JP7293123B2 - 裏面照射型の固体撮像装置、および裏面照射型の固体撮像装置の製造方法、撮像装置、並びに電子機器 - Google Patents
裏面照射型の固体撮像装置、および裏面照射型の固体撮像装置の製造方法、撮像装置、並びに電子機器 Download PDFInfo
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Description
光入射面と平行な平面視において、前記第1の半導体素子は、前記第3の半導体素子よりも大きいものとすることができる。
光入射面と平行な平面視において、前記第1の半導体素子は、前記第3の半導体素子よりも小さいものとすることができる。
1.本開示の概要
2.第1の実施の形態
3.第2の実施の形態
4.第3の実施の形態
5.第4の実施の形態
6.第5の実施の形態
7.第5の実施の形態の変形例
8.第6の実施の形態
9.固体撮像素子との接続例
10.固体撮像素子との接続例の変形例
11.放熱構造
12.電子機器への適用例
13.撮像素子の使用例
14.内視鏡手術システムへの応用例
15.移動体への応用例
本開示は、固体撮像装置の製造コストを低減させるものである。
図4は、本開示の固体撮像装置を製造する際に適用されるWoW技術により複数のウェーハが積層された構造を説明する図である。
図4で示されるようなWoW技術により、複数のウェーハが積層された後、個片化されることにより、本開示の固体撮像装置111(図5)が形成される。
次に、図6乃至図9を参照して、図5の固体撮像装置111の製造方法について説明する。尚、図6乃至図9の側面断面図6A乃至6Lは、固体撮像装置111の側面断面図を示している。
以上においては、固体撮像素子120が形成される層と、メモリ回路121、およびロジック回路122が再配置された層とが積層される2層構成からなる固体撮像装置111について説明してきたが、3層構成の固体撮像装置111であってもよい。
図10で示されるようなWoW技術により積層されたウェーハが個片化されることにより、本開示の固体撮像装置が形成される。本開示の固体撮像装置は、例えば、図11で示されるような構成とされる。尚、図11は、上段が側面断面図であり、下段が固体撮像素子120、メモリ回路121、およびロジック回路122の上面からみた配置図である。
次に、図12,図13を参照して、図11の固体撮像装置111の製造方法について説明する。尚、図12,図13の側面断面図12A乃至12Fは、固体撮像装置111の側面断面図を示している。
<固体撮像素子がメモリ回路またはロジック回路よりも小さい場合の固体撮像装置の構成例>
以上においては、固体撮像素子120が、メモリ回路121およびロジック回路122のいずれよりも大きい場合の例について説明してきたが、メモリ回路121およびロジック回路122の少なくともいずれかよりも小さい構成であってもよい。
次に、図15,図16を参照して、図14の固体撮像装置111の製造方法について説明する。尚、図15,図16の側面断面図15A乃至15Fは、固体撮像装置111の側面断面図を示している。
<固体撮像素子がメモリ回路およびロジック回路よりも小さい場合の3層構造の固体撮像装置の構成例>
以上においては、固体撮像素子120が、メモリ回路121よりも小さく、ロジック回路122よりも大きい場合の2層構造の固体撮像装置111の構成例について説明してきたが、固体撮像素子120が、メモリ回路121よりも小さく、ロジック回路122よりも大きい場合でも3層構造の固体撮像装置111としてもよい。
<メモリ回路およびロジック回路を固体撮像素子のウェーハに直接形成する場合の固体撮像装置の構成例>
以上においては、メモリ回路121およびロジック回路122が、個片化され、良品チップであることが確認された後に、ウェーハ102(サポート基板132)に形成される例について説明してきた。しかしながら、ウェーハ101上の固体撮像素子120に、個片化され、良品チップであることが確認されたメモリ回路121およびロジック回路122が直接形成されるようにしてもよい。
次に、図19,図20を参照して、図18の固体撮像装置111の製造方法について説明する。尚、図19,図20の側面断面図19A乃至19Eは、固体撮像装置111の側面断面図を示している。
<メモリ回路およびロジック回路を固体撮像素子のウェーハに直接形成する場合の固体撮像装置の変形例>
以上においては、メモリ回路121、およびロジック回路122が、酸化膜133からなる絶縁膜で埋め込まれて、平坦化された最上面に酸化膜接合層135が形成されて、図19の側面断面図19Bで示されるような構成とされていたが、酸化膜133に代えて、高耐熱樹脂を塗布、またはラミネートするようにしてもよい。
<メモリ回路およびロジック回路を固体撮像素子が形成されたウェーハに複数層形成する場合の固体撮像装置の構成例>
以上においては、ウェーハ101上に形成された固体撮像素子120に、個片化され、良品チップであることが確認されたメモリ回路121およびロジック回路122を1層分再配置して形成する例について説明してきたが、良品チップであることが確認されたメモリ回路121およびロジック回路122を複数層分再配置して形成するようにしてもよい。
図24で示されるようなWoW技術により積層されたウェーハが個片化されることにより、本開示の固体撮像装置が形成される。本開示の固体撮像装置は、例えば、図25の側面断面図で示されるような構成とされる。
次に、図26乃至図28を参照して、図25の固体撮像装置111の製造方法について説明する。尚、図26乃至図28の側面断面図26A乃至26Gは、固体撮像装置111の側面断面図を示している。
<第1の接続例>
以上においては、接合について、端子以外の部分は、酸化膜結合とし、端子については、CuCu接合として配線134を形成して電気的に接続する例について説明してきたが、それ以外の接続方法でもよい。
次に、図30乃至図32を参照して、図29の接続例を用いた固体撮像装置111の製造方法について説明する。尚、図30乃至図32の側面断面図30A乃至30Hは、固体撮像装置111の側面断面図を示している。また、ここでは、接続例29Aについて説明する。
