JPH01164264A - 電圧増倍器集積回路と整流器素子 - Google Patents

電圧増倍器集積回路と整流器素子

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JPH01164264A
JPH01164264A JP63285924A JP28592488A JPH01164264A JP H01164264 A JPH01164264 A JP H01164264A JP 63285924 A JP63285924 A JP 63285924A JP 28592488 A JP28592488 A JP 28592488A JP H01164264 A JPH01164264 A JP H01164264A
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    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は整流器素子の直列接続に接続された高電圧出力
を具える集積電圧増倍器回路であって、その各々が第1
電界効果トランジスタと、高電圧出力と電源端子との間
に接続されている電荷蓄積用バッファキャパシタンスを
具え、近傍の素子の各ペアーの接合点は他の側にクロッ
ク信号が印加されているブースターキャパシタンスの片
側に接続され、従って1つの整流器素子の各側に接続さ
れた2つのブースターキャパシタンスが相互に反対極性
のクロック信号を受信するものである。
本発明はまたそのような電圧増倍器回路の使用に適した
整流器素子にも関連している。
この種の電圧増倍器回路は、例えばl[EEε固態回路
(IBEB 5olid*5tate C1rcuit
)、5C−11(3)、1976年6月、頁375から
既知であり、そしてなかんずく非揮発性の電気的プログ
ラム可能なメモリおよび消去可能なメモリに使用されて
いる。
負出力電圧を発生する通常の電圧増倍器回路はダイオー
ドとして接続され、かつPウェルプロセスで実現されて
いるPMO3)ランジスタの直列接続を具え、上記の直
列接続は低い供給電圧Vss (大地)を伝える点にカ
ソード側で接続されており、かつアノード側では高いプ
ログラミング電圧を供給するバッファキャパシタンスを
持つ出力を具えている。バッファキャパシタンスは出力
と高い供給電圧V、[]の間に接続されている。これら
のトランジスタが埋め込まれている基板はN型のもので
あり、かつトランジスタから基板への電荷キャリアの注
入を赴けるために、高い供給電圧(VI]o) に結合
されている。近傍ダイオードの各ペアーの接合点は各ブ
ースターキャパシタンスを介して第1クロンクラインあ
るいは第2クロックラインのいずれかに接続され、その
タロツクラインは論理的に相補なりロック信号を伝えて
いる。種々のブースターキャパシタンスは反対符号のク
ロック信号を交互に受信している。クロック信号の符号
が周期的に変化するから、ダイオードは交互に導通とブ
ロックになり、電荷が導通ダイオードを介して1つのブ
ースターキャパシタンスから他のブースターキャパシタ
ンスに転送されている。
ブースターキャパシタンスあるいはバッファキャパシタ
ンス上の電圧が電荷の転送によりさらに負となるから、
関連キャパシタンスに接続されており、かつダイオード
として接続されているトランジスタのしきい値電圧、は
いわゆるバックゲートバイアス効果(back−gat
e bias effect)  により増大すること
は通常の電圧増倍器回路の欠点である。その結果、整流
器素子を通ってポンプされる電荷とクロック信号により
潜在的に転送される電荷の比は減少される。ユニットす
なわちブースターキャパシタンスと整流器素子の有効性
は減少する。この点に関して、ダブリユウ・カル(W、
 Carr)とジエー・マイズ(J、 Mize)のr
MO3/LSI設計と応用(MO3/LSI Desi
gn and Application) J 、−y
タロヒル(McGraw−Hill) 、1972年、
頁56−57が参照されている。
電圧増倍器回路の出力電圧のレベルはこの効果によって
制限されている。ダイオードを介すバッファキャパシタ
ンスから次のブースターキャパシタンスへの電荷の転送
は、クロックライン間の電圧スイングがダイオードのカ
ソード上の電圧以上にダイオードのアノードの電圧を1
しきい値電圧だけ上昇するのに小さ過ぎる場合にストッ
