JP7437159B2 - マスク、その製造方法、蒸着方法、及びディスプレイスクリーン - Google Patents

Description

本開示は、２０１８年０６月２９日に中国特許庁に提出した開示番号が２０１８１０７１３０５３．６、開示名称が「マスク、その製造方法、蒸着方法、及びディスプレイスクリーン」の中国特許開示の優先権を主張し、該開示の全内容が引用により本開示に組み込まれる。

本開示は、表示技術分野に関し、特にマスク、その製造方法、蒸着方法、及びディスプレイスクリーンに関する。

現在、「全画面」は、携帯電話業界の焦点となっており、理論的には「全画面」とは、携帯電話の正面全体がスクリーンであり、携帯電話の４つのベゼル部にベゼルレスデザインを用いて約１００％の画面占有率を実現することを意味する。しかしながら、実際には、現在、業界のいわゆる「全画面」は、真の全画面ではなく、高い画面占有率のスクリーンに過ぎず、このようなスクリーンの上端には、スクリーンの正面に設置されて表示するマイク、フロントカメラ、センサなどの部材が設置された特定の領域が設けられ、該領域が正常に表示できず、それは、いわゆる「ノッチ付き全画面」である。

美学と技術から配慮すると、未来、必然的に「ノッチ」が除去される。画面占有率が９９％以上の真の「全画面」設計を実現するには、マイク、フロントカメラ、及び距離センサを含めるさまざまなセンサを携帯電話のスクリーンの下に配置し、これらのデバイスの周りのスクリーン領域を正常に表示可能にする必要があり、しかし、現在のところ、この技術を実現することは困難であった。

上記従来技術の現状に対して、本開示の実施例は、ディスプレイスクリーンの正面のマイク、フロントカメラ、及びセンサなどの部材の周りで正常な表示を実現し、画面占有率を向上させるために、マスク、その製造方法、蒸着方法、及び表示基板を提供する。

上記目的を実現するために、本開示の実施例は、以下の技術案を用いる。
第１態様によれば、本開示の実施例は、少なくとも１つの開口を有し、製造対象のディスプレイスクリーンの表示平面における前記開口の正投影が前記製造対象のディスプレイスクリーンの表示領域と重なる基板と、前記開口の内部に設置され、前記表示平面における正投影が前記表示平面における、前記製造対象のディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材の正投影と重なる遮蔽部と、前記遮蔽部と前記開口の側壁との間に位置し、前記遮蔽部と前記開口の側壁を接続するための接続部とを備えるマスクを提供する。

上記技術案に基づいて、前記接続部は、網状構造を有するようにしてもよい。

前記表示平面における前記網状構造の各網目の正投影が、前記製造対象のディスプレイスクリーンにおける少なくとも１つのサブ画素を覆い、且つ前記表示平面における前記網状構造の実体部分の正投影が前記製造対象のディスプレイスクリーンにおけるサブ画素間の隙間領域内に位置するようにしてもよい。

前記網状構造内の隣接する２つの網目間の実体部分は、この隣接する２つの網目を貫通する切り欠きを有するようにしてもよい。

前記接続部は、一体構造でありながら軸対称構造であり、前記接続部の対称軸が、前記遮蔽部の中心を通り且つ前記接続部に接続された開口側壁に垂直であり、前記遮蔽部に接続される前記接続部の一端の幅は、前記接続部の対称軸に垂直な方向における前記遮蔽部の最大幅以下であり、前記開口側壁に接続される前記接続部の一端の幅は、前記遮蔽部に接続される前記接続部の一端の幅以上であるようにしてもよい。

前記接続部は、少なくとも２つの独立したサブ接続部を含み且つ軸対称構造となり、前記接続部の対称軸が、前記遮蔽部の中心を通り且つ前記接続部に接続された開口側壁に垂直であり、前記少なくとも２つのサブ接続部は、前記対称軸に対して対称的に配置され、前記開口側壁に接続される各前記サブ接続部の一端の幅は、前記遮蔽部に接続される前記サブ接続部の一端の幅以上であるようにしてもよい。

前記接続部は、前記遮蔽部に最も近い開口側壁に接続されるようにしてもよい。

前記基板、前記遮蔽部及び前記接続部は、一体構造であるようにしてもよい。

前記表示平面における前記遮蔽部の正投影の形状が、前記表示平面における、前記製造対象のディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材の正投影の形状と同じであり、前記表示平面における前記遮蔽部の正投影の面積が、前記表示平面における、前記製造対象のディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材の正投影の面積に等しく又はそれより僅かに大きいようにしてもよい。

第２態様によれば、本開示の実施例は、基板を提供するステップと、前記基板における特定部分を除去することで、前記基板において少なくとも１つの開口を形成し、かつ前記開口の内部に遮蔽部及び接続部を形成するステップと、を含み、製造対象のディスプレイスクリーンの表示平面における前記開口の正投影が前記製造対象のディスプレイスクリーンの表示領域と重なり、前記表示平面における前記遮蔽部の正投影が、前記表示平面における、前記製造対象のディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材の正投影と重なり、前記接続部は、前記遮蔽部と前記開口の側壁との間に接続される、マスクの製造方法を提供する。