以上においては、固体撮像装置111の裏面側(撮像面に対して反対側)からスルービアを形成し、端子を電気的に接続する配線を形成する例について説明してきたが、表面側(撮像面側)からスルービアを形成して金属を流し込んで配線を形成するようにしもよい。
次に、図34乃至図36を参照して、図33の接続例を用いた固体撮像装置111の製造方法について説明する。尚、図34乃至図36の側面断面図34A乃至34Hは、固体撮像装置111の側面断面図を示している。また、ここでは、接続例33Aについて説明する。
<第1の固体撮像素子との接続例の変形例>
固体撮像素子120と、メモリ回路121、およびロジック回路122との電気的な接続方法については、図29,図33の接続例以外でもよい。
図38で示されるように、第1の半導体基板321の多層配線層331が、第2の半導体基板322側(図中上側)に向けられて、第1の半導体基板321と第2の半導体基板322との境界で、多層配線層331,332が貼り合せられるようにしてもよい。
図39の構成では、第2の半導体基板322の絶縁膜層371が第3の半導体基板323側(図中下側)に向けられて第1の半導体基板321と第2の半導体基板322が貼り合せられている。
図40の構成では、図37の場合と同様に、第1の半導体基板321には、第1の半導体基板321の裏面側(受光面側)からパッド341に達するようにパッド孔350が形成されている。そして、第1の半導体基板321の多層配線層331にパッド342が形成されている。
図41の構成では、図37の場合と同様に、第1の半導体基板321には、第1の半導体基板321の裏面側(受光面側)からパッド341に達するようにパッド孔350が形成されている。そして、第1の半導体基板321の多層配線層331にパッド342が形成されている。
図42の構成では、図41の場合とは異なり、第1の半導体基板321と第2の半導体基板322との電気的接続に用いられるコンタクト401,402が設けられている。すなわち、図42の構成の場合、コンタクト401の図中左側の下側端部がコンタクト402の図中上側端部に接続されることにより、第1の半導体基板321と第2の半導体基板322が電気的に接続される。なお、コンタクト401は、ツインコンタクトとして構成されている。
高画質で、かつ、高フレームレートの固体撮像素子120は、発熱しやすいため放熱の対策が必要である。固体撮像素子120は光学的なセンシングなので、センシングされる表面は光を取り込むために、図43の側面断面図43Aで示されるように、固体撮像素子120の前段にレンズ431が配置されて空気の空間432が存在する。
以上においては、ロジック回路122やメモリ回路121の周囲の酸化膜133に代えて、ダミー回路441を配置する例について説明してきたが、ダミー回路441に対して、より熱伝導率の高い金属からなるダミー配線を含ませるようにしてもよい。
以上においては、ロジック回路122やメモリ回路121の周辺の酸化膜133に代えて、ダミー配線441aを含むダミー回路441を設けることで、放熱効率を向上させる例について説明してきたが、サポート基板132の裏側に高熱伝導率材料部材を張り付けるようにして、放熱効率を向上させるようにしてもよい。
以上においては、サポート基板132の裏側に高熱伝導率材料部材471を張り付けることで、放熱効率を向上させる例について説明してきたが、さらに、高熱伝導率材料部材471内に冷却水を循環させるための水路を設けて、水冷方式の放熱機構を設けるようにしてもよい。
以上においては、図48の左上部で示されるように、メモリ回路121、およびロジック回路122の周辺においては、すき間となる領域を酸化膜133で埋め込む構成とされる例について説明してきたが、酸化膜133を埋め込むにあたっては、時間が掛かるため、プロセスコストが増大する。
上述した撮像素子は、例えば、デジタルスチルカメラやデジタルビデオカメラなどの撮像装置、撮像機能を備えた携帯電話機、または、撮像機能を備えた他の機器といった各種の電子機器に適用することができる。
<<13.撮像素子の使用例>>
・自動停止等の安全運転や、運転者の状態の認識等のために、自動車の前方や後方、周囲、車内等を撮影する車載用センサ、走行車両や道路を監視する監視カメラ、車両間等の測距を行う測距センサ等の、交通の用に供される装置
・ユーザのジェスチャを撮影して、そのジェスチャに従った機器操作を行うために、TVや、冷蔵庫、エアーコンディショナ等の家電に供される装置
・内視鏡や、赤外光の受光による血管撮影を行う装置等の、医療やヘルスケアの用に供される装置
・防犯用途の監視カメラや、人物認証用途のカメラ等の、セキュリティの用に供される装置
・肌を撮影する肌測定器や、頭皮を撮影するマイクロスコープ等の、美容の用に供される装置
・スポーツ用途等向けのアクションカメラやウェアラブルカメラ等の、スポーツの用に供される装置
・畑や作物の状態を監視するためのカメラ等の、農業の用に供される装置
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、内視鏡手術システムに適用されてもよい。
本開示に係る技術(本技術)は、様々な製品へ応用することができる。例えば、本開示に係る技術は、自動車、電気自動車、ハイブリッド電気自動車、自動二輪車、自転車、パーソナルモビリティ、飛行機、ドローン、船舶、ロボット等のいずれかの種類の移動体に搭載される装置として実現されてもよい。
<1> 画素単位で画素信号を生成する撮像素子を有する第1の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な信号処理回路が埋め込み部材により埋め込まれた第2の半導体素子と、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子との間を電気的に接続する配線とを含み、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子とは、酸化膜接合で積層される
裏面照射型の固体撮像装置。
<2> 前記第1の半導体素子は、前記第2の半導体素子よりも大きい