プする。
高い負出力電圧を得るために、大きな電圧スイング、従
って高い供給電圧が必要とされよう。
ダイオードとして接続されかつPウェルプロセスによっ
て実現された8MO3)ランジスタによるPMO5)ラ
ンジスタの置き換えは、他の種類の問題を導く。トラン
ジスタのPウェル接触はダイオードのアノード側に接続
され、従って、カソード、Pウェルおよび基板は、基板
から電流を引き出す寄生npn  )ランジスタのエミ
ッタ、ベースおよびコレクタをそれぞれ形成する。例え
ば、公開第WO34102607号である国際特許出願
第PCT/US 83101977号はこの問題の解決
法を開示し、これはすべてのウェルを十分低い負電圧に
維持する補助電圧増倍器を含んでいる。しかしこの補助
増倍器は追加の基板表面面積を必要とし、電力消費を増
大し、生起する寄生トランジスタの効果を減少するため
に追加のステップを必要とする。
上述の考察はPウェルプロセスの8MO3)ランジスタ
により高い正出力電圧を達成する通常の電圧増倍器回路
およびNウェルプロセスのPMO3)ランジスタにより
実現された電圧増倍器回路でよ(維持されている。
本発明の目的はさらに効果的な電圧増倍を組み込んだ電
圧増倍器回路を与えることであり、ここで出力電圧はバ
ックゲートバイアス効果あるいは供給電圧のレベルによ
って制限されず、かつ寄生バイポーラトランジスタの導
通を避けることである。
このことを達成するために、本発明による電圧増倍器回
路は、基板上の素子の電界効果トランジスタが基板の導
電率以外の導電率タイプの異なる領域で実現され、回路
の高電圧側に位置している少なくとも整流器素子が各ス
イッチング手段を具え、該スイッチング手段が片側の電
界効果トランジスタおよび他の側の領域の内部ダイオー
ドであってソースとドレインそれぞれの間のp−n接合
によって電界効果トランジスタ中に形成されているもの
を電界効果トランジスタの導通状態のソースあるいはブ
ロック状態のドレインのいずれかに接続し、従って内部
ダイオードがブロックされたままであることを特徴とし
ている。この領域が後者の導通状態の電界効果トランジ
スタに接続されている場合、バックゲートバイアス電圧
は零にどXoまっている。この領域が後者のブロックさ
れた状態の電界効果トランジスタのドレインに接続され
ている場合、そのコレクタ、ベースおよびエミッタが基
板、ウェルおよびドレインによってそれぞれ形成されて
いる寄生バイポーラトランジスタは導通にはならないで
あろう。
本発明による電圧増倍器回路の一実施例は、第1電界効
果トランジスタのスイッチング手段が第1電界効果トラ
ンジスタと同じ導電率タイプでありかつ第1電界効果ト
ランジスタの領域に結合されている各領域で実現されて
いる第2および第3電界効果トランジスタを具え、第2
および第3電界効果トランジスタのソースが第1電界効
果トランジスタのソースおよびドレインにそれぞれ接続
され、第2および第3電界効果トランジスタの制御電極
が第1電界効果トランジスタのドレインとソースにそれ
ぞれ結合され、第2および第3電界効果トランジスタの
ドレインが相互接続領域に接続されていることを特徴と
している。第2および第3トランジスタの形をしたスイ
ッチング手段は小型構造を有しており、追加の制御信号
によって駆動される必要は無い。そのような構造は高い
負電圧の発生に適しているPウェルの8MO3)ランジ
スタを具えている。PMO3)ランジスタによって構成
された電圧増倍器は高い正電圧の発生に適している。
本発明による電圧増倍器回路の別の実施例は、電圧増倍
器回路が相互に位相シフトした各クロック信号を各ブー
スターキャパシタンスに印加する多重位相クロック信号
発生器を具え、関連ブースターキャパシタンスを介して
第1電界効果トランジスタのソースに印加されたクロッ
ク信号が、次のブースターキパシタンスを介して第1電
界効果トランジスタのドレインに印加された相補クロッ
ク信号よりも早く変化することを特徴としている。第1
トランジスタにわたる電圧がしきい値電圧より小さいと
、この領域は第1トランジスタの主電極から分離してい
る。しかし、この領域はウェルの接合キャパシタンスが
充電されていると言う理由で分離した瞬間に有していた
電圧を維持している。
関連ブースターキパシタンスを介して上記の主電極に位
相シフトした相補クロック信号を印加することにより、
第1トランジスタのドレイン上の電圧が減少あるいは増
