JPH022829U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH022829U JPH022829U JP8120588U JP8120588U JPH022829U JP H022829 U JPH022829 U JP H022829U JP 8120588 U JP8120588 U JP 8120588U JP 8120588 U JP8120588 U JP 8120588U JP H022829 U JPH022829 U JP H022829U
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- JP
- Japan
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- gas
- plasma
- opening
- deposition chamber
- chamber
- Prior art date
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- Pending
Links
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000005268 plasma chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
第1図は本考案実施例のECRプラズマCVD
装置の断面模式図、第2図はガス供給部の側面図
、第3図は第2図におけるA―A線断面図である
。 4……プラズマ室、5……デポジシヨン室、9
……開口、10……ガス供給部、11……小孔、
12……絶縁材、13……加熱手段。
装置の断面模式図、第2図はガス供給部の側面図
、第3図は第2図におけるA―A線断面図である
。 4……プラズマ室、5……デポジシヨン室、9
……開口、10……ガス供給部、11……小孔、
12……絶縁材、13……加熱手段。
Claims (1)
- プラズマが生成されるプラズマ室と、このプラ
ズマ室と開口を介して連つたデポジシヨン室と、
このデポジシヨン室側の開口近傍に設けられSi
H4ガスまたはSi2H6ガスを供給するガス供
給部と、このガス供給部を介して前記開口と対向
するように前記デポジシヨン室に配置された試料
台と、前記ガス供給部に配備され前記SiH4ガ
スまたはSi2H6ガスを加熱する加熱手段と、
から成る電子サイクロトロン共鳴プラズマCVD
装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8120588U JPH022829U (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP8120588U JPH022829U (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH022829U true JPH022829U (ja) | 1990-01-10 |
Family
ID=31305999
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP8120588U Pending JPH022829U (ja) | 1988-06-20 | 1988-06-20 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH022829U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04198480A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-17 | Canon Inc | 機能性堆積膜製造装置 |
-
1988
- 1988-06-20 JP JP8120588U patent/JPH022829U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04198480A (ja) * | 1990-11-29 | 1992-07-17 | Canon Inc | 機能性堆積膜製造装置 |