JPS58115372A - 半導体装置試験回路 - Google Patents

半導体装置試験回路

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JPS58115372A
JPS58115372A JP56214815A JP21481581A JPS58115372A JP S58115372 A JPS58115372 A JP S58115372A JP 56214815 A JP56214815 A JP 56214815A JP 21481581 A JP21481581 A JP 21481581A JP S58115372 A JPS58115372 A JP S58115372A
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semiconductor circuit
voltage
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勝彦 椛島
Yoshihiro Takemae
義博 竹前
Shigeki Nozaki
野崎 茂樹
Takeshi Ohira
大平 壮
Hatsuo Miyahara
宮原 初男
Masakazu Kanai
正和 金井
Seiji Emoto
荏本 省二
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (1)発明の技術分野 本発明は半導体装置試験回路、特にチ、!内に多種の半
導体回路を備えたIC(集積回路)の試験回路に関する
(2)技術の背景 ICは量産によって低コスト性、均一性を満足している
。従って、主たる半導体回路とオプシ。
ンとしての副たる半導体回路とがある場合には、これら
をまとめて−斉に量産してしまうのが得策である。そし
て、ユーザ毎に、例えばノ臂、ケージ前工程のワイヤが
ンディンダにより、前記オデシ1ンの半導体回路を活性
化又は非活性化し、ユーザの要求に応えるということが
行われている。−例を挙げるとミダイナミック形MIS
メモリ回路はりフレッシュカウンタと協働するのが普通
であるが、このダイナミ、り形メモリ回路を主半導体回
路、このリフレッシ凰カウンタを副半導体回路とすると
、ユーザによりては後者を不費とする場合も多い。そこ
で後者についてはオグシ璽ンとし、前記ワイヤがンディ
ングの有無により使い分けをしている。
ところで、ノ譬ツケージをし良後で、その製品が主・側
内用半導体回路なのか主半導体回路のみ彦のか全確認す
るための試験をする必要があ夛、いずれかに応じたマー
キング等をl ()4 yケージに付する。本発明はこ
のような確認試験の大めの試験回路について言及する。
(3)従来技術と問題点 従来、前記確認試験として、外部より所定0信号を与え
て実際に機能させ、その結果、第1機能が現われれば主
のみの半導体回路、第2機能が現われれば生・側内用の
半導体回路ということに々る。
ところが、後に述べ為ように、生・副の切)分けは、外
部電源につ攻がるピンに対し、副に係る半導体回路の電
源系も共通的に接続しているか又は接続していないかに
よって行われ、且つ副に優る半導体回路も活性化する場
合にはこれに固有のピンにその入力系を接続しておく必
要がある。このため、前記の機能試験を実行して、前記
第2機能が現われるべきことを期待しながら、結果とし
て第1機能しか現われなかったときは、前記電源系およ
び入力系の各ワイヤメンディングが、両方共析なのか、
いずれか一方だけ断々のか区別がつかず製品管理上不便
であるという問題があつ九。
(4)発明の目的 本発明は上記従来の問題点に鑑み、少なくとも前記副半
導体回路の電源系が前記外部電源用ビン、にワイヤがン
ディングされているか否かを確実に検査できる試験回路
を提案することである。
(5)発明の構成 上記目的を達成するために本発明は、ICteッケージ
の任意の1ピンとグランドレベル電圧(Vss)間にM
ISトランジスタとMISダイオードの直列回路を挿入
し、且つ該MISトランノスタのダートには副半導体回
路用の電源電圧を印加するようにし、前記1ピンから電
流を塩9出す際の電圧の高低(Vth又は2vth)に
よって、該副半導体−1路への電源の供給の有無を検出
するようにしたことを特徴とするものである。
(6)発明の実施例 以下図面に従って本発明を説明する。
第1図は・やツケーゾ前の半導体回路を図解的に表わし
た平面図である。本図において10はチップであり、そ
の上には先ず、第1半導体回路■(前述の主半導体回路
)と第2半導体回路■(前述の副半導体−1路)とが設
けられる。さらに電源用、入出力信号用としてのノ臂ツ
ド群A%MIVcc、Vcc牢。
vssが配設され、これら/4.ドはそれぞれ対応する
ピン(通常16本程度)にワイヤデンディングされる。
ただし、これらピンならびにワイヤボンディングの全て
は図示しない。
ここで注目すべきところは、パッドvecおよびvee
”である。ノフッドveaは、ノ々ツド■。からのグラ
ンドレベル電圧と共に第1半導体回路Iを駆動する第1
電源電圧の供給元であり、・フッドvee*は、パッド
■saからのグランドレベル電圧と共に第2半導体回路
■を駆動する第2を源電圧の供給元である。なお、ノぞ
ラドvceとパッドvec”は単一のピンを共用して外
部電源(図示せず)に接続する。ピンを有効に利用する
ためである。このピンは図中11で示され、ワイヤデン
ディングは12および13で示される。ワイヤデンディ
ング12は常設であるが、ワイヤデンディング13は、
既述のオグシ、ンに応じ断となることもある。なお、・
フッドvccおよびvee傘と対応する第1および第2
半導体回路への布線は記載を省略しである。
さて問題は、第1図のチップを・臂、ケージした後、ワ
イヤボンディング13の有無を如何に外部から判別する
かである。
第2図は本発明の試験回路の構成例とその位置付けを簡
略化して示す模式図である。本図において、参照番号2
0を付したブロックが本発明に係る試験回路であシ、そ
の他の部分は既に説明したとおりである。そして試験回
路20と・e、ドA1/4’ッドvec*およびノソッ
ドv、、との接続はそれぞれ新設のライン21.22お
よび23で行われる。
なお、・フッドAは、単に例示しただけで、他の任意の
・?ラドを用いることができる。
試験I回路20に注目すると、これはMIS )ランノ
スタ24とMISダイオード25の直列接続からなる。
MIS)ランソスタ24のダートにはライン22が接続
している。
第3A図は第2半導体回路りが活性化されている場合の
等価1i=IMを示す図であり、第3B図は第2半導体
回路■が活性化されていない場合の等価191路を示す
図である。もう一度確認しておくと、本発明の要点ハ、
第1図のワイヤデンディング13の有無を外部のピンを
通して電気的に検査することにある。ワイヤデンディン
グ13が有りのとき、パッドvee”(第1図)は活性
化され、 ライン22を通じてMI8 )ランジスタ2
4はオンとなる。これが第3A図の都側回路に当る。一
方、ワイヤデンディング13が無しのとき、ノやラドv
cck(第1図)は非活性であり、ライン22は第2半
導体回路の第2電源電圧をグランドレベル電圧にクラン
プする高抵抗等によってグランドレベル(V□)となり
、MISトランジスタ24のr−トレイルをグランドレ
ベル(V、 、 )とする。これが第3B図の等価回路
に当る。
かくして第3A図の等価回路が形成されているか、第3
B図の郷価回路が形成されているかによって、ワイヤデ
ンディング13(第1図)の有無が分る。第3A図の回
路モードと第3B図の回路モードの区別はパッドAより
見ることができる。
10実際には該パッドAにつながる外部ビン(第1図の
14参照)かな観察できる。なおピン14は通常は信号
入出力用ビンとして働くが、試験時は試験用ビンとして
機能する。
ここでピン14から電流分取り出すことにする。
15この電流が取り出せるためには、第3A図の回路モ
ードでは(ワイヤがンディング13有す)、ピン14に
、MISダイオード25の”th (スレッシ、ルド市
圧)f下まわる電圧を与えなければならない。つまり、
ピン14が−vthで電流を牛じれ2oば第3A図の沖
(路モードである。逆に、第3B図の回路モードでは(
ワイヤダンディング13無し)、ピン14に、MISダ
イオード25とMIS)ランジスタ24の各Vth分だ
け低いレベル(−2vth)にしたとき当該電流を得る
結局、ピン14に現われる電、圧の高低(vth又は2
■th)を検査するのみで簡単にワイヤデンディング1
3の有無が判別できる。なお、MISダイオード25は
、いわゆる逆流防止ダイオードとして機能し、通常の使
用時においてピン14が通常の入出力用ピンとして働く
とき、試験回路20側へのまわり込みがないようにする
。つまり、通常の入出力用信号は、第2図の74’ツド
Aよシ矢印の力へ分岐される。
(7)発明の詳細 な説明したように本発明によれば、ノ9ツケージ後にお
いて、第2半導体回路■へのワイヤデンディング13の
有無が確実に検査できる。
【図面の簡単な説明】
第1図はパッケージ前の半導体回路を図解的に表わした
平面図、第2図は本発明の試験回路の構成例とその位置
付けを簡略化して示す模式図、第3A図は第2半導体回
路■が活性化されている場合の都側回路を示す図、第3
B図は第2半導体回路■が活性化されていない場合の都
側回路ケチす図である。 11・・・ピン、12.13・・・ワイヤデンディング
、20・・・試験回路、24・・・MIS)ランノスタ
、25・・・MISダイオード、14・・・試験用ピン
、I・・・第1半導体回路、■・・・第2半導体回路。 特許用願人 富士通株式会社 特許用′a桟理人 弁理士 青 木   朗 弁理士西舘和之 弁理士内田幸男 弁理士 山 口 昭 之

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、第1電源電圧およびグランドレベル電圧で駆動され
    る第1半導体回路と、該第1電源電圧の11源と共通の
    外部電源に接続又は非接続の選択ができ、接続している
    場合に第2電源電圧の供給を受けて前記グランドレベル
    電圧と共に駆動されまた、非接続の場合に前記第2電源
    電圧を前記グランドレベル電圧とする第2半導体回路と
    を有する半導体装置に対し、前記第2半導体回路と前記
    外部電源との接続又は非接続を確認するための試験回路
    において、 装置の有する任意の1つのピンと前記グランドレベル電
    圧との関に挿入し、誼M1B )ランジスタのr−)に
    は前記第2電源電圧を印加し、ここに前記ピンよシミ流
    を取シ出す際に生ずる、該ピンに付与すべ龜電圧レベル
    の嵩低に応じて前記の接続又は非接続を蓚緒することを
    特徴とする半導体装置試験回路。
JP56214815A 1981-12-29 1981-12-29 半導体装置試験回路 Granted JPS58115372A (ja)

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Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6188538A (ja) * 1984-10-05 1986-05-06 Fujitsu Ltd 半導体装置
JPS6214399A (ja) * 1985-07-12 1987-01-22 Fujitsu Ltd 半導体記憶装置
US4970454A (en) * 1986-12-09 1990-11-13 Texas Instruments Incorporated Packaged semiconductor device with test circuits for determining fabrication parameters
US4853628A (en) * 1987-09-10 1989-08-01 Gazelle Microcircuits, Inc. Apparatus for measuring circuit parameters of a packaged semiconductor device
US5068599A (en) * 1989-10-23 1991-11-26 Texas Instruments Incorporated Integrated circuit having an enabling circuit for controlling primary and secondary subcircuits
US5077521A (en) * 1989-12-26 1991-12-31 Ncr Corporation Supply connection integrity monitor
US5254482A (en) * 1990-04-16 1993-10-19 National Semiconductor Corporation Ferroelectric capacitor test structure for chip die
JPH0743399B2 (ja) * 1990-08-15 1995-05-15 富士通株式会社 半導体回路
US5648730A (en) * 1994-11-30 1997-07-15 Texas Instruments Incorporated Large integrated circuit with modular probe structures
US5619461A (en) * 1995-07-28 1997-04-08 Micron Quantum Devices, Inc. Memory system having internal state monitoring circuit
US6005406A (en) * 1995-12-07 1999-12-21 International Business Machines Corporation Test device and method facilitating aggressive circuit design
US5712575A (en) * 1995-12-18 1998-01-27 Micron Technology, Inc. Super-voltage circuit with a fast reset
US5977763A (en) * 1996-02-27 1999-11-02 Micron Technology, Inc. Circuit and method for measuring and forcing an internal voltage of an integrated circuit
US6229296B1 (en) 1996-02-27 2001-05-08 Micron Technology, Inc. Circuit and method for measuring and forcing an internal voltage of an integrated circuit
US6946863B1 (en) 1998-02-27 2005-09-20 Micron Technology, Inc. Circuit and method for measuring and forcing an internal voltage of an integrated circuit
DE19828656A1 (de) * 1998-06-26 2000-03-02 Siemens Ag Integrierte Schaltung mit einer Kontaktierungsstelle zum Kontaktieren mit einem Bonddraht
US6492706B1 (en) 2000-12-13 2002-12-10 Cypress Semiconductor Corp. Programmable pin flag
HUP0501065A2 (en) 2002-03-27 2006-02-28 Adc Telecommunications Coupler for cable trough
CN100370268C (zh) * 2005-05-18 2008-02-20 黑龙江大学 晶体管测量仪

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5173856A (en) * 1974-11-19 1976-06-26 Texas Instruments Inc Hyojisochito kiiboodo no sosashutsuryokunikanshi tasunokoodokumiawaseojusuru denshikeisanki aruiha deijitarushorikichitsupu

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3851161A (en) * 1973-05-07 1974-11-26 Burroughs Corp Continuity network testing and fault isolating
US4241307A (en) * 1978-08-18 1980-12-23 International Business Machines Corporation Module interconnection testing scheme
DE2905294A1 (de) * 1979-02-12 1980-08-21 Philips Patentverwaltung Integrierte schaltungsanordnung in mos-technik mit feldeffekttransistoren
DE2905271A1 (de) * 1979-02-12 1980-08-21 Philips Patentverwaltung Integrierte schaltungsanordnung in mos-technik mit feldeffekttransistoren
DE2917126C2 (de) * 1979-04-27 1983-01-27 Philips Patentverwaltung Gmbh, 2000 Hamburg Verfahren zum Prüfen einer integrierten Schaltung und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
US4395767A (en) * 1981-04-20 1983-07-26 Control Data Corporation Interconnect fault detector for LSI logic chips

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5173856A (en) * 1974-11-19 1976-06-26 Texas Instruments Inc Hyojisochito kiiboodo no sosashutsuryokunikanshi tasunokoodokumiawaseojusuru denshikeisanki aruiha deijitarushorikichitsupu

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Publication number Publication date
US4550289A (en) 1985-10-29
IE53832B1 (en) 1989-03-15
IE823101L (en) 1983-06-29
EP0084260A1 (en) 1983-07-27
JPH0126511B2 (ja) 1989-05-24
EP0084260B1 (en) 1986-04-02
DE3270326D1 (en) 1986-05-07

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