<1>に記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<3> 前記第1の半導体素子は、前記第2の半導体素子よりも小さい
<1>に記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<4> 前記信号処理回路は、第1の信号処理回路と、第2の信号処理回路とを含み、
前記第2の半導体素子には、前記第1の信号処理回路と、前記第2の信号処理回路が水平方向に並べて配置されて前記埋め込み部材により埋め込まれる
<1>乃至<3>のいずれかに記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<5> 前記信号処理回路は、第1の信号処理回路と、第2の信号処理回路とを含み、
前記配線は、第1の配線と、第2の配線とを含み、
前記第2の半導体素子には、前記第1の信号処理回路が前記埋め込み部材により埋め込まれ、
前記第2の信号処理回路が前記埋め込み部材により埋め込まれた第3の半導体素子とを含み、
前記第1の配線は、前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子とを電気的に接続し、
前記第2の配線は、前記第2の半導体素子と、前記第3の半導体素子とを電気的に接続し、
前記第2の半導体素子と、前記第3の半導体素子とは、酸化膜接合で積層される
<1>乃至<4>のいずれかに記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<6> 前記配線は、CuCu接合である
<1>乃至<5>のいずれかに記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<7> 前記配線は、スルービアを介して電気的に接続する
<1>乃至<5>のいずれかに記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<8> 前記配線は、前記撮像素子の撮像面側から形成されたスルービアを介して電気的に接続する
<7>に記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<9> 前記配線は、前記撮像素子の撮像面の反対側の面から形成されたスルービアを介して電気的に接続する
<7>に記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<10> 前記埋め込み部材は、酸化膜である
<1>乃至<9>のいずれかに記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<11> 前記埋め込み部材は、有機材料である
<1>乃至<9>のいずれかに記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<12> 前記第2の半導体素子内において、前記信号処理回路は、前記信号処理回路間のすき間を最小とするようにレイアウトされ、有機材料からなる前記埋め込み部材により、埋め込まれる
<11>に記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<13> 前記第2の半導体素子には、前記信号処理回路に加えて、半導体素子からなる、ダミー配線を含むダミー回路が前記埋め込み部材により埋め込まれる
<1>乃至<12>のいずれかに記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<14> 前記第2の半導体素子における、前記第1の半導体素子と積層される面と反対側の面に、所定の熱伝導率より高い部材からなる、熱を放出する放熱部材が積層される
<1>乃至<13>のいずれかに記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<15> 前記放熱部材は、SiC、AIN、SIN、Cu、Al、およびCを含む
<14>に記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<16> 前記放熱部材は、冷却水を循環させる水路を含む
<14>に記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<17> 前記信号処理回路は、ロジック回路、メモリ回路、電源回路、画像信号圧縮回路、クロック回路、および光通信変換回路を含む
<1>乃至<16>のいずれかに記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<18> 前記信号処理回路は、前記埋め込み部材により前記第1の半導体素子に埋め込まれる
<1>乃至<17>のいずれかに記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<19> 前記信号処理回路は、その一部を、前記第1の半導体素子に対して位置決めして当接し、当接した部位の周辺の部位から徐々に接合した後、前記埋め込み部材により埋め込まれる
<18>に記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<20> 前記その一部は、前記信号処理回路の端辺、および端点を含む
<19>に記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<21> 前記信号処理回路は、前記第1の半導体素子よりも小さい
<19>に記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<22> 前記信号処理回路は、その一部を、前記第2の半導体素子に対して位置決めして当接し、当接した部位の周辺の部位から徐々に接合した後、前記埋め込み部材により埋め込まれる
<1>乃至<17>のいずれかに記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<23> 前記その一部は、前記信号処理回路の端辺、および端点を含む
<22>に記載の裏面照射型の固体撮像装置。
