JPH02125331U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02125331U JPH02125331U JP3421989U JP3421989U JPH02125331U JP H02125331 U JPH02125331 U JP H02125331U JP 3421989 U JP3421989 U JP 3421989U JP 3421989 U JP3421989 U JP 3421989U JP H02125331 U JPH02125331 U JP H02125331U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust means
- plasma generation
- chamber
- electromagnetic coil
- generation chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の一実施例を示すマイクロ波プ
ラズマ処理装置の概略縦断面図、第２図は従来の
マイクロ波プラズマ処理装置の概略縦断面図であ
る。 １……プラズマ生成室、２……第１の電磁コイ
ル、３……処理室、４……試料、５０……第２の
電磁コイル、６０……主排気手段、７０……副排
気手段。
ラズマ処理装置の概略縦断面図、第２図は従来の
マイクロ波プラズマ処理装置の概略縦断面図であ
る。 １……プラズマ生成室、２……第１の電磁コイ
ル、３……処理室、４……試料、５０……第２の
電磁コイル、６０……主排気手段、７０……副排
気手段。
Claims (1)
- 電子サイクロトロン共鳴を利用してプラズマを
発生するプラズマ生成室と、前記プラズマ生成室
内に電子サイクロトロン共鳴条件を与える磁場を
形成する第１の電磁コイルと、前記プラズマ生成
室に連通して設けられた試料の処理を行う処理室
と、ミラー磁場を形成する第２の電磁コイルと、
前記プラズマ生成室及び処理室を排気する排気手
段とが各々同軸上に配設されたマイクロ波プラズ
マ処理装置において、前記処理室の排気口と異な
る位置に主排気手段を設け、前記排気手段を前記
主排気手段のバイパス路とし、かつ前記主排気手
段の排気管口径よりも小さくした副排気手段とし
、前記第２の電磁コイルを前記副排気手段の排気
管の外周に設けたマイクロ波プラズマ処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3421989U JPH02125331U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3421989U JPH02125331U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02125331U true JPH02125331U (ja) | 1990-10-16 |
Family
ID=31538498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3421989U Pending JPH02125331U (ja) | 1989-03-24 | 1989-03-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02125331U (ja) |
-
1989
- 1989-03-24 JP JP3421989U patent/JPH02125331U/ja active Pending
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