上記技術案に基づいて、前記前記基板における特定部分を除去することで、前記基板において少なくとも１つの開口を形成し、かつ前記開口の内部に遮蔽部及び接続部を形成するステップは、ウエットエッチングプロセス又はレーザエッチングプロセスによって、前記基板における開口形成対象領域内の形成すべき遮蔽部及び接続部以外の領域部分を除去し、且つ接続部形成対象領域内に網目を製造することで、前記少なくとも１つの開口、前記遮蔽部、及び、網状構造を有する前記接続部を形成するステップ、又は、ウエットエッチングプロセスによって、前記基板における開口形成対象領域内の形成すべき遮蔽部及び接続部以外の領域部分を除去し、前記少なくとも１つの開口、前記遮蔽部、及び前記接続部の荒成形品を形成するステップと、レーザエッチングプロセスによって前記接続部の荒成形品をエッチングし、前記接続部の荒成形品において網目を製造し、網状構造を有する接続部を得るステップと、を含むようにしてもよい。

第３態様によれば、本開示の実施例は、蒸着方法を提供し、該蒸着方法は、少なくとも２回の蒸着を含み、各々の蒸着には、第１態様の第１、第２、第３の好ましい技術案に記載のマスクを用い、それぞれの蒸着後且つ次の蒸着前に、前記マスクを所定方向に沿って所定距離だけ移動させ、前記所定方向及び前記所定距離は、前記少なくとも２回の蒸着が終了した後、各網目を介して形成された蒸着フィルム層が互いに連通し、且つ前記接続部を介して形成された蒸着フィルム層が前記開口内の接続部及び遮蔽部以外の領域に形成された蒸着フィルム層に連通できるように、前記マスクにおける接続部の網状構造内の網目の配列状況によって決定される。

上記技術案に基づいて、前記少なくとも２回の蒸着で蒸着されたフィルム層の全厚さは、該フィルム層の設計厚さであるようにしてもよい。

前記蒸着方法は、２回の蒸着を含み、各々の蒸着による膜厚が該フィルム層の設計膜厚の半分であるようにしてもよい。

第４態様によれば、本開示の実施例は、ディスプレイスクリーンを提供し、前記ディスプレイスクリーンは、通常表示領域及び機能性部材領域を備え、前記機能性部材領域内には、前記ディスプレイスクリーンの機能性部材が設置され、前記機能性部材領域の形状が、その内部に設置された機能性部材の、表示平面における正投影の形状と同じであり、且つ前記機能性部材領域の面積が、その内部に設置された機能性部材の、表示平面における正投影の面積に等しく又はそれより僅かに大きく、前記通常表示領域は、前記機能性部材領域を取り囲む。

上記技術案に基づいて、前記通常表示領域内には、電極層が設けられ、前記通常表示領域は、前記機能性部材領域とそれに最も近い通常表示領域の縁部との間に位置する接続移行サブ領域を含み、前記電極層は、積層して設置された少なくとも２層のサブ電極層を含み、前記接続移行サブ領域内には、各層の前記サブ電極層は、互いに間隔を空けた複数の電極を含み、前記接続移行サブ領域内の各電極が互いに電気的に接続されるように、同一層のサブ電極層における複数の電極が該サブ電極層に隣接するサブ電極層における複数の電極同士の隙間に設置され、又は、前記接続移行サブ領域内には、前記電極層は、互いに間隔を空けた複数の電極を含み、前記複数の電極が互いに電気的に接続されるように、隣接する電極同士が電極セグメントを介して電気的に接続されるようにしてもよい。

本開示の実施例又は従来技術の技術案をより明瞭に説明するために、以下、実施例又は従来技術の説明において必要な図面を用いて簡単に説明し、明らかなように、以下の説明における図面は、本開示のいくつかの実施例に過ぎず、当業者であれば、創造的な労力を必要とせずにこれらの図面に基づいて他の図面を想到しうる。
想定される全画面のディスプレイスクリーンの母板の平面図である。 想定される全画面のマスクの平面構造図である。 本開示の実施例に係るマスクの平面構造図である。 本開示の実施例に係るマスクにおける単一の表示ユニットの平面構造図である。 本開示の実施例に係るマスクにおける単一の表示ユニットの平面構造図である。 本開示の実施例に係るマスクにおける単一の表示ユニットの平面構造図である。 本開示の実施例に係るマスクにおける単一の表示ユニットの平面構造図である。 本開示の実施例に係るマスクにおける接続部の網目の配置の平面図である。 本開示の実施例に係るマスクにおける接続部の網目の配置の平面図である。 本開示の実施例に係るマスクにおける接続部の網目の配置の平面図である。 本開示の実施例に係るマスクにおける網状構造の接続部の平面構造図である。 本開示の実施例に係る蒸着方法の３つの実施形態の模式図である。 本開示の実施例に係る蒸着方法の３つの実施形態の模式図である。 本開示の実施例に係る蒸着方法の３つの実施形態の模式図である。 本開示の実施例に係る別の蒸着方法の模式図である。 本開示の実施例に係るディスプレイスクリーンの平面構造図である。 図９中の接続移行サブ領域ＡＡ１の部分拡大図である。 断面線ａａ’に沿った図１０の断面図である。 図９における接続移行サブ領域ＡＡ１の別の部分拡大図である。