大する前にソース上の電圧がそれぞれ上昇あるいは減少
する場合、そのコレクタ、ベースおよびエミッタがそれ
ぞれ第1トランジスタの基板、ウェルおよびソースによ
って形成されているバイポーラ寄生トランジスタは導通
にならないであろう。
本発明による電圧増倍器の別の実施例は、多重位相クロ
ック信号発生器が多数のインバータ回路の直列接続を具
え、2つの近傍インバータ回路の各出力が2つの隣接ブ
ースターキャパシタンスの各電極に接続されていること
を特徴としている。
クロック信号発生器はクロック信号を反対位相の近傍ブ
ースターキャパシタンスに印加するインパーク回路の直
列接続を具えており、インパーク回路のゲート遅延は上
述の位相シフトを生じている。
本発明による電圧増倍器回路の好ましい一実施例は、片
側の第1および第2電界効果トランジスタの制御電極の
接続点と他の側の第1電界効果トランジスタのドレイン
との間の素子において、後者の制御電極を充電あるいは
放電するスイッチ可能な充電路あるいは放電路が備えら
れ、後者の電極が充電路あるいは放電路を介してそれぞ
れ充電あるいは放電してしまった後でそれらの制御電極
で電圧を増大あるいは減少するために結合キャパシタン
スを介して後者の接続点に接続されている制御手段が備
えられていることを特徴としている。
第1電界効果トランジスタにわたる電圧は何のしきい値
損失も起こらないと言う理由により順方向で実質的に零
に減少している。このしきい値損失は結合キャパシタン
スを介して第1トランジスタの制御電極上に既に存在す
る制御電圧に制御手段から発生する制御電圧を印加する
ことにより回避されている。
インバータ回路の直列接続がリング発振器の一部分を形
成する本発明による電圧増倍器回路の池の実施例は、リ
ング発振器がフリップフロップを具え、そのフリップフ
ロップ出力がインバータを介して第1フリツプフロツプ
入力にフィードバックされ、第2フィードバック入力が
エネーブル信号を受信することを特徴としている。フリ
ップフロップがリング発振器に含まれているから、この
リング発振器は完全に最後のクロックパルスの後でスイ
ッチオフすることができる。
図面を参照して本発明の詳細な説明する。
通常の電圧増倍器回路 第1図は負出力電圧を発生するタイプの通常の電圧増倍
器回路を示している。電源端子VSSと出力V、の間に
整流器素子D I+ 02+ ・・・、D。の直列接続
が配列されている。出力v5と電源端子V。I]との間
にはバッファキャパシタンスC6が接続されている。各
接合点Kl+ K2+ ・・・+Kh−l は関連ブー
スターキャパシタンスC,,C2,・・・+C11−1
を介して相補クロック信号を伝えるクロックラインQと
Qに交互に接続されている。クロック信号QとQが周期
的であるから、偶数インデクスを有する整流器素子D2
. D4. ・・・と奇数インデクスを有する整流器素
子り、、 D3.  ・・・はそれぞれ周期的にブロッ
クされるか導通になるか、あるいは周期的に導通になる
かブロックされるかであろう。電荷は1つのブースター
キャパシタンスから低いインデクスを有する次のブース
ターキャパシタンスに導通素子を介してポンプされる。
このように電荷はハ゛ツファキャパシタンスCEFから
階段的にフェッチされ、そして最終的にVss端子に流
出される。
通常の整流器素子 第2a図と第2b図は第1図に示されたような電圧増倍
器回路の通常の整流器素子を示している。
第2a図に示された素子はダイオードとして接続された
PMO3トランジスタであり、その基板接続S口は基板
への電荷注入を避けるために正電源端子VOOに接続さ
れている。示された素子のアノード側Aにおいて、この
素子が第1図に示された直列接続で出力VERにもっと
近く位置している高い負電圧が存在しよう。そのような
素子の高い基板・ソース電圧のために、素子が導通にな
るしきい値電圧もまた高い。これは基板・ソース電圧が
増大するにつれてしきい値電圧が増大するからである。
所与の基板・ソース電圧が到達される場合、整流器素子
のしきい値電圧は非常に高くなり、従ってクロックライ
ンQとQの電圧スイングはトランジスタのしきい値電圧
以上に順方向の素子り。にわたる電圧差を上昇するのに
最早や十分ではない。
第2b図および第2C図に示された素子はNMOSトラ
ンジスタであり、これはダイオードとして接続され、か
つPウェルで実現されている。ウェルへの電荷注入を妨
