JPS62184733U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS62184733U JPS62184733U JP7294486U JP7294486U JPS62184733U JP S62184733 U JPS62184733 U JP S62184733U JP 7294486 U JP7294486 U JP 7294486U JP 7294486 U JP7294486 U JP 7294486U JP S62184733 U JPS62184733 U JP S62184733U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- opening
- chamber
- cvd apparatus
- cyclotron resonance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims 1
Description
第1図は本考案実施例のECRプラズマCVD
装置の断面模式図、第3図は従来の磁界強度プロ
フアイル、第2図は本考案の磁界強度プロフアイ
ルである。 1…試料台、2…ウエハ、4…プラズマ室、5
…デポジシヨン室、8…コイル、9…開口。
装置の断面模式図、第3図は従来の磁界強度プロ
フアイル、第2図は本考案の磁界強度プロフアイ
ルである。 1…試料台、2…ウエハ、4…プラズマ室、5
…デポジシヨン室、8…コイル、9…開口。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 供給されるガスをプラズマ化するプラズマ室と
、このプラズマ室と鉛直方向の開口を介してつな
がつたデポジシヨン室とを有する電子サイクロト
ロン共鳴プラズマCVD装置において、 磁界強度を前記開口と対向する前記プラズマ室
の端部から前記開口に向つて常に単調に減少させ
ることを特徴とする電子サイクロトロン共鳴プラ
ズマCVD装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7294486U JPS62184733U (ja) | 1986-05-15 | 1986-05-15 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7294486U JPS62184733U (ja) | 1986-05-15 | 1986-05-15 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62184733U true JPS62184733U (ja) | 1987-11-24 |
Family
ID=30916838
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7294486U Pending JPS62184733U (ja) | 1986-05-15 | 1986-05-15 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62184733U (ja) |
-
1986
- 1986-05-15 JP JP7294486U patent/JPS62184733U/ja active Pending