<24> 画素単位で画素信号を生成する撮像素子を有する第1の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な信号処理回路が埋め込み部材により埋め込まれた第2の半導体素子と、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子との間を電気的に接続する配線とを含み、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子とは、酸化膜接合で積層される
裏面照射型の固体撮像装置の製造方法であって、
半導体プロセスにより形成された前記撮像素子を有する第1のウェーハと、
半導体プロセスにより形成された前記信号処理回路のうち、電気的な検査により良品と判定された前記信号処理回路が再配置されて、前記埋め込み部材により埋め込まれた第2のウェーハとが、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子との間の配線が電気的に接続されるように酸化膜接合で積層された後、個片化される
裏面照射型の固体撮像装置の製造方法。
<25> 画素単位で画素信号を生成する撮像素子を有する第1の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な信号処理回路が埋め込み部材により埋め込まれた第2の半導体素子と、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子との間を電気的に接続する配線とを含み、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子とは、酸化膜接合で積層される
裏面照射型の固体撮像装置を備えた撮像装置。
<26> 画素単位で画素信号を生成する撮像素子を有する第1の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な信号処理回路が埋め込み部材により埋め込まれた第2の半導体素子と、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子との間を電気的に接続する配線とを含み、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子とは、酸化膜接合で積層される
裏面照射型の固体撮像装置を備えた電子機器。
Claims (20)
- 画素単位で画素信号を生成する撮像素子を有する第1の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な第1の信号処理回路を含む第2の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な第2の信号処理回路を含む第3の半導体素子と、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子との間を電気的に接続する第1の配線と、
前記第1の半導体素子と、前記第3の半導体素子との間を電気的に接続する第2の配線とを含み、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子とが、酸化膜接合で積層され、
前記第1の半導体素子と、前記第3の半導体素子とが、酸化膜接合で積層される
裏面照射型の固体撮像装置。 - 光入射面と平行な平面視において、前記第1の半導体素子は、前記第2の半導体素子よりも大きい
請求項1に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 光入射面と平行な平面視において、前記第1の半導体素子は、前記第3の半導体素子よりも大きい
請求項2に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 光入射面と平行な平面視において、前記第1の半導体素子は、前記第2の半導体素子よりも小さい
請求項1に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 光入射面と平行な平面視において、前記第1の半導体素子は、前記第3の半導体素子よりも小さい
請求項4に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記第2の半導体素子と、前記第3の半導体素子が水平方向に並べて配置されて埋め込み部材により埋め込まれる
請求項1に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記第1の配線および前記第2の配線は、CuCu接合である
請求項1に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記第1の配線および前記第2の配線は、スルービアを介して電気的に接続する
請求項1に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記第1の配線および前記第2の配線は、前記撮像素子の撮像面側から形成されたスルービアを介して電気的に接続する
請求項8に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記第1の配線および前記第2の配線は、前記撮像素子の撮像面の反対側の面から形成されたスルービアを介して電気的に接続する
請求項8に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記埋め込み部材は、酸化膜である
請求項6に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記埋め込み部材は、有機材料である
請求項6に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記第2の半導体素子は、前記第1の信号処理回路に加えて、半導体素子からなる、ダミー配線を含むダミー回路を含み、
前記第3の半導体素子は、前記第2の信号処理回路に加えて、半導体素子からなる、ダミー配線を含むダミー回路を含む
請求項1に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記第2の半導体素子における、前記第1の半導体素子と積層される面と反対側の面に、熱を放出する放熱部材が積層され、