げるためにウェル接続WはアノードAに接続されている
。もしカソードにの側の電圧がアノード側の電圧より低
いなら、寄生バイポーラトランジスタPBは導通状態に
設定される。
本発明による整流器素子の回路形態 第3図は本発明による整流器素子の回路図を示している
。本発明は、もしカソード端子にの電圧がウェルの電圧
以下に降下せず、それ故アノード端子Aの電圧以下に降
下せず、従って寄生トランジスタPaが導通になるなら
ば、第2b図および第2C図に示された素子が第1図に
示された電圧増倍器回路の整流器素子として適している
という事実の認識に基づいている。もし本発明によるウ
ェル接続が最低電圧を伝えるNMO3)ランジスタの主
電極に常にスイッチオンされるなら、第2C図を参照し
て記述されたこの問題は解決される。これは第3図に示
されている。トランジスタにおいて、片側の主電極のN
拡散と他の側のPウェルとの間のダイオードは、カソー
ドにとアノードAの電圧に依存してカソード端子にある
いはアノード端子Aのいずれかに接続され、従ってダイ
オードは常にブロックされる。
整流器素子の第1の実施例 第4図は本発明による電圧増倍器回路の整流器素子の第
1の実施例を示している。ダイオードとして接続されて
いる第1 NMO3)ランジスタN1のPウェル端子W
は第2トランジスタN2にわたってトランジスタN、の
カソードKに、そして第3トランジスタN3にわたって
トランジスタN、のアノードAに結合されている。トラ
ンジスタN2の制御電極と、トランジスタN1のアノー
ドAおよびカソードにへのトランジスタN3の制御電極
との結合は、PウェルがトランジスタN、の主電極の1
つで起こる最低電圧に常に接続されることを保証してい
るが、しかしトランジスタN1にわたる電圧がトランジ
スタN2とN3のしきい値電圧より低い場合は除外され
ている。この場合、PウェルはアノードAならびにカソ
ードKから離されている。しかし、PウェルはPウェル
と基板との間の接合キャパシタンスでその電圧を維持し
ている。第2C図に示されているような寄生バイポーラ
トランジスタPBが接合キャパシタンスの電圧による駆
動のために導通となることを防ぐために、トランジスタ
N、のソース(接合K)の電圧はドレイン(接合A)の
電圧の前に変化しなければならない。これは第5図と第
6図を参照して今後詳細に説明されよう。
電圧増倍器回路の第1の実施例 第5図は本発明による電圧増倍器回路の第1の実施例を
示している。この電圧増倍器回路は負出力電圧v1.E
を発生する。第4図を参照して説明されたタイプの整流
器素子の直列接続RI+ R24・・・。
RnハバッファキャパシタンスCEEを介してアノード
側で電源端子V、。に接続されている。2つの素子間の
各接合はブースターキャパシタンスを介して2つのイン
バータ12+  [3+ ・・・+ 1.間の接合点に
接続されている。インバータの直列接続はこれまたフリ
ップフロップFFを含んでいるリング発振器RTの一部
分を形成している。連続するブースターキャパシタンス
CI+ C2+  ・・・+Ch−1は第1図を参照し
て既に説明されているように反対位相でクロック信号を
受信している。さらに、連続するブースターキャパシタ
ンスに印加されたクロック信号はlインバータ遅延に等
しい時間間隔によりお互いに対して遅延されている。こ
のインバータ遅延は素子(例えばR2)中の第1トラン
ジスタのソース(例えば接合点V2)上の電圧が上記の
第1トランジスタのドレイン(例えば接合点V3)上の
電圧より前に変化することを保証している。既に述べた
ように、これはブロックされた整流器素子で寄生バイポ
ーラトランジスタが導通となり、このようにして上記の
整流器素子で電位が立ち上がることを妨げるのに役立っ
ている。リング発振器がエネーブル信号EVMによりス
イッチオフされる場合に、最後のクロックパルスがなお
十分通過し、発振器のより良く規定された状態となるこ
とを保証するためにフリップフロップFFはリング発振
器RTに含まれている。
信号変化 第6a図は第5図の参照電圧v1とv2および第4図の
参照電圧Vll V2. VBによって示された電圧の
変化を示している。第6b図は、もし素子中の第1トラ
ンジスタのソース上の信号がそのドレイン上の信号と同
時に変化する場合のこれらの信号の変化を示している。
信号v1は第4図のトランジスタN1のソース上の信号
であり、v2はトランジスタN1のドレイン上の信号で
