JP7208317B2 - 搬送システム、可動子の制御方法、製造システム及び物品の製造方法 - Google Patents
搬送システム、可動子の制御方法、製造システム及び物品の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7208317B2 JP7208317B2 JP2021142761A JP2021142761A JP7208317B2 JP 7208317 B2 JP7208317 B2 JP 7208317B2 JP 2021142761 A JP2021142761 A JP 2021142761A JP 2021142761 A JP2021142761 A JP 2021142761A JP 7208317 B2 JP7208317 B2 JP 7208317B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mover
- permanent magnets
- coils
- magnet
- magnet group
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
- H02K41/031—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors of the permanent magnet type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G43/00—Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
- B65G43/08—Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G54/00—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for
- B65G54/02—Non-mechanical conveyors not otherwise provided for electrostatic, electric, or magnetic
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K11/00—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection
- H02K11/20—Structural association of dynamo-electric machines with electric components or with devices for shielding, monitoring or protection for measuring, monitoring, testing, protecting or switching
- H02K11/21—Devices for sensing speed or position, or actuated thereby
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N15/00—Holding or levitation devices using magnetic attraction or repulsion, not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P25/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
- H02P25/02—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
- H02P25/06—Linear motors
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P25/00—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details
- H02P25/02—Arrangements or methods for the control of AC motors characterised by the kind of AC motor or by structural details characterised by the kind of motor
- H02P25/06—Linear motors
- H02P25/064—Linear motors of the synchronous type
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02P—CONTROL OR REGULATION OF ELECTRIC MOTORS, ELECTRIC GENERATORS OR DYNAMO-ELECTRIC CONVERTERS; CONTROLLING TRANSFORMERS, REACTORS OR CHOKE COILS
- H02P6/00—Arrangements for controlling synchronous motors or other dynamo-electric motors using electronic commutation dependent on the rotor position; Electronic commutators therefor
- H02P6/14—Electronic commutators
- H02P6/16—Circuit arrangements for detecting position
- H02P6/17—Circuit arrangements for detecting position and for generating speed information
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2812/00—Indexing codes relating to the kind or type of conveyors
- B65G2812/99—Conveyor systems not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K2213/00—Specific aspects, not otherwise provided for and not covered by codes H02K2201/00 - H02K2211/00