前記第3の半導体素子における、前記第1の半導体素子と積層される面と反対側の面に、熱を放出する放熱部材が積層される
請求項1に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記放熱部材は、SiC、AlN、SIN、Cu、Al、およびCを含む
請求項14に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記放熱部材は、冷却水を循環させる水路を含む
請求項14に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 前記第1の信号処理回路および前記第2の信号処理回路は、ロジック回路、メモリ回路、電源回路、画像信号圧縮回路、クロック回路、および光通信変換回路を含む
請求項1に記載の裏面照射型の固体撮像装置。 - 画素単位で画素信号を生成する撮像素子を有する第1の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な第1の信号処理回路を含む第2の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な第2の信号処理回路を含む第3の半導体素子と、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子との間を電気的に接続する第1の配線と、
前記第1の半導体素子と、前記第3の半導体素子との間を電気的に接続する第2の配線とを含み、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子とは、酸化膜接合で積層され、
前記第1の半導体素子と、前記第3の半導体素子とは、酸化膜接合で積層される
裏面照射型の固体撮像装置の製造方法であって、
半導体プロセスにより形成された前記撮像素子を有する第1のウェーハと、
半導体プロセスにより形成された前記第1の信号処理回路および前記第2の信号処理回路のうち、電気的な検査により良品と判定された前記第1の信号処理回路および前記第2の信号処理回路が再配置された第2のウェーハとが、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子との間の第1の配線が電気的に接続され、かつ、前記第1の半導体素子と、前記第3の半導体素子との間の第2の配線が電気的に接続されるように積層された後、個片化される
裏面照射型の固体撮像装置の製造方法。 - 画素単位で画素信号を生成する撮像素子を有する第1の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な第1の信号処理回路を含む第2の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な第2の信号処理回路を含む第3の半導体素子と、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子との間を電気的に接続する第1の配線と、
前記第1の半導体素子と、前記第3の半導体素子との間を電気的に接続する第2の配線とを含み、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子とが、酸化膜接合で積層され、
前記第1の半導体素子と、前記第3の半導体素子とが、酸化膜接合で積層される
裏面照射型の固体撮像装置を備えた撮像装置。 - 画素単位で画素信号を生成する撮像素子を有する第1の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な第1の信号処理回路を含む第2の半導体素子と、
前記画素信号の信号処理に必要な第2の信号処理回路を含む第3の半導体素子と、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子との間を電気的に接続する第1の配線と、
前記第1の半導体素子と、前記第3の半導体素子との間を電気的に接続する第2の配線とを含み、
前記第1の半導体素子と、前記第2の半導体素子とが、酸化膜接合で積層され、
前記第1の半導体素子と、前記第3の半導体素子とが、酸化膜接合で積層される
裏面照射型の固体撮像装置を備えた電子機器。
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DE112020003515T5 (de) * | 2019-07-24 | 2022-04-28 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Festkörperbildaufnahmevorrichtung, elektronische einrichtung und verfahren zum herstellen einer festkörperbildaufnahmevorrichtung |
TW202118280A (zh) * | 2019-09-10 | 2021-05-01 | 日商索尼半導體解決方案公司 | 攝像裝置、電子機𠾖及製造方法 |
US20220344400A1 (en) | 2019-09-30 | 2022-10-27 | Nikon Corporation | Image capturing device and image capturing apparatus |
JP2021068950A (ja) * | 2019-10-18 | 2021-04-30 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置及び電子機器 |
US20230048188A1 (en) | 2020-01-06 | 2023-02-16 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Light-receiving device |
WO2021199679A1 (ja) * | 2020-03-31 | 2021-10-07 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像素子および撮像素子の製造方法 |