ある。信号v2はvlより低い平均値を有している。と
言うのは、種々の段のキャパシクンス自、C2,・・・
、 Chにわたって高い負電圧を有するバッファキャパ
シタンスC−からVssに段階的に電荷が流出されるか
らである。
第4図のトランジスタN2は制御電圧V2  Vlを受
信し、トランジスタN3は制御電圧V、−V2を受信す
る。
これら制御電圧はまた第6a図および第6b図に示され
ている。制御電圧がしきい値電圧V、を越える場合、関
連するトランジスタは導通となる。
Pウェルの電圧Vaの変化はこのように簡単に例示でき
る。上記の双方の制御電圧がしきい値電圧V□以下に降
下するならば、ウェルはトランジスタN1の主電極から
離される。しかし、このウェルはその接合キャパシタン
スに蓄積された電荷のためにその電圧を維持する。信号
V。は信号v2がvlに対して遅延されている第6a図
の至るところで電圧v1とv2の1つより低いかあるい
は等しく維持されている。明確化のために、実際に一致
したラインセグメントは図面では僅かばかり離して示さ
れているが、しかしこれは特に意味はない。しかし第6
b図においてV、とv2がそれらの符号を変えるところ
では、矢印XはVBがvlを越える電圧変化を示し、そ
して矢印YはVBがv2を越える電圧変化を示している
。双方の状態で、前に述べられた寄生バイポーラトラン
ジスタは導通となり、かつ電荷の望ましくない損失が起
こる。
整流器素子の好ましい実施例 第7図は本発明による集積電圧増倍器回路の整流器素子
の好ましい実施例を示している。第4図に示された部分
に対応する部分は対応する参照記号によって示されてい
る。整流器トランジスタN1と第2トランジスタN2は
第4図に示された回路の場合のように、接合点へ〇順電
圧によって最早や制御されない。N1のドレインとN1
の制御電極との間の接続は、スイッチオン・オフでき、
かつダイオードとし2て接続されているゲートトランジ
スタN5とそれに逆平行に接続されているゲートトラン
ジスタN、を具え、かつ接合点にの電圧によって制御さ
れている電流通路により形成されている。接合点Aの電
圧v2が増大し、接合点にの電圧v1が減少する場合に
、まず整流器トランジスタN、と第2トランジスタN2
の制御電極はゲートトランジスタN5を介して制御電圧
を受信するであろう。その後でのみパルスの形をした追
加の制御電圧V。は結合キャパシタンスC1を介して既
に存在する制御電圧に加えられよう。トランジスタN1
の制御電圧はどんなしきい値損失もトランジスタN1に
わたって起こらないように電圧ν2に対する量だけ増大
し、かつ電圧v1は原理上v2に等しくなる。引き続い
て電圧v1が再び増大すると、トランジスタN1の制御
電極上の電荷はゲートトランジスタN、を介して再び流
出される。そのような素子は次の図を参照して説明され
る電圧増倍器ての使用に適している。
電圧増倍器回路の好ましい実施例 第8図は本発明による電圧増倍器回路の第2の実施例を
示している。第5図に示された部分に対応する部分は対
応する参照記号により示されている。整流器素子GI+
 G2+ ・・・、Goの直列接続は、第7図に示され
たタイプの整流器素子を具えている。これらの素子GI
+ G2+ ・・・、職の各々は関連するノアゲートB
、、 B2.  ・・・+ Bl’lに結合された別の
制御入力を具えている。そのようなノアゲートの出力は
第7図を参照して説明されたパルス信号v6を結合キャ
パシタンスC1に供給する。その動作は第7図に明示的
に示されている第8図の素子G1を参照して説明されよ
う。電圧v2が電圧vIを越える場合、トランジスタN
、はブロックされる。
ノアゲートB1はVssに等しい出力信号を最初に供給
する。電圧v2が増大すると、トランジスタN1の制御
電極はソースフォロアーN5を介して高い電圧に上昇さ
れる。引き続いて全順電圧V2  LがトランジスタN
、にわたって立ち上げられると、ノアゲートB+は出力
信号をVSSからV。口にスイッチし、このようにして
結合キャパシタンスCpを介して電圧v2以上にトラン
ジスタNlの制御電極の電圧をおさえる。従って、トラ
ンジスタN、は最早やしきい値損失を生じない(Vl=
V2)。この充電動作の終わりで、ノアゲートBtはV
t1tlからVSSに切り替わり、その後で逆の電圧V
、−V2はトランジスタN1にわたって立ち上げられる
。ノアゲートを介する素子駆動の正しい位相はリング発