本開示の上記目的、特徴及び利点を明瞭で分かりやすくするために、以下、本開示の実施例の図面を参照しながら、本開示の実施例の技術案について明瞭で完全に説明する。明らかなように、説明する実施例は、本開示の実施例の一部に過ぎず、すべての実施例ではない。当業者であれば、本開示の実施例に基づいて、創造的な労力を必要とせずに得られるすべての他の実施例は、本開示の特許範囲に属する。

背景技術に記載のように、現在、業界のいわゆる「全画面」は、真の全画面ではなく、「ノッチ付き全画面」であり、「ノッチ」を除去することは、現在早く解決しなければならない課題である。想定される形態では、「ノッチ」を除去するために、スクリーンの正面の機能性部材、たとえばカメラを、スクリーンの正面の有効表示領域内に設置する必要がある。図１を参照すると、ディスプレイスクリーン母板１００が示されており、該ディスプレイスクリーン母板１００がＯＬＥＤ（Ｏｒｇａｎｉｃ Ｌｉｇｈｔ－Ｅｍｉｔｔｉｎｇ Ｄｉｏｄｅ、有機発光ダイオード）表示デバイスである場合を例に挙げると、２は、蒸着領域であり、ディスプレイスクリーンの有効表示領域に対応し、蒸着領域２にビアホール領域３を設置し、スクリーンの正面の機能性部材（たとえばカメラ）を該ビアホール領域３内に設置する必要があるため、ＯＬＥＤ発光デバイスに必要なＥＬ（Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ、電界発光）材料が蒸着過程でビアホール領域３内に蒸着してはいけない。

これに基づき、図２を参照すると、ＥＬ材料蒸着用のマスクが示されており、ここで、４は、金属フレームであり、５は、基板であり、６は、開口であり、スクリーンの有効表示領域、すなわち蒸着領域２に対応する。ＥＬ材料を有効表示領域内に蒸着しないように、開口６内で対応するビアホール領域３の領域を遮蔽する必要があり、すなわち、図２に示される遮蔽領域７が必要である。しかし、この場合、遮蔽用の部材を開口６に吊設する必要があるが、このような技術は、現在のところ、実現できない。

上記想定に基づき、図３に示すように、本開示の実施例は、基板５、遮蔽部８及び接続部９を備えるマスク３００を提供する。ここで、基板５は、少なくとも１つの開口６を有し、蒸着するときに、製造対象のディスプレイスクリーンの表示平面における該開口６の正投影が製造対象のディスプレイスクリーンの表示領域と重なり、遮蔽部８は、開口６の内部に設置され、蒸着するときに、製造対象のディスプレイスクリーンの表示平面における遮蔽部８の正投影が、表示平面における、製造対象のディスプレイスクリーンにおけるたとえば、カメラ、マイク、センサなどの機能性部材などの遮蔽すべき部材の正投影と重なり、接続部９は、遮蔽部８と開口６の側壁との間に接続され、遮蔽部８を支持することに用いられる。

本実施例に係るマスク３００では、マスク３００の開口６の内部に遮蔽部８を設置し、接続部９で遮蔽部８を開口６内に固定する。上記マスク３００を用いて蒸着するとき、遮蔽部８は、ディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材（たとえば、カメラ、マイク、センサなどの部材）を遮蔽でき、それにより、蒸着材料がこれらの部材に堆積することを回避し、これらの部材の周り領域が遮蔽されていないので、フィルム層の蒸着を正常に行うことができ、それにより、これらの部材の周りの領域が表示でき、画面占有率を向上させ、全画面設計を実現する。

なお、本実施例に係るマスク３００は、ＯＬＥＤ表示デバイスの発光デバイスの各機能性フィルム層、たとえば、電子注入層、電子輸送層、正孔注入層、正孔輸送層、陰極層などの蒸着に適用でき、これらの機能性フィルム層に必要な蒸着材料は、ＥＬ材料と総称できる。従来の設計には、これらの機能性フィルム層は、一般的に完全な一層のフィルムであるため、本実施例のマスク３００を用いて蒸着することができ、本実施例のマスク３００は、Ｏｐｅｎ Ｍａｓｋと呼ばれる。

上記技術案に基づいて、図４ａ～図４ｄに示すように、好ましい形態としては、マスク３００における接続部９は、網状構造を有してもよく、それにより、接続部９の遮蔽面積を減少させ、蒸着材料が接続部９の網状構造の網目を介して接続部９に対応する表示領域に蒸着でき、接続部９に対応する表示領域内の正常な表示を実現し、さらに画面占有率を向上させる。

例示的には、図４ａに示すように、接続部９は、一体構造でありながら軸対称構造であり、接続部９の対称軸Ｌが、遮蔽部８の中心を通り且つ接続部９に接続された開口６の縁部に垂直である。遮蔽部８に接続される接続部９の一端の幅ｄ１は、接続部９の対称軸Ｌに垂直な方向における遮蔽部８の最大幅以下であり、且つ開口６の側壁に接続される接続部９の一端ｄ２の幅は、遮蔽部８に接続される接続部９の一端ｄ１の幅より大きい。このような構造では、接続部９は、軸対称構造となり且つ台形に類似した形状とすることができ、それにより、接続部９が遮蔽部８に対称的な支持力を提供し、且つ遮蔽部８と開口６の側壁との間の接続がより安定的になる。