- H02K2213/03—Machines characterised by numerical values, ranges, mathematical expressions or similar information
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Combustion & Propulsion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Linear Motors (AREA)
Description
以下、図面を参照して本発明の第1実施形態について図1A乃至図9を用いて説明する。
Pos(101b)=Sc-Pc …式(1)
Pos(101a)=Sa-Pa …式(2)
Pos(101a)′=Sb-Pb …式(3)
Wz=(Ya-Yb)/Ly …式(4)
Wy=(Zb-Za)/Lz1 …式(5a)
Wx=(Zc-Za)/Lz2 …式(5b)
Y=(Ya+Yb)/2-Wz*dX′
Z=(Za+Zb)/2+Wy*dX″
FzfR:R側の永久磁石103aRのZ方向に働く力
FxfR:R側の永久磁石103bRのX方向に働く力
FyfR:R側の永久磁石103bRのY方向に働く力
FxbR:R側の永久磁石103cRのX方向に働く力
FybR:R側の永久磁石103cRのY方向に働く力
FzbR:R側の永久磁石103dRのZ方向に働く力
FzfL:L側の永久磁石103aLのZ方向に働く力
FxfL:L側の永久磁石103bLのX方向に働く力
FyfL:L側の永久磁石103bLのY方向に働く力
FxbL:L側の永久磁石103cLのX方向に働く力
FybL:L側の永久磁石103cLのY方向に働く力
FzbL:L側の永久磁石103dLのZ方向に働く力
T=(Tx,Ty,Tz,Twx,Twy,Twz) …式(6)
Tx=FxfR+FxbR+FxfL+FxbL …式(7a)
Ty=FyfL+FyfR+FybL+FybR …式(7b)
Tz=FzbR+FzbL+FzfR+FzfL …式(7c)
Twx={(FzfL+FzbL)-(FzfR+FzbR)}*rx …式(7d)
Twy={(FzfL+FzfR)-(FzbL+FzbR)}*ry …式(7e)
Twz={(FyfL+FyfR)-(FybL+FybR)}*rz …式(7f)
FxfR=FxbR=FxfL=FxbL …式(7g)
FyfL=FyfR …式(7h)
FybL=FybR …式(7i)
FzbR=FzbL …式(7j)
ΣFz(j、X)*i(j)=FzbR …式(8)
FxfR=Fx(3,X)*i(3)+Fx(4,X)*i(4)+Fx(5,X)*i(5) …式(11)
FyfR=Fy(3,X)*i(3)+Fy(4,X)*i(4)+Fy(5,X)*i(5) …式(12)
i(3)+i(4)+i(5)=0 …式(13)
i(1)=i(2)=i(6)=0 …式(14)
本発明の第2実施形態について図10及び図11を用いて説明する。図10は、本実施形態による可動子101を示す概略図である。図11は、本実施形態による可動子101及び固定子201を示す概略図である。なお、上記第1実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。
Tx=FxfR+FxbR …式(15a)
Ty=FyfR+FybR …式(15b)
Tz=FzbR+FzfR …式(15c)
Twx=(FybR-FyfR)*rx2 …式(15d)
Twy=(FzfR-FzbR)*ry …式(15e)
Twz=(FyfR-FybR)*rz …式(15f)
本発明の第3実施形態について図12及び図13を用いて説明する。図12は、本実施形態による可動子101及び固定子201を示す概略図である。図13は、本実施形態による可動子101を示す概略図である。なお、上記第1及び第2実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。
Tx=FxfR+FxbR+FxfL+FxbL …式(16a)
Ty=FyfL+FyfR+FybL+FybR …式(16b)
Tz=FzbR+FzbL+FzfR+FzfL …式(16c)
Twx={(FzfL+FzbL)-(FzfR+FzbR)}*rx3 …式(16d)
Twy={(FzfL+FzfR)-(FzbL+FzbR)}*ry3 …式(16e)
Twz={(FybL+FybR)-(FyfL+FyfR)}*rz3 …式(16f)
FxfR=FxbR=FxfL=FxbL …式(16g)
FyfL=FyfR …式(16h)
FybL=FybR …式(16i)
FzbR=FzbL …式(16j)
第1変形例による可動子101について図14Aを用いて説明する。図14Aは、本変形例による可動子101を示す概略図である。
Tx=FxfL+FxbL+FxfR+FxbR …式(17a)
Ty=FycL+FycR …(式17b)
Tz=FzfL+FzbL+FzfR+FzbR …式(17c)
Twx={(FzfL+FzbL)-(FzfR+FzbR)}*rx3 …式(17d)
Twy={(FzfL+FzfR)-(FzbL+FzbR)}*ry3 …式(17e)
Twz={(FxfR+FxbR)-(FxfL+FxbL)}*rx3 …式(17f)
第2変形例による可動子101について図14Bを用いて説明する。図14Bは、本変形例による可動子101を示す概略図である。
Ty=FycL …式(18b)
第3変形例による可動子101について図14Cを用いて説明する。図14Cは、本変形例による可動子101を示す概略図である。
Ty=FyfL …式(19b-1)
Twz={(FxfR+FxbR)-(FxfL+FxbL)}*rx3-FyfL*rz3 …式(19f-1)
Ty=FybR …式(19b-2)
Twz={(FxfR+FxbR)-(FxfL+FxbL)}*rx3+FybR*rz3 …式(19f-2)
Ty=FyfL+FybR …式(19b-3)
Twz={(FxfR+FxbR)-(FxfL+FxbL)}*rx3+(FybR-FyfL)*rz3 …式(19f-3)
第4変形例による可動子101について図14Dを用いて説明する。図14Dは、本変形例による可動子101を示す概略図である。
Ty=ΣFyiR+ΣFyiL …式(20b)