CN115315808A (zh) * | 2020-03-31 | 2022-11-08 | 索尼半导体解决方案公司 | 摄像元件和摄像元件的制造方法 |
KR20230035058A (ko) * | 2020-07-07 | 2023-03-10 | 소니 세미컨덕터 솔루션즈 가부시키가이샤 | 촬상 장치 및 전자기기 |
JP2022040579A (ja) * | 2020-08-31 | 2022-03-11 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置、および、半導体装置の製造方法 |
WO2022080125A1 (ja) | 2020-10-16 | 2022-04-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置および電子機器 |
JPWO2022091615A1 (ja) * | 2020-10-26 | 2022-05-05 | ||
JP2022089275A (ja) * | 2020-12-04 | 2022-06-16 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 撮像装置、電子機器、製造方法 |
JPWO2022196188A1 (ja) * | 2021-03-15 | 2022-09-22 | ||
JP2022174486A (ja) * | 2021-05-11 | 2022-11-24 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置およびその製造方法、並びに電子機器 |
JPWO2023007797A1 (ja) * | 2021-07-27 | 2023-02-02 | ||
CN117730415A (zh) * | 2021-07-30 | 2024-03-19 | 京瓷株式会社 | 电子元件安装用基板以及电子装置 |
JP2023082375A (ja) * | 2021-12-02 | 2023-06-14 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 半導体装置及び電子機器 |
WO2023145388A1 (ja) * | 2022-01-25 | 2023-08-03 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置及び電子機器 |
JP2024016742A (ja) * | 2022-07-26 | 2024-02-07 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 電子デバイス |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012134231A (ja) | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 積層デバイスの製造方法及び積層デバイス |
JP2012164870A (ja) | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Sony Corp | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
WO2012133760A1 (ja) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | ボンドテック株式会社 | 電子部品実装方法、電子部品実装システムおよび基板 |
JP2013187529A (ja) | 2012-03-12 | 2013-09-19 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | チップ部品の組立方法 |
JP2014103395A (ja) | 2012-11-16 | 2014-06-05 | Siliconfile Technologies Inc | バッティングコンタクト方式を用いたウエハ間の電気的連結方法およびこれを用いて実現した半導体装置 |
JP2014187166A (ja) | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Sony Corp | 半導体装置、および製造方法 |
WO2015004867A1 (ja) | 2013-07-12 | 2015-01-15 | シャープ株式会社 | 放射線検出用半導体装置 |
JP2017139325A (ja) | 2016-02-03 | 2017-08-10 | 株式会社村田製作所 | 半導体モジュール及び半導体モジュールの製造方法 |
WO2017149983A1 (ja) | 2016-03-01 | 2017-09-08 | ソニー株式会社 | 半導体装置、電子モジュール、電子機器、および半導体装置の製造方法 |
WO2017169480A1 (ja) | 2016-03-31 | 2017-10-05 | 株式会社ニコン | 撮像素子および撮像装置 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01218042A (ja) * | 1988-02-26 | 1989-08-31 | Nec Corp | 半導体装置 |
JP2004008406A (ja) * | 2002-06-05 | 2004-01-15 | Toshiba Corp | 放射線検出器の製造方法、放射線検出器およびx線ct装置 |
TW200824058A (en) * | 2005-02-23 | 2008-06-01 | Almt Corp | Semiconductor element mounting member, semiconductor device, imaging device, light emitting diode constituting member, and light emitting diode |
