 | "chip-on-chip" halbleitergeraet. |
KR1019850007311A KR900005148B1 (ko) | 1984-10-05 | 1985-10-04 | 칩온칩(chip-on-chip)반도체 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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