例示的には、図４ｂに示すように、接続部９は、一体構造でありながら軸対称構造であり、接続部９の対称軸Ｌが、遮蔽部８の中心を通り且つ接続部９に接続された開口６の縁部に垂直である。遮蔽部８に接続される接続部９の一端の幅ｄ１は、接続部９の対称軸Ｌに垂直な方向における遮蔽部８の最大幅以下であり、且つ開口６の側壁に接続される接続部９の一端ｄ２の幅は、遮蔽部８に接続される接続部９の一端ｄ１の幅に等しい。このような構造では、接続部９は、軸対称構造となり且つ長方形に類似した形状とすることができ、それにより、接続部９が遮蔽部８に対称的な支持力を提供し、且つ表示領域に対する接続部９の遮蔽面積が小さい。

例示的には、図４ｃに示すように、接続部９は、少なくとも２つのサブ接続部９１、９２を備え、接続部９の対称軸Ｌが、遮蔽部８の中心を通り且つ接続部９に接続された開口６の縁部に垂直であり、接続部９に含まれるすべてのサブ接続部（たとえば、サブ接続部９１、９２）が対称軸Ｌに対して対称的に配置される。開口６の側壁に接続される各サブ接続部の一端の幅ｄ１は、遮蔽部８に接続されるサブ接続部の一端の幅ｄ２より大きい。このような構造では、すべてのサブ接続部９は、対称軸Ｌに対して対称的に配置され、且つ各サブ接続部９は、台形に類似した形状とすることができ、それにより、接続部９が、全体として遮蔽部８に対称的な支持力を提供し、遮蔽部８と開口６の側壁との間の接続が安定的になり、且つ表示領域に対する接続部９全体の遮蔽面積が小さい。

例示的には、図４ｄに示すように、接続部９は、少なくとも２つのサブ接続部９１、９２を含み、接続部９の対称軸Ｌが、遮蔽部８の中心を通り且つ接続部９に接続された開口６の縁部に垂直であり、接続部９に含まれるすべてのサブ接続部（たとえば、サブ接続部９１、９２）が対称軸Ｌに対して対称的に配置される。開口６の側壁に接続される各サブ接続部の一端の幅ｄ１は、遮蔽部８に接続されるサブ接続部の一端の幅ｄ２に等しい。このような構造では、すべてのサブ接続部９は、対称軸Ｌに対して対称的に配置され、且つ各サブ接続部９は、長方形に類似した形状とすることができ、それにより、接続部９が、全体として遮蔽部８に対称的な支持力を提供し、遮蔽部８と開口６の側壁との間の接続が安定的になり、且つ表示領域に対する接続部９全体の遮蔽面積が小さい。

可能な設計の１つとしては、図５ａ～図５ｃを参照すると、製造対象のディスプレイスクリーンの表示平面における接続部９の網状構造の各網目９３の正投影が、製造対象のディスプレイスクリーンにおける対応領域の少なくとも１つのサブ画素を覆い、且つ製造対象のディスプレイスクリーンの表示平面における網状構造の実体部分９４の正投影が、製造対象のディスプレイスクリーンにおける対応領域の各サブ画素間の隙間領域内に位置する。図５ａ～図５ｃには、それぞれ３種類の異なるサブ画素の配列状況が示されており、各サブ画素の配列状況ごとに、接続部９の網状構造について対応する設計を行うことができる。上記設計によって、表示領域におけるサブ画素の開口領域に対する接続部９の遮蔽をさらに減少させ、接続部９に対応する表示領域の表示効果を向上させることができる。

本実施例におけるマスク３００がディスプレイスクリーンにおける接続を必要とするフィルム層の蒸着、たとえば陰極層の蒸着に用いられると、接続部９が網状構造を有し、各網目９３同士が実体部分９４により離間されているため、各網目に蒸着された陰極層が互いに連通できないという状況が発生することがある。このような問題については、図６に示すように、接続部９の網状構造内の隣接する２つの網目９３の間の実体部分９４に、切り欠き９５がそれと隣接する２つの網目９３を貫通するように切り欠き９５を設置することができる。このような設計によって、陰極層を蒸着するとき、陰極材料が網目９３に堆積するとともに、切り欠き９５に堆積し、それにより、各網目９３における陰極層の相互電気的接続が実現される。さらに、網状構造内の各網目９３と開口６とを連通するように、網状構造内のエッジの網目９３と開口６との間の実体部分９４に切り欠きを設置してもよく、このような設計によって、蒸着するときに、網状構造を介して形成された蒸着フィルム層が網状構造以外の領域におけるフィルム層に連通でき、それにより、フィルム層全体の電気的接続を実現する。

また、図３を参照すると、本実施例では、表示領域に対する接続部９の遮蔽面積を減少させるために、接続部９は、遮蔽部８に最も近い開口６の側壁に接続することができる。

本実施例では、基板５、遮蔽部８及び接続部９は、一体構造に形成してもよく、三つの材料は、いずれもインバー合金であってもよい。

また、本実施例では、可能な設計の１つとしては、表示平面における遮蔽部８の正投影の形状が、表示平面における、それに対応する遮蔽すべき部材の正投影の形状と同じであり、表示平面における遮蔽部８の正投影の面積が、表示平面における、それに対応する遮蔽すべき部材の正投影の面積に等しく又はそれより僅かに大きく、それにより、遮蔽部８が蒸着過程でディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材を効果的に遮蔽することを確保できるとともに、ディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材の周り領域に対する遮蔽をできるだけ回避できる。

