JPS6418727U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6418727U JPS6418727U JP11444187U JP11444187U JPS6418727U JP S6418727 U JPS6418727 U JP S6418727U JP 11444187 U JP11444187 U JP 11444187U JP 11444187 U JP11444187 U JP 11444187U JP S6418727 U JPS6418727 U JP S6418727U
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- sample
- extraction window
- supply pipe
- gas supply
- Prior art date
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- Pending
Links
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 3
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案装置の縦断面図、第２図は本考
案装置と縦来装置との膜厚分布の比較試験結果を
示すグラフ、第３図は従来装置の縦断面図である
。 １……プラズマ生成室、２……導波管、３……
反応室、４……励磁コイル、７……試料台、８…
…環状ガス供給管、８ａ……供給系、Ｓ……試料
。
案装置と縦来装置との膜厚分布の比較試験結果を
示すグラフ、第３図は従来装置の縦断面図である
。 １……プラズマ生成室、２……導波管、３……
反応室、４……励磁コイル、７……試料台、８…
…環状ガス供給管、８ａ……供給系、Ｓ……試料
。
Claims (1)
- プラズマ生成室内で電子サイクロトロン共鳴励
起により生成され、プラズマ引出窓を通じて試料
室内の試料台付近に導入されるプラズマ流の周囲
に、原料ガスを吹き出す環状のガス供給管を配設
したプラズマ装置において、前記ガス供給管は前
記プラズマ引出窓と同心状に位置し、試料台の試
料載置面と同一平面上、又は試料載置面に対して
前記プラズマ引出窓と反対側に配設したことを特
徴とするプラズマ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11444187U JPS6418727U (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11444187U JPS6418727U (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6418727U true JPS6418727U (ja) | 1989-01-30 |
Family
ID=31355194
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11444187U Pending JPS6418727U (ja) | 1987-07-24 | 1987-07-24 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6418727U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200030110A (ko) * | 2017-08-10 | 2020-03-19 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 탄소 화합물들의 증착 또는 처리를 위한 마이크로파 반응기 |
-
1987
- 1987-07-24 JP JP11444187U patent/JPS6418727U/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20200030110A (ko) * | 2017-08-10 | 2020-03-19 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 탄소 화합물들의 증착 또는 처리를 위한 마이크로파 반응기 |
| CN111066120A (zh) * | 2017-08-10 | 2020-04-24 | 应用材料公司 | 用于沉积或处理碳化合物的微波反应器 |
| JP2020530660A (ja) * | 2017-08-10 | 2020-10-22 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | 炭素化合物の堆積及び処理のためのマイクロ波リアクタ |