JPH01106456A - 半導体集積回路装置 - Google Patents
半導体集積回路装置Info
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- JPH01106456A JPH01106456A JP62263435A JP26343587A JPH01106456A JP H01106456 A JPH01106456 A JP H01106456A JP 62263435 A JP62263435 A JP 62263435A JP 26343587 A JP26343587 A JP 26343587A JP H01106456 A JPH01106456 A JP H01106456A
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- sealing resin
- main surface
- lead frame
- electrode terminal
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Classifications
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
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- H01L2224/732—Location after the connecting process
- H01L2224/73251—Location after the connecting process on different surfaces
- H01L2224/73265—Layer and wire connectors
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- Lead Frames For Integrated Circuits (AREA)
- Structures Or Materials For Encapsulating Or Coating Semiconductor Devices Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は半導体集積回路をパッケージした半導体集積回
路装置に関するものである。
路装置に関するものである。
従来の技術
ポータプルな情報ファイルとしてのICカードはカード
の一部にメモリ、マイクロプロセッサを有する半導体集
積回路装置を埋込んで、リーダーライタを介して情報を
書き込み、読み出し、消去する演算機能を持っているが
、ISO規格によりカード厚みは最大0.84ミリとさ
れており、当然半導体集積回路装置は更に薄くしかも厚
み精度が強く要求される。
の一部にメモリ、マイクロプロセッサを有する半導体集
積回路装置を埋込んで、リーダーライタを介して情報を
書き込み、読み出し、消去する演算機能を持っているが
、ISO規格によりカード厚みは最大0.84ミリとさ
れており、当然半導体集積回路装置は更に薄くしかも厚
み精度が強く要求される。
当初半導体集積回路装置の基板はガラスエポキシを基体
とする両面基板が主流であったが、ガラスエポキシ基板
ではICカード用半導体集積回路装置に要求する厚み精
度を十分に満足させるものではなかった。
とする両面基板が主流であったが、ガラスエポキシ基板
ではICカード用半導体集積回路装置に要求する厚み精
度を十分に満足させるものではなかった。
そこでガラスエポキシ基板の代りに厚み精度がよく半導
体集積回路装置の総厚の厚み精度も向上させられるリー
ドフレームを基板とするICカード用半導体集積回路装
置が提案された。このICカード用半導体集積回路装置
の構造を第4図に示し説明する。
体集積回路装置の総厚の厚み精度も向上させられるリー
ドフレームを基板とするICカード用半導体集積回路装
置が提案された。このICカード用半導体集積回路装置
の構造を第4図に示し説明する。
複数本の電極端子1とダイパッド2を有するリードフレ
ーム8の上記ダイパッド2にICチップ3がマウントさ
れ、上記ICチップ3のパッド(図示せず)と上記電極
端子1がワイヤ4で接続されており、少なくとも上記電
極端子1の−生面5を露出した形で、しかも上記−主面
5とほぼ平坦に封止樹脂6がトランスファ成形法により
成形された構造となっている。
ーム8の上記ダイパッド2にICチップ3がマウントさ
れ、上記ICチップ3のパッド(図示せず)と上記電極
端子1がワイヤ4で接続されており、少なくとも上記電
極端子1の−生面5を露出した形で、しかも上記−主面
5とほぼ平坦に封止樹脂6がトランスファ成形法により
成形された構造となっている。
ところが上記電極端子1の上記−主面6は外部に露出し
、上記電極端子1の薄い側面を含む片面しか上記封止樹
脂6を接融していない。通常トランスファ成形法で成形
する上記封止樹脂6中には成形金型との離形性をよくす
るために、離形剤が入れられていることから、当然上記
電極端子1と上記封止樹脂6との密着性は巾いものでは
ない。
、上記電極端子1の薄い側面を含む片面しか上記封止樹
脂6を接融していない。通常トランスファ成形法で成形
する上記封止樹脂6中には成形金型との離形性をよくす
るために、離形剤が入れられていることから、当然上記
電極端子1と上記封止樹脂6との密着性は巾いものでは
ない。
この問題点を解決する方法として、上記封止樹脂6と接
触する他の主面7を粗面化したり、上記電極端子1の一
主面50面積を他の主面7の面積よシ狭くして(エツジ
にテーパをつけ台形形状とする)密着性の向上を図って
いる。
触する他の主面7を粗面化したり、上記電極端子1の一
主面50面積を他の主面7の面積よシ狭くして(エツジ
にテーパをつけ台形形状とする)密着性の向上を図って
いる。
発明が解決しようとする問題点
このような半導体集積回路装置に用いるリードフレーム
8の厚味は、半導体集積回路装置に総厚の制限があるこ
とから0.15ミリ以下が通常用いられる。ところが封
止樹脂6とリードフレーム8の他の主面7との密着性を
強化するために、リードフレーム8の断面をテーパ加工
し、わずかに封止樹脂6でリードフレーム8を覆う形と
しているが、リードフレーム8の厚味が0.16ミリと
非常に薄いため、封止樹脂6でリードフレーム8の端面
を一部覆う形とした場合でもせいぜい厚味分の0.15
ミリ程度しか覆うことができず、端面にチーハラつけて
も封止樹脂6に対するリードフレーム8の密着強度を著
るしく向上させることはできなかった。また前にも述べ
たが封止樹脂6には離形剤が入っているため、リードフ
レーム8との密゛着性が悪く、例えば熱衝撃試験を行っ
た時に発生する熱的ひすみによりリードフレーム8が剥
れる可能性も生じてくる。更にトランスフ1成形後リー
ドフレーム8の補強バーを封止樹脂6の端面に沿ってほ
ぼ平坦に金星にて切断して個片の半導体集積回路装置に
するわけであるが、補強バーの切断面は金型で切断する
際、わずかなパリが発生することと、完全に封止樹脂6
の端面と平坦にすることは不可能で、わずかに切断面が
突き出る形となる。この状態でカード化しカードの携帯
中あるいは使用中に何らかの異物が切断面にできたノク
リ、あるいは電極端子自体にひっかかり電極端子をはが
してしまう可能性がある0このように電極端子がはがれ
fcv1変形するとICカードとしての機能が全く失な
われることになる。
8の厚味は、半導体集積回路装置に総厚の制限があるこ
とから0.15ミリ以下が通常用いられる。ところが封
止樹脂6とリードフレーム8の他の主面7との密着性を
強化するために、リードフレーム8の断面をテーパ加工
し、わずかに封止樹脂6でリードフレーム8を覆う形と
しているが、リードフレーム8の厚味が0.16ミリと
非常に薄いため、封止樹脂6でリードフレーム8の端面
を一部覆う形とした場合でもせいぜい厚味分の0.15
ミリ程度しか覆うことができず、端面にチーハラつけて
も封止樹脂6に対するリードフレーム8の密着強度を著
るしく向上させることはできなかった。また前にも述べ
たが封止樹脂6には離形剤が入っているため、リードフ
レーム8との密゛着性が悪く、例えば熱衝撃試験を行っ
た時に発生する熱的ひすみによりリードフレーム8が剥
れる可能性も生じてくる。更にトランスフ1成形後リー
ドフレーム8の補強バーを封止樹脂6の端面に沿ってほ
ぼ平坦に金星にて切断して個片の半導体集積回路装置に
するわけであるが、補強バーの切断面は金型で切断する
際、わずかなパリが発生することと、完全に封止樹脂6
の端面と平坦にすることは不可能で、わずかに切断面が
突き出る形となる。この状態でカード化しカードの携帯
中あるいは使用中に何らかの異物が切断面にできたノク
リ、あるいは電極端子自体にひっかかり電極端子をはが
してしまう可能性がある0このように電極端子がはがれ
fcv1変形するとICカードとしての機能が全く失な
われることになる。
本発明は上記問題点を鑑み、外的な力、熱ひずみ等に対
しても電極端子がはがれて使用不能にならないようなリ
ードフレームの構造を提供するものである。
しても電極端子がはがれて使用不能にならないようなリ
ードフレームの構造を提供するものである。
問題点を解決するための手段
そして上記問題点を解決する本発明の技術的手段は、リ
ードフレームの一主面の面積を他の主面より狭くし断面
形状を凸型として一主面とほぼ平坦に封止樹脂を成形し
、リードフレームの端面を所定の距離、厚さでほぼ全辺
にわ几って封止樹脂で覆うように構成したものである。
ードフレームの一主面の面積を他の主面より狭くし断面
形状を凸型として一主面とほぼ平坦に封止樹脂を成形し
、リードフレームの端面を所定の距離、厚さでほぼ全辺
にわ几って封止樹脂で覆うように構成したものである。
作用
この構成により電極端子のほぼ全辺が封止樹脂でおおわ
れていることから、電極端子を剥す外部からの力が加わ
らず、また熱衝撃試験等による熱ひずみに対しても電極
端子が剥れることがないため信頼性の高い半導体集積回
路装置を作ることが可能となる。
れていることから、電極端子を剥す外部からの力が加わ
らず、また熱衝撃試験等による熱ひずみに対しても電極
端子が剥れることがないため信頼性の高い半導体集積回
路装置を作ることが可能となる。
実施例
以下本発明の一実施例について図面を用いながら説明す
る。第2図a、bは本発明に用いたリードフレームの構
造を示す。第2図aは上面図、第2図すはムー人′をみ
た断面図である。ダイパッド11、複数本の電極端子1
2で構成されており、上記ダイパッド11及び上記電極
端子12の外部に露出する一主面13の面積は他の主面
14より狭く、少なくとも封止樹脂で覆われる部分のリ
ードフレーム20の断面は凸型の段差部16が設けられ
ている。ちなみにリードフレーム20の肉厚がQ 15
ミIJの場合上記段差部15のWは0.6ミリ、Dは
0.1ミリとした。上記段差部160所面形状は段差が
1段のみならず複数段形成されていてもかまわない。以
上はダイパッド11が複数本の電極端子12の少なくと
も1本と接続されている構造のリードフレームである。
る。第2図a、bは本発明に用いたリードフレームの構
造を示す。第2図aは上面図、第2図すはムー人′をみ
た断面図である。ダイパッド11、複数本の電極端子1
2で構成されており、上記ダイパッド11及び上記電極
端子12の外部に露出する一主面13の面積は他の主面
14より狭く、少なくとも封止樹脂で覆われる部分のリ
ードフレーム20の断面は凸型の段差部16が設けられ
ている。ちなみにリードフレーム20の肉厚がQ 15
ミIJの場合上記段差部15のWは0.6ミリ、Dは
0.1ミリとした。上記段差部160所面形状は段差が
1段のみならず複数段形成されていてもかまわない。以
上はダイパッド11が複数本の電極端子12の少なくと
も1本と接続されている構造のリードフレームである。
このリードフレーム2oの作製方法は一実施例として、
まずプレス機でストレートにパンチングした後続いて別
の金型を用い同じくプレス機によりリードフレーム20
の端面のみをプレスし所定の量だけ段差部16を作った
。他の方法としてエツチングによる方法でも同様の段差
部16を作ることは可能である。
まずプレス機でストレートにパンチングした後続いて別
の金型を用い同じくプレス機によりリードフレーム20
の端面のみをプレスし所定の量だけ段差部16を作った
。他の方法としてエツチングによる方法でも同様の段差
部16を作ることは可能である。
以上の説明はICチップを塔載するダイパッド11を有
するリードフレーム20であるが、ダイパッド11の無
い電極端子12のみのリードフレームでもかまわない。
するリードフレーム20であるが、ダイパッド11の無
い電極端子12のみのリードフレームでもかまわない。
以上述べた段付きリードフレーム2oを用いた半導体集
積回路装置の製造プロセスを第3図a〜Cに示す。これ
は第2図のム−A′の断面を表わすものである。ダイパ
ッド11の他の主面14にICチップ16をマウントし
、上記ICチップ16のパッド(図示せず)と上記電極
端子12の他の主面14をワイヤ17で接続しく第3図
LL)、続いてトランスファ成形法にて上記1電極端子
12、及びダイパッド11の一主面13を露出させるご
とく、上記−主面13とほぼ平坦に封止樹脂18で成形
する(第3図b)。この時リードフレーム2oに設けら
れた段差部16も上記封止樹脂18で覆われる形となる
。更に金型を用いて上記封止樹脂18の端面に沿って補
強バー19を切断して個片の半導体集積回路装置とする
(第3図C)。
積回路装置の製造プロセスを第3図a〜Cに示す。これ
は第2図のム−A′の断面を表わすものである。ダイパ
ッド11の他の主面14にICチップ16をマウントし
、上記ICチップ16のパッド(図示せず)と上記電極
端子12の他の主面14をワイヤ17で接続しく第3図
LL)、続いてトランスファ成形法にて上記1電極端子
12、及びダイパッド11の一主面13を露出させるご
とく、上記−主面13とほぼ平坦に封止樹脂18で成形
する(第3図b)。この時リードフレーム2oに設けら
れた段差部16も上記封止樹脂18で覆われる形となる
。更に金型を用いて上記封止樹脂18の端面に沿って補
強バー19を切断して個片の半導体集積回路装置とする
(第3図C)。
以上のべた半導体集積回路装置の電極端子部の拡大図を
第1図に示す。この第1図によれば電極端子12の一主
面と封止樹脂18はほぼ平坦に成形されており、封止樹
脂18に埋沈した電極端子12の一部は、露出している
一主面より広がっている構造となっている。このことは
、電極端子12の端面に形成されている段差部16を完
全に封止樹脂18が覆っていることになり、封止樹脂1
8の端面に露出している補強バー19も同様の凸型であ
ることから外的な力に対しても非常に剥れに強い構造と
なっている。
第1図に示す。この第1図によれば電極端子12の一主
面と封止樹脂18はほぼ平坦に成形されており、封止樹
脂18に埋沈した電極端子12の一部は、露出している
一主面より広がっている構造となっている。このことは
、電極端子12の端面に形成されている段差部16を完
全に封止樹脂18が覆っていることになり、封止樹脂1
8の端面に露出している補強バー19も同様の凸型であ
ることから外的な力に対しても非常に剥れに強い構造と
なっている。
以上述べてきた実施例の中でICチップ16のパッドと
電極端子12の接続にワイヤ11を用いているが、ワイ
ヤーボンディング法に限定するものではなく、バンプを
利用したフリップチップボンディング方式でもかまわな
い。また同時にリードフレーム2oの他の主面側をエツ
チング、サンドブラストメツキ法等で粗面化処理が施こ
されていても良い。更にグイパッド11が無(ICチッ
プ16が電極端子12にかかるようなリードフレーム2
oを用いる場合はICチップ16t−マウントするグイ
ボンド樹脂は絶縁性であることはいうまでもない。
電極端子12の接続にワイヤ11を用いているが、ワイ
ヤーボンディング法に限定するものではなく、バンプを
利用したフリップチップボンディング方式でもかまわな
い。また同時にリードフレーム2oの他の主面側をエツ
チング、サンドブラストメツキ法等で粗面化処理が施こ
されていても良い。更にグイパッド11が無(ICチッ
プ16が電極端子12にかかるようなリードフレーム2
oを用いる場合はICチップ16t−マウントするグイ
ボンド樹脂は絶縁性であることはいうまでもない。
発明の効果
本発明の半導体集積回路装置はリードフレーム基板の端
面に1段以上の段差部を設け、段差部を覆う形で封止樹
脂にて成形しているため、外的な力にも電極端子は剥れ
にくく、熱衝撃試験等の熱ひずみに対しても、電極端子
ははがれないことがら、信頼性の高いものを得ることが
可能となる。
面に1段以上の段差部を設け、段差部を覆う形で封止樹
脂にて成形しているため、外的な力にも電極端子は剥れ
にくく、熱衝撃試験等の熱ひずみに対しても、電極端子
ははがれないことがら、信頼性の高いものを得ることが
可能となる。
第1図は本発明の半導体集積回路装置の一実施例におけ
る電極端子部の拡大斜視図、第2図a。 bは本発明に用いたリードフレームの構造を示す上面図
と断面図、第3図a % cは本発明の半導体集積回路
装置の製造フローを示す断面図、第4図は従来のリード
フレームを用いた半導体集積回路装置の構造を示す断面
図である。 12・・・・・・電極端子、13・・・・・・−主面、
14・・・・・・他の主面、16・・・・・・段差部、
16・・・・・・rcチップ、17・・・・・・ワイヤ
、1B・・・・・・封止樹脂、19・・・・・・補強バ
ー、2o・・・・・・リードフレーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図
る電極端子部の拡大斜視図、第2図a。 bは本発明に用いたリードフレームの構造を示す上面図
と断面図、第3図a % cは本発明の半導体集積回路
装置の製造フローを示す断面図、第4図は従来のリード
フレームを用いた半導体集積回路装置の構造を示す断面
図である。 12・・・・・・電極端子、13・・・・・・−主面、
14・・・・・・他の主面、16・・・・・・段差部、
16・・・・・・rcチップ、17・・・・・・ワイヤ
、1B・・・・・・封止樹脂、19・・・・・・補強バ
ー、2o・・・・・・リードフレーム。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 第2図
Claims (1)
- 複数の電極端子を有するリードフレームの一主面の面
積が、他の主面より狭く、このリードフレームの断面形
状は少なくとも1段以上の段差を持つ段差部を有するも
のであり、半導体集積回路は他の主面にマウントされ、
少なくとも電極端子の一主面を露出した形で一主面とほ
ぼ平坦に封止樹脂が成形されている半導体集積回路装置
。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP62263435A JPH01106456A (ja) | 1987-10-19 | 1987-10-19 | 半導体集積回路装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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