JPS63164218U - - Google Patents

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JPS63164218U
JPS63164218U JP15788486U JP15788486U JPS63164218U JP S63164218 U JPS63164218 U JP S63164218U JP 15788486 U JP15788486 U JP 15788486U JP 15788486 U JP15788486 U JP 15788486U JP S63164218 U JPS63164218 U JP S63164218U
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JP
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chamber
plasma reaction
reaction processing
microwave
microwave plasma
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JP15788486U
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Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案に係るマイクロ波プラズマ反応
処理装置の全体図、第２図は同軸ケーブルの断面
図、第３図は別実施例に係る装置の全体図、第４
図はＴＶカメラ取り付け部の拡大図、第５図は従
来装置の全体図である。 尚、図面中２はケース、３はチヤンバー、７は
テーブル、８はマイクロ波発振器、９は可撓性同
軸ケーブル、１５はアンテナ、Ｗは被処理体であ
る。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 発振器にて発生したマイクロ波をチヤンバ
    ー内に伝送し、チヤンバー内に導入した処理ガス
    をプラズマ化して被処理体を処理するようにした
    マイクロ波プラズマ反応処理装置において、前記
    マイクロ波に先端部にアンテナを備えた可撓性同
    軸ケーブルにて伝送されることを特徴とするマイ
    クロ波プラズマ反応処理装置。 (2) 前記チヤンバーの周囲には磁場発生用コイ
    ルが配設されていることを特徴とする実用新案登
    録請求の範囲第１項記載のマイクロ波プラズマ反
    応処理装置。
JP15788486U 1986-10-15 1986-10-15 Pending JPS63164218U (ja)

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JP15788486U JPS63164218U (ja) 1986-10-15 1986-10-15

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JP15788486U JPS63164218U (ja) 1986-10-15 1986-10-15

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JPS63164218U true JPS63164218U (ja) 1988-10-26

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JP15788486U Pending JPS63164218U (ja) 1986-10-15 1986-10-15

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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51101243A (ja) * 1975-03-04 1976-09-07 Matsushita Electric Ind Co Ltd Koshuhakanetsusochi
JPS5696842A (en) * 1979-12-28 1981-08-05 Fujitsu Ltd Microwave plasma treating apparatus
JPS60124823A (ja) * 1983-12-09 1985-07-03 Hitachi Ltd エツチング・モニタ方法
JPS60232702A (ja) * 1984-05-02 1985-11-19 Nippon Soken Inc マイクロ波プロ−ブ
JPS61168921A (ja) * 1985-01-23 1986-07-30 Hitachi Ltd マイクロ波処理装置
JPS62291922A (ja) * 1986-06-12 1987-12-18 Canon Inc プラズマ処理装置

Patent Citations (6)

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