KR101070921B1 (ko) * | 2006-10-19 | 2011-10-06 | 삼성테크윈 주식회사 | 이미지 센서용 칩 패키지 및 그 제조방법 |
JP5685898B2 (ja) * | 2010-01-08 | 2015-03-18 | ソニー株式会社 | 半導体装置、固体撮像装置、およびカメラシステム |
US8766387B2 (en) * | 2012-05-18 | 2014-07-01 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Vertically integrated image sensor chips and methods for forming the same |
JP2014099582A (ja) | 2012-10-18 | 2014-05-29 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
WO2014077044A1 (ja) * | 2012-11-16 | 2014-05-22 | シャープ株式会社 | フリップチップ接合方法、および当該フリップチップ接合方法を含むことを特徴とする固体撮像装置の製造方法 |
KR102029077B1 (ko) | 2013-02-04 | 2019-10-07 | 삼성전자주식회사 | 패키지의 외부접속단자 형성 방법 및 이를 수행하기 위한 장치 |
JP2015195235A (ja) * | 2014-03-31 | 2015-11-05 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子、電子機器、および撮像方法 |
JP6245474B2 (ja) * | 2014-04-21 | 2017-12-13 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法、並びに、電子機器 |
JP2016018962A (ja) * | 2014-07-10 | 2016-02-01 | 株式会社東芝 | 固体撮像装置および固体撮像装置の製造方法 |
JP2016146376A (ja) * | 2015-02-06 | 2016-08-12 | ルネサスエレクトロニクス株式会社 | 撮像装置およびその製造方法 |
JP6693068B2 (ja) * | 2015-03-12 | 2020-05-13 | ソニー株式会社 | 固体撮像装置および製造方法、並びに電子機器 |
US9881956B2 (en) * | 2016-05-06 | 2018-01-30 | International Business Machines Corporation | Heterogeneous integration using wafer-to-wafer stacking with die size adjustment |
KR102460077B1 (ko) * | 2016-08-05 | 2022-10-28 | 삼성전자주식회사 | 스택 이미지 센서 패키지 및 이를 포함하는 스택 이미지 센서 모듈 |
KR102619666B1 (ko) * | 2016-11-23 | 2023-12-29 | 삼성전자주식회사 | 이미지 센서 패키지 |
KR102275684B1 (ko) * | 2017-04-18 | 2021-07-13 | 삼성전자주식회사 | 반도체 패키지 |
KR102380823B1 (ko) * | 2017-08-16 | 2022-04-01 | 삼성전자주식회사 | 발열체를 포함하는 칩 구조체 |
-
2018
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-
2023
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Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012134231A (ja) | 2010-12-20 | 2012-07-12 | Disco Abrasive Syst Ltd | 積層デバイスの製造方法及び積層デバイス |
JP2012164870A (ja) | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Sony Corp | 固体撮像装置とその製造方法、及び電子機器 |
WO2012133760A1 (ja) | 2011-03-30 | 2012-10-04 | ボンドテック株式会社 | 電子部品実装方法、電子部品実装システムおよび基板 |
JP2013187529A (ja) | 2012-03-12 | 2013-09-19 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | チップ部品の組立方法 |
JP2014103395A (ja) | 2012-11-16 | 2014-06-05 | Siliconfile Technologies Inc | バッティングコンタクト方式を用いたウエハ間の電気的連結方法およびこれを用いて実現した半導体装置 |
JP2014187166A (ja) | 2013-03-22 | 2014-10-02 | Sony Corp | 半導体装置、および製造方法 |
WO2015004867A1 (ja) | 2013-07-12 | 2015-01-15 | シャープ株式会社 | 放射線検出用半導体装置 |
JP2017139325A (ja) | 2016-02-03 | 2017-08-10 | 株式会社村田製作所 | 半導体モジュール及び半導体モジュールの製造方法 |
WO2017149983A1 (ja) | 2016-03-01 | 2017-09-08 | ソニー株式会社 | 半導体装置、電子モジュール、電子機器、および半導体装置の製造方法 |
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