上記第3実施形態による可動子101は、さらに他の変形例が可能である。例えば、さらにX軸方向の搬送力を高めるために、永久磁石103bR、103cR、103bL、103cL、の4組の磁石よりも永久磁石の数を増やすことができる。具体的には、可動子101の上面におけるR側の部分に永久磁石103bRと同様の永久磁石を多数、横一列又は複数列に並べるようにすることができる。同様に、可動子101の上面におけるL側の部分に永久磁石103bLと同様の永久磁石を多数、横一列又は複数列に並べるようにすることができる。
本発明の第4実施形態について図15及び図16を用いて説明する。図15及び図16は、本実施形態による可動子101及び固定子201を示す概略図である。なお、上記第1乃至第3実施形態と同様の構成要素については同一の符号を付し説明を省略し又は簡略にする。
Tx=FxbR+FxfL …式(21a)
Ty=FyfL+FybR …式(21b)
Tz=FzbR+FzfL …式(21c)
Twx=(FzfL-FzbR)*ry1+(FybR-FyFL)*rz1 …式(21d)
Twy=(FzfL-FzbR)*rx1 …式(21e)
Twz=(FybR-FyfL)*rx2 …式(21f)
本発明は、上記実施形態に限らず種々の変形が可能である。
絶縁の仕方はいくつか方法があるが、例えば金属のボックスで1又は複数のコイルを覆い、その中に、気体を入れておくことが好ましい。
しかしながら、窒素や二酸化炭素ガス、大気でも、コイル周りの部品保護性能は十分高い。
102 ワーク
103 永久磁石
104 リニアスケール
105 Yターゲット
106 Zターゲット
107 ヨーク
201 固定子
202 コイル
203 コイルユニット
204 リニアエンコーダ
205 Yセンサ
206 Zセンサ
301 統合コントローラ
302 コイルコントローラ
303 コイルユニットコントローラ
304 センサユニットコントローラ
Claims (16)
- 第1の方向に沿って配置された複数の第1磁石よりなる第1の磁石群と、前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って配置された複数の第2磁石よりなる第2の磁石群と、を有し、前記第1の方向に移動可能な可動子と、
前記第1の磁石群及び前記第2の磁石群に対向可能に前記第1の方向に沿って配置された複数のコイルと、を有し、
前記第1の方向において、前記第2の磁石群は前記第1の磁石群よりも前記可動子の先端側に設けられている
ことを特徴とする搬送システム。 - 前記第2の磁石群は複数であり、
前記複数の第2の磁石群の少なくとも1つは、前記第1の方向において前記第1の磁石群よりも前記可動子の先端側に配置されており、
前記複数の第2の磁石群の少なくとも1つは、前記第1の方向において前記第1の磁石群よりも前記可動子の終端側に配置されている
ことを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。 - 前記第1の磁石群は複数であり、
前記第2の磁石群は、前記第1の方向において、2つの前記第1の磁石群に挟まれて配置されている
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送システム。 - 前記第2の磁石群を挟んだ2つの前記第1の磁石群の第1磁石のうち、前記第2の磁石群に最も近い位置に配置された第1磁石の磁極は同じである
ことを特徴とする請求項3に記載の搬送システム。 - 前記第1の磁石群と前記第2の磁石群は、互いに間隔を空けて配置されている
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の搬送システム。 - 前記複数のコイルの少なくとも1つのコイルの前記第2の方向における長さは、前記第2の磁石群の前記第2の方向における長さよりも短い
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の搬送システム。 - 前記複数のコイルの少なくとも1つのコイルの前記第2の方向における長さは、前記第1の磁石群の前記第2の方向における長さよりも長い
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の搬送システム。 - 前記複数の第1磁石は前記複数のコイルと対向可能な位置において、前記第1の方向において隣り合う第1磁石の極性が互いに異なり、
前記複数の第2磁石は前記複数のコイルと対向可能な位置において、前記第2の方向において隣り合う第2磁石の極性が互いに異なる
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の搬送システム。 - 前記可動子は、前記第1の方向に沿った上面を有し、
前記第1の磁石群及び前記第2の磁石群は、前記上面に配置されている
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の搬送システム。 - 前記複数のコイルの少なくとも1つは、鉄心を有し、かつ、前記第1の磁石群及び前記第2の磁石群と上方から対向可能に配置されている
ことを特徴とする請求項9に記載の搬送システム。 - 前記搬送システムは、固定子をさらに有し、
前記固定子は底面と、前記底面と対向する天面と、を有し、
前記複数のコイルは、前記固定子の前記天面に配置されている
ことを特徴とする請求項9又は10に記載の搬送システム。 - 前記可動子は、前記固定子と接触せずに前記第1の方向に移動可能である
ことを特徴とする請求項11に記載の搬送システム。 - 請求項1乃至12のいずれか1項に記載の搬送システムと、ワークに作業を施す工程装置と、
を有することを特徴とする製造システム。 - 第1の方向に沿って配置された複数の第1磁石よりなる第1の磁石群と、前記第1の方向と交差する第2の方向に沿って配置された複数の第2磁石よりなる第2の磁石群と、を有する可動子の制御方法であって、
前記第1の方向において、前記第2の磁石群は前記第1の磁石群よりも前記可動子の先端側に設けられ、
前記第1の磁石群及び前記第2の磁石群に対向可能に前記第1の方向に沿って配置された複数のコイルに流す電流を制御することにより、前記第1の方向への可動子の搬送を制御する、
ことを特徴とする制御方法。 - 前記複数のコイルに流す電流を制御することにより、前記可動子の姿勢を制御する、
ことを特徴とする請求項14に記載の制御方法。 - 請求項14又は15に記載の制御方法を用いて、前記可動子に載置したワークを搬送する工程と、
