JP2021126040A - 搬送装置、生産システム、及び物品の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】 可動子を安定してスムーズに搬送することができる搬送装置を提供する。【解決手段】 搬送装置は、第１の方向に沿って移動する可動子と、第１の方向に沿って配置され、可動子の位置情報を検出する複数の第１のセンサを有する固定子と、複数の第１のセンサの検出値から求められる複数の第１のセンサの少なくとも１つと可動子との相対位置と、複数の第１センサが可動子を検出する検出時間との少なくとも１つに基づき、可動子の位置情報を補正し、可動子の位置および／または姿勢を制御する制御部と、を有する。【選択図】 図１４

Description

本発明は、搬送システム及びその制御方法に関する。

一般に、工業製品を組み立てるための生産ラインや半導体露光装置等では、搬送システムが用いられている。特に、生産ラインにおける搬送システムは、自動化された生産ライン内または生産ライン間の複数のステーションの間で、部品等のワークを搬送する。また、生産装置（プロセス装置）中の搬送装置として使われる場合もある。搬送システムとしては、可動磁石型リニアモータによる搬送システムが既に提案されている。

可動磁石型リニアモータによる搬送システムでは、可動子に永久磁石が配置され、永久磁石に対向するようにリニアモータ固定子がフレームに設置される。さらに、前記固定子が設置されたフレームに可動子を検出するセンサを備える。このセンサの検出データに基づき可動子の位置及び姿勢を算出し、その位置及び姿勢に基づき制御されることにより、リニアモータの駆動制御が行われる。

例えば、特許文献１には、可動磁石型の磁気浮上搬送装置の制御方法が開示されている。文献１に記載されている磁気浮上搬送装置は、可動子が常時３個の変位センサと６個の磁極と対向するように設置することで、変位センサにより可動子との垂直方向距離を計測し、可動子の３次元座標を特定し制御している。

特開平５−６４３１５号公報

上記従来技術の搬送システムにおいて、固定子側に設置されたセンサで可動子を検出し制御する搬送システムでは、前記可動子の位置を連続的に算出しながら制御を行うには、可動子が搬送方向に移動するに従い、センサを切替えながら搬送する必要がある。

前記センサの切り替わりに際し、新たに可動子を検出しなくなるセンサ（排出センサ）と可動子を検出し始めるセンサ（進入センサ）は、同一の検出面を示す出力が得られることが理想的である。しかしながら、センサの取付け精度やセンサ毎の機差、あるいは検出対象である可動子の表面状態の違いなどから前記センサの出力には差が生じ、これら検出データを用いて算出される位置及び姿勢は大きく変動する。これにより、可動子の振動といった好ましくない挙動が生じるという課題があり、上記従来技術では十分に除去できないことがあった。そして、前記の振動は、可動子の安定搬送が維持できない、あるいはワークの破損といった深刻な問題の要因となることがある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、可動子を安定してスムーズに搬送することができる搬送装置及びその制御方法を提供することである。

上記課題を解決するための第１の態様の搬送装置は、第１の方向に沿って移動する可動子と、前記第１の方向に沿って配置され、前記可動子の位置情報を検出する複数の第１のセンサを有する固定子と、前記複数の第１のセンサの検出値から求められる前記複数の第１のセンサの少なくとも１つと前記可動子との相対位置と、前記複数の第１センサが前記可動子を検出する検出時間と、の少なくとも１つに基づき、前記可動子の位置情報を補正し、前記可動子の位置および／または姿勢を制御する制御部と、を有することを特徴とする。

上記課題を解決するための第２の態様の搬送装置は、第１の方向に沿って移動する可動子と、前記第１の方向に沿って配置され前記可動子の前記第１方向の位置情報を検出する複数の第１のセンサと、前記可動子の前記第１の方向に交差する第２の方向の位置情報を検出する複数の第２のセンサと、を有する固定子と、前記複数の第１のセンサの検出値を用いて前記複数の第２のセンサの少なくとも１つを選択し、選択された前記第２のセンサと前記可動子との相対位置に基づき、前記可動子の第２の方向の位置情報を補正し、前記可動子の位置および／または姿勢を制御する制御部と、を有することを特徴とする。

本発明によれば、搬送時のセンサの切り替えにより生じる可動子の位置の算出結果の変動を小さく抑えることが可能となり、可動子を安定してスムーズに搬送することができる。

本発明の第１実施形態による搬送装置を示す概略図である。 本発明の第１実施形態による搬送装置を示す概略図である。 本発明の第１実施形態を示す搬送システム構成図である。 本発明の第１実施形態のデータフローを説明する概略図である。 本発明の第１実施形態の搬送方向位置検出を説明する概略図である。 本発明の第１実施形態の搬送方向に直交した方向の可動子姿勢算出情報処理を説明する概略図である。 本発明の第１実施形態のセンサの設置位置情報に基づき係数を算出する関数を例示する概略図である。 本発明の第１実施形態の搬送方向に直交した図７と異なる方向の可動子姿勢算出情報処理を説明する概略図である。 本発明の第１実施形態の搬送方向に直交した方向の可動子姿勢算出処理を説明する概略図である。 本発明の第１実施形態の搬送方向に直交した図９と異なる方向の可動子姿勢算出処理を説明する概略図である。 本発明の第１実施形態の効果を説明する概略図である。 本発明の第１実施形態における可動子姿勢算出情報処理関数の異なる構成を例示する概略図である。 本発明の第１実施形態における永久磁石に対してＸ方向及びＺ方向に独立に力を印加する方法を示す概略図である。 本発明の第２実施形態による搬送システム全体を示す概略図である。 本発明の第２実施形態を示す搬送システム構成図である。 本発明の第２実施形態のデータフローを説明する概略図である。 本発明の第２実施形態の搬送方向位置検出を説明する概略図である。 本発明の第２実施形態の効果を説明する概略図である。 本発明の第２実施形態の効果を説明する概略図である。 本発明の第２実施形態を説明する概略図である。 本発明の第２実施形態による搬送システムを示す概略図である。

本実施形態による搬送装置について図面を参照して説明する。

図１、図２（Ａ）および図２（Ｂ）は、本実施形態による搬送装置を示す概略図である。

図１、図２（Ａ）および図２（Ｂ）において、２０１は搬送路を構成する固定子、３０１は台車、スライダ、又はキャリッジを構成する可動子を示す。図１は、本実施形態の固定子２０１及び可動子３０１をＹ方向から見た概略図である。図２（Ａ）は、本実施形態の固定子２０１および可動子３０１を−Ｘ方向から見た概略図である。図２（Ｂ）は、可動子３０１の上面における永久磁石３０３の配置を示している。また、図２（Ａ）の左半分は、図２Ｂの（Ａ）−（Ａ）線に沿った断面（Ａ）を示している。また、図２（Ａ）の右半分は、図２Ｂの（Ｂ）−（Ｂ）線に沿った断面（Ｂ）を示している。

なお、図１、図２（Ａ）および図２（Ｂ）では、固定子２０１に対して１台の可動子３０１を示しているが、これに限定されるものではない。搬送装置１においては、複数台の可動子３０１が固定子２０１上を搬送され得る。

本実施形態による搬送装置１は、固定子２０１により可動子３０１を搬送することにより、可動子３０１に保持されたワーク３０２を生産装置に搬送するために用いることが好ましい。あるいは、生産装置（プロセス装置）中の搬送装置として用いてもよい。本実施形態による搬送装置によって搬送される可動子に保持されたワークに加工作業あるいは検査作業等の作業（工程作業）を施すことにより、高精度に物品を製造することができる。

なお、実施形態による搬送装置と生産装置が含まれるシステムを、本明細書において生産システムと称する場合がある。本明細書における生産装置とは、ワークに対して加工作業あるいは検査作業等の作業を施すための装置のことを言い、例えば、検査装置、組み立て装置、半導体露光装置、蒸着装置等が挙げられる。本実施形態による生産システムは、複数の生産装置を有していてもよく、複数の生産装置は、ワークに対して同じ作業を施すための生産装置であってもよいし、別の作業を施すための生産装置であってもよい。

ここで、以下の説明において用いる座標軸、方向等を定義する。まず、可動子３０１の搬送方向である水平方向に沿ってＸ軸をとり、可動子３０１の搬送方向をＸ方向とする。また、Ｘ方向と直交する方向である鉛直方向に沿ってＺ軸をとり、鉛直方向をＺ方向とする。また、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向に沿ってＹ軸をとり、Ｘ方向及びＺ方向に直交する方向をＹ方向とする。さらに、Ｘ軸周りの回転をＷｘ、Ｙ軸、Ｚ軸周りの回転を各々Ｗｙ，Ｗｚとする。また、乗算の記号として“＊”を、冪乗の記号として“＾”を使用する。また、自然指数関数をｅｘｐ（）として表記する。また、可動子３０１のＹ＋側をＲ側、Ｙ−側をＬ側として記載する。なお、可動子３０１の搬送方向は必ずしも水平方向である必要はないが、その場合も搬送方向をＸ方向として同様にＹ方向及びＺ方向を定めることができる。

搬送装置１は、リニアガイド等の案内装置を持たず、固定子２０１上において非接触で可動子３０１を搬送する磁気浮上型の搬送装置として構成されている。

図２（Ｂ）に示すように、可動子３０１は、永久磁石３０３として、永久磁石３０３ａＲ、３０３ｂＲ、３０３ｃＲ、３０３ｄＲ、３０３ａＬ、３０３ｂＬ、３０３ｃＬ、３０３ｄＬを有している。

可動子３０１のＲ側の上面に、永久磁石３０３ａＲ、３０３ｂＲ、３０３ｃＲ、３０３ｄＲが取り付けられている。また、可動子３０１のＬ側の上面に、永久磁石３０３ａＬ、３０３ｂＬ、３０３ｃＬ、３０３ｄＬが取り付けられている。なお、以下では、特に区別する必要がないかぎり、可動子３０１の永久磁石を単に「永久磁石３０３」と表記する。また、Ｒ側とＬ側とを区別する必要まではないが、各永久磁石３０３を個別に特定する必要がある場合、各永久磁石３０３に対する符号の末尾からＲ又はＬを除いた識別子としての小文字のアルファベットまでの符号を用いて各永久磁石３０３を個別に特定する。この場合、「永久磁石３０３ａ」、「永久磁石３０３ｂ」、「永久磁石３０３ｃ」又は「永久磁石３０３ｄ」と表記して、各永久磁石３０３を個別に特定する。

永久磁石３０３ａＲ、３０３ｄＲは、可動子３０１のＸ方向に沿ったＲ側の上面におけるＸ方向の一方の端部及び他方の端部に取り付けられている。永久磁石３０３ｂＲ、３０３ｃＲは、可動子３０１のＲ側の上面の永久磁石３０３ａＲ、３０３ｄＲ間に取り付けられている。永久磁石３０３ａＲ、３０３ｂＲ、３０３ｃＲ、３０３ｄＲは、例えば、Ｘ方向に等ピッチに配置されている。また、永久磁石３０３ａＲ、３０３ｂＲ、３０３ｃＲ、３０３ｄＲは、それぞれの中心が、例えば可動子３０１のＲ側の上面中心を通過するＸ方向に沿った直線上に並ぶように配置されている。

永久磁石３０３ａＬ、３０３ｄＬは、可動子３０１のＸ方向に沿ったＬ側の上面におけるＸ方向の一方の端部及び他方の端部に取り付けられている。永久磁石３０３ｂＬ、３０３ｃＬは、可動子３０１のＬ側の上面の永久磁石３０３ａＬ、３０３ｄＬ間に取り付けられている。永久磁石３０３ａＬ、３０３ｂＬ、３０３ｃＬ、３０３ｄＬは、例えば、Ｘ方向に等ピッチに配置されている。また、永久磁石３０３ａＬ、３０３ｂＬ、３０３ｃＬ、３０３ｄＬは、それぞれの中心が、例えば可動子３０１のＬ側の上面中心を通過するＸ方向に沿った直線上に並ぶように配置されている。さらに、永久磁石３０３ａＬ、３０３ｂＬ、３０３ｃＬ、３０３ｄＬは、Ｘ方向においてそれぞれ永久磁石３０３ａＲ、３０３ｂＲ、３０３ｃＲ、３０３ｄＲと同位置に配置されている。

本実施形態では可動子の上面に磁石群を有する例を示すが、可動子の側面に磁石群を有していてもよい。

可動子３０１の上面におけるＲ側の部分に配置されている永久磁石３０３ａＲ、３０３ｂＲ、３０３ｃＲ、３０３ｄＲは、それぞれ可動子３０１の中心である原点ＯからＹ方向のＲ側に距離ｒｘ３だけ離れた位置に配置されている。

また、可動子３０１の上面におけるＬ側の部分に配置されている永久磁石３０３ａＬ、３０３ｂＬ、３０３ｃＬ、３０３ｄＬは、原点ＯからＹ方向のＬ側に距離ｒｘ３だけ離れた位置に配置されている。