なお、本実施例では、各開口６に含まれる遮蔽部８及び対応する接続部９の数は、１つに限定されず、両者の数は、ディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材の数に依存する。

また、本実施例におけるマスク３００は、基板５の変形を防止するように、基板５を支持するための金属フレーム４をさらに備えてもよい。

上記マスクに基づいて、本開示の実施例は、下記ステップを含むマスクの製造方法をさらに提供する。

Ｓ１、基板を提供する。
上記ステップＳ１では、提供される基板は、完全な基板であってもよく、基板の材料は、インバー合金又はマスクの製造に用いられ得るほかの材料でありうる。

Ｓ２、また、図３を参照すると、基板における特定部分を除去することで、基板において少なくとも１つの開口６、遮蔽部８、及び接続部９を形成する。製造対象のディスプレイスクリーンの表示平面における開口６の正投影が、製造対象のディスプレイスクリーンの表示領域と重なり、遮蔽部８と接続部９が開口６の内部に位置し、製造対象のディスプレイスクリーンの表示平面における遮蔽部８の正投影が、表示平面における、製造対象のディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材の正投影と重なり、接続部９は、遮蔽部８と開口６の側壁との間に接続される。

上記ステップＳ２では、「基板における特定部分を除去する」ことは、ウエットエッチングプロセス、レーザエッチングプロセス、又はウエットエッチングプロセスとレーザエッチングプロセスとの組み合わせを用い得る。

接続部９が網状構造を有する技術案については、
可能な設計の１つのとしては、上記ステップＳ２は、具体的には、ウエットエッチングプロセス又はレーザエッチングプロセスによって、基板における開口６形成対象領域内の形成すべき遮蔽部８及び接続部９以外の領域部分を除去し、且つ接続部９形成対象領域内に網目を製造することで、少なくとも１つの開口６、遮蔽部８、及び網状構造を有する接続部９を形成するステップを含み得る。つまり、同じエッチングプロセスにおいて開口６、遮蔽部８、及び網状構造を有する接続部９を形成することができる。

可能な設計の１つとしては、上記ステップＳ２は、具体的には、先ず、ウエットエッチングプロセスによって、基板における開口６形成対象領域内の形成すべき遮蔽部８及び接続部９以外の領域部分を除去し、少なくとも１つの開口６、遮蔽部８、及び接続部９の荒成形品を形成するステップと、次に、レーザエッチングプロセスによって接続部９の荒成形品をエッチングし、接続部９の荒成形品において網目を製造し、網状構造を有する接続部９を得るステップと、を含み得る。つまり、まず、１つのエッチングプロセスにより開口６、遮蔽部８、及び接続部９の荒成形品を形成し、次に、１つのエッチングプロセスにより接続部９の網状構造を形成するようにしてもよい。

なお、レーザエッチングプロセスにより基板をエッチングすると、エッチング精度が高く、精細度が高いという利点を有する。

図６に示した接続部の網状構造の形態については、網状構造内の隣接する２つの網目９３の間の実体部分９４には切り欠き９５を有し、切り欠き９５はレーザ穴開けの方式で製造できる。

上記接続部が網状構造を有するマスクに基づいて、本開示の実施例は、蒸着方法をさらに提供し、図７ａ～図７ｃを参照すると、該蒸着方法は、少なくとも２回の蒸着を含み、各々の蒸着には、上記接続部が網状構造を有するマスクを用い、且つそれぞれの蒸着後且つ次の蒸着前に、マスクを所定方向に沿って所定距離だけ移動させる。前記所定方向及び前記所定距離は、前記少なくとも２回の蒸着が終了した後、各網目９３における蒸着フィルム層が（各網目９３を介して形成された蒸着フィルム層）互いに連通でき、且つ接続部に対応する領域内のフィルム層（接続部を介して形成された蒸着フィルム層）がマスクの開口内の接続部及び遮蔽部以外の領域におけるフィルム層に連通できるように、マスクにおける接続部の網状構造内の網目９３の配列状況によって決定され、それにより、１回だけ蒸着する場合、各網目９３における蒸着フィルム層が互いに連通できないことがあるという問題を回避し、接続部に対応する表示領域の正常な表示を確保する。

例示的には、図７ａを参照すると、図において、網目９３が配列される行方向をＸ方向、Ｘ方向に垂直な方向をＹ方向とし、２回蒸着することができる。１回目の蒸着を完了して２回目の蒸着を行う前に、並進後の各網目９３の位置が並進前の各網目９３の間の隙間に対応するようにマスクをＸ方向に沿って所定距離だけ並進させ、それにより、２回目蒸着した後、同一行の蒸着フィルム層には、１回目の蒸着による隣接する２つの網目９３における蒸着フィルム層の間が２回目の蒸着による網目９３における蒸着フィルム層を介して連通し、且つ各行の蒸着フィルム層が、マスクの開口内の接続部及び遮蔽部以外の領域におけるフィルム層（開口内の接続部及び遮蔽部以外の領域に形成された蒸着フィルム層）に連通し、それにより、すべての網目９３における蒸着フィルム層の間の相互連通が実現される。