工程装置を用いて前記ワークに作業を実施する工程と、を有する
ことを特徴とする物品の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2023000592A JP2023030208A (ja) | 2018-08-08 | 2023-01-05 | 搬送システム、製造システム、搬送システムの制御方法及び物品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018149579 | 2018-08-08 | ||
JP2018149579 | 2018-08-08 | ||
JP2018231005A JP6938457B2 (ja) | 2018-08-08 | 2018-12-10 | 搬送システム、可動子、制御装置及び制御方法 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018231005A Division JP6938457B2 (ja) | 2018-08-08 | 2018-12-10 | 搬送システム、可動子、制御装置及び制御方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023000592A Division JP2023030208A (ja) | 2018-08-08 | 2023-01-05 | 搬送システム、製造システム、搬送システムの制御方法及び物品の製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2021184701A JP2021184701A (ja) | 2021-12-02 |
JP2021184701A5 JP2021184701A5 (ja) | 2022-01-11 |
JP7208317B2 true JP7208317B2 (ja) | 2023-01-18 |
Family
ID=69620527
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018231005A Active JP6938457B2 (ja) | 2018-08-08 | 2018-12-10 | 搬送システム、可動子、制御装置及び制御方法 |
JP2021142761A Active JP7208317B2 (ja) | 2018-08-08 | 2021-09-01 | 搬送システム、可動子の制御方法、製造システム及び物品の製造方法 |
JP2023000592A Pending JP2023030208A (ja) | 2018-08-08 | 2023-01-05 | 搬送システム、製造システム、搬送システムの制御方法及び物品の製造方法 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018231005A Active JP6938457B2 (ja) | 2018-08-08 | 2018-12-10 | 搬送システム、可動子、制御装置及び制御方法 |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2023000592A Pending JP2023030208A (ja) | 2018-08-08 | 2023-01-05 | 搬送システム、製造システム、搬送システムの制御方法及び物品の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11777388B2 (ja) |
JP (3) | JP6938457B2 (ja) |
KR (2) | KR102504956B1 (ja) |
CN (1) | CN115102362A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102022205059A1 (de) | 2021-06-08 | 2022-12-08 | Canon Kabushiki Kaisha | Transportsystem und steuerverfahren eines transportsystems |
JP2023072266A (ja) | 2021-11-12 | 2023-05-24 | 三菱重工エンジニアリング株式会社 | 二酸化炭素回収システム |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007053825A (ja) | 2005-08-15 | 2007-03-01 | Nikon Corp | ステージ製造方法及び露光装置製造方法 |
JP2008182210A (ja) | 2006-12-27 | 2008-08-07 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2008199727A (ja) | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Jtekt Corp | リニアモータおよびそれを備えた工具移動装置 |
JP2015230927A (ja) | 2014-06-03 | 2015-12-21 | キヤノン株式会社 | 移動装置、荷電粒子線描画装置 |
JP2016532308A (ja) | 2013-10-16 | 2016-10-13 | コリア エレクトロテクノロジー リサーチ インスティテュートKorea Electrotechnology Research Institute | 磁気浮上搬送装置 |
Family Cites Families (29)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5032975A (en) | 1987-08-07 | 1991-07-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Controller for automatic assembling apparatus |
JPH0734645B2 (ja) * | 1988-05-13 | 1995-04-12 | 旭化成工業株式会社 | 可動磁石リニア直流モータ |
JP3115297B2 (ja) | 1989-10-09 | 2000-12-04 | キヤノン株式会社 | 自動装置の制御装置 |
