JPH0345633U - - Google Patents
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- JPH0345633U JPH0345633U JP10541589U JP10541589U JPH0345633U JP H0345633 U JPH0345633 U JP H0345633U JP 10541589 U JP10541589 U JP 10541589U JP 10541589 U JP10541589 U JP 10541589U JP H0345633 U JPH0345633 U JP H0345633U
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- JP
- Japan
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- waveguide
- magnetron
- tip
- magnetic field
- microwaves
- Prior art date
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- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
第１図は本考案の実施例を示すプラズマエツチ
ング装置の構成図、第２図は従来のプラズマエツ
チング装置の構成図である。 １１……マグネトロン、１２……導波管、１２
ａ……テーパ部、１２ｂ……円筒部、１３……石
英チヤンバ、１４……電磁コイル、１５……試料
、１６……石英ガラス、１７……Ｏリング、１８
……電極、１９……高周波電源、２０……排気管
、２１……バルブ、２２……真空排気ポンプ。
ング装置の構成図、第２図は従来のプラズマエツ
チング装置の構成図である。 １１……マグネトロン、１２……導波管、１２
ａ……テーパ部、１２ｂ……円筒部、１３……石
英チヤンバ、１４……電磁コイル、１５……試料
、１６……石英ガラス、１７……Ｏリング、１８
……電極、１９……高周波電源、２０……排気管
、２１……バルブ、２２……真空排気ポンプ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 マイクロ波と磁場を用いてプラズマを発生させ
るプラズマエツチング装置において、 (a) マグネトロンと、 (b) 該マグネトロンからのマイクロ波を導く導
波管と、 (c) 該導波管の先端部の外周に設けられ、磁場
を作り出す電磁コイルと、 (d) 前記導波管の先端部の内部に設けられるエ
ツチングチヤンバと、 (d) 前記導波管内を排気して真空状態に保つ排
気手段とを設けるようにしたことを特徴とするプ
ラズマエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10541589U JPH0345633U (ja) | 1989-09-11 | 1989-09-11 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10541589U JPH0345633U (ja) | 1989-09-11 | 1989-09-11 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0345633U true JPH0345633U (ja) | 1991-04-26 |
Family
ID=31654177
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10541589U Pending JPH0345633U (ja) | 1989-09-11 | 1989-09-11 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0345633U (ja) |
-
1989
- 1989-09-11 JP JP10541589U patent/JPH0345633U/ja active Pending
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