永久磁石３０３ａ、３０３ｄは、それぞれ原点ＯからＸ方向の一方及び他方の側に距離ｒｚ３だけ離れた位置に取り付けられている。永久磁石３０３ｃ、３０３ｂは、それぞれ原点ＯからＸ方向の一方及び他方の側に距離ｒｙ３だけ離れた位置に取り付けられている。

可動子３０１の上面において、上述のように永久磁石３０３が配置されたＲ側の部分とＬ側の部分との間の中央部分は、搬送すべきワーク３０２が載せられる部分になっている。

永久磁石３０３ａＲ、３０３ｄＲ、３０３ａＬ、３０３ｄＬは、それぞれＹ方向に沿って配置された２個の永久磁石のセットである。永久磁石３０３ａ、３０３ｄは、それぞれ、固定子２０１側を向く外側の磁極の極性が交互になるように２個の永久磁石がＹ方向に沿って並べられて構成されたものである。なお、永久磁石３０３ａ、３０３ｄを構成するＹ方向に沿って配置された永久磁石の数は、２個に限定されるものではなく、複数個であればよい。また、永久磁石３０３ａ、３０３ｄを構成する永久磁石が配置される方向は、必ずしも搬送方向であるＸ方向と直交するＹ方向である必要はなく、Ｘ方向（第１の方向）と交差する方向（第２の方向）であればよい。すなわち、永久磁石３０３ａ、３０３ｄは、それぞれ磁極の極性が交互になるようにＸ方向と交差する方向（第２の方向）に沿って配置された複数の永久磁石からなる磁石群であればよい。

一方、永久磁石３０３ｂＲ、３０３ｃＲ、３０３ｂＬ、３０３ｃＬは、それぞれＸ方向に沿って配置された３個の永久磁石のセットである。永久磁石３０３ｂ、３０３ｃは、それぞれ、固定子２０１側を向く外側の磁極の極性が交互に異なるように３個の永久磁石がＸ方向に沿って並べられて構成されている。なお、永久磁石３０３ｂ、３０３ｃを構成するＸ方向に沿って配置された永久磁石の数は、３個に限定されるものではなく、複数個であればよい。すなわち、永久磁石３０３ｂ、３０３ｃは、磁極の極性が交互になるようにＸ方向に沿って配置された複数の永久磁石からなる磁石群であればよい。

各永久磁石３０３は、可動子３０１のＲ側及びＬ側の上面に設けられたヨーク３０７に取り付けられている。ヨーク３０７は、透磁率の大きな物質、例えば鉄で構成されている。本明細書において透磁率の大きな物質とは、透磁率が５０００以上の物質のことを言う。

こうして、永久磁石３０３が配置された可動子３０１は、固定子２０１の複数のコイル２０２により後述するように永久磁石３０３が受ける電磁力により姿勢が６軸制御され、かつ、Ｘ方向に移動可能に制御される。

一方、固定子２０１には、図２（Ａ）に示すように、可動子３０１の上面の上方に位置するように複数のコイル２０２が取り付けられている。複数のコイル２０２は、可動子３０１の上面のＲ側及びＬ側の部分における永久磁石３０３のそれぞれと上方から対向可能にＸ方向に沿って２列に配置されて固定子２０１に取り付けられている。Ｒ側の複数のコイル２０２は、可動子３０１のＲ側の永久磁石３０３ａＲ、３０３ｂＲ、３０３ｃＲ、３０３ｄＲと上方から対向可能にＸ方向に沿って１列に配置されている。Ｌ側の複数のコイル２０２は、可動子３０１のＬ側の永久磁石３０３ａＬ、３０３ｂＬ、３０３ｃＬ、３０３ｄＬと上方から対向可能にＸ方向に沿って１列に配置されている。

可動子３０１は、Ｘ方向に沿って２列に配置された複数のコイル２０２に沿ってＸ方向に移動可能である。可動子３０１は、その上面に搬送すべきワーク１０２を載せた状態で搬送される。可動子３０１は、例えば、ワークホルダ等のワーク１０２を可動子３０１上に保持する保持機構を有していてもよい。

固定子２０１は、可動子３０１の搬送方向であるＸ方向に沿って２列に配置された複数のコイル２０２を有している。固定子２０１は、搬送方向であるＸ方向に延在して可動子３０１の搬送路を形成する。

複数のコイル２０２は、可動子３０１のＲ側及びＬ側の永久磁石３０３と対向可能なように、Ｘ方向に沿って２列に配置されて固定子２０１に取り付けられている。Ｒ側において１列に配置された複数のコイル２０２は、可動子３０１のＲ側の永久磁石３０３ａＲ、３０３ｂＲ、３０３ｃＲ、３０３ｄＲと対向可能にＸ方向に沿って配置されている。また、Ｌ側において１列に配置された複数のコイル２０２は、可動子３０１のＬ側の永久磁石３０３ａＬ、３０３ｂＬ、３０３ｃＬ、３０３ｄＬと対向可能にＸ方向に沿って配置されている。

本実施形態では、可動子３０１のＲ側及びＬ側のコイル２０２の列が、それぞれ、互いに構成する複数の永久磁石の配置方向が異なる永久磁石３０３ａ、３０３ｄ及び永久磁石３０３ｂ、３０３ｃに対向可能に配置されている。このため、少ない列数のコイル２０２で、後述するように可動子３０１に対して搬送方向及び搬送方向とは異なる力を印加することができ、よって可動子３０１の搬送制御及び姿勢制御を実現することができる。

複数のコイル２０２は、Ｘ方向に所定の間隔で並べられている。また、各コイル２０２は、その中心軸がＺ方向を向くように取り付けられている。なお、コイル２０２は、コア有のコイルでもよいし、コアレス型のコイルでもよい。

複数のコイル２０２は、例えば３個ずつの単位で電流制御されるようになっている。そのコイル２０２の通電制御される単位を「コイルユニット２０３」と記載する。コイル２０２は、通電されることにより、可動子３０１の永久磁石３０３との間で電磁力を発生して可動子３０１に対して力を印加することができる。

図２（Ｂ）において、永久磁石３０３ａ、３０３ｄは、それぞれＹ方向に２個の永久磁石が並べられた磁石群により構成されていている。これに対して、各コイル２０２は、永久磁石３０３ａ、３０３ｄの２個の永久磁石のＹ方向の中心がコイル２０２のＹ方向の中心と合致するように配置されている。永久磁石３０３ａ、３０３ｄに対向するコイル２０２に通電することで、永久磁石３０３ａ、３０３ｄに対してＹ方向に力を発生する。

また、永久磁石３０３ｂ、３０３ｃは、Ｘ方向に３個の永久磁石が並べられた磁石群により構成されている。これに対して、永久磁石３０３ｂ、３０３ｃに対向するコイル２０２に通電することで、永久磁石３０３ｂ、３０３ｃに対してＸ方向及びＺ方向に力を発生する。本実施形態では、磁石群を構成する磁石として永久磁石を用いているが、電磁石を用いても構わない。

図２（Ａ）に示す１０１は、Ｘセンサ（第１のセンサ）であり、例えば、可動子３０１に取付けたリニアスケール３０４を検出し、可動子３０１の搬送方向の位置を特定するリニアエンコーダである。また、図２（Ａ）に示す１０２は、Ｙセンサ（第２のセンサ）であり、可動子３０１とのＹ方向距離を検出する。Ｚセンサ１０３（第３のセンサ）は可動子３０１とのＺ方向距離を検出する。ＹセンサやＺセンサには、例えば渦電流センサなどを配置することが考えられる。なお、Ｘセンサについては、レーザ干渉計などリニアエンコーダ以外とする構成も可能である。

複数のＸセンサ１０１（第１のセンサ）は、それぞれ可動子３０１のリニアスケール３０４と対向可能なようにＸ方向（第１の方向）に沿って固定子２０１に取り付けられている。各Ｘセンサ１０１は、可動子３０１に取り付けられたリニアスケール３０４を読み取ることで、可動子３０１のＸセンサ１０１に対する相対的な位置を検出してその検出値を出力することができる。

複数のＹセンサ１０２（第２のセンサ）は、それぞれ可動子３０１のＹターゲット３０５と対向可能なようにＸ方向（第１の方向）に沿って固定子２０１に取り付けられている。各Ｙセンサ１０２は、可動子３０１に取り付けられたＹターゲット３０５との間のＹ方向の相対距離を検出してその検出値を出力することができる。ここでＹターゲット３０５とは、可動子３０１に取り付けられている、可動子の目標とする搬送方向と平行な面を有する凸部であり、可動子の目標とする搬送方向と平行な面を固定子に固定されたＹセンサ１０２で測定する。これにより、可動子のＹ方向の位置および／または姿勢を検知することが可能となる。Ｙセンサ１０２（第２のセンサ）は、必ずしも搬送方向であるＸ方向と直交するＹ方向の相対距離を検出する必要はなく、Ｘ方向（第１の方向）と交差する方向（第２の方向）であればよい。可動子との間の相対距離を直接検出することも可能であるが、可動子自体を高精度に加工することが困難である場合があるため、そのような場合はＹターゲット３０５を用いることができる。

複数のＺセンサ１０３（第３のセンサ）は、それぞれ可動子３０１のＺターゲット３０６と対向可能なようにＸ方向に沿って固定子２０１に２列に取り付けられている。各Ｚセンサ１０３は、可動子３０１に取り付けられたＺターゲット３０６との間のＺ方向の相対距離を検出して出力することができる。ここでＺターゲット３０６とは、可動子３０１に取り付けられている、鉛直方向と直交する方向の面に有する凸部であり、鉛直方向と直交する方向の面を固定子に固定されたＺセンサ１０３で測定する。これにより可動子の鉛直方向の位置および／または姿勢を検知することが可能となる。Ｚセンサ１０３（第３のセンサ）は、必ずしも搬送方向であるＸ方向と直交するＺ方向の相対距離を検出する必要はなく、Ｘ方向（第１の方向）と交差する方向（第３の方向）であればよい。可動子との間の相対距離を直接検出することも可能であるが、可動子自体を高精度に加工することが困難である場合があるため、そのような場合はＺターゲット３０６を用いることができる。

本実施形態において、Ｘセンサ１０１、Ｙセンサ１０２、Ｚセンサ１０３を固定子の底部に設け、リニアスケール３０４、Ｙターゲット３０５、Ｚターゲット３０６を可動子の底面に設ける例を示した。しかしこれに限るものではない。リニアスケール３０４、Ｙターゲット３０５、Ｚターゲット３０６は、可動子のいずれの位置に設けてもよく、それに対向可能な位置であれば、Ｘセンサ１０１、Ｙセンサ１０２、Ｚセンサ１０３は、固定子のいずれの位置に設けられていてもよい。また、Ｙセンサ１０２、Ｚセンサ１０３は両方備える必要はなく、どちらかだけ一方だけであっても本発明の効果を発揮することができる。例えば、Ｙセンサ１０２がなくても、Ｙ方向は、磁石の吸引力のみで制御しない搬送装置等に適用することもできる。また、Ｚセンサ１０３がなくとも、磁石の吸引力のみでＺ方向の制御しない構成とすることもできる。あるいはエアなど別の方法で浮上させる構成とすることもできる。さらに、Ｚ方向に浮上制御を実施しない、ＸＹステージなどに適用することもできる。

次に、本実施形態による搬送装置１を制御する制御部についてさらに図３を用いて説明する。図３は、本実施形態による搬送装置１を制御する制御部３を示す概略図である。

図３に示すように、制御部３は、統合コントローラ４０１と、コイルコントローラ４０２と、センサコントローラ４０４とを有し、可動子３０１と固定子２０１とを含む搬送装置１を制御する制御部として機能する。統合コントローラ４０１には、コイルコントローラ４０２が通信可能に接続されている。また、統合コントローラ４０１には、センサコントローラ４０４が通信可能に接続されている。

コイルコントローラ４０２には、複数の電流コントローラ４０３が通信可能に接続されている。コイルコントローラ４０２及びこれに接続された複数の電流コントローラ４０３は、２列のコイル２０２のそれぞれの列に対応して設けられている。各電流コントローラ４０３には、コイルユニット２０３が接続されている。電流コントローラ４０３は、接続されたコイルユニット２０３の各々のコイル２０２の電流の大きさを制御することができる。

コイルコントローラ４０２は、接続された各々の電流コントローラ４０３に対して目標となる電流値を指令する。電流コントローラ４０３は接続されたコイル２０２の電流量を制御する。

センサコントローラ４０４には、複数のＸセンサ１０１、複数のＹセンサ１０２及び複数のＺセンサ１０３が通信可能に接続されている。

複数のＸセンサ１０１は、可動子３０１が搬送中もそのうちの１つが必ず１台の可動子３０１の位置を測定できるような間隔で固定子２０１に取り付けられている。また、複数のＹセンサ１０２は、そのうちの２つが必ず１台の可動子３０１のＹターゲット３０５を測定できるような間隔で固定子２０１に取り付けられている。また、複数のＺセンサ１０３は、その２列のうちの３つが必ず１台の可動子３０１のＺターゲット３０６を測定できるような間隔で固定子２０１に取り付けられている。

統合コントローラ４０１は、Ｘセンサ１０１、Ｙセンサ１０２及びＺセンサ１０３からの出力に基づき、複数のコイル２０２に印加する電流指令値を決定して、コイルコントローラ４０２に送信する。コイルコントローラ４０２は、統合コントローラ４０１からの電流指令値に基づき、上述のように電流コントローラ４０３に対して電流値を指令する。これにより、統合コントローラ４０１は、制御装置として機能し、固定子２０１に沿って可動子３０１を非接触で搬送するとともに、搬送する可動子３０１の姿勢を６軸で制御する。

以下、統合コントローラ４０１により実行される可動子３０１の姿勢制御方法について図４を用いて説明する。図４は、本実施形態による搬送装置１における可動子３０１の姿勢制御方法を示す概略図である。図４は、可動子３０１の姿勢制御方法の概略について主にそのデータの流れに着目して示している。統合コントローラ４０１は、以下に説明するように、可動子位置算出関数５０１、可動子姿勢算出情報処理関数５０２、可動子姿勢算出関数５０３、可動子姿勢制御関数５０４及びコイル電流算出関数５０５を用いた処理を実行する。これにより、統合コントローラ４０１は、可動子３０１の姿勢を６軸で制御しつつ、可動子３０１の搬送を制御する。なお、統合コントローラ４０１に代えて、コイルコントローラ４０２が統合コントローラ４０１と同様の処理を実行するように構成することもできる。

まず、可動子位置算出関数５０１は、複数のＸセンサ１０１からの測定値及びその取り付け位置の情報から、搬送路を構成する固定子２０１上にある可動子３０１の台数及び位置を計算する。これにより、可動子位置算出関数５０１は、可動子３０１に関する情報である可動子情報５０６の可動子位置情報（Ｘ）及び台数情報を更新する。可動子位置情報（Ｘ）は、固定子２０１上の可動子３０１の搬送方向であるＸ方向における位置を示している。可動子情報５０６は、例えば図４中にＰＯＳ−１、ＰＯＳ−２、…と示すように固定子２０１上の可動子３０１ごとに用意される。

次いで、可動子姿勢算出情報処理関数５０２は、可動子位置算出関数５０１により更新された可動子情報５０６の可動子位置情報（Ｘ）から、各々の可動子３０１を測定可能なＹセンサ１０２及びＺセンサ１０３を特定する。この際、可動子姿勢算出情報処理関数５０２において、特定されたＹセンサ１０２及びＺセンサ１０３の固定子２０１上のセンサ設置位置情報５０７と可動子位置情報（Ｘ）に基づいて、係数（Ｗ）を算出する。

可動子姿勢算出関数５０３は、特定されたＹセンサ１０２及びＺセンサ１０３から出力される検出値と、可動子姿勢算出情報処理関数５０２で算出された係数（Ｗ）に基づき、姿勢情報（Ｙ，Ｚ，Ｗｘ、Ｗｙ，Ｗｚ）を算出して可動子情報５０６を更新する。可動子姿勢算出関数５０３により更新された可動子情報５０６は、可動子位置情報（Ｘ）及び姿勢情報（Ｙ，Ｚ，Ｗｘ、Ｗｙ，Ｗｚ）を含んでいる。

次いで、可動子姿勢制御関数５０４は、可動子位置情報（Ｘ）及び姿勢情報（Ｙ，Ｚ，Ｗｘ、Ｗｙ，Ｗｚ）を含む現在の可動子情報５０６及び姿勢目標値から、各々の可動子３０１について印加力情報５０９を算出する。印加力情報５０９は、各々の可動子３０１に印加すべき力の大きさに関する情報である。印加力情報５０９は、後述する印加すべき力Ｔの力の３軸成分（Ｔｘ，Ｔｙ，Ｔｚ）及びトルクの３軸成分（Ｔｗｘ，Ｔｗｙ，Ｔｗｚ）に関する情報を含んでいる。印加力情報５０９は、例えば図４中にＴＲＱ−１、ＴＲＱ−２、…と示すように固定子２０１上の可動子３０１ごとに用意される。

次いで、コイル電流算出関数５０５は、印加力情報５０９及び可動子情報５０６に基づき、各コイル２０２に印加する電流指令値５１０を決定する。

こうして、統合コントローラ４０１は、可動子位置算出関数５０１、可動子姿勢算出情報処理関数５０２、可動子姿勢算出関数５０３、可動子姿勢制御関数５０４及びコイル電流算出関数５０５を用いた処理を実行することにより、電流指令値５１０を決定する。統合コントローラ４０１は、決定した電流指令値５１０をコイルコントローラ４０２に送信する。

ここで、可動子位置算出関数５０１による処理について図５を用いて説明する。図５は、可動子位置算出関数による処理を説明する概略図である。また、図５は、図１に示す−Ｚの方向から可動子を見た時の、図１および図３に示す可動子３０１ａ、３０１ｂの底面におけるリニアスケール３０４ａ、３０４ｂおよびＸセンサ１０１ａ〜１０１ｆの位置関係を示した図である。

図５において、基準点Ｏｅは、Ｘセンサ１０１が取り付けられている固定子２０１の位置基準である。また、基準点Ｏｓは、可動子３０１に取り付けられているリニアスケール３０４ａ、３０４ｂの位置基準である。図５では、可動子３０１として２台の可動子３０１ａ、３０１ｂが搬送され、Ｘセンサ１０１として３つのＸセンサ１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｆが配置されている場合を示している。なお、リニアスケール３０４ａ、３０４ｂは、各可動子３０１ａ、３０１ｂの同じ位置にＸ方向に沿って取り付けられている。

例えば、図５に示す可動子３０１ｂのリニアスケール３０４ｂには、１つのＸセンサ１０１ｆが対向している。Ｘセンサ１０１ｆは、可動子３０１ｂのリニアスケール３０４ｂを読み取って距離Ｐｆを出力する。また、Ｘセンサ１０１ｆの基準点Ｏｅを原点とするＸ軸上の位置はＳｆである。したがって、可動子３０１ｂの位置Ｐｏｓ（３０１ｂ）は次式（１）により算出することができる。
Ｐｏｓ（３０１ｂ）＝Ｓｆ−Ｐｆ…式（１）

例えば、図５に示す可動子３０１ａのリニアスケール３０４ａには、２つのＸセンサ１０１ａ、１０１ｂが対向している。Ｘセンサ１０１ａは、可動子３０１ａのリニアスケール３０４ａを読み取って距離Ｐａを出力する。また、Ｘセンサ１０１ａの基準点Ｏｅを原点とするＸ軸上の位置はＳａである。したがって、Ｘセンサ１０１ａの検出値の出力に基づく可動子３０１ａのＸ軸上の位置Ｐｏｓ（３０１ａ）は、次式（２）で算出することができる。
Ｐｏｓ（３０１ａ）＝Ｓａ−Ｐａ…式（２）

また、Ｘセンサ１０１ｂは、可動子３０１ａのリニアスケール３０４ａを読み取って距離Ｐｂを出力する。また、Ｘセンサ１０１ｂの基準点Ｏｅを原点とするＸ軸上の位置はＳｂである。したがって、Ｘセンサ１０１ｂの検出値の出力に基づく可動子３０１ａのＸ軸上の位置Ｐｏｓ（３０１ａ）′は、次式（３）により算出することができる。
Ｐｏｓ（３０１ａ）′＝Ｓｂ−Ｐｂ…式（３）

ここで、各々のＸセンサ１０１ａ、１０１ｂの設置位置は予め正確に測定されているため、２つの値Ｐｏｓ（３０１ａ）、Ｐｏｓ（３０１ａ）′の差は十分に小さい。このように２つのＸセンサ１０１の出力に基づく可動子３０１のＸ軸上の位置の差が十分小さい場合は、それら２つのＸセンサ１０１は、同一の可動子３０１のリニアスケール３０４を観測していると判定することができる。

なお、複数のＸセンサ１０１が同一の可動子３０１と対向する場合は、たとえば、複数のＸセンサ１０１の出力に基づく位置の平均値を算出する等して、観測された可動子３０１の位置を一意に決定することができる。あるいはいずれかのＸセンサ１０１の検出値の出力に基づく位置を可動子３０１の位置と決定してもよい。

可動子位置算出関数５０１は、上述のようにしてＸセンサ１０１の出力に基づき、可動子位置情報として可動子３０１のＸ方向における位置Ｘを算出して決定する。可動子位置算出関数５０１により更新された可動子情報５０６の可動子位置情報（Ｘ）から各々の可動子３０１を測定可能なＹセンサ１０２及びＺセンサ１０３を特定する。

次に、可動子姿勢算出情報処理関数５０２による処理について、図６を用いて説明する。図６（Ａ）、図６（Ｂ）における上側の図面は、図１に示す−Ｚの方向から可動子を見た時の、図１に示す可動子３０１（３０１ａ）の底面におけるＹターゲット３０５（３０５ａ）およびＹセンサ１０２（１０２ａ〜１０２ｃ）の位置関係を示した図である。図６（Ｂ）は、図６（Ａ）に比べて可動子が＋Ｘ方向に沿って少し進んだ状態を示す。

可動子または可動子のＹターゲットには、検出対象領域として、その中心部に第一の領域、端部に第二の領域、第一の領域と第二の領域の間に第三の領域を設定しておく。以下、第一の領域をセンサ情報有効領域５１０Ａ、第二の領域をセンサ情報無効領域５１２ａ、５１２ｂ、第三の領域をセンサ情報荷重領域５１１ａ、５１１ｂと称する場合がある。

図６（Ａ）、図６（Ｂ）における下側の図面に示すように、センサ情報有効領域５１０Ａは、センサ情報が有効であると判断される領域である（係数Ｗは１が与えられる）。

センサ情報無効領域５１２ａ、５１２ｂは、Ｙセンサ１０２がＹターゲット３０５の端を検出し、検出値の出力が不安定、つまり検出誤差が一定以上となる領域であり、Ｙセンサの検出値の出力を無視するために設けられる（係数Ｗは０が与えられる）。

センサ情報荷重領域５１１ａ、５１１ｂは、センサ情報有効領域５１０Ａとセンサ情報無効領域５１２ａ、５１２ｂとの間の領域であり、その領域内の位置によりセンサの検出値に対して重みづけを与えるための領域である（係数Ｗは０以上１以下の値与えられる）。このように、Ｙセンサの検出値を用いた可動子の位置情報は係数によって調整可能となる。

例えば、図６（Ａ）に示す可動子３０１ａは、可動子位置情報（Ｘ）がＰｏｓＸａと算出されている。そして、ＰｏｓＸａと各々のセンサ設置位置情報５０７であるＳａ、Ｓｂ、Ｓｃの関係から３つのＹセンサ１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃが可動子３０１ａを測定可能なＹセンサであると特定される。

図６（Ａ）のＹセンサ１０２ａおよび１０２ｂは、センサ情報有効領域５１０Ａに存在すると判定されるため、次式（４）（５）のように算出される。
Ｗ（１０２ａ）＝１…式（４）
Ｗ（１０２ｂ）＝１…式（５）

図６（Ａ）のＹセンサ１０２ｃは、センサ情報無効領域５１２ｂに存在すると判定されるため、次式（６）のように算出される。
Ｗ（１０２ｃ）＝０…式（６）

同様に図６（Ｂ）に示す可動子３０１ａは、可動子位置情報（Ｘ）がＰｏｓＸａと算出されており、複数のＹセンサ１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃが測定可能なＹセンサであると特定される。

図６（Ｂ）のＹセンサ１０２ｂおよび１０２ｃは、センサ情報有効領域５１０Ａに存在すると判定されるため、次式（７）（８）のように算出される。
Ｗ（１０２ｂ）＝１…式（７）
Ｗ（１０２ｃ）＝１…式（８）

また、図６（Ｂ）のＹセンサ１０２ａは、センサ情報荷重領域５１１ａに存在すると判定される。このようなセンサ情報荷重領域５１１ａに存在すると判定された場合、０以上１以下の係数（Ｗ）を算出する。例えば、次式（９）のようなシグモイド関数などの、０から１または１から０に単調に増減する連続関数を用いて、係数（Ｗ）は、０以上１以下の値で算出される。式（９）におけるａはシグモイド関数のゲインである。図７（Ａ）に、係数Ｗの関数を示す。図７（Ａ）の点線がセンサ情報荷重領域５１１ａにおける係数（Ｗ）の関数である。ちなみに実線は、センサ情報荷重領域５１１ｂにおける係数（Ｗ）の関数である。式（９）におけるＰａは、可動子位置情報（Ｘ）であるＰｏｓＸａと、Ｙセンサ１０２ａのセンサ設置位置情報５０７であるＳａから算出されるＹセンサ１０２ａと可動子３０１ａとの相対距離である。
Ｗ（１０２ａ）＝１／（１＋ｅｘｐ（−ａ＊Ｐａ））…式（９）

Ｚセンサ１０３に関しても同様の処理を実施する。

図８（Ａ）、図８（Ｂ）における上側の図面は、図１に示す−Ｚの方向から可動子を見た時の、図１に示す可動子３０１（３０１ａ）の底面のＺターゲット３０６（３０６Ｒａ）およびＺセンサ１０３（１０３Ｒａ〜１０３Ｒｃ）の位置関係を示した図である。図８（Ｂ）は、図８（Ａ）に比べて可動子が＋Ｘ方向に沿って少し進んだ状態を示す。

例えば、図８（Ａ）に示す可動子３０１ａは、可動子位置情報（Ｘ）がＰｏｓＸａと算出されている。そして、ＰｏｓＸａと各々のセンサ設置位置情報５０７であるＳＲａ、及びＳＲｂの関係から３つのＺセンサ１０３Ｒａ、１０３Ｒｂ、１０３Ｒｃが可動子３０１ａを測定可能なＺセンサであると特定される。

図８（Ａ）のＺセンサ１０３Ｒａおよび１０３Ｒｂは、センサ情報有効領域５１０Ｂに存在すると判定されるため、次式（１０）（１１）のように算出される。
Ｗ（１０３Ｒａ）＝１…式（１０）
Ｗ（１０３Ｒｂ）＝１…式（１１）

図８（Ａ）の１０３Ｒｃは、センサ情報無効領域５１２ｄに存在すると判定されるため、次式（１２）のように算出される。
Ｗ（１０３Ｒｃ）＝０…式（１２）

同様に図８（Ｂ）に示す可動子３０１ａは、可動子位置情報（Ｘ）がＰｏｓＸａと算出されており、複数のＺセンサ１０３Ｒａ、１０３Ｒｂ、１０３Ｒｃが測定可能なＺセンサであると特定される。

図８（Ｂ）のＺセンサ１０３Ｒｂ、１０３Ｒｃは、センサ情報有効領域５１０Ｂに存在すると判定されるため、次式（１３）（１４）のように算出される。
Ｗ（１０３Ｒｂ）＝１…式（１３）
Ｗ（１０３Ｒｃ）＝１…式（１４）

また、図８（Ｂ）のＺセンサ１０３Ｒａは、センサ情報荷重領域５１１ｃに存在すると判定される。このようなセンサ情報荷重領域５１１ｃに存在すると判定された場合、０以上１以下の係数（Ｗ）を算出する。例えば、次式（１５）のようなシグモイド関数などの、０から１または１から０に単調に増減する連続関数を用いて、係数（Ｗ）は、０以上１以下の値で算出される。式（１５）におけるａはシグモイド関数のゲインである。図７（Ａ）に、係数Ｗの関数を示す。図７（Ａ）の点線がセンサ情報荷重領域５１１ｃにおける係数（Ｗ）の関数である。ちなみに実線は、センサ情報荷重領域５１１ｄにおける係数（Ｗ）の関数である。式（１５）におけるＰＲａは、可動子位置情報（Ｘ）であるＰｏｓＸａと、Ｚセンサ１０３Ｒａのセンサ設置位置情報５０７であるＳＲａから算出されるＺセンサ１０３Ｒａと可動子３０１ａとの相対距離である。
Ｗ（１０３Ｒａ）＝１／（１＋ｅｘｐ（−ａ＊ＰＲａ））…式（１５）

上述の可動子姿勢算出情報処理関数５０２において算出される係数（Ｗ）を用いて、可動子姿勢算出関数５０３で可動子３０１の姿勢情報を求める。これにより、センサ情報の有効状態と無効状態を連続的に変化させながら、可動子３０１の姿勢算出ができる。これにより可動子３０１の搬送により可動子情報５０６の算出に用いるセンサが切り替わる際の不連続的な検出位置及び姿勢の変動を抑えることが可能となる。

なお、係数（Ｗ）を算出する関数としては、上述のシグモイド関数を用いる他、図７（Ｂ）に示すような線形関数や、図７（Ｃ）に示すように段階的に係数（Ｗ）を変化させる不連続関数に置き換えることが可能である。また、図７（Ｄ）及び図７（Ｅ）に示すような双曲線関数に置き換えることが可能である。図７（Ａ）のシグモイド関数は、滑らかに０〜１を変化させることが可能であり、ゲインの調整でその変化率を変えることができる。これに対し、図７（Ｂ）の線形関数は、センサ情報荷重領域５１１により一意に決まり、四則演算のみで構成されるため高速に処理できる。また、図７（Ｃ）の不連続関数は、係数のプロファイルとして統合コントローラ４０１のメモリ上等に保持して係数の算出処理なしで実現することができ、上記関数以外の複雑な係数のプロファイルも設定可能である。なお、図７中に示すＰｏｓＳｅｎｓｏｒは、可動子位置情報（Ｘ）とセンサ設置位置情報５０７から算出されるセンサと可動子３０１との相対距離である。

特に、図７（Ｃ）に示すような段階的に係数（Ｗ）を変化させる不連続関数は、可動子３０１と各センサ１０２、１０３との位置関係により算出される係数（Ｗ）を係数プロファイルとして、統合コントローラ４０１のメモリ上に保持する。これにより、可動子姿勢算出情報処理関数５０２と同様の処理を実行するように構成することもできる。

可動子姿勢算出情報処理関数５０２は、上述のようにして可動子情報５０６の可動子位置情報（Ｘ）とセンサ設置位置情報５０７から係数（Ｗ）を算出する。算出した係数（Ｗ）を付加した可動子姿勢算出情報５０８を出力し、可動子情報５０６とともに可動子姿勢算出関数５０３の入力とする。

次に、可動子姿勢算出関数５０３による処理について図９及び図１０を用いて説明する。

図９では、可動子３０１として可動子３０１ｃが搬送され、Ｙセンサ１０２としてＹセンサ１０２ｓ、１０２ｔ、１０２ｕが配置されている場合を示している。図９に示す可動子３０１ｃのＹターゲット３０５ｃには、３つのＹセンサ１０２ｓ、１０２ｔ、１０２ｕが対向している。３つのＹセンサ１０２ｓ、１０２ｔ、１０２ｕが出力する相対距離の値をそれぞれＹｓ、Ｙｔ、Ｙｕとし、図中黒丸で測定値（検出値）を示す。すると、可動子３０１ｃの位置Ｙ及びＺ軸周りの回転量Ｗｚは、回帰直線の傾き、及び切片と考えることができる。

可動子位置情報（Ｙ，Ｗｚ）である回帰直線Ｙ＝ａ＊Ｘ＋ｂの各パラメータは、例えば、最小二乗法を用いて、次式（１６）に示す荷重有り二乗誤差を最小化するａ，ｂを算出することで求められる。この場合、回帰直線の傾きａがｔａｎ（Ｗｚ）、切片ｂが位置Ｙとなる。また、式（１６）において、Ｗｓ、Ｗｔ、Ｗｕは、可動子算出情報５０８に含まれる各Ｙセンサ１０２ｓ、１０２ｔ、１０２ｕの係数である。
Ｗｓ＊（Ｙｓ−（ａ＊Ｐｓ＋ｂ））＾２＋Ｗｔ＊（Ｙｔ−（ａ＊Ｐｔ＋ｂ））＾２＋Ｗｕ＊（Ｙｕ−（ａ＊Ｐｕ＋ｂ））＾２…式（１６）

また、少なくとも２つのＹセンサ１０２が対向すれば可動子３０１の可動子位置情報（Ｙ、Ｗｚ）は算出できるが、上述のように、可動子３０１の位置によっては３つ以上のＹセンサ１０２が対向する場合もありうる。その場合も、同様に最小二乗法等を使ってＹターゲット３０５の傾き、すなわちＺ軸周りの回転量Ｗｚと可動子３０１の位置Ｙを算出することができる。

なお、Ｙセンサ１０２は、可動子３０１の姿勢検出精度の観点から、係数（Ｗ）が１となるセンサ情報有効領域５１０に少なくとも２個は存在するように搬送方向（Ｘ）に沿って固定子２０１上に設置されていることが望ましい。つまり、隣接するＹセンサ間の距離は、センサ情報有効領域５１０ＡのＸ方向の長さＫ（図６（Ａ）（Ｂ）参照）の半分以下であることが好ましい。

また、図１０では、可動子３０１として可動子３０１ｄが搬送され、Ｚセンサ１０３としてＺセンサ１０３ｄ、１０３ｅ、１０３ｆが配置されている場合を示している。図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示す可動子３０１ｄのＺターゲット３０６には、３つのＺセンサ１０３ｄ、１０３ｅ、１０３ｆが対向している。ここで、３つのＺセンサ１０３ｄ、１０３ｅ、１０３ｆが出力する相対距離の値をそれぞれＺｄ、Ｚｅ、Ｚｆとし、図中黒丸で測定値を示す。すると、可動子３０１ｄの位置Ｚと、Ｙ軸周りの回転量Ｗｙ及びＸ軸周りの回転量Ｗｘは、それぞれ回帰平面の各パラメータとして求めることができる。

可動子位置情報（Ｚ，Ｗｘ，Ｗｙ）である回帰平面Ｚ＝ｄ＊Ｘ＋ｅ＊Ｙ＋ｆの各パラメータは、例えば、最小二乗法を用いて、次式（１７）に示す荷重有り二乗誤差を最小化するｄ，ｅ，ｆを算出することで求められる。この場合、ｄがｔａｎ（Ｗｙ）、ｅがｔａｎ（Ｗｘ）、ｆが位置Ｚとなる。また、式（１７）において、Ｗｄ、Ｗｅ及びＷｆは、可動子姿勢算出情報５０８に含まれる各Ｚセンサ１０３ｄ、１０３ｅ、１０３ｆの係数である。
Ｗｄ＊（Ｚｄ−（ｄ＊ＰｄＸ＋ｅ＊ＰｄＹ＋ｆ））＾２＋Ｗｅ＊（Ｚｅ−（ｄ＊ＰｅＸ＋ｅ＊ＰｅＹ＋ｆ））＾２＋Ｗｆ＊（Ｚｆ−（ｄ＊ＰｆＸ＋ｅ＊ＰｆＹ＋ｆ））＾２…式（１７）

また、可動子３０１の位置によっては４つ以上のＺセンサ１０３が対向する場合もありうる。その場合も、同様に最小二乗法等を使ってＺターゲット３０６の傾き、すなわちＸ軸周りの回転量Ｗｘ及びＹ軸周りの回転量Ｗｙと、可動子３０１の位置Ｚを算出することができる。

なお、Ｚセンサ１０３は、可動子３０１の姿勢検出精度の観点から、係数（Ｗ）が１となるセンサ情報有効領域５１０Ｂに少なくともＲ側及びＬ側の一方には１個、他方には２個、搬送方向（Ｘ）に沿って設置されていることが望ましい。本実施形態は、Ｒ側に少なくとも２個、Ｌ側に少なくとも１個の例を示したが、Ｌ側に少なくとも２個、Ｒ側に少なくとも１個であってもよい。つまり、センサ情報有効領域５１０Ｂに少なくとも２個設置するためには、隣接するＺセンサ１０３間の距離は、センサ情報有効領域５１０ＢのＸ方向の長さＬ（図８（Ａ）（Ｂ）参照）の半分以下であることが好ましい。センサ情報有効領域５１０Ｂに少なくとも１個設置するためには、隣接するＹセンサ間の距離は、センサ情報有効領域５１０ＢのＸ方向の長さＬ（図８（Ａ）（Ｂ）参照）以下であることが好ましい。

可動子姿勢算出関数５０３は、上述のようにして、可動子３０１の姿勢情報として位置Ｙ及び位置Ｚ、各軸周りの回転量Ｗｘ、Ｗｙ，Ｗｚを算出することができる。

上述で算出された可動子情報５０６を用いて、可動子姿勢制御関数５０４により、可動子３０１に印加する力Ｔを算出し、コイル電流算出関数５０５が各永久磁石３０３に働く力から各コイル２０２に印加する電流量を決定する。

次に、コイル電流算出関数５０５による処理について図２（Ｂ）を用いて説明する。なお、以下で用いる力の表記において、Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向の力が働く方向をそれぞれｘ、ｙ、ｚで示し、図２（Ｂ）におけるＹ＋側であるＲ側をＲ、Ｙ−側であるＬ側をＬ、Ｘ＋側をｆ、Ｘ−側をｂで示す。

図２（Ｂ）においてＲ側及びＬ側の各永久磁石３０３に働く力をそれぞれ次のように表記する。各永久磁石３０３に働く力は、電流が印加された複数のコイル２０２により永久磁石３０３が受ける電磁力である。永久磁石３０３は、電流が印加された複数のコイル２０２により、可動子１０１の搬送方向であるＸ方向の電磁力のほか、Ｘ方向とは異なる方向であるＹ方向及びＺ方向の電磁力を受ける。

Ｒ側の永久磁石３０３に働く力の表記は、それぞれ次のとおりである。
ＦｚｆＲ：Ｒ側の永久磁石３０３ｂＲのＺ方向に働く力
ＦｘｆＲ：Ｒ側の永久磁石３０３ｂＲのＸ方向に働く力
ＦｙｆＲ：Ｒ側の永久磁石３０３ａＲのＹ方向に働く力
ＦｘｂＲ：Ｒ側の永久磁石３０３ｃＲのＸ方向に働く力
ＦｙｂＲ：Ｒ側の永久磁石３０３ｄＲのＹ方向に働く力
ＦｚｂＲ：Ｒ側の永久磁石３０３ｃＲのＺ方向に働く力

Ｌ側の永久磁石３０３に働く力の表記は、それぞれ次のとおりである。
ＦｚｆＬ：Ｌ側の永久磁石３０３ｂＬのＺ方向に働く力
ＦｘｆＬ：Ｌ側の永久磁石３０３ｂＬのＸ方向に働く力
ＦｙｆＬ：Ｌ側の永久磁石３０３ａＬのＹ方向に働く力
ＦｘｂＬ：Ｌ側の永久磁石３０３ｃＬのＸ方向に働く力
ＦｙｂＬ：Ｌ側の永久磁石３０３ｄＬのＹ方向に働く力
ＦｚｂＬ：Ｌ側の永久磁石３０３ｃＬのＺ方向に働く力

また、可動子３０１に対して印加される力Ｔを次式（１８）により表記する。なお、Ｔｘ、Ｔｙ、Ｔｚは、力の３軸成分であり、それぞれ力のＸ方向成分、Ｙ方向成分及びＺ方向成分である。また、Ｔｗｘ，Ｔｗｙ、Ｔｗｚは、モーメントの３軸成分であり、それぞれモーメントのＸ軸周り成分、Ｙ軸周り成分及びＺ軸周り成分である。本実施形態による搬送装置１は、これら力Ｔの６軸成分（Ｔｘ，Ｔｙ，Ｔｚ，Ｔｗｘ，Ｔｗｙ，Ｔｗｚ）を制御することにより、可動子３０１の姿勢を６軸で制御しつつ、可動子３０１の搬送を制御する。
Ｔ＝（Ｔｘ，Ｔｙ，Ｔｚ，Ｔｗｘ，Ｔｗｙ，Ｔｗｚ）…式（１８）

すると、Ｔｘ、Ｔｙ、Ｔｚ、Ｔｗｘ、Ｔｗｙ、Ｔｗｚは、それぞれ次式（１９ａ）、（１９ｂ）、（１９ｃ）、（１９ｄ）、（１９ｅ）及び（１９ｆ）により算出される。
Ｔｘ＝ＦｘｆＲ＋ＦｘｂＲ＋ＦｘｆＬ＋ＦｘｂＬ…式（１９ａ）
Ｔｙ＝ＦｙｆＬ＋ＦｙｆＲ＋ＦｙｂＬ＋ＦｙｂＲ…式（１９ｂ）
Ｔｚ＝ＦｚｂＲ＋ＦｚｂＬ＋ＦｚｆＲ＋ＦｚｆＬ…式（１９ｃ）
Ｔｗｘ＝｛（ＦｚｆＬ＋ＦｚｂＬ）−（ＦｚｆＲ＋ＦｚｂＲ）｝＊ｒｘ３…式（１９ｄ）
Ｔｗｙ＝｛（ＦｚｆＬ＋ＦｚｆＲ）−（ＦｚｂＬ＋ＦｚｂＲ）｝＊ｒｙ３…式（１９ｅ）
Ｔｗｚ＝｛（ＦｙｆＬ＋ＦｙｆＲ）−（ＦｙｂＬ＋ＦｙｂＲ）｝＊ｒｚ３…式（１９ｆ）

このとき、永久磁石３０３に働く力については、次式（１９ｇ）、（１９ｈ）、（１９ｉ）及び（１９ｊ）により表される制限を導入することができる。これらの制限を導入することにより、所定の６軸成分を有する力Ｔを得るための各永久磁石３０３に働く力の組み合わせを一意に決定することができる。
ＦｘｆＲ＝ＦｘｂＲ＝ＦｘｆＬ＝ＦｘｂＬ…式（１９ｇ）
ＦｙｆＬ＝ＦｙｆＲ…式（１９ｈ）
ＦｙｂＬ＝ＦｙｂＲ…式（１９ｉ）
ＦｚｂＲ＝ＦｚｂＬ…式（１９ｊ）

次に、コイル電流算出関数５０５が、各永久磁石３０３に働く力から各コイル２０２に印加する電流量を決定する方法について説明する。

まず、Ｎ極及びＳ極の極性がＹ方向に交互に並んだ永久磁石３０３ａ、３０３ｄにＺ方向の力を印加する場合について説明する。なお、コイル２０２は、そのＺ方向の中心が永久磁石３０３ａ、３０３ｄのＹ方向の中心に位置するように配置されている。これにより、永久磁石３０３ａ、３０３ｄに対してＸ方向及びＺ方向に働く力は、殆ど発生しないようになっている。

Ｘを可動子３０１の位置、ｊを列に並んだコイル２０２の番号として、単位電流当たりのコイル２０２（ｊ）のＹ方向に働く力の大きさをＦｙ（ｊ、Ｘ）とし、コイル２０２（ｊ）に印加する電流をｉ（ｊ）とする。なお、コイル２０２（ｊ）は、ｊ番目のコイル２０２である。この場合、電流ｉ（ｊ）は、次式（８）を満足するように決定することができる。なお、次式（２０）は、永久磁石３０３ｄＲについての式である。他の永久磁石３０３ａＲ、３０３ａＬ、３０３ｄＬについても同様にしてコイル２０２に印加する電流を決定することができる。
ΣＦｙ（ｊ、Ｘ）＊ｉ（ｊ）＝ＦｙｂＲ…式（２０）

なお、複数のコイル２０２が永久磁石３０３に力を及ぼす場合には、各コイル２０２が及ぼす力に応じて単位電流当たりの力の大きさで電流を按分することにより、永久磁石３０３に働く力を一意に決定することができる。

また、図２（Ｂ）に示すように、永久磁石３０３は、可動子３０１のＬ側及びＲ側に対称に配置されている。このような永久磁石３０３の対称配置により、永久磁石３０３に働く多成分の力、例えば永久磁石３０３ａ、３０３ｄに働くＷｘの力、すなわちＸ軸周りのモーメント成分をＬ側及びＲ側の力で相殺することが可能になる。この結果、より高精度な可動子３０１の姿勢の制御が可能になる。

次に、Ｎ極、Ｓ極及びＮ極の極性がＸ方向に交互に並んだ永久磁石３０３ｂに対してＸ方向及びＺ方向に対して独立に力を印加する方法について説明する。図１３は、永久磁石３０３ｂに対してＸ方向及びＺ方向に独立に力を印加する方法を説明する概略図である。コイル電流算出関数５０５は、以下に従って、永久磁石３０３ｂに対してＸ方向及びＺ方向に対して独立に力を印加するためにコイル２０２に印加する電流指令値を決定する。なお、永久磁石３０３ｃについても、永久磁石３０３ｂと同様にＸ方向及びＺ方向に対して独立に力を印加することができる。

Ｘを可動子３０１の位置、ｊを列に並んだコイル２０２の番号として、単位電流当たりのコイル２０２（ｊ）のＸ方向及びＺ方向に働く力の大きさを、それぞれＦｘ（ｊ、Ｘ）及びＦｚ（ｊ、Ｘ）とする。また、コイル２０２（ｊ）の電流の大きさをｉ（ｊ）とする。なおコイル２０２（ｊ）は、ｊ番目のコイル２０２である。

図１３中の上段の図は、横にＸ軸、縦にＹ軸を取り、永久磁石３０３ｂＲに対向する６個のコイル２０２を抜き出して示す図である。図１３中の中段の図は、図１３中の上段の図をＹ方向から見た図である。コイル２０２には、Ｘ方向に並んだ順に１から６までの番号ｊを付与し、以下では例えばコイル２０２（１）のように表記して各コイル２０２を特定する。

図１３中の上段及び中段の図に示すように、コイル２０２は、距離Ｌのピッチでされている。一方、可動子３０１の永久磁石３０３は、距離３／２＊Ｌのピッチで配置されている。

図１３中の下段のグラフは、図１３中の上段及び中段の図に示す各々のコイル２０２に対して単位電流を印加した際に発生するＸ方向の力Ｆｘ及びＺ方向の力Ｆｚの大きさを模式的に示したグラフである。

簡単のため、図１３では、コイル２０２のＸ方向の位置の原点Ｏｃをコイル２０２（３）とコイル２０２（４）の中間とし、永久磁石３０３ｂＲのＸ方向の中心Ｏｍを原点としている。このため、図１３は、ＯｃとＯｍとが合致した場合、すなわちＸ＝０の場合を示している。

このとき、例えばコイル２０２（４）に対して働く単位電流当たりの力は、Ｘ方向にＦｘ（４，０）、Ｚ方向にＦｚ（４，０）の大きさである。また、コイル２０２（５）に対して働く単位電流当たりの力は、Ｘ方向にＦｘ（５，０）、Ｚ方向にＦｚ（５，０）の大きさである。

ここで、コイル２０２（１）〜２０２（６）に印加する電流値をそれぞれｉ（１）〜ｉ（６）とする。すると、永久磁石３０３ｂＲに対して、Ｘ方向に働く力の大きさＦｘｆＲ及びＺ方向に働く力の大きさＦｚｆＲは、それぞれ一般的に次式（２１）及び（２２）で表される。
ＦｘｆＲ＝Ｆｘ（１，Ｘ）＊ｉ（１）＋Ｆｘ（２，Ｘ）＊ｉ（２）＋Ｆｘ（３，Ｘ）＊ｉ（３）＋Ｆｘ（４，Ｘ）＊ｉ（４）＋Ｆｘ（５，Ｘ）＊ｉ（５）＋Ｆｘ（６，Ｘ）＊ｉ（６）…式（２１）
ＦｚｆＲ＝Ｆｚ（１，Ｘ）＊ｉ（１）＋Ｆｚ（２，Ｘ）＊ｉ（２）＋Ｆｚ（３，Ｘ）＊ｉ（３）＋Ｆｚ（４，Ｘ）＊ｉ（４）＋Ｆｚ（５，Ｘ）＊ｉ（５）＋Ｆｚ（６，Ｘ）＊ｉ（６）…式（２２）

上記式（２１）及び（２２）を満足する電流値ｉ（１）〜ｉ（６）をそれぞれコイル２０２（１）〜２０２（６）に印加されるように電流指令値を決定することにより、永久磁石３０３ｂＲに対してＸ方向及びＺ方向に独立に力を印加することができる。コイル電流算出関数５０５は、永久磁石ｂ３０３に対してＸ方向及びＺ方向に独立に力を印加するために、上述のようにしてコイル２０２（ｊ）に印加する電流指令値を決定することができる。

より簡単のため、図１３に示す場合において、永久磁石３０３ｂＲに対してコイル２０２（１）〜２０２（６）のうちのコイル２０２（３）、２０２（４）、２０２（５）だけを使い、さらにこれら３つの電流値の総和が０となるように制御する場合を例に考える。この例の場合、永久磁石３０３ｂＲに対してＸ方向に働く力ＦｘｆＲ及びＺ方向に働く力ＦｚｆＲは、それぞれ次式（２３）及び（２４）により表される。
ＦｘｆＲ＝Ｆｘ（３，Ｘ）＊ｉ（３）＋Ｆｘ（４，Ｘ）＊ｉ（４）＋Ｆｘ（５，Ｘ）＊ｉ（５）…式（２３）
ＦｚｆＲ＝Ｆｚ（３，Ｘ）＊ｉ（３）＋Ｆｚ（４，Ｘ）＊ｉ（４）＋Ｆｚ（５，Ｘ）＊ｉ（５）…式（２４）

また、コイル２０２（１）〜２０２（６）の電流値は、次式（２５）及び（２６）を満足するように設定することができる。
ｉ（３）＋ｉ（４）＋ｉ（５）＝０…式（２５）
ｉ（１）＝ｉ（２）＝ｉ（６）＝０…式（２６）

したがって、永久磁石３０３ｂＲに対して必要な力の大きさ（ＦｘｆＲ、ＦｚｆＲ）が決定された場合、電流値ｉ（１）、ｉ（２）、ｉ（３）、ｉ（４）、ｉ（５）及びｉ（６）を一意に決定することができる。こうして決定される電流指令値により可動子３０１にＸ方向及びＺ方向に力が印加される。可動子３０１に印加されるＸ方向の力により、可動子３０１は、Ｘ方向に移動する推進力を得てＸ方向に移動する。また、こうして決定される電流指令値により可動子３０１に印加されるＸ方向及びＺ方向の力により、可動子３０１はその姿勢が制御される。

こうして、統合コントローラ４０１は、複数のコイル２０２に印加する電流を制御することにより、可動子３０１に印加する力の６軸成分のそれぞれを制御する。

なお、可動子３０１の搬送により永久磁石３０３ｂＲの中心Ｏｍに対してコイル２０２の中心Ｏｃが移動した場合、すなわちＸ≠０の場合は、移動した位置に応じたコイル２０２を選択することができる。さらに、コイル２０２に発生する単位電流当たりの力に基づいて、上記と同様の計算を実行することができる。

上述のようにして、統合コントローラ４０１は、複数のコイル２０２に印加する電流の電流指令値を決定して制御することにより、固定子２０１上での可動子３０１の姿勢を６軸で制御しつつ、可動子３０１の非接触での固定子２０１上の搬送を制御する。すなわち、統合コントローラ４０１は、可動子３０１の搬送を制御する搬送制御手段として機能し、複数のコイル２０２により永久磁石３０３が受ける電磁力を制御することにより、固定子２０１上における可動子３０１の非接触での搬送を制御する。また、統合コントローラ４０１は、可動子３０１の姿勢を制御する姿勢制御手段として機能し、固定子２０１上における可動子３０１の姿勢を６軸で制御する。なお、制御装置としての統合コントローラ４０１の機能の全部又は一部は、コイルコントローラ４０２その他の制御装置により代替されうる。

このように、本実施形態によれば、２列に配置された複数のコイル２０２により、可動子３０１に対して、３軸の力成分（Ｔｘ，Ｔｙ，Ｔｚ）及び３軸のモーメント成分（Ｔｗｘ，Ｔｗｙ，Ｔｗｚ）の６軸の力を印加することができる。これにより、可動子３０１の姿勢を６軸で制御しつつ、可動子３０１の搬送を制御することができる。本実施形態によれば、制御すべき変数である力の６軸成分の数よりも少ない列数である２列のコイル２０２により、可動子３０１の姿勢の６軸制御しつつ、可動子３０１の搬送を制御することができる。

したがって、本実施形態によれば、コイル２０２の列数を少なく構成することができるため、システムの大型化や複雑化を伴うことなく、可動子３０１の姿勢を制御しつつ、可動子３０１を非接触で搬送することができる。さらに、本実施形態によれば、コイル２０２の列数を少なく構成することができるため、安価に小型の磁気浮上型の搬送システムを構成することができる。

また、本実施形態によれば、可動子３０１の上面に永久磁石３０３が配置されているため、ワーク３０２に対する良好なアクセスを実現することができる。これにより、可動子３０１上のワーク３０２に対して、高い自由度で工程装置により加工作業を施すことができる。

次に本発明の効果について、図１１に示すＹセンサの検出の例を用いて説明する。

図１１（Ａ）は、図示しない可動子３０１が搬送に伴い、可動子３０１に取付けられたＹターゲット３０５が移動する様子を示したものであり、複数のＹセンサ１０２ａ、１０２ｂ、１０２ｃは、センサの取付け精度のばらつきにより、センサ設置位置が異なる。

図１１（Ｂ）〜（Ｅ）に示すように可動子３０１の搬送に伴い、図中ＰｏｓＸａに示す位置で、Ｙセンサ１０２ｃが新たにＹターゲット３０５を検出し始める。

図１１（Ｂ）は、センサ情報荷重領域５１１を有さない、従来技術による可動子位置情報（Ｙ，Ｗｚ）の算出結果である。このＹセンサ１０２の切り替わりにより、可動子位置情報（Ｙ，Ｗｚ）の算出結果が不連続に大きく変動する。

これに対し、シグモイド関数により算出される係数（Ｗ）を用いた可動子位置情報（Ｙ，Ｗｚ）の算出結果を図１１（Ｃ）に示す。また、線形関数により算出される係数（Ｗ）を用いた結果を図１１（Ｄ）、図７（Ｃ）に示すような不連続関数により算出される係数（Ｗ）を用いた結果を図１１（Ｅ）に示す。図１１中センサ情報荷重領域５１１で示す領域において、Ｙセンサ１０２ｃの係数（Ｗ）が各々の関数により算出され、可動子位置情報（Ｙ，Ｗｚ）の算出に用いられる。

検出センサが切り替わる際の検出位置及び姿勢は、可動子３０１の振動抑制の観点から図１１（Ｃ）のように滑らかに変動することが望ましい。しかし、可動子位置情報の算出処理の高速化など実装上の都合から線形関数や不連続関数で構成しても、図１１（Ｄ）、（Ｅ）に示すように前記変動を小さく抑えることが可能である。

なお、可動子３０１の搬送により可動子情報５０６の算出に用いるセンサが次々に切り替わる。その際、センサの設置位置が、センサ情報無効領域５１２ｂ→センサ情報荷重領域５１１ｂ→センサ情報有効領域５１０Ａ→センサ情報荷重領域５１１ａ→センサ情報無効領域５１２ａと係数（Ｗ）を伴って、連続的に変化する。このため、本実施形態によれば、検出センサが切り替わる際の検出位置及び姿勢の変動を小さく抑えることができる。したがって、検出センサの切り替わりに起因する可動子の振動が除去でき安定搬送が可能となる。

なお、本実施形態では、センサ情報荷重領域５１１とセンサ情報無効領域５１２は可動子３０１の前後にのみ設けた例を示した。しかし、可動子３０１の構成によっては、ターゲット３０５、３０６が搬送方向に分割して配置される場合や、ターゲット３０５、３０６の取付け精度のばらつきにより浮きや変形が生じている場合などがある。この際、センサ１０２、１０３の検出が不安定となり、検出誤差が一定以上となる箇所が複数存在する可能性がある。このような場合には、図１２に示すように、Ｙターゲット３０５をＹターゲット３０５１と３０５２に分割することも可能である。あるいはＺターゲット３０６Ｒを３０６Ｒ１、３０６Ｒ２に、３０６Ｌを、３０６Ｌ１、３０６Ｌ２に分割することも可能である。それに合わせてセンサ情報有効領域５１０を分割し、センサ情報荷重領域５１１とセンサ情報無効領域５１２を設定する。

これにより、Ｙターゲット３０５、Ｚターゲット３０６の分割等に起因する検出位置および姿勢の変動を抑えることができる。

本実施形態において、搬送装置１は、可動磁石型リニアモータ（ムービング永久磁石型リニアモータ、可動界磁型リニアモータ）による例を示したが、これに限るものではない。搬送装置１は、可動コイル型リニアモータ（ムービングコイル型リニアモータ、固定界磁型リニアモータ）であってもよい。

［第２実施形態］
以下、図面を参照して本発明の第２実施形態について図１４乃至図２１を用いて説明する。

図１４は、第２実施形態による搬送システム全体を示す概略図である。第２実施形態の搬送システムは、可動子３０１をガイドレール２０４によってＹ方向及びＺ方向に移動しないように規制されている。また、固定子２０１に取り付けられたセンサはＸセンサ１０１のみである。以下、第１実施形態と同様の作用を有する構成については同じ符号を付し説明を省略する。

第２実施形態による搬送システム１００１は、台車、スライダ又はキャリッジを構成する可動子３０１と、搬送路を構成する固定子２０１と、固定子２０１に固定された複数のＸセンサ１０１を有している。搬送システム１００１は、可動磁石型リニアモータ（ムービング永久磁石型リニアモータ、可動界磁型リニアモータ）による搬送システムである。

また、可動子３０１は、ガイドレール２０４によってＹ方向及びＺ方向に移動しないように規制されている。本実施形態ではガイドレール２０４によって規制する例を示したが、ガイドローラーによってＹ方向及びＺ方向を規制してもよい。

Ｘセンサ１０１は、例えば、可動子３０１に取付けたリニアスケール３０４を検出し、可動子３０１の搬送方向位置を特定するリニアエンコーダである。

複数のＸセンサ１０１は、それぞれ可動子３０１のリニアスケール３０４と対向可能なようにＸ方向に沿って固定子２０１に取り付けられている。各Ｘセンサ１０１は、可動子３０１に取り付けられたリニアスケール３０４を読み取ることで、可動子３０１のＸセンサ１０１に対する相対的な位置を検出して出力することができる。

次に、本実施形態による搬送システム１００１を制御する制御システムについてさらに図１５を用いて説明する。図１５は、第２実施形態による搬送システム１００１を制御する制御システムを示す概略図である。

図１５に示すように、制御システムは、上位コントローラ１４００と、統合コントローラ１４０１（１４０１ａおよび１４０１ｂ）と、コイルコントローラ１４０２と、センサコントローラ１４０４とを有し、可動子３０１と固定子２０１とを含む搬送システム１００１を制御する制御装置として機能する。上位コントローラ１４００には、統合コントローラ１４０１が通信可能に接続されている。統合コントローラ１４０１には、コイルコントローラ１４０２が通信可能に接続されている。また、統合コントローラ１４０１には、センサコントローラ１４０４が通信可能に接続されている。

上位コントローラ１４００は、搬送システム１００１と可動子３０１上のワーク３０２に加工作業を施す工程装置を含めた生産装置全体の制御を行う。上位コントローラ１４００は、統合コントローラ１４０１に対して、各可動子３０１の移動指令（移動先、移動速度、移動加減速度等）を送信する。

コイルコントローラ１４０２には、図示しない複数の電流コントローラ１４０３が通信可能に接続されている。コイルコントローラ１４０２及びこれに接続された複数の電流コントローラ１４０３は、複数のコイル２０２に対応して設けられている。各電流コントローラ１４０３には、コイルユニット２０３が接続されている。電流コントローラ１４０３は、接続されたコイルユニット２０３の各々のコイル２０２の電流の大きさを制御することができる。

コイルコントローラ１４０２は、接続された各々の電流コントローラ１４０３に対して目標となる電流値を指令する。電流コントローラ１４０３は接続されたコイル２０２の電流量を制御する。

センサコントローラ１４０４には、複数のＸセンサ１０１が通信可能に接続されている。

複数のＸセンサ１０１は、可動子３０１が搬送中もそのうちの１つが必ず１台の可動子３０１の位置を測定できるような間隔で固定子２０１に取り付けられている。

統合コントローラ１４０１は、Ｘセンサ１０１からの出力に基づき、複数のコイル２０２に印加する電流指令値を決定して、コイルコントローラ１４０２に送信する。コイルコントローラ１４０２は、統合コントローラ１４０１からの電流指令値に基づき、電流コントローラ１４０３に対して電流値を指令し、電流制御を実行する。これにより、統合コントローラ１４０１は、制御装置として機能し、固定子２０１に沿って可動子３０１を搬送制御する。

以下、統合コントローラ１４０１により実行される可動子３０１の位置制御方法について図１６を用いて説明する。図１６は、本実施形態による搬送システム１００１における可動子３０１の制御方法を示す概略図である。図１６は、可動子３０１の制御方法の概略について主にそのデータの流れに着目して示している。統合コントローラ１４０１は、以下に説明するように、可動子位置算出情報処理関数１５１２、可動子位置算出関数１５１３、可動子位置制御関数１５１４及びコイル電流算出関数１５１５を用いた処理を実行する。これにより、統合コントローラ１４０１は、可動子３０１の位置を制御しつつ、可動子３０１の搬送を制御する。なお、統合コントローラ１４０１に代えて、コイルコントローラ１４０２が統合コントローラ１４０１と同様の処理を実行するように構成することもできる。

まず、可動子位置算出情報処理関数１５１２は、複数のＸセンサ１０１からの測定値及びその取り付け位置の情報１５０７から、可動子位置算出情報１５０８を算出する。次に、可動子位置算出関数１５１３は、可動子位置算出情報１５０８から、搬送路を構成する固定子２０１上にある可動子３０１の台数及び位置を計算する。これにより、可動子位置算出関数１５１３は、可動子３０１に関する情報である可動子情報１５０６の可動子位置情報、及び台数情報を更新する。可動子位置情報は、固定子２０１上の可動子３０１の搬送方向であるＸ方向における位置を示している。可動子情報１５０６は、固定子２０１上の可動子３０１ごとに用意される。

可動子位置算出情報処理関数１５１２は、複数のＸセンサ１０１の測定値から、各々の可動子３０１に取り付けられたリニアスケール３０４を検出しているＸセンサ１０１を特定する。この際、特定されたＸセンサ１０１の固定子２０１上のセンサ設置位置情報１５０７と測定値に基づいて、係数（Ｗ）を算出する。

次いで、可動子位置算出関数１５１３は、特定されたＸセンサ１０１の測定値と算出した係数（Ｗ）を含む可動子位置算出情報１５０８、及びセンサ位置情報１５０７に基づき、各々の可動子３０１の位置情報を算出して可動子情報１５０６を更新する。

次いで、可動子位置制御関数１５１４は、可動子位置情報を含む現在の可動子情報１５０６及び位置目標値から、各々の可動子３０１について印加力情報１５０９を算出する。印加力情報１５０９は、各々の可動子３０１に印加すべき力の大きさに関する情報である。印加力情報１５０９は、例えば図１６中にＴｒｑ−１、Ｔｒｑ−２、…と示すように固定子２０１上の可動子３０１ごとに用意される。

次いで、コイル電流算出関数１５１５は、印加力情報１５０９及び可動子情報１５０６に基づき、各コイル２０２に印加する電流指令値１５１０１を決定する。

こうして、統合コントローラ１４０１は、可動子位置算出情報処理関数１５１２、可動子位置算出関数１５１３、可動子位置制御関数１５１４及びコイル電流算出関数１５１５を用いた処理を実行することにより、電流指令値１５１０１を決定する。統合コントローラ１４０１は、決定した電流指令値１５１０１をコイルコントローラ１４０２に送信する。

ここで、可動子位置算出情報処理関数１５１２による処理について図１７を用いて説明する。図１７は、可動子位置算出情報処理関数１５１２による処理を説明する概略図である。

図１７において、基準点Ｏｅは、Ｘセンサ１０１が取り付けられている固定子２０１の位置基準である。また、基準点Ｏｓは、可動子３０１に取り付けられているリニアスケール３０４の位置基準である。図１７では、可動子３０１として２台の可動子３０１ａ、３０１ｂが搬送され、Ｘセンサ１０１として４つのＸセンサ１０１ａ、１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄが配置されている場合を示している。なお、リニアスケール３０４は、各可動子３０１ａ、３０１ｂの同じ位置にＸ方向に沿って取り付けられている。

可動子３０１を観測している各々のＸセンサ１０１ａ〜１０１ｄは、各出力距離Ｐａ、Ｐｂ、Ｐｃ、Ｐｄに基づいて０以上１以下の係数（Ｗ）を算出する。

例えば、図１７のＸセンサ１０１ａ及び１０１ｃは、センサ情報有効領域１５１０に存在すると判定されるため、次式（２７）、（２８）のように算出される。
Ｗ（１０１ａ）＝１…式（２７）
Ｗ（１０１ｃ）＝１…式（２８）

また、図１７のＸセンサ１０１ｂは、センサ情報無効領域１５１２ａに存在すると判定されるため、次式（２９）のように算出される。センサ情報無効領域１５１２は、Ｘセンサ１０１がリニアスケール３０４の端を検出するため、Ｘセンサ１０１の検出誤差が一定以上となる領域での出力を無視するために設ける。
Ｗ（１０１ｂ）＝０…式（２９）

また、図１７のＸセンサ１０１ｄは、センサ情報荷重領域１５１１ｂに存在すると判定されるため、例えば、次式（３０）のようなシグモイド関数などの、０から１または１から０に単調に増減する連続関数を用いて、０以上１以下の値で算出される。式（３０）におけるａはシグモイド関数のゲインである。
Ｗ（１０１ｄ）＝１／（１＋ｅｘｐ（−ａ＊Ｐｄ））…式（３０）

可動子位置算出情報処理関数１５１２は、上述のようにしてＸセンサ１０１の出力と、センサ設置位置情報１５０７に基づき、係数（Ｗ）を算出する。算出した係数（Ｗ）を付加した可動子位置算出情報１５０８を出力し、可動子位置算出関数１５１３の入力とする。

なお、係数（Ｗ）を算出する関数として第１実施形態で例示した他の関数を用いる方法や、係数プロファイルとして、統合コントローラ１４０１のメモリ上に保持することで、上述の可動子位置算出情報処理関数１５１２と同様の処理を実施することが可能である。

次に、可動子位置算出関数１５１３による処理について図１７を用いて説明する。

例えば、図１７に示す可動子３０１ａのリニアスケール３０４には、１つのＸセンサ１０１ａが対向している。Ｘセンサ１０１ａは、可動子３０１ａのリニアスケール３０４を読み取って距離Ｐａを出力する。また、Ｘセンサ１０１ａの基準点Ｏｅを原点とするＸ軸上の位置はＳａである。したがって、Ｘセンサ１０１ａの出力を用いて可動子３０１ａの位置Ｐｏｓ（３０１ａ、１０１ａ）は次式（３１）により算出することができる。
Ｐｏｓ（３０１ａ、１０１ａ）＝Ｓａ−Ｐａ…式（３１）

例えば、図１７に示す可動子３０１ｂのリニアスケール３０４には、３つのＸセンサ１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄが対向している。Ｘセンサ１０１ｂは、可動子３０１ｂのリニアスケール３０４を読み取って距離Ｐｂを出力する。また、Ｘセンサ１０１ｂの基準点Ｏｅを原点とするＸ軸上の位置はＳｂである。したがって、Ｘセンサ１０１ｂの出力に基づく可動子３０１ｂのＸ軸上の位置Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｂ）は、次式（３２）で算出することができる。
Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｂ）＝Ｓｂ−Ｐｂ…式（３２）

また同様に、Ｘセンサ１０１ｃと１０１ｄは、可動子３０１ｂのリニアスケール３０４を読み取ってそれぞれ距離Ｐｃ、Ｐｄを出力する。また、Ｘセンサ１０１ｃと１０１ｄの基準点Ｏｅを原点とするＸ軸上の位置はそれぞれＳｃ、Ｓｄである。したがって、Ｘセンサ１０１ｃと１０１ｄの出力に基づく可動子３０１ｂのＸ軸上の位置Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｃ）、Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｄ）は、次式（３３）、（３４）により算出することができる。
Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｃ）＝Ｓｃ−Ｐｃ…式（３３）
Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｄ）＝Ｓｄ−Ｐｄ…式（３４）

ここで、各々のＸセンサ１０１ｂ、１０１ｃ、１０１ｄの設置位置は予め正確に測定されているため、３つの値Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｂ）、Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｃ）、Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｄ）の差は可動子３０１の長さに対し十分に小さい。このように複数のＸセンサ１０１の出力に基づく可動子３０１のＸ軸上の位置の差が十分小さい場合は、それら複数のＸセンサ１０１は、同一の可動子３０１のリニアスケール３０４を観測していると判定することができる。

次に、同一の可動子３０１を観測していると判定したＸセンサ１０１の出力に基づき算出される可動子３０１のＸ軸上の位置Ｐｏｓ（３０１、１０１）と、可動子位置算出情報１５０８に基づいて、加重平均を算出することで観測された可動子３０１の位置を一意に決定する。

例えば、図１７に示す可動子３０１ａの位置Ｐｏｓ（３０１ａ）は、次式（３５）を用いて算出される。
Ｐｏｓ（３０１ａ）＝Ｗ（１０１ａ）＊Ｐｏｓ（３０１ａ、１０１ａ）／Ｗ（１０１ａ）…式（３５）

あるいは、計算誤差の観点から、同一の可動子３０１を検出しているＸセンサ１０１が１つのみの場合は、次式（３６）を用いることも可能である。
Ｐｏｓ（３０１ａ）＝Ｐｏｓ（３０１ａ、１０１ａ）…式（３６）

次に、例えば図１７に示す可動子３０１ｂの位置Ｐｏｓ（３０１ｂ）は、次式（３７）を用いて算出される。
Ｐｏｓ（３０１ｂ）＝｛Ｗ（１０１ｂ）＊Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｂ）＋Ｗ（１０１ｃ）＊Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｃ）＋Ｗ（１０１ｄ）＊Ｐｏｓ（３０１ｂ、１０１ｄ）｝／｛Ｗ（１０１ｂ）＋Ｗ（１０１ｃ）＋Ｗ（１０１ｄ）｝…式（３７）

次いで、可動子位置制御関数１５１４は、現在の可動子情報１５０６及び目標値（指令位置）から、各々の可動子３０１について印加力情報１５０９を算出する。印加力情報１５０９は、各々の可動子３０１に印加すべき力の大きさに関する情報である。

次いで、コイル電流算出関数１５１５は、印加力情報１５０９及び可動子情報１５０６に基づき、各コイル２０２に印加する電流指令値１５１０１を決定する。

次に、コイル電流算出関数１５１５による処理について図２０を用いて説明する。なお、以下で用いる力の表記において、Ｘ方向、Ｙ方向の力が働く方向をそれぞれｘ、ｙで示す。

図２１（ａ）において、永久磁石３０３に働く力を次のように表記する。各永久磁石３０３に働く力は、電流が印加された複数のコイル２０２により永久磁石３０３が受ける電磁力である。永久磁石３０３は、電流が印加された複数のコイル２０２により、可動子３０１の搬送方向であるＸ方向の電磁力Ｆｘの他、Ｙ方向の電磁力Ｆｙを受ける。

Ｓ極及びＮ極の極性がＸ方向に交互に並んだ永久磁石３０３に対してＸ方向に対して力を印加する方法について説明する。図２０は、永久磁石３０３に対してＸ方向に力を印加する方法を説明する概略図である。コイル電流算出関数１５１５は、以下に従って、永久磁石３０３に対してＸ方向に対して力を印加するためにコイル２０２に印加する電流指令値を決定する。

Ｘを可動子３０１の位置、ｊを列に並んだコイル２０２の番号として、単位電流当たりのコイル２０２（ｊ）のＸ方向及びＹ方向に働く力の大きさを、Ｆｘ（ｊ、Ｘ）及びＦｙ（ｊ、Ｘ）とする。また、コイル２０２（ｊ）の電流の大きさをｉ（ｊ）とする。なおコイル２０２（ｊ）は、ｊ番目のコイル２０２である。

図２０中の上段の図は、横にＸ軸、縦にＺ軸を取り、永久磁石３０３に対向する９個のコイル２０２を抜き出して示す図である。図２０中の中段の図は、図２０中の上段の図をＺ方向から見た図である。コイル２０２には、Ｘ方向に並んだ順に１から６までの番号ｊを付与し、以下では例えばコイル２０２（１）のように表記して各コイル２０２を特定する。

図２０中の上段及び中段の図に示すように、コイル２０２は、距離Ｌのピッチでされている。一方、可動子３０１の永久磁石３０３は、距離３／２＊Ｌのピッチで配置されている。

図２０中の下段のグラフは、図２０中の上段及び中段の図に示す各々のコイル２０２に対して単位電流を印加した際に発生するＸ方向の力Ｆｘ及びＹ方向の力Ｆｙの大きさを模式的に示したグラフである。

簡単のため、図２０では、コイル２０２のＸ方向の位置の原点Ｏｃをコイル２０２（５）の中心とし、永久磁石３０３のＸ方向の中心Ｏｍを原点としている。このため、図２０は、ＯｃとＯｍとが合致した場合、すなわちＸ＝０の場合を示している。

このとき、例えばコイル２０２（４）に対して働く単位電流当たりの力は、Ｘ方向にＦｘ（４，０）、Ｙ方向にＦｙ（４，０）の大きさである。また、コイル２０２（５）に対して働く単位電流当たりの力は、Ｘ方向にＦｘ（５，０）、Ｙ方向にＦｙ（５，０）の大きさである。

ここで、コイル２０２（１）〜２０２（９）に印加する電流値をそれぞれｉ（１）〜ｉ（９）とする。すると、永久磁石３０３に対して、Ｘ方向に働く力の大きさＦｘ及びＹ方向に働く力の大きさＦｙは、それぞれ一般的に次式（３８）及び（３９）で表される。
Ｆｘ＝Σ｛Ｆｘ（ｊ，Ｘ）＊ｉ（ｊ）｝、（ｊ＝１、…、９）…式（３８）
Ｆｙ＝Σ｛Ｆｙ（ｊ，Ｘ）＊ｉ（ｊ）｝、（ｊ＝１、…、９）…式（３９）

上記式（３８）及び（３９）を満足する電流値ｉ（１）〜ｉ（９）をそれぞれコイル２０２（１）〜２０２（９）に印加されるように電流指令値を決定することにより、永久磁石３０３に対してＸ方向及びＹ方向に力を印加することができる。コイル電流算出関数１５１５は、永久磁石３０３に対してＸ方向及びＹ方向に力を印加するために、上述のようにしてコイル２０２（ｊ）に印加する電流指令値を決定することができる。

より簡単のため、図２０に示す場合において、永久磁石３０３に対してコイル２０２（１）〜２０２（９）のうちのコイル２０２（３）、２０２（４）、２０２（５）だけを使い、さらにこれら３つの電流値の総和が０となるように制御する場合を例に考える。この例の場合、永久磁石３０３に対してＸ方向に働く力Ｆｘ及びＹ方向に働く力Ｆｙは、それぞれ次式（４０）及び（４１）により表される。
Ｆｘ＝Ｆｘ（３，Ｘ）＊ｉ（３）＋Ｆｘ（４，Ｘ）＊ｉ（４）＋Ｆｘ（５，Ｘ）＊ｉ（５）…式（４０）
Ｆｙ＝Ｆｙ（３，Ｘ）＊ｉ（３）＋Ｆｙ（４，Ｘ）＊ｉ（４）＋Ｆｙ（５，Ｘ）＊ｉ（５）…式（４１）

また、コイル２０２（１）〜２０２（９）の電流値は、次式（４２）及び（４３）を満足するように設定することができる。
ｉ（３）＋ｉ（４）＋ｉ（５）＝０…式（４２）
ｉ（１）＝ｉ（２）＝ｉ（６）＝ｉ（７）＝ｉ（８）＝ｉ（９）＝０…式（４３）

また、図２１（ｂ）に示すように、可動子３０１は、ガイドレール２０４によりＹ方向に拘束されているが、不要な負荷をかけずに搬送されることが望ましい。そのため、永久磁石３０３に対してＹ方向に働く力Ｆｙは、次式（４４）を満足するように設定することが望ましい。
Ｆｙ＝０…式（４４）

したがって、永久磁石３０３に対して必要な力の大きさＦｘが決定された場合、電流値ｉ（１）〜ｉ（９）を一意に決定することができる。こうして決定される電流指令値により可動子３０１にＸ方向の力が印加される。可動子３０１に印加されるＸ方向の力により、可動子３０１は、Ｘ方向に移動する推進力を得てＸ方向に搬送制御される。

こうして、統合コントローラ１４０１は、複数のコイル２０２に印加する電流を制御することにより、可動子３０１に印加するＸ方向の力を制御する。

なお、可動子３０１の搬送により永久磁石３０３ｂＲの中心Ｏｍに対してコイル２０２の中心Ｏｃが移動した場合、すなわちＸ≠０の場合は、移動した位置に応じたコイル２０２を選択することができる。さらに、コイル２０２に発生する単位電流当たりの力に基づいて、上記と同様の計算を実行することができる。

上述のようにして、統合コントローラ１４０１は、複数のコイル２０２に印加する電流の電流指令値を決定して制御することにより、固定子２０１上での可動子３０１の位置を制御する。すなわち、統合コントローラ１４０１は、可動子３０１の搬送を制御する搬送制御手段として機能し、複数のコイル２０２により永久磁石３０３が受ける電磁力を制御することにより、固定子２０１上における可動子３０１の搬送を制御する。なお、制御装置としての統合コントローラ１４０１の機能の全部又は一部は、コイルコントローラ１４０２その他の制御装置により代替されうる。

次に本発明の効果について、図１８及び図１９に示すＸセンサの検出の例を用いて説明する。

図１８は、図示しない可動子３０１が搬送に伴い、可動子３０１に取付けられたリニアスケール３０４が移動する様子を示したものであり、複数のＸセンサ１０１ａ、１０１ｂは、センサの取付け精度のばらつきにより、センサ設置位置が異なる。図１８中において、破線で示すＸセンサ１０１ａ′、１０１ｂ′が設計におけるＸセンサの設置位置であり、Ｘセンサ１０１ａ、１０１ｂが実際に取り付けられているＸセンサの設置位置を模式的に表したものである。

図１８に示すように可動子３０１の搬送に伴い、Ｘセンサ１０１ｂが新たにリニアスケール３０４を検出し始める。検出センサが切り替わる際の検出位置及び姿勢は、可動子３０１の振動抑制の観点からＸセンサ１０１の切り替わりに依らず誤差なく検出されることが望ましい。しかし、上述のようにセンサの取り付け精度や機差などにより、検出誤差が生じる。

従来技術においては、Ｘセンサ１０１の切り替わりにより、可動子位置情報の算出結果が不連続に大きく変動することがあった。これに対し、係数（Ｗ）を用いた可動子位置情報の算出結果は、連続的に変化し、Ｘセンサの切り替わりによる検出位置の変動を小さく抑えることができる。

なお、可動子３０１の搬送により可動子情報１５０６の算出に用いるセンサが次々に切り替わる。その際、センサの設置位置が、センサ情報無効領域１５１２ｂ→センサ情報荷重領域１５１１ｂ→センサ情報有効領域１５１０Ａ→センサ情報荷重領域１５１１ａ→センサ情報無効領域１５１２ａと係数（Ｗ）を伴って、連続的に変化する。このため、本実施形態によれば、検出センサが切り替わる際の検出位置の変動を小さく抑えることができる。したがって、検出センサの切り替わりに起因する可動子の振動が除去でき安定搬送が可能となる。

また、第１実施形態における、図４の可動子位置算出関数５０１で示す可動子３０１の可動子位置情報の算出処理を、第２実施形態の可動子位置算出情報処理関数１５１２、可動子位置算出関数１５１３に置き換えることも可能である。これにより、第１実施形態の可動子位置情報の算出処理においても、第２実施形態と同様に第１の方向の検出センサの切り替わりに起因する可動子の振動が除去できる。

また、本実施形態において、可動子位置算出情報処理関数１５１２で算出される係数（Ｗ）は、可動子３０１とＸセンサ１０１の（出力と設置位置から算出される）相対位置に基づいて算出したが、Ｘセンサ１０１の検出時間に応じて係数（Ｗ）を算出する方法を用いることもできる。下記に示すこの方法であれば、可動子３０１の移動速度に依らず、検出センサの切り替わりに起因する可動子の振動を除去でき、安定搬送が可能となる。なお、可動子３０１をＸセンサ１０１が検出する検出時間に応じた可動子の位置情報を補正する本例に対して、可動子３０１とＸセンサ１０１の相対位置の情報を加味しても構わない。

例えば、図１９のＸセンサ１０１ｅは、可動子３０１ｃの搬送に伴い、時刻Ｔｓに可動子３０１ｃを検出し始め、時刻Ｔｅに可動子３０１ｃを検出しなくなる。

例えば、図１９のＸセンサ１０１ｅは、時刻ＴｓからＴ１と時刻Ｔ４からＴｅまでは、センサ情報無効時間１５２２と判定されるため、次式（４５）のように算出される。
Ｗ（１０１ｅ、ｔ）＝０、（Ｔｓ＜ｔ＜Ｔ１、Ｔ４＜ｔ＜Ｔｅ）…式（４５）

また、図１９のＸセンサ１０１ｅは、時刻Ｔ２からＴ３までは、センサ情報有効時間１５２０と判定されるため、次式（４６）のように算出される。
Ｗ（１０１ｅ、ｔ）＝１、（Ｔ２≦ｔ≦Ｔ３）…式（４６）

また、図１９のＸセンサ１０１ｅは、時刻Ｔ１からＴ２と時刻Ｔ３からＴ４までは、センサ情報荷重時間１５２１と判定される。そのため、例えば、次式（４７）、（４８）のようなシグモイド関数などの、０から１または１から０に単調に増減する連続関数を用いて、０以上１以下の値で算出される。式（４７）、（４８）におけるａはシグモイド関数のゲインである。
Ｗ（１０１ｅ、ｔ）＝１／｛１＋ｅｘｐ（−ａ＊（ｔ−ｔ１´））｝、（Ｔ１≦ｔ＜Ｔ２、ｔ１´＝（Ｔ２―Ｔ１）／２）…式（４７）
Ｗ（１０１ｅ、ｔ）＝１−１／｛１＋ｅｘｐ（−ａ＊（ｔ−ｔ２´））｝、（Ｔ３＜ｔ≦Ｔ４、ｔ２´＝（Ｔ４―Ｔ３）／２）…式（４８）

可動子位置算出情報処理関数１５１２は、上述のようにしてＸセンサ１０１の検出時間に基づき、係数（Ｗ）を算出するようにしても良い。算出した係数（Ｗ）を付加した可動子位置算出情報１５０８を出力し、可動子位置算出関数１５１３の入力とする。

なお、可動子３０１ｃを検出しなくなる時刻Ｔｅは、可動子３０１ｃの移動状態に応じて決定することができる。

例えば、図１９の可動子３０１ｃが一定速度Ｖｃで搬送されている場合は、検出終了時刻Ｔｅは、次式（４９）のように決定される。式（４９）におけるＬｃは、可動子３０１ｃに設置されたリニアスケール３０４の長さである。
Ｔｅ＝Ｔｓ＋Ｌｃ／Ｖｃ…式（４９）

また、Ｘセンサ１０１が可動子３０１を検出している際に、可動子３０１が停止等した場合は、その停止時間、及び加減速時間を加算することで、検出終了時刻Ｔｅを正しく決定することができる。

こうして算出した係数（Ｗ）を付加した可動子位置算出情報１５０８として可動子の位置制御をすることで、同様に検出センサが切り替わる際の検出位置の変動を小さく抑えることができる。

１０１ Ｘセンサ
１０２ Ｙセンサ
１０３ Ｚセンサ
２０１ 固定子
２０２ コイル
２０３ コイルユニット
３０１ 可動子
３０２ ワーク
３０３ 永久磁石
３０４ リニアスケール
３０５ Ｙターゲット
３０６ Ｚターゲット

Claims (15)

1. 第１の方向に沿って移動する可動子と、
   前記第１の方向に沿って配置され、前記可動子の位置情報を検出する複数の第１のセンサを有する固定子と、
   前記複数の第１のセンサの検出値から求められる前記複数の第１のセンサの少なくとも１つと前記可動子との相対位置と、前記複数の第１センサが前記可動子を検出する検出時間と、の少なくとも１つに基づき、前記可動子の位置情報を補正し、前記可動子の位置および／または姿勢を制御する制御部と、を有することを特徴とする搬送装置。
2. 前記制御部は、前記複数の第１センサの複数の検出値のうちの少なくとも１つを係数を用いて調整し、前記可動子の位置情報を補正することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記可動子の検出対象領域は、中心部に設定される第一の領域、前記第１の方向の端部に設定される第二の領域、および前記第一の領域と前記第二の領域の間の第三の領域に設定され、
   前記制御部が用いる前記係数は、前記複数の第１のセンサの少なくとも１つの第１センサが、前記第一の領域、前記第二の領域、及び前記第三の領域のいずれに属するかによって異なることを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記係数は複数であり、前記係数の少なくとも１つが、
   前記複数の第１センサの少なくとも１つと前記可動子との相対位置に応じて、重みづけが０から１の間で変化するように設定されていることを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
5. 第１の方向に沿って移動する可動子と、
   前記第１の方向に沿って配置され前記可動子の前記第１方向の位置情報を検出する複数の第１のセンサと、前記可動子の前記第１の方向に交差する第２の方向の位置情報を検出する複数の第２のセンサと、を有する固定子と、
   前記複数の第１のセンサの検出値を用いて前記複数の第２のセンサの少なくとも１つを選択し、選択された前記第２のセンサと前記可動子との相対位置に基づき、前記可動子の第２の方向の位置情報を補正し、前記可動子の位置および／または姿勢を制御する制御部と、を有することを特徴とする搬送装置。
6. 前記制御部は、前記複数の第２センサの複数の検出値のうちの少なくとも１つを係数を用いて調整し、前記可動子の第２の方向の位置情報を補正することを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
7. 前記可動子の検出対象領域は、中心部に設定される第一の領域、前記第１の方向の端部に設定される第二の領域、および前記第一の領域と前記第二の領域の間の第三の領域に設定され、
   前記制御部が用いる前記係数は、前記複数の第２のセンサの少なくとも１つが、前記第一の領域、前記第二の領域、及び前記第三の領域のいずれに属するかによって異なることを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。
8. 前記係数は複数であり、前記係数の少なくとも１つが、
   選択された前記第２センサと前記可動子との相対位置に応じて、重みづけが０から１の間で変化するように設定されていることを特徴とする請求項７に記載の搬送装置。
9. 前記複数の第２のセンサのうちの隣り合う２つの距離は、前記可動子の前記第一の領域における前記第１の方向の長さの半分以下であることを特徴とする請求項７または８に記載の搬送装置。
10. 前記固定子は、前記可動子の前記第１の方向および前記第２の方向と交差する第３方向位置情報を検出する複数の第３センサを有し、
    前記制御部は、前記複数の第１のセンサの検出値を用いて前記複数の第３のセンサの少なくとも１つを選択し、選択された前記第３のセンサと前記可動子との相対位置に基づき、前記可動子の第３の方向の位置情報を補正し、前記可動子の位置および／または姿勢を制御することを特徴とする請求項５乃至９のいずれか１項に記載の搬送装置。
11. 前記制御部は、前記複数の第３センサの複数の検出値のうちの少なくとも１つを係数を用いて調整し、前記可動子の第３の方向の位置情報を補正することを特徴とする請求項１０に記載の搬送装置。
12. 前記可動子は、前記第１の方向に沿って配置された複数の磁石からなる第１の磁石群と、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って配置された複数の磁石からなる第２の磁石群とを有し、
    前記固定子は、前記第１の磁石群および前記第２の磁石群に対向可能に前記第１の方向に沿って配置された複数のコイルを有することを特徴とする請求項５乃至１１いずれか一項記載の搬送装置。
13. 前記可動子は前記第１の磁石群と前記複数のコイルによって前記第１の方向に移動制御され、前記第２の磁石群と前記コイルによって前記第１の方向と交差する第２の方向における位置を制御されることを特徴とする請求項１２記載の搬送装置。
14. 請求項１乃至１３いずれか一項に記載の搬送装置と、前記搬送装置によって移動するワークに加工を行なう生産装置とを有することを特徴とする生産システム。
15. 請求項１４に記載の生産システムによって製造されることを特徴とする物品の製造方法。

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