振器のインバータl−In ro+  L、 ”’+ 
 In+2の入力と出力の電圧から導かれる。
(要約) この発明は電圧増倍器回路に関連し、これは近傍素子の
ベアーの接合点に接続されているキャパシタンスに交互
に相補クロック信号を印加することにより交互に導通に
される整流器素子の直列接続を具えている。整流器素子
は素子が実現されている基板のウェルがアノード電圧あ
るいはカソード電圧のいずれかを受信するように電界効
果トランジスタによって構成されている。これは素子の
しきい値を増大し、かつ電圧増倍器の出力電圧を制限す
るいわゆるバックゲートバイアス効果の生起を防いでい
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は通常の電圧増倍器回路の一例を示し、第2a、
  b、  c図は第1図に示された電圧増倍器回路の
整流器素子を示し、 第3図は本発明による電圧増倍器回路の整流器素子の回
路図を示し、 第4図は本発明による電圧増倍器回路の整流器素子の第
1の実施例を示し、 第5図は本発明による電圧増倍器回路の第1の実施例を
示し、 第6図は第5図に示された電圧増倍器回路で使用された
第4図に示されたような整流器素子の信号電圧の変化を
示し、 第7図は本発明による電圧増倍器回路の整流器素子の第
2の実施例を示し、 第8図は本発明による電圧増倍器回路の第2の実施例を
示している。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、整流器素子の直列接続に接続された高電圧出力を具
    える集積電圧増倍器回路であって、その各々が第1電界
    効果トランジスタと、高電圧出力と電源端子との間に接
    続されている電荷蓄積用バッファキャパシタンスを具え
    、近傍の素子の各ぺアーの接合点は他の側にクロック信
    号が印加されているブースターキャパシタンスの片側に
    接続され、従って1つの整流器素子の各側に接続された
    2つのブースターキャパシタンスが相互に反対極性のク
    ロック信号を受信するものにおいて、 基板上の素子の電界効果トランジスタが基 板の導電率以外の導電率タイプの異なる領域で実現され
    、回路の高電圧側に位置している少なくとも整流器素子
    が各スイッチング手段を具え、該スイッチング手段が片
    側の電界効果トランジスタおよび他の側の領域の内部ダ
    イオードであってソースとドレインそれぞれの間のp−
    n接合によって電界効果トランジスタ中に形成されてい
    るものを電界効果トランジスタの導通状態のソースある
    いはブロック状態のドレインのいずれかに接続し、従っ
    て内部ダイオードがブロックされたままであることを特
    徴とする集積電圧増倍器回路。 2、第1電界効果トランジスタのスイッチング手段が第
    1電界効果トランジスタと同じ導電率タイプであり、か
    つ第1電界効果トランジスタの領域に結合されている各
    領域で実現されている第2および第3電界効果トランジ
    スタを具え、第2および第3電界効果トランジスタのソ
    ースが第1電界効果トランジスタのソースおよびドレイ
    ンにそれぞれ接続され、第2および第3電界効果トラン
    ジスタの制御電極が第1電界効果トランジスタのドレイ
    ンとソースにそれぞれ結合され、第2および第3電界効
    果トランジスタのドレインが相互接続領域に接続されて
    いることを特徴とする請求項1記載の集積電圧増倍器回
    路。 3、電圧増倍器回路が相互に位相シフトした各クロック
    信号を各ブースターキャパシタンスに印加する多重位相
    クロック信号発生器を具え、関連ブースターキャパシタ
    ンスを介して第1電界効果トランジスタのソースに印加
    されたクロック信号が、次のブースターキャパシタンス
    を介して第1電界効果トランジスタのドレインに印加さ
    れた相補クロック信号よりも早く変化することを特徴と
    する請求項2記載の集積電圧増倍器回路。 4、多重位相クロック信号発生器が多数のインバータ回
    路の直列接続を具え、2つの近傍インバータ回路の各出
    力が2つの隣接ブースターキャパシタンスの各電極に接
    続されていることを特徴とする請求項3記載の集積電圧
    増倍器回路。 5、直列接続の最後のインバータ回路の出力と入力が、