例示的には、図７ｂを参照すると、図において、網目９３が配列される行方向をＸ方向、Ｘ方向に垂直な方向をＹ方向とし、２回蒸着することができる。１回目の蒸着を完了して２回目の蒸着を行う前に、並進後の各網目９３の位置が並進前の各網目９３の間の隙間に対応するようにマスクをＹ方向に沿って所定距離だけ並進させ、それにより、２回目蒸着した後、Ｙ方向において、１回目の蒸着による隣接する２つの網目９３における蒸着フィルム層の間が２回目の蒸着による網目９３における蒸着フィルム層を介して連通でき、それにより、各網目９３における蒸着フィルム層の間の相互連通が実現される。

例示的には、図７ｃを参照すると、図において、網目９３が配列される行方向をＸ方向、Ｘ方向に垂直な方向をＹ方向とし、２回蒸着することができる。１回目の蒸着を完了して２回目の蒸着を行う前に、並進後の各網目９３の位置が並進前の各網目９３の間の隙間に対応するようにマスクを図示した方向（Ｘ方向とＹ方向との間の１つの方向）に沿って所定距離だけ並進させ、それにより、２回目蒸着した後、図示したマスク板の移動方向において、１回目の蒸着による隣接する２つの網目９３における蒸着フィルム層の間が２回目の蒸着による網目９３における蒸着フィルム層を介して連通でき、それにより、各網目９３における蒸着フィルム層の間の相互連通が実現される。

上記蒸着方法は、ディスプレイスクリーンにおける相互連通を必要とするフィルム層、例えば陰極層などの蒸着に適用できる。

ただし、各網目９３における蒸着フィルム層の相互連通を実現するために、図６に示すマスクを用いてもよく、すなわち、網状構造内の隣接する２つの網目９３間の実体部分９４に切り欠き９５を有するようにしてもよく、このようにすると、蒸着するときに、蒸着材料が網目９３に堆積するとともに、切り欠き９５に堆積し、それにより、各網目９３における蒸着フィルム層、及び各網目９３における蒸着フィルム層と網状構造以外の蒸着フィルム層との間の相互連通が実現される。

また、各網目９３における蒸着フィルム層の相互連通を実現するために、網状構造内の隣接する２つの網目９３の間の実体部分９４に切り欠き９５がないマスクを用いてもよく、図５ａ～図５ｃに示す網状構造では、蒸着するときに、蒸着材料の網目９３のエッジにおける拡散作用（業界では、Ｓｈａｄｏｗという）を直接利用して、隣接する網目９３における蒸着フィルム層の相互連通を実現することができる。

上記蒸着方法で蒸着されたフィルム層の全体厚さが該フィルム層の設計膜厚に一致することを確保するために、毎回蒸着されたフィルム層の全厚さを、該フィルム層の設計厚さとするようにしてもよく、それにより、ディスプレイスクリーンの歩留まりを確保する。例示的には、上記蒸着方法は、２回の蒸着を含むことができ、各々の蒸着による膜厚は、該フィルム層の設計膜厚の半分である。

上記マスクに基づいて、本実施例は、ディスプレイスクリーンをさらに提供し、図９に示すように、該ディスプレイスクリーンは、通常表示領域ＡＡ及び機能性部材領域ＢＢを備える。機能性部材領域ＢＢ内には、たとえばカメラ、マイク、センサなどのディスプレイスクリーンの機能性部材が設置され、機能性部材領域ＢＢの形状が、表示平面における、その内部に設置された機能性部材の正投影の形状と同じであり、且つ機能性部材領域ＢＢの面積が、表示平面における、その内部に設置された機能性部材の正投影の面積に等しく又はそれより僅かに大きく、通常表示領域ＡＡ内には、サブ画素が設置されて、正常な表示機能を実現でき、通常表示領域ＡＡは、機能性部材領域ＢＢを取り囲み、それにより、機能性部材領域Ｂの周りの領域が正常に表示できる。

上記ディスプレイスクリーンは、上記いずれか１つの実施例におけるマスクで蒸着フィルム層を製造することができ、機能性部材領域ＢＢは、蒸着過程において前記遮蔽部８が遮蔽する領域であり、前記通常表示領域ＡＡは、蒸着過程において前記開口６内の領域を介して形成された蒸着領域であり、上記ディスプレイスクリーンは、機能性部材領域ＢＢの周り領域の正常な表示を実現でき、それにより、ディスプレイスクリーンの画面占有率が高くなり、「全画面」設計が実現できる。

上記ディスプレイスクリーンでは、通常表示領域ＡＡは、マスク３００の開口６領域に対応し、接続移行サブ領域ＡＡ１と非接続移行サブ領域ＡＡ２を含むことができ、非接続移行サブ領域ＡＡ２は、主な表示領域であり、接続移行サブ領域ＡＡ１は、機能性部材領域ＢＢとそれに近い通常表示領域ＡＡの縁部との間に位置し、マスク３００の接続部９に対応する。機能性部材領域ＢＢは、マスク３００の遮蔽部８に対応する。