US6246204B1 (en) * | 1994-06-27 | 2001-06-12 | Nikon Corporation | Electromagnetic alignment and scanning apparatus |
CA2179971C (en) | 1995-06-30 | 2001-10-30 | Takahisa Yamamoto | An adaptable communication apparatus and an adaptable communication system |
US6462491B1 (en) | 1999-01-27 | 2002-10-08 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Position sensorless motor control apparatus |
JP4532712B2 (ja) | 2000-09-29 | 2010-08-25 | キヤノン株式会社 | 電子機器 |
JP3826039B2 (ja) | 2002-01-22 | 2006-09-27 | キヤノン株式会社 | 信号処理装置 |
JP4109902B2 (ja) | 2002-05-27 | 2008-07-02 | キヤノン株式会社 | 表示装置 |
KR20050084304A (ko) | 2002-12-16 | 2005-08-26 | 코닌클리케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. | 높은 위치 정밀도로 물체를 처리하는 장치 |
US6952086B1 (en) * | 2003-10-10 | 2005-10-04 | Curtiss-Wright Electro-Mechanical Corporation | Linear position sensing system and coil switching methods for closed-loop control of large linear induction motor systems |
US7557529B2 (en) * | 2005-01-11 | 2009-07-07 | Nikon Corporation | Stage unit and exposure apparatus |
WO2006075575A1 (ja) | 2005-01-11 | 2006-07-20 | Nikon Corporation | ステージ装置及び露光装置 |
JP2008005665A (ja) | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Hitachi Ltd | 円筒リニアモータ及びそれを用いた車両 |
US7898204B2 (en) | 2007-01-05 | 2011-03-01 | Active Precision, Inc. | High-speed substrate manipulator |
EP2345135A1 (en) | 2008-11-11 | 2011-07-20 | Chanty Sengchanh | An electric machine |
CN102480210B (zh) | 2010-11-24 | 2013-09-25 | 南京理工大学 | 模块化、长行程电磁直线执行器及其电流换相方法 |
JP5750358B2 (ja) | 2011-10-28 | 2015-07-22 | 山洋電気株式会社 | 電気機械 |
WO2015017933A1 (en) | 2013-08-06 | 2015-02-12 | The University Of British Columbia | Displacement devices and methods and apparatus for detecting and estimating motion associated with same |
JP6335603B2 (ja) | 2014-04-15 | 2018-05-30 | キヤノン株式会社 | 台車搬送システム |
DE102014225171A1 (de) | 2014-12-08 | 2016-06-09 | Robert Bosch Gmbh | Sicherungssystem für eine Anordnung zum Bewegen von Transportkörpern |
EP3032724B1 (de) | 2014-12-11 | 2020-05-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Sekundärteil mit Schablone |
JP6521772B2 (ja) | 2015-07-07 | 2019-05-29 | キヤノン株式会社 | 搬送システム及びその制御方法、並びに台車及びその制御方法 |
JP6704705B2 (ja) | 2015-10-22 | 2020-06-03 | キヤノン株式会社 | 可動磁石型リニアモータ制御システム及びその制御方法 |
JP7066333B2 (ja) | 2017-05-17 | 2022-05-13 | キヤノン株式会社 | 搬送システム、加工システム、物品の製造方法、搬送システムの制御方法及び可動機構 |
US10965201B2 (en) | 2017-09-25 | 2021-03-30 | Canon Kabushiki Kaisha | Transport system, processing system and manufacturing method of article |
JP7137300B2 (ja) | 2017-09-25 | 2022-09-14 | キヤノン株式会社 | 搬送装置、搬送システム、搬送システムの制御方法、加工システム及び物品の製造方法 |
US10889449B2 (en) | 2017-09-25 | 2021-01-12 | Canon Kabushiki Kaisha | Transport system and manufacturing method of article |
JP7179488B2 (ja) | 2018-05-11 | 2022-11-29 | キヤノン株式会社 | 搬送システムおよびその制御方法 |
-
2018
- 2018-12-10 JP JP2018231005A patent/JP6938457B2/ja active Active