    その整流器素子の他の側が電圧増倍器の出力を形成して
    いる最後の整流器素子の片側に接続されているブースタ
    ーキャパシタンスの電極、および1つを除いて最後の整
    流器素子に接続されている近傍ブースターキャパシタン
    スにそれぞれ接続されていることを特徴とする請求項4
    記載の集積電圧増倍器回路。 6、インバータ回路の直列接続がリング発振器の一部分
    を形成することを特徴とする請求項4もしくは5記載の
    集積電圧増倍器回路。 7、片側の第1および第2電界効果トランジスタの制御
    電極の接続点と他の側の第1電界効果トランジスタのド
    レインとの間の素子において、後者の制御電極を充電あ
    るいは放電するスイッチ可能な充電路あるいは放電路が
    備えられ、後者の電極が充電路あるいは放電路を介して
    それぞれ充電あるいは放電してしまった後でそれらの制
    御電極で電圧を増大あるいは減少するために結合キャパ
    シタンスを介して後者の接続点に接続されている制御手
    段が備えられていることを特徴とする請求項2から6の
    いずれか1つに記載の集積電圧増倍器回路。 8、充電通路あるいは放電通路が第4および第5電界効
    果トランジスタを具え、双方のトランジスタが第1電界
    効果トランジスタと同じ導電率タイプのものであり、か
    つ第1電界効果トランジスタの領域に結合されている各
    領域で実現されており、第4電界効果トランジスタのド
    レインと制御電極が第1電界効果トランジスタのドレイ
    ンに接続されており、第4電界効果トランジスタのソー
    スが第1および第2電界効果トランジスタの制御電極の
    接合点に接続されており、第5電界効果トランジスタの
    ドレインが後者の接合点に接続されており、かつ第5電
    界効果トランジスタのソースと制御電極が第1電界効果
    トランジスタのドレインとソースにそれぞれ接続されて
    いることを特徴とする請求項7記載の集積電圧増倍器回
    路。 9、制御手段が論理ゲートを具え、そのゲート出力が結
    合キャパシタンスに接続され、かつその各ゲート入力が
    インバータ回路の間に接続されていることを特徴とする
    請求項4もしくは5もしくは6および請求項7もしくは
    8のいずれか1つに記載の集積電圧増倍器回路。 10、各要素が各PウェルのNMOSトランジスタによ
    って構成され、論理ゲートがノアゲートであり、そのゲ
    ート出力が結合キャパシタンスに接続されており、第1
    ゲート入力がクロック信号を受信する場合、2つのイン
    バータが第1電界効果トランジスタのソースより早く遅
    延し、第2ゲート入力がクロック信号を受信する場合、
    2つのインバータが第1電界効果トランジスタのソース
    より後で遅延することを特徴とする請求項9記載の集積
    電圧増倍器回路。 11、各要素が各NウェルのPMOSトランジスタによ
    って構成され、論理ゲートがナンドゲートであり、その
    ゲート出力が結合キャパシタンスに接続されており、第
    1ゲート入力がクロック信号を受信する場合、2つのイ
    ンバータが第1電界効果トランジスタのソースの前に遅
    延し、第2ゲート入力がクロック信号を受信する場合、
    2つのインバータが第1電界効果トランジスタのソース
    より後で遅延することを特徴とする請求項9記載の集積
    電圧増倍器回路。 12、リング発振器がフリップフロップを具え、そのフ
    リップフロップ出力がインバータを介して第1フリップ
    フロップ入力にフィードバックされ、第2フィードバッ
    ク入力がエネーブル信号を受信することを特徴とする請
    求項6記載の集積電圧増倍器回路。 13、電気的プログラム可能なメモリおよび消去可能な
    メモリと結合されている請求項1から12のいずれか1
    つに記載の集積電圧増倍器回路。 14、請求項1もしくは2もしくは7もしくは8のいず
    れか1つに記載の電圧増倍器回路の使用に適している整
    流器素子。 15、請求項12記載の電圧増倍器回路の使用に適して
    いるリング発振器。
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