通常表示領域ＡＡ内には、電極層が設けられ、該電極層は、具体的には、陰極層であってもよい。

上記ディスプレイスクリーンの製造に用いるマスク３００が、接続部９に網状構造を有するマスクである場合、電極層は、構造的には、以下の特徴がある。図１０及び図１１に示すように、電極層１０は、積層して設置された少なくとも２層のサブ電極層、たとえば、図１０及び図１１に示すサブ電極層１０１、１０２を含み、接続移行サブ領域ＡＡ１内には、各層のサブ電極層は、互いに間隔を空けた複数の電極を含み、同一層のサブ電極層に含まれる複数の電極が該サブ電極層に隣接するサブ電極層における複数の電極同士の隙間に設置され、たとえば、図１０及び図１１には、サブ電極層１０１における複数の電極がサブ電極層１０２における複数の電極同士の隙間に設置される場合が示されており、このような構造設計によって、接続移行サブ領域ＡＡ１内の各電極が互いに電気的に接続される。

可能な設計の１つとしては、サブ電極層１０１は、マスク３００を用いて１回目の蒸着を行って形成されてもよく、その厚さをｘ１とし、サブ電極層１０２は、マスク３００を用いて２回目の蒸着を行って形成されてもよく、その厚さをｘ２とし、ｘ１＋ｘ２は、電極層１０全体の設計厚さｘに等しいようにしてもよく、また、ｘ１とｘ２は、同じであってもよい。図１１からわかるように、２回蒸着した後、接続移行サブ領域ＡＡ１内に位置する電極層の厚さは均一ではなく、厚さがｘ１又はｘ２の領域があるとともに、厚さがｘの領域がある。

上記ディスプレイスクリーンの製造に用いるマスク３００が、接続部９に網状構造を有するマスクであり、且つ接続部９の網状構造内の隣接する網目９３の間の実体部分９４に切り欠き９５を有する場合（図６を参照）、該マスクを直接用いて１回蒸着した後、電極層は、構造的には、以下の特徴がある。図１２に示すように、接続移行サブ領域ＡＡ１内には、電極層１０は、互いに間隔を空けた複数の電極１０３を含み、前記複数の電極１０３が互いに電気的に接続されるように、隣接する電極１０３の間が電極セグメント１０４を介して電気的に接続される。前記複数の電極１０３は、マスク３００の網目９３を介して電極材料で形成されるものであり、電極セグメント１０４は、マスク３００の実体部分９４における切り欠き９５を介して電極材料で形成されるものである。

以上は、本開示の特定の実施形態に過ぎないが、本開示の特許範囲は、これらに限られず、当業者であれば、本開示で開示された技術範囲内に容易に想到し得る変化や置換は、いずれも本開示の特許範囲内に含まれる。従って、本開示の特許範囲は、前記請求項の特許範囲を基準とする。

Claims (12)