-
2019
- 2019-07-26 KR KR1020190090676A patent/KR102504956B1/ko active IP Right Grant
- 2019-08-05 CN CN202210835118.0A patent/CN115102362A/zh active Pending
-
2021
- 2021-09-01 JP JP2021142761A patent/JP7208317B2/ja active Active
-
2022
- 2022-05-05 US US17/737,265 patent/US11777388B2/en active Active
-
2023
- 2023-01-05 JP JP2023000592A patent/JP2023030208A/ja active Pending
- 2023-02-24 KR KR1020230024714A patent/KR20230031875A/ko not_active Application Discontinuation
- 2023-08-25 US US18/456,151 patent/US20230421037A1/en active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007053825A (ja) | 2005-08-15 | 2007-03-01 | Nikon Corp | ステージ製造方法及び露光装置製造方法 |
JP2008182210A (ja) | 2006-12-27 | 2008-08-07 | Canon Inc | ステージ装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
JP2008199727A (ja) | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Jtekt Corp | リニアモータおよびそれを備えた工具移動装置 |
JP2016532308A (ja) | 2013-10-16 | 2016-10-13 | コリア エレクトロテクノロジー リサーチ インスティテュートKorea Electrotechnology Research Institute | 磁気浮上搬送装置 |
JP2015230927A (ja) | 2014-06-03 | 2015-12-21 | キヤノン株式会社 | 移動装置、荷電粒子線描画装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2023030208A (ja) | 2023-03-07 |
JP6938457B2 (ja) | 2021-09-22 |
KR20230031875A (ko) | 2023-03-07 |
JP2021184701A (ja) | 2021-12-02 |
US20220263398A1 (en) | 2022-08-18 |
CN115102362A (zh) | 2022-09-23 |
US20230421037A1 (en) | 2023-12-28 |
KR102504956B1 (ko) | 2023-03-02 |
US11777388B2 (en) | 2023-10-03 |
KR20200017339A (ko) | 2020-02-18 |
JP2020028212A (ja) | 2020-02-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN110829781B (zh) | 运输系统、动子、控制设备及控制方法 | |
JP2023030208A (ja) | 搬送システム、製造システム、搬送システムの制御方法及び物品の製造方法 | |
JP7483397B2 (ja) | 搬送システム | |
KR20210101133A (ko) | 반송장치 및 물품의 제조방법 | |
JP7479835B2 (ja) | 搬送装置及び物品の製造方法 | |
JP7467093B2 (ja) | 搬送システムおよび物品の製造方法 | |
JP7406897B2 (ja) | 搬送装置および物品の製造方法 | |
JP2023174388A (ja) | 搬送システム、成膜装置、搬送システムの制御方法及び物品の製造方法 | |
WO2020203921A1 (ja) | 搬送システム、可動子、制御装置及び制御方法 | |
JP2021126003A (ja) | 搬送装置、可動子、および物品の製造方法 | |
JP2023083978A (ja) | 搬送システム | |
JP2021126040A (ja) | 搬送装置、生産システム、及び物品の製造方法 | |
JP2022187975A (ja) | 搬送システム及び搬送システムの制御方法 | |
JP2023087446A (ja) | 搬送装置 | |
JP2022108256A (ja) | 搬送システム、加工システム及び物品の製造方法 | |
CN115447978A (zh) | 输送系统和输送系统的控制方法 | |
JP2020167929A (ja) | 搬送システム、可動子、制御装置及び制御方法 | |
JP2023035181A (ja) | 搬送装置、加工システム、制御方法及び物品の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20211206 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20211206 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20220630 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20221005 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20221206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20230105 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 7208317 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |