JPS6094756A - 半導体装置 - Google Patents
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- JPS6094756A JPS6094756A JP58203117A JP20311783A JPS6094756A JP S6094756 A JPS6094756 A JP S6094756A JP 58203117 A JP58203117 A JP 58203117A JP 20311783 A JP20311783 A JP 20311783A JP S6094756 A JPS6094756 A JP S6094756A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は半導体装置に関し、特に高密度実装を可能とす
るパッケージング技術に係る。
るパッケージング技術に係る。
ICやLSI等の半導体装置は、集積回路が形成された
半導体チップを外囲器内にパッケジングした実装形態で
使用される。外囲器にはリードが具備されており、半導
体チップの表面に形成された集積回路の内部端子(ポン
ディングパッド)はボンディングワイヤを介して外囲器
内部で外囲器リードに接続され、外囲器リードによって
外囲器外に取出される。
半導体チップを外囲器内にパッケジングした実装形態で
使用される。外囲器にはリードが具備されており、半導
体チップの表面に形成された集積回路の内部端子(ポン
ディングパッド)はボンディングワイヤを介して外囲器
内部で外囲器リードに接続され、外囲器リードによって
外囲器外に取出される。
第1図(A>は従来の半導体装置に於りる上記パッケー
ジングの状態を示す説明図で、図中、1は外囲器基板、
2は外囲器リード、3は半導体チップ、4はポンディン
グパッド、5はボンディングワイヤである。
ジングの状態を示す説明図で、図中、1は外囲器基板、
2は外囲器リード、3は半導体チップ、4はポンディン
グパッド、5はボンディングワイヤである。
なお、ハイブリッドICの場合は、第1図(B)に示す
様に、機能素子及び配線が全く形成されていない半導体
チップ6でボンディングワイヤ75を中継したパッケー
ジングも行なわれている。
様に、機能素子及び配線が全く形成されていない半導体
チップ6でボンディングワイヤ75を中継したパッケー
ジングも行なわれている。
上記の様に、従来の半導体装置では外囲器の限られた面
積内に半導体チップを平面的に配謂収容していた為、一
つの外囲器内に収容し+8るチップ数には自ずと限度が
あった。従って、一つの外囲器内にパッケージングされ
る機能素子の密度を上げようとすれば、半導体チップ3
を大型化したり、チップ3内に於ける素子の微細化や高
密度化によって半導体チップ3自体の高集積化を図らざ
るを得なかった。
積内に半導体チップを平面的に配謂収容していた為、一
つの外囲器内に収容し+8るチップ数には自ずと限度が
あった。従って、一つの外囲器内にパッケージングされ
る機能素子の密度を上げようとすれば、半導体チップ3
を大型化したり、チップ3内に於ける素子の微細化や高
密度化によって半導体チップ3自体の高集積化を図らざ
るを得なかった。
本発明は上記事情に鑑みて為されたもので、半導体チッ
プの大型化やチップ内素子の微細化および高密度化に比
べれば、一つの外囲器内にパッケージングされる機能素
子の密度を容易に高めることが出来る半導体装置を提供
するものである。
プの大型化やチップ内素子の微細化および高密度化に比
べれば、一つの外囲器内にパッケージングされる機能素
子の密度を容易に高めることが出来る半導体装置を提供
するものである。
本発明による半導体装置は、リードを備えた外囲器内に
、機能素子が形成された複数の半導体チップを積層して
収容し、これら半導体チップの表面に形成されたポンデ
ィングパッド間をポンディングパッドを介して相互に接
続することにより所定の回路システムを構成すると共に
、該回路システムの入出力端子となるポンディングパッ
ドと前記外囲器リードとの間をボンディングワイヤを介
して接続したことを特徴とするものである。
、機能素子が形成された複数の半導体チップを積層して
収容し、これら半導体チップの表面に形成されたポンデ
ィングパッド間をポンディングパッドを介して相互に接
続することにより所定の回路システムを構成すると共に
、該回路システムの入出力端子となるポンディングパッ
ドと前記外囲器リードとの間をボンディングワイヤを介
して接続したことを特徴とするものである。
本発明では、従来と同じ外囲器面積上にI C1’)L
SIチップを複数個積層してパッケージングJるから、
チップに於()る集積度が従来と同じであっても、一つ
の外囲器内にパッケージングされる機能素子の密度を従
来の数倍に高めることが出来る。
SIチップを複数個積層してパッケージングJるから、
チップに於()る集積度が従来と同じであっても、一つ
の外囲器内にパッケージングされる機能素子の密度を従
来の数倍に高めることが出来る。
以下、第2図〜第4図を参照して本発明の詳細な説明す
る。
る。
第2図(A)は本発明の一実施例に成る半導体装置に於
いて、外囲器内に収容された半導体チップとそのワイヤ
ボンディングの状態を示す平面図であり、第2図(B)
は同図(Δ)の13−B線に沿う断面図である。これら
の図に於いて、11・・・は外囲器リードである。これ
らのリード11・・・を備えた外囲器内にはLSIチッ
プ20がマウン1−されている。該LSIチップ20の
土には別のLSIチップ30がエポキシ系ペースト剤に
にり積層固定され、更にその上にはもう一つ別のLSI
チップ40がエポキシ系ペースト剤により積層固定され
ている。LSIチップ20.30.40の表面には、夫
々ポンディングパッド21・・・、31・・・、41・
・・が形成されている。そして、これらポンディングパ
ッド間をボンディングワイヤ12・・・で接続すること
により、各LSIチップ20,30.40内に形成され
ている集積回路が有機的に結合され、より高次の回路シ
ステムが構成されている。そして、最下層のり、S I
チップ20に形成されたポンディングパッドは、上記回
路システムの入出力端子となっており、ボンディングワ
イヤ13を介して前記外囲器リード11に接続されてい
る。
いて、外囲器内に収容された半導体チップとそのワイヤ
ボンディングの状態を示す平面図であり、第2図(B)
は同図(Δ)の13−B線に沿う断面図である。これら
の図に於いて、11・・・は外囲器リードである。これ
らのリード11・・・を備えた外囲器内にはLSIチッ
プ20がマウン1−されている。該LSIチップ20の
土には別のLSIチップ30がエポキシ系ペースト剤に
にり積層固定され、更にその上にはもう一つ別のLSI
チップ40がエポキシ系ペースト剤により積層固定され
ている。LSIチップ20.30.40の表面には、夫
々ポンディングパッド21・・・、31・・・、41・
・・が形成されている。そして、これらポンディングパ
ッド間をボンディングワイヤ12・・・で接続すること
により、各LSIチップ20,30.40内に形成され
ている集積回路が有機的に結合され、より高次の回路シ
ステムが構成されている。そして、最下層のり、S I
チップ20に形成されたポンディングパッドは、上記回
路システムの入出力端子となっており、ボンディングワ
イヤ13を介して前記外囲器リード11に接続されてい
る。
上記実施例の半導体装置によれば、従来と同じ一つの外
囲器に3個のLSIチップが積層して収容されているか
ら、従来半導体装置に比べればLSIチップの集積度が
数倍増大したのと同じ効果が得られる。また、ボンディ
ング用の配線パッドを多数取れることから、セミカスタ
ム品として低コスト化を図る上でも有利である。
囲器に3個のLSIチップが積層して収容されているか
ら、従来半導体装置に比べればLSIチップの集積度が
数倍増大したのと同じ効果が得られる。また、ボンディ
ング用の配線パッドを多数取れることから、セミカスタ
ム品として低コスト化を図る上でも有利である。
5−
第3図は本発明の他の実施例を示で”断面図である。こ
の実施例では、4個のLSIデツプ20゜30.40.
50が積層して外囲器内に収容されており、外囲器リー
ド11は2層目のLSIチップ30及び3層目のLSI
チップ40に接続されている。この実施例に示す様に、
積層されるL SIチップは何個でも良く、また2層目
や3層目のLSIチップ表面に形成されたポンディング
パッドを回路システムの入出力端子として外囲器リード
に接続しても良い。
の実施例では、4個のLSIデツプ20゜30.40.
50が積層して外囲器内に収容されており、外囲器リー
ド11は2層目のLSIチップ30及び3層目のLSI
チップ40に接続されている。この実施例に示す様に、
積層されるL SIチップは何個でも良く、また2層目
や3層目のLSIチップ表面に形成されたポンディング
パッドを回路システムの入出力端子として外囲器リード
に接続しても良い。
以上詳述した様に、本発明の半導体装置によれば半導体
チップの大型化やチップ内素子の微細化といった困難な
手段に拠らなくても、一つの外囲器内にパッケージング
される機能素子の密度を容易に高めることが出来る等、
顕著な効果が得られるものである。
チップの大型化やチップ内素子の微細化といった困難な
手段に拠らなくても、一つの外囲器内にパッケージング
される機能素子の密度を容易に高めることが出来る等、
顕著な効果が得られるものである。
第1図(A)(B)は夫々従来の半導体装置のパッケー
ジング状態を示す説明図、第2図(A>6− は本発明の一実施例に成る半導体装置に於いて、外囲器
内に収容された半導体チップとそのワイヤボンディング
の状態を示す平面図、第2図(B)は同図(A)のB−
B線に沿う断面図、第3図は本発明の伯の実施例を示す
断面図である。 11・・・外囲器リード、12.13・・・ボンディン
グワイヤ、20.30.40.50・・・LSIチップ
、21,31.41・・・ポンディングパッド。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 7−
ジング状態を示す説明図、第2図(A>6− は本発明の一実施例に成る半導体装置に於いて、外囲器
内に収容された半導体チップとそのワイヤボンディング
の状態を示す平面図、第2図(B)は同図(A)のB−
B線に沿う断面図、第3図は本発明の伯の実施例を示す
断面図である。 11・・・外囲器リード、12.13・・・ボンディン
グワイヤ、20.30.40.50・・・LSIチップ
、21,31.41・・・ポンディングパッド。 出願人代理人 弁理士 鈴江武彦 7−
Claims (1)
- リードを備えた外囲器内に、機能素子が形成された複数
の半導体チップを積層して収容し、これら半導体チップ
の表面に形成されたポンディングパッド間をボンディン
グワイX7を介して相互に接続することにより所定の回
路システムを構成すると共に、該回路システムの入出力
端子となるポンディングパッドと前記外囲器リードとの
間をボンディングワイA7を介して接続したことを特徴
とする半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58203117A JPS6094756A (ja) | 1983-10-29 | 1983-10-29 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58203117A JPS6094756A (ja) | 1983-10-29 | 1983-10-29 | 半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6094756A true JPS6094756A (ja) | 1985-05-27 |
Family
ID=16468678
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58203117A Pending JPS6094756A (ja) | 1983-10-29 | 1983-10-29 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6094756A (ja) |
Cited By (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4697095A (en) * | 1984-10-05 | 1987-09-29 | Fujitsu Limited | Chip-on-chip semiconductor device having selectable terminal connections |
EP0268249A2 (de) * | 1986-11-17 | 1988-05-25 | Siemens Aktiengesellschaft | Leistungs-MOSFET mit Stromerfassung |
JPH03116860A (ja) * | 1989-09-29 | 1991-05-17 | Hitachi Ltd | 半導体装置 |
US6096576A (en) * | 1997-09-02 | 2000-08-01 | Silicon Light Machines | Method of producing an electrical interface to an integrated circuit device having high density I/O count |
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KR20020075486A (ko) * | 2001-03-24 | 2002-10-05 | 동부전자 주식회사 | 반도체용 멀티 칩 패키지 |
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US7046420B1 (en) | 2003-02-28 | 2006-05-16 | Silicon Light Machines Corporation | MEM micro-structures and methods of making the same |
KR100610170B1 (ko) | 1999-10-19 | 2006-08-09 | 후지쯔 가부시끼가이샤 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
-
1983
- 1983-10-29 JP JP58203117A patent/JPS6094756A/ja active Pending
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