JP2021126040A5 - - Google Patents

Claims (15)

1. 第１の方向に沿って移動する可動子と、
   前記第１の方向に沿って配置され、前記可動子の位置情報を検出する複数の第１のセンサを有する固定子と、
   前記第１のセンサの検出値から求められる前記第１のセンサの少なくとも１つと前記可動子との相対位置、および／または、前記第１センサが前記可動子を検出する検出時間に基づき、前記可動子の位置情報を補正し、前記可動子の位置および／または姿勢を制御する制御部と、を有することを特徴とする搬送装置。
2. 前記制御部は、前記複数の第１センサの複数の検出値のうちの少なくとも１つを係数を用いて調整し、前記可動子の位置情報を補正することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
3. 前記可動子の検出対象領域を、中心部に設定される第一の領域、前記第１の方向の端部に設定される第二の領域、および前記第一の領域と前記第二の領域の間の第三の領域に設定したときに、
   前記第二の領域に対する係数および／または前記第三の領域に対する係数は、前記第一の領域に対する係数より小さいことを特徴とする請求項２に記載の搬送装置。
4. 前記第三の領域に対する係数が、
   前記複数の第１センサの少なくとも１つと前記可動子との相対位置に応じて、重みづけが０から１の間で変化するように設定されていることを特徴とする請求項３に記載の搬送装置。
5. 第１の方向に沿って移動する可動子と、
   前記第１の方向に沿って配置され前記可動子の前記第１の方向の位置情報を検出する複数の第１のセンサと、前記可動子の前記第１の方向に交差する第２の方向の位置情報を検出する複数の第２のセンサと、を有する固定子と、
   前記複数の第１のセンサの検出値を用いて前記複数の第２のセンサの少なくとも１つを選択し、選択された前記第２のセンサと前記可動子との相対位置に基づき、前記可動子の第２の方向の位置情報を補正し、前記可動子の位置および／または姿勢を制御する制御部と、を有することを特徴とする搬送装置。
6. 前記制御部は、前記複数の第２センサの複数の検出値のうちの少なくとも１つを係数を用いて調整し、前記可動子の第２の方向の位置情報を補正することを特徴とする請求項５に記載の搬送装置。
7. 前記可動子の検出対象領域を、中心部に設定される第一の領域、前記第１の方向の端部に設定される第二の領域、および前記第一の領域と前記第二の領域の間の第三の領域に設定したときに、
   前記第二の領域に対する係数および／または前記第三の領域に対する係数は、前記第一の領域に対する係数より小さいことを特徴とする請求項６に記載の搬送装置。
8. 前記第三の領域に対する係数が、
   選択された前記第２センサと前記可動子との相対位置に応じて、重みづけが０から１の間で変化するように設定されていることを特徴とする請求項７に記載の搬送装置。
9. 前記複数の第２のセンサのうちの隣り合う２つの距離は、前記可動子の前記第一の領域における前記第１の方向の長さの半分以下であることを特徴とする請求項７または８に記載の搬送装置。
10. 前記固定子は、前記可動子の前記第１の方向および前記第２の方向と交差する第３方向位置情報を検出する複数の第３センサを有し、
    前記制御部は、前記複数の第１のセンサの検出値を用いて前記複数の第３のセンサの少なくとも１つを選択し、選択された前記第３のセンサと前記可動子との相対位置に基づき、前記可動子の第３の方向の位置情報を補正し、前記可動子の位置および／または姿勢を制御することを特徴とする請求項５乃至９のいずれか１項に記載の搬送装置。
11. 前記制御部は、前記複数の第３センサの複数の検出値のうちの少なくとも１つを係数を用いて調整し、前記可動子の第３の方向の位置情報を補正することを特徴とする請求項１０に記載の搬送装置。
12. 前記可動子は、前記第１の方向に沿って配置された複数の磁石からなる第１の磁石群と、前記第１の方向と交差する第２の方向に沿って配置された複数の磁石からなる第２の磁石群とを有し、
    前記固定子は、前記第１の磁石群および前記第２の磁石群に対向可能に前記第１の方向に沿って配置された複数のコイルを有することを特徴とする請求項５乃至１１いずれか一項記載の搬送装置。
13. 前記可動子は前記第１の磁石群と前記複数のコイルによって前記第１の方向に移動制御され、前記第２の磁石群と前記コイルによって前記第１の方向と交差する第２の方向における位置を制御されることを特徴とする請求項１２記載の搬送装置。
14. 請求項１乃至１３いずれか一項に記載の搬送装置と、前記搬送装置によって移動するワークに加工を行なう生産装置とを有することを特徴とする生産システム。
15. 請求項１４に記載の生産システムによって製造されることを特徴とする物品の製造方法。