1. マスクであって、
   少なくとも１つの開口を有し、製造対象のディスプレイスクリーンの表示平面における前記開口の正投影が前記製造対象のディスプレイスクリーンの表示領域と重なる基板と、
   前記開口の内部に設置され、前記表示平面における正投影が、前記表示平面における、前記製造対象のディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材の正投影と重なる遮蔽部と、
   前記遮蔽部と前記開口の側壁との間に位置し、前記遮蔽部と前記開口の側壁を接続するための接続部とを備え、
   前記接続部は、網状構造を有し、
   前記表示平面における前記網状構造の各網目の正投影が、前記製造対象のディスプレイスクリーンにおける少なくとも１つのサブ画素を覆い、且つ前記表示平面における前記網状構造の実体部分の正投影が前記製造対象のディスプレイスクリーンにおけるサブ画素間の隙間領域内に位置することを特徴とするマスク。
2. 前記網状構造内の隣接する２つの網目間の実体部分は、この隣接する２つの網目を貫通する切り欠きを有することを特徴とする請求項１に記載のマスク。
3. 前記接続部は、一体構造でありながら軸対称構造であり、前記接続部の対称軸が、前記遮蔽部の中心を通り且つ前記接続部に接続された開口の側壁に垂直であり、
   前記遮蔽部に接続される前記接続部の一端の幅は、前記接続部の対称軸に垂直な方向における前記遮蔽部の最大幅以下であり、前記開口の側壁に接続される前記接続部の一端の幅は、前記遮蔽部に接続される前記接続部の一端の幅以上であることを特徴とする請求項１または２に記載のマスク。
4. 前記接続部は、少なくとも２つの独立したサブ接続部を含み且つ軸対称構造となり、前記接続部の対称軸が、前記遮蔽部の中心を通り且つ前記接続部に接続された開口の側壁に垂直であり、前記少なくとも２つのサブ接続部は、前記対称軸に対して対称的に配置され、
   前記開口の側壁に接続される各前記サブ接続部の一端の幅は、前記遮蔽部に接続される前記サブ接続部の一端の幅以上であることを特徴とする請求項１または２に記載のマスク。
5. 前記接続部は、前記遮蔽部に最も近い開口の側壁に接続されることを特徴とする請求項１または２に記載のマスク。
6. 前記基板、前記遮蔽部及び前記接続部は、一体構造であることを特徴とする請求項１または２に記載のマスク。
7. 前記表示平面における前記遮蔽部の正投影の形状が、前記表示平面における、前記製造対象のディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材の正投影の形状と同じであり、前記表示平面における前記遮蔽部の正投影の面積が、前記表示平面における、前記製造対象のディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材の正投影の面積に等しく又はそれより僅かに大きい、請求項１または２に記載のマスク。
8. マスクの製造方法であって、
   基板を提供するステップと、
   前記基板における特定部分を除去することで、前記基板において少なくとも１つの開口を形成し、かつ前記開口の内部に遮蔽部及び接続部を形成するステップと、を含み、
   製造対象のディスプレイスクリーンの表示平面における前記開口の正投影が、前記製造対象のディスプレイスクリーンの表示領域と重なり、前記表示平面における前記遮蔽部の正投影が、前記表示平面における、前記製造対象のディスプレイスクリーンにおける遮蔽すべき部材の正投影と重なり、前記接続部は、前記遮蔽部と前記開口の側壁との間に接続され、
   前記基板における特定部分を除去することで、前記基板において少なくとも１つの開口を形成し、かつ前記開口の内部に遮蔽部及び接続部を形成するステップは、
   ウエットエッチングプロセス又はレーザエッチングプロセスによって、前記基板における開口形成対象領域内の形成すべき遮蔽部及び接続部以外の領域部分を除去し、且つ接続部形成対象領域内に網目を製造することで、前記少なくとも１つの開口、前記遮蔽部、及び、網状構造を有する前記接続部を形成するステップ、又は、
   ウエットエッチングプロセスによって、前記基板における開口形成対象領域内の形成すべき遮蔽部及び接続部以外の領域部分を除去し、前記少なくとも１つの開口、前記遮蔽部、及び前記接続部の荒成形品を形成するステップと、
   レーザエッチングプロセスによって前記接続部の荒成形品をエッチングし、前記接続部の荒成形品において網目を製造し、網状構造を有する接続部を得るステップと、
   を含み、
   前記表示平面における前記網状構造の各網目の正投影が、前記製造対象のディスプレイスクリーンにおける少なくとも１つのサブ画素を覆い、且つ前記表示平面における前記網状構造の実体部分の正投影が前記製造対象のディスプレイスクリーンにおけるサブ画素間の隙間領域内に位置することを特徴とするマスクの製造方法。
9. 蒸着方法であって、
   少なくとも２回の蒸着を含み、各々の蒸着には、請求項１に記載のマスクを用い、それぞれの蒸着後且つ次の蒸着前に、前記マスクを所定方向に沿って所定距離だけ移動させ、
   前記所定方向及び前記所定距離は、前記少なくとも２回の蒸着が終了した後、各網目を介して形成された蒸着フィルム層が互いに連通し、且つ前記接続部を介して形成された蒸着フィルム層が、前記開口内の接続部及び遮蔽部以外の領域を介して形成された蒸着フィルム層に連通できるように、前記マスクにおける接続部の網状構造内の網目の配列状況によって決定され、
   表示平面における前記網状構造の各網目の正投影が、製造対象のディスプレイスクリーンにおける少なくとも１つのサブ画素を覆い、且つ前記表示平面における前記網状構造の実体部分の正投影が前記製造対象のディスプレイスクリーンにおけるサブ画素間の隙間領域内に位置することを特徴とする蒸着方法。
10. 前記少なくとも２回の蒸着で蒸着されたフィルム層の全厚さは、該フィルム層の設計厚さであることを特徴とする請求項９に記載の蒸着方法。
11. 前記蒸着方法は、２回の蒸着を含み、各々の蒸着による膜厚が該フィルム層の設計膜厚の半分であることを特徴とする請求項１０に記載の蒸着方法。
12. ディスプレイスクリーンであって、
    通常表示領域及び機能性部材領域を備え、
    前記機能性部材領域内には、前記ディスプレイスクリーンの機能性部材が設置され、前記機能性部材領域の形状が、その内部に設置された機能性部材の、表示平面における正投影の形状と同じであり、且つ前記機能性部材領域の面積が、その内部に設置された機能性部材の、表示平面における正投影の面積に等しく又はそれより僅かに大きく、
    前記通常表示領域は、前記機能性部材領域を取り囲み、
    前記通常表示領域内には、電極層が設けられ、
    前記通常表示領域は、前記機能性部材領域と、それに最も近い通常表示領域の縁部との間に位置する接続移行サブ領域を含み、
    前記電極層は、積層して設置された少なくとも２層のサブ電極層を含み、前記接続移行サブ領域内において、各層の前記サブ電極層は、互いに間隔を空けた複数の電極を含み、前記接続移行サブ領域内の各電極が互いに電気的に接続されるように、同一下層のサブ電極層における複数の電極が該下層のサブ電極層に隣接する上層のサブ電極層における複数の電極同士の隙間の直下に設置され、又は、
    前記接続移行サブ領域内において、前記電極層は、互いに間隔を空けた複数の電極を含み、前記複数の電極が互いに電気的に接続されるように、隣接する電極同士が電極セグメントを介して電気的に接続されることを特徴とするディスプレイスクリーン。

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